CN106129096B - 一种柔性背板及其制作方法、柔性显示装置 - Google Patents

一种柔性背板及其制作方法、柔性显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种柔性背板的制作方法，包括在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层；在层间绝缘层上同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道；第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿层间绝缘层及栅极绝缘层，多条第一断线沟道均未与源/漏过孔连通；形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同；在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层；在钝化层上形成部分像素阳极过孔；在第二无机层上形成有机发光层和封装层，形成柔性显示装置。本发明降低了柔性背板裂纹产生和拓展的风险，提高了柔性效果和使用寿命。

Description

一种柔性背板及其制作方法、柔性显示装置
技术领域
本发明涉及一种显示技术领域，尤其是涉及一种柔性背板及其制作方法、显示装置。
背景技术
柔性显示装置是一种基于柔性基底材料形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此，在便携产品、多数显示应用领域，柔性显示装置具有广阔的应用前景以及良好的市场潜力。
现有技术中的柔性显示装置的柔性背板通常采用大量采用了SiNX，SiO2，Si，IGZO，Al2O3等无机膜层的堆叠结构，因此在工艺中和产品中会存在以下问题：一是，各无机膜层之间薄膜应力种类(收缩应力或拉伸应力)及大小的差异可能会导致膜层的脱落和基板的翘曲现象，从而影响柔性背板制程的稳定性；二是，制作的柔性显示装置由于无机膜层堆叠较厚，在经受较大弯曲应力或反复弯折后，会逐渐产生裂纹并不断拓展，进而破坏阵列器件结构或成为水氧渗透的途径，从而使显示器件失效，导致柔性显示装置的可靠性较差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性背板的制作方法，以提高柔性背板的可靠性。
本发明的另一目的在于提供一种利用上述制作方法制成的柔性背板及柔性显示装置。
为了实现上述目的，本发明实施方式提供如下技术方案：
本发明提供一种柔性背板的制作方法，包括如下步骤：
在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层；其中，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层；
在所述层间绝缘层上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道；所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层，所述多条第一断线沟道均未与所述源/漏过孔连通；形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同；
在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层；其中，所述钝化层为第二无机层；
在所述钝化层上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔；
在所述第二无机层上形成有机发光层和封装层，从而形成柔性背板。
其中，在所述钝化层上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔的同时还形成了第二组断线沟道，所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道，且每条第二断线沟道均贯穿所述钝化层，所述多条第二断线沟道均未与所述部分像素阳极过孔连通；形成部分像素阳极过孔的时间与形成第二组断线沟道的时间相同。
其中，所述第一组断线沟道中的第一断线沟道与相应位置的第二断线沟道连通。
其中，所述第一及第二组断线沟道中的每一断线沟道在所述基板上的投影均为长形。
本发明提供一种柔性背板的制作方法，包括如下步骤：
在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层及钝化层；其中，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层，所述钝化层为第二无机层；
在所述钝化层上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻同时形成部分阳极过孔及第二组断线沟道，所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道，且每条第二断线沟道均贯穿所述钝化层，所述多条第二断线沟道均未与部分像素阳极过孔连通；形成部分像素阳极过孔的时间与形成第二组断线沟道的时间相同；
在形成有部分像素阳极过孔及第二组断线沟道的钝化层上形成有机发光层和封装层，从而形成柔性显示装置。
其中，在形成钝化层之前还包括：
在所述层间绝缘层上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道；所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层，所述多条第一断线沟道均未与源/漏过孔连通；形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同。
本发明提供一种柔性背板，包括依次层叠设置的柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层、钝化层及有机发光层和封装层，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层，所述钝化层为第二无机层，其中，所述第一及第二无机层中至少一个具有一组断线沟道，该组断线沟道包括多条断线沟道，且每条断线沟道均贯穿相应的无机层，所述多条断线沟道均未与相应无机层的金属过孔连通；其中，形成金属过孔的时间与形成该组断线沟道的时间相同。
其中，当所述第一无机层具有该组断线沟道时，该组断线沟道为第一组断线沟道，相应的金属过孔为源/漏过孔，当所述第二无机层具有该组断线沟道，该组断线沟道为第二组断线沟道，相应的金属过孔为部分像素阳极过孔。
其中，每一断线沟道在所述基板上的投影为长形。
本发明提供一种柔性显示装置，包括上述的柔性背板。
本发明实施例具有如下优点或有益效果：
本发明的柔性背板的制作方法中，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层。在所述层间绝缘层上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道。所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层。所述多条第一断线沟道均未与所述源/漏过孔连通；形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同。由于所述柔性背板具有第一组断线沟道，因此，在所述柔性背板的过程中，所述第一无机层的应力在所述每一条第一断线沟道处释放，降低了所述柔性背板的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板的弯曲主要发生在第一断线沟道处，降低了裂纹产生和拓展的风险，提高了柔性效果和使用寿命。其中，所述第一断线沟道与所述源/漏过孔同时形成，且形成源/漏过孔的时间与形成第一断线沟道的时间相同，即所述第一断线沟道与所述源/漏过孔的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述层间绝缘层及栅极绝缘层且刚好蚀刻到所述阻隔层和缓冲层的顶部停止，不会损伤阻隔层和缓冲层及下方的柔性衬底。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明第一方案第一实施例提供的一种柔性背板的制作方法的流程图。
图2-图6是本发明柔性背板制作方法的步骤的结构示意图。
图7是本发明第一方案第二实施例提供的一种柔性背板的制作方法的流程图。
图8是本发明第二方案第一实施例提供的一种柔性背板的制作方法的流程图。
图9是通过柔性背板的制作方法制成的柔性背板的示意图。
图10是本发明第二方案第二实施例提供的一种柔性背板的制作方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
此外，以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明中所提到的方向用语，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向，因此，使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本发明，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸地连接，或者一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。若本说明书中出现“工序”的用语，其不仅是指独立的工序，在与其它工序无法明确区别时，只要能实现该工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外，本说明书中用“～”表示的数值范围是指将“～”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中，结构相似或相同的用相同的标号表示。
请参阅图1，本发明第一方案第一实施例提供的一种柔性背板的制作方法，包括如下步骤：
S101：在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底100、阻隔层200和缓冲层300、有源层400、栅极绝缘层500、层间绝缘层600(参见图2)；其中，所述栅极绝缘层500及层间绝缘层600为第一无机层。
需要说明的是，所述板体可以为透明的玻璃板体。所述柔性衬底100、所述阻隔层200、缓冲层300、所述有源层400、所述栅极绝缘层500及所述层间绝缘层600依次层叠设置于所述板体上。所述阻隔层200和缓冲层300的材料可以是无机材料如SiOx，SiNx等，可以通过化学气相沉积、物理气相沉积、旋涂法等方法在所述柔性衬底100上沉积所述阻隔层200和缓冲层300。所述栅极绝缘层500及层间绝缘层600通常使用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等材料。
S102：在所述层间绝缘层600上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔602及第一组断线沟道(参见图3)。所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道601，且每条第一断线沟道601均贯穿所述层间绝缘层600及栅极绝缘层500。所述多条第一断线沟道601均未与所述源/漏过孔602连通；形成源/漏过孔602的时间与形成第一组断线沟道的时间相同。
需要说明的是，所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602同时形成，且形成源/漏过孔602的时间与形成第一组断线沟道的时间相同，即所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述层间绝缘层600及栅极绝缘层500且刚好蚀刻到所述阻隔层和缓冲层300的顶部停止，不会损伤阻隔层200和缓冲层300及下方的柔性衬底100。
S103：在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层700(参阅图4)；其中，所述钝化层700为第二无机层。
S104：在所述钝化层700上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔702(参见图5)。
S105：在所述第二无机层上形成有机发光层和封装层(参见图6)，从而形成柔性显示装置。
需要说明的是，所述有机发光层包括有机平坦层800及像素定义层900。所述像素阳极过孔702存在于所述钝化层700及所述有机平坦层800，故存在于所述钝化层700内像素阳极过孔702为部分像素阳极过孔。
在本实施例中，所述柔性背板的制作方法包括在柔性背板上依次形成柔性衬底100、阻隔层200和缓冲层300、有源层400、栅极绝缘层500、层间绝缘层600；其中，所述栅极绝缘层500及层间绝缘层600为第一无机层。在所述层间绝缘层600上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔602及第一组断线沟道。所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道601，且每条第一断线沟道601均贯穿所述层间绝缘层600及栅极绝缘层500。所述多条第一断线沟道601均未与所述源/漏过孔602连通；形成源/漏过孔602的时间与形成第一组断线沟道的时间相同。由于所述柔性背板具有第一组断线沟道，因此，在所述柔性背板的过程中，所述第一无机层的应力在所述每一条第一断线沟道601处释放，降低了所述柔性背板的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板的弯曲主要发生在第一断线沟道601处，降低了裂纹产生和拓展的风险，提高了柔性效果和使用寿命。
其中，所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602同时形成，且形成源/漏过孔602的时间与形成第一断线沟道601的时间相同，即所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述层间绝缘层600及栅极绝缘层500且刚好蚀刻到所述阻隔层和缓冲层300的顶部停止，不会损伤阻隔层和缓冲层300及下方的柔性衬底100。
请参阅图7，本发明第一方案第二实施例提供一种柔性背板的制作方法。所述第二实施例提供的柔性背板的制作方法与所述第一实施例提供的柔性背板的制作方法相似，两者的区别在于步骤1041。所述步骤1041为：在所述钝化层700上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔702的同时还形成了第二组断线沟道。所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道701，且每条第二断线沟道701均贯穿所述钝化层700，所述多条第二断线沟道702均未与所述部分像素阳极过孔702连通。形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二组断线沟道701的时间相同。
需要说明的是，所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702同时形成，且形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二断线沟道702的时间相同，即所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述钝化层700且刚好蚀刻到所述层间绝缘层600的顶部停止，不会损伤层间绝缘层600及下方各层。
在本实施例中，所述第一断线沟道601中的与相应的第二断线沟道701连通。在其他实施例中，所述第一断线沟道601中的与相应的第二断线沟道701也可以交错。
在本实施例中，所述第一及第二断线沟道601及701在所述基板上的投影均为长形。在其他实施例中，所述第一及第二断线沟道601及701在所述基板上的投影也可以根据需要为其他形状，如圆形。
在本实施例中，所述柔性背板的制作方法制作的柔性背板不仅在第一无机层具有第一断线沟道601，还在所述第二无机层具有第二断线沟道701。因此，在所述柔性背板的过程中，不但所述第一无机层的应力在所述每一条第一断线沟道601处释放，所述第二无机层的应力还在每一条第二断线沟道701处释放，更加降低了所述柔性背板的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板的弯曲主要发生在第一及第二断线沟道601及701处，大大降低了裂纹产生和拓展的风险，更加提高了柔性效果和使用寿命。
请参阅图8，本发明第二方案第一实施例提供一种柔性背板的制作方法，包括如下步骤：
S201：在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底100、阻隔层200和缓冲层300、有源层400、栅极绝缘层500、层间绝缘层600及钝化层700。其中，所述栅极绝缘层400及层间绝缘层500为第一无机层，所述钝化层700为第二无机层。
需要说明的是，所述板体可以为透明的玻璃板体。所述柔性衬底100、所述阻隔层200和缓冲层300、所述有源层400、所述栅极绝缘层500及所述层间绝缘层600依次层叠设置于所述板体上。所述阻隔层200和缓冲层300可以是SiOx，SiNx等单层或多层无机绝缘材料的叠层结构，可以通过化学气相沉积、物理气相沉积、旋涂法等方法在所述柔性衬底100上沉积所述阻隔层200和缓冲层300。所述栅极绝缘层500及层间绝缘层600通常使用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等材料。
步骤202：在所述钝化层700上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻同时形成部分阳极过孔702及第二组断线沟道。所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道701，且每条第二断线沟道701均贯穿所述钝化层700，所述多条第二断线沟道701均未与部分像素阳极过孔702连通；形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二断线沟道701的时间相同。
需要说明的是，所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702同时形成，且形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二断线沟道702的时间相同，即所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述钝化层700且刚好蚀刻到所述层间绝缘层600的顶部停止，不会损伤层间绝缘层600及下方各层。
步骤203：在形成有部分像素阳极过702及第二断线沟道701的钝化层700上形成有机发光层和封装层，从而形成柔性背板(参阅图9)。
需要说明的是，所述有机发光层和封装层包括有机平坦层800及像素定义层900。所述像素阳极过孔702存在于所述钝化层700及所述有机平坦层800，故存在于所述钝化层700内像素阳极过孔702为部分像素阳极过孔。
在本实施例中，所述柔性背板的制作方法制成的柔性背板的所述第二无机层具有第二断线沟道701。因此，在所述柔性背板的过程中，所述第二无机层的应力在每一条第二断线沟道701处释放，降低了所述柔性背板的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板的弯曲主要发生在第二断线沟道701处，降低了裂纹产生和拓展的风险，提高了柔性效果和使用寿命。
其中，所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702同时形成，且形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二断线沟道702的时间相同，即所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述钝化层700且刚好蚀刻到所述层间绝缘层600的顶部停止，不会损伤层间绝缘层600及下方各层。
请参阅图10，本发明第二方案的第二实施例提供一种柔性背板的制作方法。所述第二实施例提供的柔性背板的制作方法与所述第一实施例提供的柔性背板的制作方法相似，两者的区别在于：在形成钝化层之前还包括如下步骤：
步骤2011：在所述层间绝缘600上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔602及第一组断线沟道；所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道601，且每条第一断线沟道601均贯穿所述层间绝缘层500及栅极绝缘层600，所述多条第一断线沟道601均未与源/漏过孔602连通。形成源/漏过孔602的时间与形成第一断线沟道601的时间相同。
需要说明的是，所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602同时形成，且形成源/漏过孔602的时间与形成第一断线沟道601的时间相同，即所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述层间绝缘层600及栅极绝缘层500且刚好蚀刻到所述阻隔层和缓冲层300的顶部停止，不会损伤阻隔层和缓冲层300及下方的柔性衬底100。
步骤S2012：在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层700；其中，所述钝化层700为第二无机层。
在本实施例中，所述柔性背板的制作方法制作的柔性背板不仅在第二无机层具有第二断线沟道701，还在所述第一无机层具有第一断线沟道601。因此，在所述柔性背板的过程中，不但所述第二无机层的应力在所述每一条第二断线沟道701处释放，所述第一无机层的应力还在每一条第一断线沟道601处释放，更加降低了所述柔性背板的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板的弯曲主要发生在第一及第二断线沟道601及701处，大大降低了裂纹产生和拓展的风险，更加提高了柔性效果和使用寿命。
请参阅图6，本发明第三方案实施例提供一种柔性背板7。所述柔性背板7包括依次层叠设置的柔性衬底100、阻隔层200和缓冲层300、有源层400、栅极绝缘层500、层间绝缘层600、钝化层700及有机发光层和封装层。所述栅极绝缘层500及层间绝缘层600为第一无机层。所述钝化层700为第二无机层，其中，所述第一及第二无机层中至少一个具有一组断线沟道，该组断线沟道包括多条断线沟道，且每条断线沟道均贯穿相应的无机层，所述多条断线沟道均未与相应无机层的金属过孔连通。其中，形成金属过孔的时间与形成该组断线沟道的时间相同。
需要说明的是，所述柔性背板还包括板体(未示出)。所述板体可以为透明的玻璃板体。所述柔性衬底100、所述阻隔层200和缓冲层300、所述有源层400、所述栅极绝缘层500及所述层间绝缘层600依次层叠设置于所述板体上。其中，所述阻隔200层和缓冲层300的材料可以是柔性高分子材料、无机材料如SiOx，SiNx等，可以通过物理气相沉积、旋涂法等方法在所述柔性衬底100上沉积所述阻隔层200和缓冲层300。所述栅极绝缘层500及层间绝缘层600通常使用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅等材料。
在本实施例中，所述第一无机层具有该组断线沟道。则该组断线沟道为包括多条第一断线沟道601的第一组断线沟道，所述金属过孔为源/漏过孔602。即为所述多条第一断线沟道601均未与所述源/漏过孔602连通；形成源/漏过孔602的时间与形成第一组断线沟道的时间相同。
需要说明的是，所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602同时形成，且形成源/漏过孔602的时间与形成第一组断线沟道的时间相同，即所述第一断线沟道601与所述源/漏过孔602的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述层间绝缘层600及栅极绝缘层500且刚好蚀刻到所述阻隔层和缓冲层300的顶部停止，不会损伤阻隔层和缓冲层300及下方的柔性衬底100。
在本实施例中，所述柔性背板7的所述第一无机层具有第一断线沟道601。因此，所述第一无机层的应力在每一条第一断线沟道601处释放，降低了所述柔性背板7的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板7的弯曲主要发生在第一断线沟道601处，降低了裂纹产生和拓展的风险，提高了柔性效果和使用寿命。
进一步地，所述第二无机层也具有断线沟道。即为所述第二无机层具有第二组断线沟道。
具体地，所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道701。所述金属过孔为部分像素阳极过孔702。所述多条第二断线沟道702均未与所述部分像素阳极过孔702连通。形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二组断线沟道701的时间相同。
需要说明的是，所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702同时形成，且形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二断线沟道702的时间相同，即所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述钝化层700且刚好蚀刻到所述层间绝缘层600的顶部停止，不会损伤层间绝缘层600及下方各层。
在本实施例中，所述柔性背板7不仅在第一无机层具有第一断线沟道601，还在所述第二无机层具有第二断线沟道701。因此，不但所述第一无机层的应力在所述每一条第一断线沟道601处释放，所述第二无机层的应力还在每一条第二断线沟道701处释放，更加降低了所述柔性背板的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板7的弯曲主要发生在第一及第二断线沟道601及701处，大大降低了裂纹产生和拓展的风险，更加提高了柔性效果和使用寿命。
请参阅图9，在其他实施例中，也可以只有所述第二无机层具有该组断线沟道。则该组断线沟道为包括多条第二断线沟道701的第二组断线沟道，所述金属过孔为部分像素阳极过孔702。即为所述多条第二断线沟道702均未与所述部分像素阳极过孔702连通。形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二组断线沟道701的时间相同。
需要说明的是，所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702同时形成，且形成部分像素阳极过孔702的时间与形成第二断线沟道702的时间相同，即所述第二断线沟道701与所述部分像素阳极过孔702的蚀刻速率相同，这样可以完全蚀刻完所述钝化层700且刚好蚀刻到所述层间绝缘层600的顶部停止，不会损伤层间绝缘层600及下方各层。
在本实施例中，每一断线沟道在所述柔性背板7上的投影为长形。在其他实施例中，每一断线沟道在所述柔性背板7上的投影可以根据实际需要为其他形状，如圆形等。
本发明第三方案实施例提供一种柔性显示装置。所述柔性显示装置包括上述第二方案提供的柔性背板。
所述柔性显示装置的柔性背板可以在第一或/和第二无机层具有相应的断线沟道。因此，第一或/和第二无机层的应力在相应的断线沟道处释放，降低了所述柔性背板的各个层之间由于应力差引起的膜层脱落。另外，所述柔性背板的弯曲主要发生在相应的断线沟道处，降低了裂纹产生和拓展的风险，更加提高了柔性效果和使用寿命。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述的实施方式，并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在该技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种柔性背板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层；其中，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层；
在所述层间绝缘层上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道；所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层，所述多条第一断线沟道均未与所述源/漏过孔连通；所述第一断线沟道与源/漏过孔同时形成，且形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同；
在具有第一组断线沟道和源/漏过孔的层间绝缘层上形成钝化层；其中，所述钝化层为第二无机层；
在所述钝化层上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔；
在所述第二无机层上形成有机发光层和封装层，从而形成柔性显示装置。
2.如权利要求1所述的柔性背板的制作方法，其特征在于，在所述钝化层上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻形成部分像素阳极过孔的同时还形成了第二组断线沟道，所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道，且每条第二断线沟道均贯穿所述钝化层，所述多条第二断线沟道均未与所述部分像素阳极过孔连通；形成部分像素阳极过孔的时间与形成第二组断线沟道的时间相同。
3.如权利要求2所述的柔性背板的制作方法，其特征在于，所述第一组断线沟道中的第一断线沟道与相应位置的第二断线沟道连通。
4.如权利要求2所述的柔性背板的制作方法，其特征在于，所述第一及第二组断线沟道中的每一断线沟道在所述柔性背板上的投影均为长形。
5.一种柔性背板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
在柔性背板的板体上依次形成柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层及钝化层；其中，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层，所述钝化层为第二无机层；
在所述钝化层上通过涂布光阻，曝光、显影及蚀刻同时形成部分阳极过孔及第二组断线沟道，所述第二组断线沟道包括多条第二断线沟道，且每条第二断线沟道均贯穿所述钝化层，所述多条第二断线沟道均未与部分像素阳极过孔连通；所述第二断线沟道与部分像素阳极过孔同时形成，且形成部分像素阳极过孔的时间与形成第二组断线沟道的时间相同；
在形成有部分像素阳极过孔及第二组断线沟道的钝化层上形成有机发光层和封装层，从而形成柔性显示面板。
6.如权利要求5所述的柔性背板的制作方法，其特征在于，在形成钝化层之前还包括：
在所述层间绝缘层上涂布光阻，通过曝光、显影及蚀刻同时形成源/漏过孔及第一组断线沟道；所述第一组断线沟道包括多条第一断线沟道，且每条第一断线沟道均贯穿所述层间绝缘层及栅极绝缘层，所述多条第一断线沟道均未与源/漏过孔连通；形成源/漏过孔的时间与形成第一组断线沟道的时间相同。
7.一种柔性背板，包括依次层叠设置的柔性衬底、阻隔层和缓冲层、有源层、栅极绝缘层、层间绝缘层、钝化层及有机发光层和封装层，所述栅极绝缘层及层间绝缘层为第一无机层，所述钝化层为第二无机层，其中，所述第一及第二无机层中至少一个具有一组断线沟道，该组断线沟道包括多条断线沟道，且每条断线沟道均贯穿相应的无机层，所述多条断线沟道均未与相应无机层的金属过孔连通；其中，该组断线沟道与金属过孔同时形成，且形成金属过孔的时间与形成该组断线沟道的时间相同。
8.如权利要求7所述柔性背板，其特征在于，当所述第一无机层具有该组断线沟道时，该组断线沟道为第一组断线沟道，相应的金属过孔为源/漏过孔，当所述第二无机层具有该组断线沟道，该组断线沟道为第二组断线沟道，相应的金属过孔为部分像素阳极过孔。
9.如权利要求7所述柔性背板，其特征在于，每一断线沟道在所述柔性背板上的投影为长形。
10.一种柔性显示装置，其特征在于，包括权利要求7-9任意一项所述的柔性背板。
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