CN106093164A - 常温固体电解质co2传感器及其制备方法 - Google Patents

常温固体电解质co2传感器及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种常温固体电解质CO2传感器及其制备方法，该传感器包括CO2传感器芯片，所述CO2传感器芯片包括绝缘基板、银参比电极、固体电解质层、敏感电极、参比电极引线和敏感电极引线；所述银参比电极印制在所述绝缘基板上；所述固体电解质层是印制在所述绝缘基板上的离子固体电解质膜，所述固体电解质层覆盖2/3所述银参比电极；所述敏感电极涂覆于离子固体电解质膜的表面，所述参比电极引线是粘接于银参比电极上金丝或铂丝，所述敏感电极引线是粘接于敏感电极上金丝或铂丝。该方法包括：步骤1，制备银参比电极；步骤2，制备离子固体电解质膜；步骤3，制备敏感电极；步骤4，制备传感器芯片；步骤5，封装。

Description

常温固体电解质CO2传感器及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种CO2传感器，具体的说，涉及了一种常温固体电解质CO2传感器及其制备方法。
背景技术
近年来，CO2 产生的温室效应日益严重，所以在能源燃烧以及空调、农业生产、汽车尾气排放等方面，对CO2浓度进行检测和控制越来越重要。目前，二氧化碳的检测方式主要有红外吸收型、电容型和固体电解质型。红外吸收型二氧化碳传感器测量范围宽、精度较高、寿命较长，但其价格较高，需要消耗较多的功耗，通常用于需要精确测量CO2浓度的工业和商用场所。BaTiO3系电容型传感器只能对体积分数1%以上的CO2有较高的反应，精度较差且需在高温下工作，市场上迄今未见到有此类产品出售。固体电解质二氧化碳传感器测量范围为100ppm至5%体积分数，正适合室内环境或其他封闭空间内CO2浓度检测，且其价格低廉，利于在室内空气质量监测、农业大棚等场所大批量推广，但现有技术目前仍然只有高温陶瓷系列固体电解质（如含Li、Na离子的β-Al2O3，含碱金属氧化物的铝硅酸盐，骨架结构的磷硅酸钠盐Na1+xZr2SixP3-xO12等）CO2传感器，其工作温度达300℃以上，功耗较大。
现有技术检测二氧化碳均需要在较高的工作温度200℃以上，即使采用当前成熟的MEMS工艺对传感器进行微型化，降低传感器总的功耗，但并不能降低传感器关键部件的工作温度，而传感器关键部件的高温状态将对微结构的可靠性和微结构上的电路带来不利影响。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足，从而提供了一种结构简单、响应时间短、灵敏度高、稳定性好、实用性强、使用寿命长、功耗小的常温固体电解质CO2传感器；本发明还提供了该传感器的制备方法。
为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种常温固体电解质CO2传感器的制备方法，该方法包括以下步骤：
步骤1 制备银参比电极
取银导体浆料，印刷至绝缘基片上，80—700℃烘干备用；
步骤2 制备离子固体电解质膜
将质量分数80%-95%低温离子导体材料、质量分数0.5%-5%的水溶性或醇溶性高分子、3%-10%的高纯水或乙醇充分混合均匀，调制成浆料，并将该浆料印刷到已制备银电极的绝缘基片上，先自然晾干30分钟-180分钟，再80—150℃烘干30—120分钟；
步骤3 制备敏感电极
采用40%-70%的热分解温度低于300℃的碳酸盐类，加入5%-60%与固体电解质膜相同的低温离子导体材料，按10%-60%的量掺入低温固化银导电胶，涂覆于离子固体电解质膜的表面，80—150℃固化30—120分钟；
步骤4 制备传感器芯片
用低温固化导电银胶将金丝或铂丝引线粘接于敏感电极和银参比电极上固化做为电极引线，其中，银参比电极用密封胶进行密封，再在80—150℃固化30—120分钟；
步骤5 封装
先在传感器芯片的背面涂覆胶粘剂，粘接于管座上，室温固化12—24小时，最后将电极引线点焊于管座的管针上。
基于上述，所述低温离子材料包括卤化银、有机银盐、磷酸银、AI-Ag2O-B2O3、AgI-Ag2O-P2O5、AgI-Ag2O-MO3、AgI-Ag2CrO4、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiCF3SO3、LiC4F9SO3、LaF3、YF3、SmF3的至少一种或多种混合物。
基于上述，所述水溶性或醇溶性高分子包括甲基纤维素、羧甲基纤维素、乙基纤维素、聚乙烯醇、聚乙二醇、聚氧化乙烯的至少一种或多种混合物。
一种常温固体电解质CO2传感器，包括CO2传感器芯片，所述CO2传感器芯片包括绝缘基板、银参比电极、固体电解质层、敏感电极、参比电极引线和敏感电极引线；所述银参比电极印制在所述绝缘基板上；所述固体电解质层是印制在所述绝缘基板上的离子固体电解质膜，所述固体电解质层覆盖2/3所述银参比电极；所述敏感电极涂覆于离子固体电解质膜的表面，所述参比电极引线是粘接于银参比电极上金丝或铂丝，所述敏感电极引线是粘接于敏感电极上金丝或铂丝。
基于上述，该CO2传感器还包括管座，所述CO2传感器芯片粘接于所述管座上，所述敏感电极引线和所述参比电极引线分别点焊于所述管座的管针上。
基于上述，所述离子固体电解质膜的材料包括卤化银、有机银盐、磷酸银、AI-Ag2O-B2O3、AgI-Ag2O-P2O5、AgI-Ag2O-MO3、AgI-Ag2CrO4、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiCF3SO3、LiC4F9SO3、LaF3、YF3、SmF3的至少一种或多种混合物。
本发明相对现有技术具有突出的实质性特点和显著进步，具体的说：
1、采用低温（0-100℃）离子电导率较高的盐类（优选锂盐和银盐）作为固体电解质层，解决了现有技术中高温固体电解质气体传感器的功耗问题，使其可以在无外加热的情况下进行正常的工作，输出可用的信号；
2、采用热分解温度不超过300℃的碳酸盐或碳酸氢盐做敏感材料，碳酸盐和一定分压的二氧化碳在室温附近会达到一个气固平衡状态，二氧化碳分压变化，碳酸盐中金属离子的浓度也发生相应的变化，其半电池电势随之变化，电势变化幅度和二氧化碳分压的对数呈线性关系。
附图说明
图1是所述常温固体电解质CO2传感器的俯视的结构示意图。
图2是所述常温固体电解质CO2传感器的侧视的结构示意图。
图3是本发明传感器性能测试的灵敏度特性图。
图4是本发明传感器性能测试的响应恢复曲线图。
图5是本发明传感器性能测试的零点灵敏度漂移图。
图6是本发明传感器性能测试的温度特性图。
图7是本发明传感器性能测试的湿度特性图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
如图1和图2所示，一种常温固体电解质CO2传感器，包括管座和CO2传感器芯片，所述CO2传感器芯片包括绝缘基板1、银参比电极2、固体电解质层3、敏感电极4、参比电极引线5和敏感电极引线6；所述银参比电极2印制在所述绝缘基板1上；所述固体电解质层3是印制在所述绝缘基板1上的离子固体电解质膜，所述固体电解质层3覆盖2/3所述银参比电极2；所述敏感电极4涂覆于离子固体电解质膜的表面，所述参比电极引线5是粘接于银参比电极2上金丝或铂丝，所述敏感电极引线6是粘接于敏感电极4上金丝或铂丝；所述CO2传感器芯片粘接于所述管座上，所述敏感电极引线和所述参比电极引线分别点焊于所述管座的管针上。
该常温固体电解质CO2传感器的制备方法包括以下步骤：
步骤1 制备银参比电极
取银导体浆料，印刷至绝缘基片上，80—700℃烘干备用；
步骤2 制备离子固体电解质膜
将质量分数80%-95%低温离子导体材料、质量分数0.5%-5%的水溶性或醇溶性高分子、3%-10%的高纯水或乙醇充分混合均匀，调制成浆料，并将该浆料印刷到已制备银电极的绝缘基片上，先自然晾干30分钟-180分钟，再80—150℃烘干30—120分钟；
步骤3 制备敏感电极
采用40%-70%的热分解温度低于300℃的碳酸盐类，加入5%-60%与固体电解质膜相同的低温离子导体材料，按10%-60%的量掺入低温固化银导电胶，涂覆于离子固体电解质膜的表面，80—150℃固化30—120分钟；
步骤4 制备传感器芯片
用低温固化导电银胶将金丝或铂丝引线粘接于敏感电极和银参比电极上固化做为电极引线，其中，银参比电极用密封胶进行密封，再在80—150℃固化30—120分钟；
步骤5 封装
先在传感器芯片的背面涂覆胶粘剂，粘接于管座上，室温固化12—24小时，最后将电极引线点焊于管座的管针上。
优选的，所述低温离子材料包括卤化银、有机银盐、磷酸银、AI-Ag2O-B2O3、AgI-Ag2O-P2O5、AgI-Ag2O-MO3、AgI-Ag2CrO4、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiCF3SO3、LiC4F9SO3、LaF3、YF3、SmF3的至少一种或多种混合物。
优选的，所述水溶性或醇溶性高分子包括甲基纤维素、羧甲基纤维素、乙基纤维素、聚乙烯醇、聚乙二醇、聚氧化乙烯的至少一种或多种混合物。
具体的，以银盐固体电解质为例：
1、 在氧化铝陶瓷基片上用高温银导体浆料印刷银参比电极，700℃烧结备用。
2、 将1克摩尔比4：1的氯化银、磷酸银加入到0.3克浓度为3.0%的乙基纤维素乙醇溶液中，调制成合适粘度的浆料，印刷到已制备银参比电极的氧化铝基片上（覆盖约2/3银参比电极），自然晾干，在80℃下烘干，制备银离子固体电解质膜。
3、 再将碳酸银、氯化银按质量比60%：40%的比例掺入低温固化银导电胶中，涂覆于银离子固体电解质膜的表面，按照所用导电胶技术要求进行固化，即制得敏感电极。
4、 再用低温固化银导电胶将铂丝引线粘接于敏感电极和银参比电极上固化，暴露于空气中的银参比电极用密封胶与空气隔绝，按照密封胶技术要求进行固化。
5 、在氧化铝基片背面涂一层环氧树脂胶，粘接于管座上，室温固化24小时，最后将引线点焊于管针上，封装测试。
银盐固体电解质制得的传感器的性能测试，如图3-7所示。
该CO2传感器组成：CO2,Air+Ag+Ag2CO3+AgCl‖AgCl+Ag3PO4‖Ag
敏感电极反应：Ag2CO3=2Ag++CO2+1/2O2+2e- （1）
银参比电极反应：2Ag++2e-=2Ag （2）
总反应：Ag2CO3=2Ag+CO2+1/2O2 （3）
传感器信号输出：E=(2∆G0 Ag+∆G0 CO2+1/2∆G0 O2-∆G0 Ag2CO3)/2F+(RT/2F)ln（PCO2/P)=E0+(RT/2F)ln（PCO2/P) （4）
注：在空气背景下，氧气浓度可认为是恒定值，因此可以将传感器信号输出公式简化为公式（4）。
采用低温（0-100℃）离子电导率较高的盐类（优选锂盐和银盐）做为固体电解质层，解决了现有技术中高温固体电解质气体传感器的功耗问题，使其可以在无外加热的情况下进行正常的工作，输出可用的信号；通过采用热分解温度不超过300℃的碳酸盐或碳酸氢盐做敏感材料，碳酸盐和一定分压的二氧化碳在室温附近会达到一个气固平衡状态，二氧化碳分压变化，碳酸盐中金属离子的浓度也发生相应的变化，其半电池电势随之变化，电势变化幅度和二氧化碳分压的对数呈线性关系。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本发明技术方案的精神，其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。

Claims (6)

1.一种常温固体电解质CO2传感器的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤1 制备银参比电极
取银导体浆料，印刷至绝缘基片上，80—700℃烘干备用；
步骤2 制备离子固体电解质膜
将质量分数80%-95%低温离子导体材料、质量分数0.5%-5%的水溶性或醇溶性高分子、3%-10%的高纯水或乙醇充分混合均匀，调制成浆料，并将该浆料印刷到已制备银电极的绝缘基片上，先自然晾干30分钟-180分钟，再80—150℃烘干30—120分钟；
步骤3 制备敏感电极
采用40%-70%的热分解温度低于300℃的碳酸盐类，加入5%-60%与固体电解质膜相同的低温离子导体材料，按10%-60%的量掺入低温固化银导电胶，涂覆于离子固体电解质膜的表面，80—150℃固化30—120分钟；
步骤4 制备传感器芯片
用低温固化导电银胶将金丝或铂丝引线粘接于敏感电极和银参比电极上固化做为电极引线，其中，银参比电极用密封胶进行密封，再在80—150℃固化30—120分钟；
步骤5 封装
先在传感器芯片的背面涂覆胶粘剂，粘接于管座上，室温固化12—24小时，最后将电极引线点焊于管座的管针上。
2.根据权利要求1所述的常温固体电解质CO2传感器的制备方法，其特征在于：所述低温离子材料包括卤化银、有机银盐、磷酸银、AI-Ag2O-B2O3、AgI-Ag2O-P2O5、AgI-Ag2O-MO3、AgI-Ag2CrO4、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiCF3SO3、LiC4F9SO3、LaF3、YF3、SmF3的至少一种或多种混合物。
3.根据权利要求1所述的常温固体电解质CO2传感器的制备方法，其特征在于：所述水溶性或醇溶性高分子包括甲基纤维素、羧甲基纤维素、乙基纤维素、聚乙烯醇、聚乙二醇、聚氧化乙烯的至少一种或多种混合物。
4.一种由权利要求1所述方法制成的常温固体电解质CO2传感器，包括CO2传感器芯片，其特征在于： 所述CO2传感器芯片包括绝缘基板、银参比电极、固体电解质层、敏感电极、参比电极引线和敏感电极引线；所述银参比电极印制在所述绝缘基板上；所述固体电解质层是印制在所述绝缘基板上的离子固体电解质膜，所述固体电解质层覆盖2/3所述银参比电极；所述敏感电极涂覆于离子固体电解质膜的表面，所述参比电极引线是粘接于银参比电极上金丝或铂丝，所述敏感电极引线是粘接于敏感电极上金丝或铂丝。
5.根据权利要求4所述的常温固体电解质CO2传感器，其特征在于：该CO2传感器还包括管座，所述CO2传感器芯片粘接于所述管座上，所述敏感电极引线和所述参比电极引线分别点焊于所述管座的管针上。
6.根据权利要求5所述的常温固体电解质CO2传感器，其特征在于：所述离子固体电解质膜的材料包括卤化银、有机银盐、磷酸银、AI-Ag2O-B2O3、AgI-Ag2O-P2O5、AgI-Ag2O-MO3、AgI-Ag2CrO4、LiBF4、LiClO4、LiPF6、LiCF3SO3、LiC4F9SO3、LaF3、YF3、SmF3的至少一种或多种混合物。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107561141A (zh) * 2017-09-20 2018-01-09 郑州炜盛电子科技有限公司 基于钠超离子导体层的固体电解质氧传感器及其制备方法
CN108562630A (zh) * 2018-06-11 2018-09-21 遵义师范学院 一种水热体系中二氧化碳原位测量装置及制作方法
CN108828329A (zh) * 2018-04-27 2018-11-16 中国科学院地质与地球物理研究所 一种海洋电场测量传感器及其制备方法
CN111157601A (zh) * 2020-01-15 2020-05-15 吉林大学 一种基于K2Fe4O7电解质的室温高湿度硫化氢气体传感器、制备方法及其应用
CN113588738A (zh) * 2021-07-29 2021-11-02 深圳宇问加壹传感系统有限公司 超薄全固态甲醛电化学气体传感器
CN115950941A (zh) * 2023-03-13 2023-04-11 华北理工大学 锂离子导体固体电解质型低温传感器及其制备方法与应用

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1895295A3 (en) * 2006-09-01 2010-01-20 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Gas sensor and method of manufacturing the same
CN203069550U (zh) * 2013-01-31 2013-07-17 广东卓耐普智能技术股份有限公司 一种固体电解质co2气体传感器
CN104950028A (zh) * 2015-06-16 2015-09-30 宁波大学 一种锆基安培型三电极片式no气敏传感器及其制备方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107561141A (zh) * 2017-09-20 2018-01-09 郑州炜盛电子科技有限公司 基于钠超离子导体层的固体电解质氧传感器及其制备方法
CN108828329A (zh) * 2018-04-27 2018-11-16 中国科学院地质与地球物理研究所 一种海洋电场测量传感器及其制备方法
CN108562630A (zh) * 2018-06-11 2018-09-21 遵义师范学院 一种水热体系中二氧化碳原位测量装置及制作方法
CN111157601A (zh) * 2020-01-15 2020-05-15 吉林大学 一种基于K2Fe4O7电解质的室温高湿度硫化氢气体传感器、制备方法及其应用
CN113588738A (zh) * 2021-07-29 2021-11-02 深圳宇问加壹传感系统有限公司 超薄全固态甲醛电化学气体传感器
CN115950941A (zh) * 2023-03-13 2023-04-11 华北理工大学 锂离子导体固体电解质型低温传感器及其制备方法与应用

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