CN106019770B - Tdi图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置 - Google Patents
Tdi图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置 Download PDFInfo
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Abstract
本发明公开了一种TDI图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置,属于电子技术领域。所述方法包括:在TDI图像传感器运行时,获取TDI图像传感器当前的温度;根据当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距;将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距。所述装置包括:获取模块、第一确定模块、调整模块、TDI图像传感器、TDI图像传感器的焦距控制装置。本发明通过获取到的TDI图像传感器当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距,并将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距,在温度变化时,可实现镜头焦距的实时调节,保证焦距的准确性,从而提高扫描得到的灰阶图的清晰度,提高设备检出率。
Description
技术领域
本发明涉及电子技术领域,特别涉及一种TDI图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置。
背景技术
随着显示面板行业的兴起,人们对图像显示的视觉要求越来越高,相应的,需要作出更好的产品来满足人们的需求,而做出越好的产品对检测设备的要求就越高。因此,提高检测设备的检出能力也是提高产品良率的方式之一。
自动光学检测(英文:Automatic Optic Inspection;简称:AOI)装置是一种光学图形画面的检测设备,用于检测薄膜晶体管-液晶显示器(英文:Thin Film TransistorLiquid Crystal Display;简称:TFT-LCD)等显示设备的玻璃面板等表面的缺陷(英文:defect)。示例的,AOI装置可以首先通过时间延迟积分(英文:Time Delay Integration;简称:TDI)图像传感器对玻璃面板表面进行扫描,根据得到的灰阶图,判断不良点的位置。然后利用回顾相机(英文:Review Camera)对不良点拍照。
但是,实际应用中,温度的变化对光学系统参数有较大影响,在TDI图像传感器的温度变化较大时,其镜头的焦距会受到较大影响,扫描得到的灰阶图比较模糊,从而影响设备的检出率。
发明内容
为了解决TDI图像传感器的镜头焦距受温度影响,从而影响设备检出率的问题,本发明实施例提供了一种TDI图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置。所述技术方案如下:
第一方面,提供了一种TDI图像传感器的焦距控制方法,所述方法包括:
在时间延迟积分TDI图像传感器运行时,获取所述TDI图像传感器当前的温度;
根据所述当前的温度以及目标焦距计算函数确定所述目标焦距,所述目标焦距计算函数是预先确定的反映当前光学检测周期中温度与焦距对应关系的函数,所述目标焦距计算函数中,焦距为因变量,温度为自变量;
将所述TDI图像传感器的镜头的焦距调整至所述目标焦距。
可选的,在所述获取所述TDI图像传感器当前的温度之前,所述方法还包括:
在所述TDI图像传感器为常温时,采集当前光学检测周期中,所述TDI图像传感器的待分析数据,所述待分析数据包括至少两组温度与焦距对应的数据,任意两组所述数据中记录的温度值不同;
将所述待分析数据分别使用一次函数和二次函数进行拟合处理得到一次焦距计算函数和二次焦距计算函数;
根据所述一次焦距计算函数和所述二次焦距计算函数确定所述二次焦距计算函数的线性度;
当所述二次焦距计算函数的线性度大于预设线性度阈值,将所述二次焦距计算函数确定为所述目标焦距计算函数;
当所述二次焦距计算函数的线性度小于或等于预设线性度阈值,将所述一次焦距计算函数确定为所述目标焦距计算函数。
可选的,所述两个焦距计算函数为一次函数F1和二次函数F2,所述根据所述一次焦距计算函数和所述二次焦距计算函数确定所述二次焦距计算函数的线性度,包括:
获取差值函数G,所述G满足:G=F2-F1;
确定所述差值函数G的绝对值最大值M;
计算所述镜头的满量程最大值A,所述A为所述待分析数据中记录的焦距的最大值与最小值之差;
根据线性度公式确定所述根据拟合结果确定每组所述焦距计算函数的线性度,所述线性度公式为:
P2=M/A*100%;
其中,P2为所述二次焦距计算函数的线性度。
可选的,所述在所述TDI图像传感器为常温时,采集所述TDI图像传感器的待分析数据,包括:
当所述TDI图像传感器处于运行状态时,停止所述TDI图像传感器的运行直至所述TDI图像传感器冷却至常温,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据;
当所述TDI图像传感器处于故障状态、停机状态、事后维修状态或预防性维护状态时,在检测到所述TDI图像传感器能够再次正常运行且所述TDI图像传感器为常温时,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据。
可选的,所述采集所述TDI图像传感器的待分析数据,包括:
按照升序依次采集n个不同温度时,所述TDI图像传感器的焦距得到所述TDI图像传感器的待分析数据,其中,所述n个不同温度中,每两个相邻的温度差值为预设温度差,且所述n个不同温度中包括大于或等于常温的温度。
第二方面,提供了一种TDI图像传感器的焦距控制装置,所述装置包括:
获取模块,用于在TDI图像传感器运行时,获取所述TDI图像传感器当前的温度;
第一确定模块,用于根据所述当前的温度以及目标焦距计算函数确定所述目标焦距,所述目标焦距计算函数是预先确定的反映当前光学检测周期中温度与焦距对应关系的函数,所述目标焦距计算函数中,焦距为因变量,温度为自变量;
调整模块,用于将所述TDI图像传感器的镜头的焦距调整至所述目标焦距。
可选的,所述装置还包括:
采集模块,用于在所述TDI图像传感器为常温时,采集当前光学检测周期中,所述TDI图像传感器的待分析数据,所述待分析数据包括至少两组温度与焦距对应的数据,任意两组所述数据中记录的温度值不同;
拟合模块,用于将所述待分析数据分别使用一次函数和二次函数进行拟合处理得到一次焦距计算函数和二次焦距计算函数;
第二确定模块,用于根据所述一次焦距计算函数和所述二次焦距计算函数确定所述二次焦距计算函数的线性度;
所述第二确定模块,还用于当所述二次焦距计算函数的线性度大于预设线性度阈值,将所述二次焦距计算函数确定为所述目标焦距计算函数;
所述第二确定模块,还用于当所述二次焦距计算函数的线性度小于或等于预设线性度阈值,将所述一次焦距计算函数确定为所述目标焦距计算函数。
可选的,所述第二确定模块,用于:
获取差值函数G,所述G满足:G=F2-F1;
确定所述差值函数G的绝对值最大值M;
计算所述镜头的满量程最大值A,所述A为所述待分析数据中记录的焦距的最大值与最小值之差;
根据线性度公式确定所述根据拟合结果确定每组所述焦距计算函数的线性度,所述线性度公式为:
P2=M/A*100%;
其中,P2所述二次焦距计算函数的线性度。
可选的,所述采集模块,用于:
当所述TDI图像传感器处于运行状态时,停止所述TDI图像传感器的运行直至所述TDI图像传感器冷却至常温,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据;
当所述TDI图像传感器处于故障状态、停机状态、事后维修状态或预防性维护状态时,在检测到所述TDI图像传感器能够再次正常运行且所述TDI图像传感器为常温时,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据。
可选的,所述采集模块,用于:
按照升序依次采集n个不同温度时,所述TDI图像传感器的焦距得到所述TDI图像传感器的待分析数据,其中,所述n个不同温度中,每两个相邻的温度差值为预设温度差,且所述n个不同温度中包括大于或等于常温的温度。
第三方面,提供了一种自动光学检测装置,所述装置包括:
TDI图像传感器,和所述TDI图像传感器的焦距控制装置。
本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是:
通过获取到的TDI图像传感器当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距,并将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距,在温度变化时,可实现镜头焦距的实时调节,保证焦距的准确性,从而提高扫描得到的灰阶图的清晰度,提高设备检出率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对发明实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些发明实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明一示意性实施例提供的第一种TDI图像传感器的焦距控制方法流程图;
图2是本发明一示例性实施例提供的第二种TDI图像传感器的焦距控制方法流程图;
图3是本发明一示意性实施例提供的第三种TDI图像传感器的焦距控制方法流程图;
图4是本发明一示意性实施例提供的一次函数拟合曲线图;
图5是本发明一示意性实施例提供的二次函数拟合曲线图;
图6是本发明一示意性实施例提供的TDI图像传感器的镜头焦距调整过程示意图;
图7是本发明一示意性实施例提供的放大器电路示意图;
图8是本发明一示意性实施例提供的带有显示器的模拟转数字(英文:Analog/Digital;简称:A/D)转换器电路示意图;
图9是本发明一示意性实施例提供的TDI图像传感器的焦距控制装置结构示意图;
图10是本发明一示意性实施例提供的另一种TDI图像传感器的焦距控制装置结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
本发明实施例提供一种TDI图像传感器的焦距控制方法,如图1所示,包括:
步骤101、在TDI图像传感器运行时,获取TDI图像传感器当前的温度。
步骤102、根据当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距。
本发明实施例中的目标焦距计算函数是预先确定的反映当前光学检测周期中温度与焦距对应关系的函数,目标焦距计算函数中,焦距为因变量,温度为自变量。
步骤103、将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距。
综上所述,本发明实施例提供的TDI图像传感器的焦距控制方法,通过获取到的TDI图像传感器当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距,并将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距,在温度变化时,可实现镜头焦距的实时调节,保证焦距的准确性,从而提高扫描得到的灰阶图的清晰度,提高设备检出率。
本发明实施例提供另一种TDI图像传感器的焦距控制方法,如图2所示,包括:
步骤201、根据采集的待分析数据,确定目标焦距计算函数。
具体的,如图3所示,步骤201包括:
步骤2011、在TDI图像传感器为常温时,采集当前光学检测周期中,TDI图像传感器的待分析数据,待分析数据包括至少两组温度与焦距对应的数据,且任意两组数据记录的温度值不同。
本发明实施例中,光学检测周期可以为固定的周期,例如该周期可以为半年,光学检测周期也可以为变化的周期,如设备出现故障或者进行维护重新启动,可以认为是开始了新的光学检测周期,此时需要重新采集TDI图像传感器的待分析数据。例如,当TDI图像传感器在当前光学检测周期的第三个月时出现了故障,工作人员对设备进行维修之后重新启动,这个时候就认为是开始了新的光学检测周期,新的光学检测周期的开始时间即为设备重新启动的时间。
示例的,采集当前光学检测周期中,TDI图像传感器的待分析数据的具体过程为:
步骤A1、当TDI图像传感器处于运行状态时,停止TDI图像传感器的运行直至TDI图像传感器冷却至常温,运行TDI图像传感器,并采集TDI图像传感器的待分析数据。
需要说明的是,本发明实施例中常温是根据TDI图像传感器所在区域的通常温度预先确定的,示例的,常温可以为26.3℃(摄氏度)。本发明实施例对TDI图像传感器冷却至常温所用具体时间不做限定,示例的,在实际操作过程中,所用冷却时间为3小时。
步骤A2、当TDI图像传感器处于故障状态、停机状态、事后维修状态(英文:Breakdown Maintenance;简称:BM)或预防性维护(英文:Preventative Maintenance;简称:PM)状态时,在检测到TDI图像传感器能够再次正常运行且TDI图像传感器为常温时,运行TDI图像传感器,并采集TDI图像传感器的待分析数据。
本发明实施例中TDI图像传感器的运行状态指的是:TDI图像传感器正常运行,并且能够有效的实现其功能的状态;TDI图像传感器的故障状态指的是:TDI图像传感器出现故障,性能降低不能正常运行的状态;TDI图像传感器的停机状态指的是:TDI图像传感器处于停止运行的状态;TDI图像传感器的BM状态指的是:当TDI图像传感器出现故障时,采取的非计划性维修;TDI图像传感器的PM状态指的是:在TDI图像传感器出现故障之前,进行的维护保养。
在步骤A1和A2中,在采集待分析数据时,可以按照升序依次采集n个不同温度时,TDI图像传感器的焦距得到TDI图像传感器的待分析数据,其中,n个不同温度中,每两个相邻的温度差值为预设温度差,且n个不同温度中包括大于或等于常温的温度。
本发明实施例对预设温度差不做具体限定,例如,可以将预设温度差设置为1℃,也可以将预设温度差设置为2℃。
以在常温为26.3℃,所设置预设温度差为1℃,TDI图像传感器处于运行状态时进行待分析数据采集为例,可以先将TDI图像传感器冷却3小时直至完全冷却至常温,对于具体的预设冷却时间不做限定,在实际操作过程中,所用冷却时间为3小时。之后逐渐升温,温度每增加1℃,记录下该温度时对应的TDI图像传感器的焦距,得到表1,如表1所示,示例的,检测得到的数据中,TDI图像传感器的最低温度为26.3℃,对应的焦距(英文:Focus)为8.14μm,最高温度为32.3℃,对应的焦距为7.85μm。
表1
温度T(℃) | 26.3 | 27.3 | 28.3 | 29.3 | 30.3 | 31.3 | 32.3 |
焦距(μm) | 8.14 | 8.08 | 8.02 | 7.99 | 7.9 | 7.84 | 7.85 |
需要说明的是,对于待分析数据采集方式本发明实施例只是示意性说明,本发明实施例对此不做限定。
步骤2012、将待分析数据分别使用一次函数和二次函数进行拟合处理得到一次焦距计算函数和二次焦距计算函数。
实际应用中,两个焦距计算函数可以为一次函数F1和二次函数F2。
本发明实施例中对于具体的拟合处理方法不做具体限定,例如,可以将采集到的TDI图像传感器的待分析数据使用Minitab软件分别进行一次函数拟合和二次函数拟合,分别得到一次焦距计算函数和二次焦距计算函数。其中,Minitab软件是一款统计软件,主要包括的功能有:基本统计,数据的数理统计分析;质量分析,测量工具的偏差分析、过程能力分析、假设检验、回归分析以及各种图形分析等。
以表1中所示数据为例,使用Minitab软件进行拟合处理,使用一次函数进行拟合处理后得到一次焦距计算函数F1,F1满足:F1=9.513-0.0525T,具体的参见图4,图4为F1对应的一次拟合曲线图,其中横轴C1代表自变量温度,纵轴C2代表因变量焦距,图4右上角中的参数是函数拟合时,为了表征曲线拟合程度的参数,其中,S表示优度,是表示曲线拟合程度的参数,优度S的值越小说明拟合程度越好,R-Sq是回归模型误差占总误差的百分比,它的取值在0%和100%之间,数值越大,表明回归模型与数据吻合得越好,R-Sq(调整)的取值也在0%和100%之间,R-Sq(调整)与R-Sq的值越接近,表明回归模型越可靠。若R-Sq(调整)的值大于75%,表示可以谨慎使用,若R-Sq(调整)的值大于85%,表示两者关系显著,可以放心使用;使用二次函数进行拟合处理得到二次焦距计算函数F2,F2满足:F2=11.85-0.213T+0.002738T2,具体的参见图5,图5为F2对应的二次拟合曲线图,其中横轴C1代表自变量温度,纵轴C2代表因变量焦距,图5右上角中的参数是函数拟合时,为了表征曲线拟合程度的参数,其中,S表示优度,是表示曲线拟合程度的参数,优度S的值越小说明拟合程度越好,R-Sq是回归模型误差占总误差的百分比,它的取值在0%和100%之间,数值越大,表明回归模型与数据吻合得越好,R-Sq(调整)的取值也在0%和100%之间,R-Sq(调整)与R-Sq的值越接近,表明回归模型越可靠。若R-Sq(调整)的值大于75%,表示可以谨慎使用,若R-Sq(调整)的值大于85%,表示两者关系显著,可以放心使用。
步骤2013、根据一次焦距计算函数和二次焦距计算函数确定二次焦距计算函数的线性度。
示例的,根据一次焦距计算函数和二次焦距计算函数确定二次焦距计算函数的线性度的过程可以包括:
步骤B1、获取差值函数G,G满足:G=F2-F1,确定差值函数G的绝对值最大值M。
如上所述,本发明实施例中差值函数G的绝对值最大值M满足公式:M=max|F2-F1|。
步骤B2、计算镜头的满量程最大值A,A为待分析数据中记录的焦距最大值Fmax与最小值Fmin之差。
如上所述,本发明实施例中镜头的满量程最大值A满足公式:A=Fmax-Fmin。
步骤B3、根据线性度公式确定根据拟合结果确定每组焦距计算函数的线性度,线性度公式为:
P2=M/A*100%;
其中P2为二次焦距计算函数的线性度。
以步骤2012中示例的具体一次焦距计算函数F1和二次焦距计算函数F2为例,差值函数G=F2-F1=0.002738T2-0.1605T+2.337,差值函数G的最大值M=0.0151。TDI镜头的满量程最大值A=8.14-7.84=0.3,二次焦距计算函数的线性度P2=M/A*100%=0.0151/0.3*100%=5.03%。
步骤202、当二次焦距计算函数的线性度大于预设线性度阈值,将二次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数。
步骤203、当二次焦距计算函数的线性度小于或等于预设线性度阈值,将一次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数。
本发明实施例中对于预设线性度阈值的具体值不做限定,例如,可以选择1%作为预设线性度阈值,也可以选择2%作为预设线性度阈值。当选择2%为预设线性度阈值时,如果二次焦距计算函数的线性度大于2%,将二次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数;如果二次焦距计算函数的线性度小于或等于2%时,将一次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数。由于步骤B3中计算所得二次焦距计算函数的线性度P2=5.03%大于预设线性度阈值2%,因此将二次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数。
步骤204、在TDI图像传感器运行时,获取TDI图像传感器当前的温度。
本发明实施例中,对于具体的获取TDI图像传感器当前的温度的方式不做限定,可以参考现有技术来实现。比如,可以在TDI图像传感器的镜头上安装温度传感器,通过温度传感器来获取TDI图像传感器当前的温度。对于具体的温度传感器安装方法以及温度传感器的类型,本发明实施例不做限定。
步骤205、根据当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距。
本发明实施例中目标焦距计算函数是预先确定的反映当前光学检测周期中温度与焦距对应关系的函数,目标焦距计算函数中,焦距为因变量,温度为自变量。即焦距和温度之间满足:F=f(T),其中F代表焦距,T代表温度。
步骤206、将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距。
实际应用中,TDI图像传感器的镜头焦距调整装置可以包括:TDI镜头、温度传感器、输入/输出(英文:Input/Output;简称:I/O)模块、带有显示器的A/D转换器、主机、电机。其中,主机包括:数据录入模块、数据拟合模块、软件控制模块;数据录入模块将工程师收集数据进行数据录入,数据拟合模块对录入的数据进行数据拟合,之后主机中相应的软件对拟合之后的数据进行控制。带有显示器的A/D转换器包括显示器部分和A/D转换部分,A/D转换器将温度传感器采集到的温度信号进行模拟信号到数字信号的转换,并通过显示器实现温度显示。
示例的,如图6所示,本发明实施例中TDI图像传感器的镜头的焦距调整过程为:通过TDI图像传感器的镜头上安装的温度传感器获取当前的温度,将获取到的当前温度信号使用放大器进行放大,其中放大器的内部电路参见图7。然后经过带有显示器的A/D转换器将模拟信号转化为数字信号,并通过A/D转换器上的显示屏显示TDI图像传感器的当前温度,其中带有显示器的A/D转换器的内部电路参见图8。同时通过I/O设备将TDI图像传感器的当前温度上传到主机上。主机通过分析上传的TDI图像传感器的当前温度,依据数据库中的目标焦距计算函数计算出目标焦距,同时控制TDI图像传感器镜头上的直流电机将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距。
步骤207、采用TDI图像传感器对玻璃面板表面进行扫描,根据得到的灰阶图,判断不良点的位置。
本发明实施例中的玻璃面板指的是TFT-LCD等显示设备的玻璃面板,AOI装置首先通过TDI图像传感器对玻璃面板表面进行扫描,然后将扫描得到的灰阶图进行对比,判断不良点的位置。
综上所述,本发明实施例提供的TDI图像传感器的焦距控制方法,通过获取到的TDI图像传感器当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距,并将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距,在温度变化时,可实现镜头焦距的实时调节,保证焦距的准确性,从而提高扫描得到的灰阶图的清晰度,提高设备检出率。
本发明实施例提供一种TDI图像传感器的焦距控制装置30,如图9所示,所述装置包括:
获取模块301,用于在TDI图像传感器运行时,获取TDI图像传感器当前的温度;
第一确定模块302,用于根据当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距,目标焦距计算函数是预先确定的反映当前光学检测周期中温度与焦距对应关系的函数,目标焦距计算函数中,焦距为因变量,温度为自变量;
调整模块303,用于将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距。
如图10所示,TDI图像传感器的焦距控制装置30还包括:
采集模块304,用于在TDI图像传感器为常温时,采集当前光学检测周期中,TDI图像传感器的待分析数据,待分析数据包括至少两组温度与焦距对应的数据,任意两组数据中记录的温度值不同;
拟合模块305,用于将待分析数据分别使用一次函数和二次函数进行拟合处理得到一次焦距计算函数和二次焦距计算函数;
第二确定模块306,用于根据一次焦距计算函数和二次焦距计算函数确定二次焦距计算函数的线性度;
第二确定模块306,还用于当二次焦距计算函数的线性度大于预设线性度阈值,将二次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数;
第二确定模块306,还用于当二次焦距计算函数的线性度小于或等于预设线性度阈值,将一次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数。
可选的,第二确定模块306,用于:
获取差值函数G,G满足:G=F2-F1;
确定差值函数G的绝对值最大值M;
计算镜头的满量程最大值A,A为待分析数据中记录的焦距的最大值与最小值之差;
根据线性度公式确定根据拟合结果确定每组焦距计算函数的线性度,线性度公式为:
P2=M/A*100%;
其中,P2为二次焦距计算函数的线性度。
可选的,采集模块304,用于:
当TDI图像传感器处于运行状态时,停止TDI图像传感器的运行直至TDI图像传感器冷却至常温,运行TDI图像传感器,并采集TDI图像传感器的待分析数据;
当TDI图像传感器处于故障状态或停机状态时,在检测到TDI图像传感器能够再次正常运行且TDI图像传感器为常温时,运行TDI图像传感器,并采集TDI图像传感器的待分析数据。
可选的,采集模块304,用于:
按照升序依次采集n个不同温度时,TDI图像传感器的焦距得到TDI图像传感器的待分析数据,其中,n个不同温度中,每两个相邻的温度差值为预设温度差,且n个不同温度中包括大于或等于常温的温度。
综上所述,本发明实施例提供的TDI图像传感器的焦距控制装置,通过获取到的TDI图像传感器当前的温度以及目标焦距计算函数确定目标焦距,并将TDI图像传感器的镜头的焦距调整至目标焦距,在温度变化时,可实现镜头焦距的实时调节,保证焦距的准确性,从而提高扫描得到的灰阶图的清晰度,提高设备检出率。
本发明实施例提供一种自动光学检测装置,所述装置包括:TDI图像传感器,和TDI图像传感器的焦距控制装置30,该焦距控制装置为本发明实施例提供的任一TDI图像传感器的焦距控制装置30。
需要说明的是:上述发明实施例提供的TDI图像传感器的焦距控制装置在进行焦距控制时,仅以上述各功能模块的划分进行举例说明,实际应用中,可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能模块完成,即将装置的内部结构划分成不同的功能模块,以完成以上描述的全部或者部分功能。
以上所述仅为本发明的较佳发明实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种TDI图像传感器的焦距控制方法,其特征在于,所述方法包括:
在时间延迟积分TDI图像传感器为常温时,采集当前光学检测周期中,所述TDI图像传感器的待分析数据,所述待分析数据包括至少两组温度与焦距对应的数据,任意两组所述数据中记录的温度值不同;
将所述待分析数据分别使用一次函数和二次函数进行拟合处理得到一次焦距计算函数和二次焦距计算函数;
根据所述一次焦距计算函数和所述二次焦距计算函数确定所述二次焦距计算函数的线性度;
当所述二次焦距计算函数的线性度大于预设线性度阈值,将所述二次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数;
当所述二次焦距计算函数的线性度小于或等于预设线性度阈值,将所述一次焦距计算函数确定为所述目标焦距计算函数;
在所述TDI图像传感器运行时,获取所述TDI图像传感器当前的温度;
根据所述当前的温度以及所述目标焦距计算函数确定所述目标焦距,所述目标焦距计算函数是预先确定的反映当前光学检测周期中温度与焦距对应关系的函数,所述目标焦距计算函数中,焦距为因变量,温度为自变量;
将所述TDI图像传感器的镜头的焦距调整至所述目标焦距。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述一次焦距计算函数和所述二次焦距计算函数分别为为一次函数F1和二次函数F2,所述根据所述一次焦距计算函数和所述二次焦距计算函数确定所述二次焦距计算函数的线性度,包括:
获取差值函数G,所述G满足:G=F2-F1;
确定所述差值函数G的绝对值最大值M;
计算所述镜头的满量程最大值A,所述A为所述待分析数据中记录的焦距的最大值与最小值之差;
根据线性度公式确定所述根据拟合结果确定每组所述焦距计算函数的线性度,所述线性度公式为:
P2=M/A*100%;
其中,P2为所述二次焦距计算函数的线性度。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在所述TDI图像传感器为常温时,采集所述TDI图像传感器的待分析数据,包括:
当所述TDI图像传感器处于运行状态时,停止所述TDI图像传感器的运行直至所述TDI图像传感器冷却至常温,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据;
当所述TDI图像传感器处于故障状态、停机状态、事后维修状态或预防性维护状态时,在检测到所述TDI图像传感器能够再次正常运行且所述TDI图像传感器为常温时,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据。
4.根据权利要求1或3所述的方法,其特征在于,所述采集所述TDI图像传感器的待分析数据,包括:
按照升序依次采集n个不同温度时,所述TDI图像传感器的焦距得到所述TDI图像传感器的待分析数据,其中,所述n个不同温度中,每两个相邻的温度差值为预设温度差,且所述n个不同温度中包括大于或等于常温的温度。
5.一种TDI图像传感器的焦距控制装置,其特征在于,所述装置包括:
采集模块,用于在TDI图像传感器为常温时,采集当前光学检测周期中,所述TDI图像传感器的待分析数据,所述待分析数据包括至少两组温度与焦距对应的数据,任意两组所述数据中记录的温度值不同;
拟合模块,用于将所述待分析数据分别使用一次函数和二次函数进行拟合处理得到一次焦距计算函数和二次焦距计算函数;
第二确定模块,用于根据所述一次焦距计算函数和所述二次焦距计算函数确定所述二次焦距计算函数的线性度;
所述第二确定模块,还用于当所述二次焦距计算函数的线性度大于预设线性度阈值,将所述二次焦距计算函数确定为目标焦距计算函数;
所述第二确定模块,还用于当所述二次焦距计算函数的线性度小于或等于预设线性度阈值,将所述一次焦距计算函数确定为所述目标焦距计算函数;
获取模块,用于在所述TDI图像传感器运行时,获取所述TDI图像传感器当前的温度;
第一确定模块,用于根据所述当前的温度以及所述目标焦距计算函数确定所述目标焦距,所述目标焦距计算函数是预先确定的反映当前光学检测周期中温度与焦距对应关系的函数,所述目标焦距计算函数中,焦距为因变量,温度为自变量;
调整模块,用于将所述TDI图像传感器的镜头的焦距调整至所述目标焦距。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述第二确定模块,用于:
获取差值函数G,所述G满足:G=F2-F1;
确定所述差值函数G的绝对值最大值M;
计算所述镜头的满量程最大值A,所述A为所述待分析数据中记录的焦距的最大值与最小值之差;
根据线性度公式确定所述根据拟合结果确定每组所述焦距计算函数的线性度,所述线性度公式为:
P2=M/A*100%;
其中,P2为所述二次焦距计算函数的线性度。
7.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述采集模块,用于:
当所述TDI图像传感器处于运行状态时,停止所述TDI图像传感器的运行直至所述TDI图像传感器冷却至常温,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据;
当所述TDI图像传感器处于故障状态、停机状态、事后维修状态或预防性维护状态时,在检测到所述TDI图像传感器能够再次正常运行且所述TDI图像传感器为常温时,运行所述TDI图像传感器,并采集所述TDI图像传感器的待分析数据。
8.根据权利要求5或7所述的装置,其特征在于,所述采集模块,用于:
按照升序依次采集n个不同温度时,所述TDI图像传感器的焦距得到所述TDI图像传感器的待分析数据,其中,所述n个不同温度中,每两个相邻的温度差值为预设温度差,且所述n个不同温度中包括大于或等于常温的温度。
9.一种自动光学检测装置,其特征在于,所述自动光学检测装置包括:TDI图像传感器,和权利要求5至8任一所述的TDI图像传感器的焦距控制装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610617753.6A CN106019770B (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | Tdi图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610617753.6A CN106019770B (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | Tdi图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106019770A CN106019770A (zh) | 2016-10-12 |
CN106019770B true CN106019770B (zh) | 2018-09-04 |
Family
ID=57115201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610617753.6A Active CN106019770B (zh) | 2016-07-29 | 2016-07-29 | Tdi图像传感器的焦距控制方法、装置及自动光学检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106019770B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108181005B (zh) * | 2017-11-17 | 2020-09-08 | 天津津航技术物理研究所 | 一种用于tdi ccd探测器焦面调试的方法及系统 |
CN109889722B (zh) * | 2019-01-04 | 2021-01-26 | 信利光电股份有限公司 | 一种摄像头的高低温拍摄方法、装置及摄像头 |
CN110346046B (zh) * | 2019-07-15 | 2020-11-06 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种昼夜恒星辐射计自动调焦方法及辐射计系统 |
CN110702685A (zh) * | 2019-09-24 | 2020-01-17 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 显示面板的缺陷检测方法及缺陷检测系统 |
CN112327447A (zh) * | 2020-11-24 | 2021-02-05 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于傅里叶级数模型的温度—焦距调焦方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5663563A (en) * | 1996-02-20 | 1997-09-02 | Hughes Electronics | Electronic effective focal length compensator |
JP2006217131A (ja) * | 2005-02-02 | 2006-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 撮像装置 |
US7911526B2 (en) * | 2006-03-13 | 2011-03-22 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Automatic focusing apparatus and optical device |
JP4750626B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2011-08-17 | シチズンホールディングス株式会社 | 自動合焦点装置 |
WO2008001891A1 (fr) * | 2006-06-30 | 2008-01-03 | Hitachi High-Technologies Corporation | Dispositif d'inspection et procédé d'inspection |
-
2016
- 2016-07-29 CN CN201610617753.6A patent/CN106019770B/zh active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN106019770A (zh) | 2016-10-12 |
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---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |