CN106019552B - 消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000009471 action Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 239000013589 supplement Substances 0.000 abstract 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000012857 repacking Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/26—Stages; Adjusting means therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
本发明提出一种消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置。该显微镜辅助装置包括底座、旋转基体、旋转驱动机构和置物台以及置物台支架；所述底座的上表面开设有凹槽以及横穿凹槽的转轴，旋转基体通过转轴安装于所述凹槽内，能够在旋转驱动机构的作用下相对于凹槽自由转动；所述旋转基体在转轴所在的位置开设有缺口，在该缺口形成的内凹表面通过水平调节组件固定安装置物台支架，所述置物台通过竖直调节组件与置物台支架安装连接；所述置物台的上表面设置有用于安放固定被观测物体的机构。该装置只需要添加在显微镜载物台表面，通过操作该装置，即可实现对被测物体全方位观察，消除被测物体表面的盲点，补足被测物体的全方位信息。
Description
技术领域
本发明涉及一种显微镜辅助装置。
背景技术
反射光显微镜观测物体的原理是：外来光源照射到物体表面，被物体反射后进入显微镜成像系统，形成放大的像。但是只能观察光源直接照射在物体表面区域的像，对于一些特殊孔洞及沟槽，由于侧壁呈倒角分布，入射光被孔洞及沟槽的上表面遮挡，光无法完全进入孔洞及沟槽的底部和侧壁。在显微镜观察物体时，这些无法被观察的区域形成盲点，造成被测物体信息的缺失。
为了消除这种测试现象，目前韩国的HUVITZ数码显微镜通过调整物镜的倾斜角度，可以实现对被测物体全方位观察，消除被测物体表面的盲点，补足被测物体的全方位信息。但是，该显微镜价格昂贵，且只适用于固定型号的显微镜。对于市场上常见的反射显微镜，如果采用该技术对其改装，则存在破坏现有光学系统导致成像质量降低以及损坏显微镜原有构造的风险。
发明内容
为了各种常见反射显微镜消除盲点，并避免改装显微镜引入显微镜成像质量降低以及损坏显微镜原有构造的风险，本发明提出一种新型的显微镜辅助装置。
本发明的技术方案如下：
消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置，包括底座、旋转基体、旋转驱动机构和置物台以及置物台支架；所述底座的上表面开设有凹槽以及横穿凹槽的转轴，旋转基体通过转轴安装于所述凹槽内，能够在旋转驱动机构的作用下相对于凹槽自由转动；所述旋转基体在转轴所在的位置开设有缺口，在该缺口形成的内凹表面通过水平调节组件固定安装置物台支架，所述置物台通过竖直调节组件与置物台支架安装连接；所述置物台的上表面设置有用于安放固定被观测物体的机构。
在以上方案的基础上，本发明还进一步作了如下优化：
上述凹槽为半球型凹槽。当然，只要满足旋转基体在凹槽内自由转动，凹槽的具体形状并不限于半球型。
上述旋转驱动机构的具体结构为：在底座的侧面开设有贯通至所述凹槽的弧形通槽，弧形通槽内插接有与旋转基体侧面固定连接的摇杆，弧形通槽即作为该摇杆的驱动行程。当然，除了这一具体结构外，还可以采用常规的其他结构形式，如在旋转基体顶部设置推杆，或者旋转基体内置电磁线圈以非接触的方式驱动，等等。
上述转轴安装于旋转基体的一角，置物台支架通过水平调节组件与缺口形成的内凹表面的内侧立面固定连接，置物台以及置物台支架与所述内侧立面保持间距；所述水平调节组件包括自缺口外侧向缺口内侧水平贯穿置物台支架并钻入所述内侧立面的调节螺丝、以及靠近所述内侧立面一端水平套接于该调节螺丝上的弹簧；所述竖直调节组件包括竖直贯穿置物台并钻入置物台支架的调节螺丝、以及位于置物台与置物台支架之间竖直套接于该调节螺丝上的弹簧。这里需要说明，其实转轴并不必须安装于旋转基体的一角。水平调节组件和竖直调节组件的具体结构可以采用常规的其他结构形式。
上述竖直调节组件还包括一根或多根竖向的导向杆，竖向的导向杆竖直贯穿置物台并钻入置物台支架。
上述置物台支架与所述缺口形成的内凹表面的位于转轴中心线上的两侧立面紧密贴合。
上述水平调节组件还包括一根或多根横向的导向杆,该横向的导向杆自缺口外侧向缺口内侧水平贯穿置物台支架并钻入所述内侧立面。
上述用于安放固定被观测物体的机构的具体结构为：置物台设置有用于抽真空的内部气路孔道，在置物台表面靠近转轴处设置有真空吸附槽，该真空吸附槽与所述内部气路孔道连通，作为安放被观测物体的位置。当然，安放固定被观测物体除了采用真空吸附方式外，还可以采用常规的其他结构来实现，如设置卡扣、插槽、粘接条等方式。
本发明具有以下优点：
1、该装置只需要添加在显微镜载物台表面，通过操作该装置，即可实现对被测物体全方位观察，消除被测物体表面的盲点，补足被测物体的全方位信息。
2、结构稳定、可靠，安装简易；增大了显微镜对物体的测试角度，增加了显微镜获取物体的信息量；只需进行简便的调节，即可获取全方位信息。
附图说明
图1为被测物体的观测盲点的示意图。
图2、图3、图4为本发明结构的不同视角的示意图。
图5为本发明结构的剖视示意图。
图6为本发明中置物台的局部放大示意图(无被观测物体，露出真空吸附槽)。
附图标号说明：
1-底座，2-旋转基体，3-转轴，4-摇杆(旋转基体的驱动杆)，5-操作杆行程限位槽，6-水平调节组件，7-竖直调节组件，8-抽真空气路孔道，9-真空吸附槽，10-置物台，11-置物台支架，12-被观测物体；
61-左右调节螺丝，62-横向弹簧，
71-高低调节螺丝，72-竖向弹簧。
具体实施方式
如图2-图6所示，所述底座的上表面开设有凹槽以及横穿凹槽的转轴，旋转基体的一角通过转轴安装于凹槽内，通过驱动摇杆，能够使旋转基体相对于凹槽自由转动；旋转基体在转轴所在的位置开设有缺口，在该缺口形成的内凹表面固定设置有置物台支架，置物台以及置物台支架与缺口形成的内凹表面的内侧立面保持间距；置物台通过水平调节组件和竖直调节组件与置物台支架安装连接。
水平调节组件具体包括自缺口外侧向缺口内侧水平贯穿置物台支架的调节螺丝、以及靠近所述内侧立面一端水平套接于该调节螺丝上的弹簧；竖直调节组件具体包括竖直贯穿置物台并钻入置物台支架的调节螺丝、以及位于置物台与置物台支架之间竖直套接于该调节螺丝上的弹簧。
置物台设置有用于抽真空的内部气路孔道，在置物台表面靠近转轴处设置有真空吸附槽，该真空吸附槽与所述内部气路孔道连通，作为安放被观测物体的位置。
本发明辅助观测的操作步骤如下：
1.将该辅助装置放置于显微镜载物台表面并固定，使得该辅助装置的边线和显微镜水平调节旋钮的方向平行或垂直。
2.将该辅助装置中置物台的真空吸附槽以及内部气路孔道接通真空泵。
3.调节该辅助装置的旋转基体，使得旋转基体上表面和显微镜载物台上表面平行，调节显微镜载物台的上下位置，直到显微镜可以清晰呈现该辅助装置的旋转基体上表面。
4.调节显微镜载物台其中一个水平旋钮，使辅助装置的旋转基体边缘线位于显微镜视场正中间，调节另一个水平旋钮，使该辅助装置中置物台位于显微镜视场中。
5.把待观测物体放置该辅助装置中置物台的表面，打开真空泵，吸附固定待观测物体。
6.通过高低调节螺丝和左右调节螺丝及与左右调节螺丝调节方向垂直的显微镜水平旋钮来共同调节置物台的位置(被观测物体的位置)，直到被观测物体表面在显微镜视场中清晰可见。
7.调节显微镜支架不同角度位置，可实现对被观测物体全方位的观察。
该辅助装置再调节角度时，被观测物体部位保持一个水平位置，始终处于显微镜的焦距和视场内。
另外，在测试半导体激光器等正方体的边缘时，通过调节支架的角度，可以对位于边缘的相邻两个平面内的点进行观测，简化了分别对相邻两面进行观测的复杂过程。
Claims (5)
1.消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置，其特征在于：包括底座、旋转基体、旋转驱动机构和置物台以及置物台支架；所述底座的上表面开设有凹槽以及横穿凹槽的转轴，旋转基体通过转轴安装于所述凹槽内，能够在旋转驱动机构的作用下相对于凹槽自由转动；所述旋转基体在转轴所在的位置开设有缺口，在该缺口形成的内凹表面通过水平调节组件固定安装置物台支架，所述置物台通过竖直调节组件与置物台支架安装连接；所述置物台的上表面设置有用于安放固定被观测物体的机构；
所述转轴安装于旋转基体的一角，置物台支架通过水平调节组件与缺口形成的内凹表面的内侧立面固定连接，置物台以及置物台支架与所述内侧立面保持间距；所述水平调节组件包括自缺口外侧向缺口内侧水平贯穿置物台支架并钻入所述内侧立面的调节螺丝、以及靠近所述内侧立面一端水平套接于该调节螺丝上的弹簧；所述竖直调节组件包括竖直贯穿置物台并钻入置物台支架的调节螺丝、以及位于置物台与置物台支架之间竖直套接于该调节螺丝上的弹簧；
所述竖直调节组件还包括一根或多根竖向的导向杆，所述竖向的导向杆竖直贯穿置物台并钻入置物台支架；
所述水平调节组件还包括一根或多根横向的导向杆,所述横向的导向杆自缺口外侧向缺口内侧水平贯穿置物台支架并钻入所述内侧立面。
2.根据权利要求1所述的显微镜辅助装置，其特征在于：所述凹槽为半球型凹槽。
3.根据权利要求1所述的显微镜辅助装置，其特征在于，所述旋转驱动机构的具体结构为：在底座的侧面开设有贯通至所述凹槽的弧形通槽，弧形通槽内插接有与旋转基体侧面固定连接的摇杆，弧形通槽即作为该摇杆的驱动行程。
4.根据权利要求1所述的显微镜辅助装置，其特征在于：所述置物台支架与所述缺口形成的内凹表面的位于转轴中心线上的两侧立面紧密贴合。
5.根据权利要求1所述的显微镜辅助装置，其特征在于，所述用于安放固定被观测物体的机构的具体结构为：所述置物台设置有用于抽真空的内部气路孔道，在置物台表面靠近转轴处设置有真空吸附槽，该真空吸附槽与所述内部气路孔道连通，作为安放被观测物体的位置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610471424.5A CN106019552B (zh) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | 消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610471424.5A CN106019552B (zh) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | 消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106019552A CN106019552A (zh) | 2016-10-12 |
| CN106019552B true CN106019552B (zh) | 2019-01-11 |
Family
ID=57084135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610471424.5A Active CN106019552B (zh) | 2016-06-23 | 2016-06-23 | 消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106019552B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN216013793U (zh) * | 2020-08-28 | 2022-03-11 | 台湾东电化股份有限公司 | 光学系统 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101038670A (zh) * | 2006-03-14 | 2007-09-19 | 株式会社日立高新技术 | 试样尺寸测定方法及试样尺寸测定装置 |
| CN101975987A (zh) * | 2010-09-27 | 2011-02-16 | 江苏大学 | 基于便携桥搭结构的显微镜自动控制台 |
| CN205899123U (zh) * | 2016-06-23 | 2017-01-18 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5501848B2 (ja) * | 2010-05-10 | 2014-05-28 | 株式会社ハイロックス | デジタル顕微鏡 |
| TWI685026B (zh) * | 2013-08-06 | 2020-02-11 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 剝離方法 |
-
2016
- 2016-06-23 CN CN201610471424.5A patent/CN106019552B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101038670A (zh) * | 2006-03-14 | 2007-09-19 | 株式会社日立高新技术 | 试样尺寸测定方法及试样尺寸测定装置 |
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| CN205899123U (zh) * | 2016-06-23 | 2017-01-18 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 消除被测物体表面盲点的显微镜辅助装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106019552A (zh) | 2016-10-12 |
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220714 Address after: Room 606, unit 3, floor 6, building 4, yard 42, Qibei Road, Changping District, Beijing 102208 Patentee after: Zhongke Yihe intelligent medical technology (Beijing) Co.,Ltd. Address before: 710119, No. 17, information Avenue, new industrial park, hi tech Zone, Shaanxi, Xi'an Patentee before: XI'AN INSTITUTE OF OPTICS AND PRECISION MECHANICS OF CAS |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
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|
| CP03 | Change of name, title or address |