CN105921894A - 载台和切割方法 - Google Patents

载台和切割方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105921894A
CN105921894A CN201610326162.3A CN201610326162A CN105921894A CN 105921894 A CN105921894 A CN 105921894A CN 201610326162 A CN201610326162 A CN 201610326162A CN 105921894 A CN105921894 A CN 105921894A
Authority
CN
China
Prior art keywords
perforate
piston
table top
cut
microscope carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610326162.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105921894B (zh
Inventor
李晓虎
孙中元
王路
朱海彬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201610326162.3A priority Critical patent/CN105921894B/zh
Publication of CN105921894A publication Critical patent/CN105921894A/zh
Priority to PCT/CN2017/000035 priority patent/WO2017197899A1/zh
Priority to US15/541,858 priority patent/US20180207752A1/en
Application granted granted Critical
Publication of CN105921894B publication Critical patent/CN105921894B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702—Auxiliary equipment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K37/00—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups
    • B23K37/04—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work
    • B23K37/0408—Auxiliary devices or processes, not specially adapted to a procedure covered by only one of the preceding main groups for holding or positioning work for planar work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/38—Removing material by boring or cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/03—Stationary work or tool supports
    • B23Q1/032—Stationary work or tool supports characterised by properties of the support surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
    • B23Q3/06—Work-clamping means
    • B23Q3/08—Work-clamping means other than mechanically-actuated
    • B23Q3/088—Work-clamping means other than mechanically-actuated using vacuum means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Control Of Cutting Processes (AREA)
  • Details Of Cutting Devices (AREA)

Abstract

一种载台和切割方法，该载台包括台体和多个活塞，该台体包括台面，台面中设置有多个开孔，该多个活塞分别设置于至少部分多个开孔中，且被配置为可沿开孔的侧壁相对台面往复运动。该载台和切割方法在使用中可减小或消除膜状待切割物在被切割时局部的形变，减少或避免在切割过程中切割线变宽、切割精度下降等工艺不良。

Description

载台和切割方法
技术领域
本公开的实施例涉及一种载台和切割方法。
背景技术
在工业生产中，经常需要对待切割物进行切割，在切割时需要用到用于承载待切割物的载台。
激光切割是利用物质激发产生的激光进行切割的工艺，当激光接触待切割物时，能够迅速使待切割物融化，再根据预设路径移动完成切割。激光切割相对于传统的切割方法，切割精度更高，缝隙更小，能够节省材料，所以激光切割已经越来越广泛地应用到工业生产中。
发明内容
本公开的实施例提供一种载台，包括台体和多个活塞，所述台体包括台面，所述台面中设置有多个开孔，所述多个活塞分别设置于至少部分所述多个开孔中，且被配置为可沿所述开孔的侧壁相对所述台面往复运动。
例如，本公开实施例提供的载台，还包括驱动机构，其中，所述驱动机构被配置为可分别驱动所述多个活塞沿所述开孔的侧壁相对所述台面往复运动。
例如，在本公开实施例提供的载台中，所述驱动机构包括连接部和传动部，所述活塞和所述传动部通过所述连接部连接。
例如，本公开实施例提供的载台，还包括动力设备，其中，所述动力设备与所述传动部连接，并可驱动所述传动部。
例如，在本公开实施例提供的载台中，所述动力设备包括电动机、燃油发动机或手动动力设备中的一种或其组合。
例如，在本公开实施例提供的载台中，所述活塞由弹性材料制成。
例如，在本公开实施例提供的载台中，所述活塞与所述开孔的侧壁为紧密配合。
例如，在本公开实施例提供的载台中，所述多个开孔的尺寸相同。
例如，在本公开实施例提供的载台中，所述多个开孔呈矩阵分布。
例如，本公开实施例提供的载台，还包括气压传感器，其中，所述气压传感器设置于至少一个所述开孔的侧壁上且位于所述活塞与所述台面之间的位置或所述活塞接近所述台面的一侧。
例如，本公开实施例提供的载台，还包括控制器，其中，所述控制器被配置为接收所述气压传感器检测并发送的实际气压数据，并比较所述实际气压数据与预设气压数据，从而控制所述活塞的移动方向。
例如，本公开实施例提供的载台，还包括输入设备和输出设备，其中，所述输入设备被配置为输入所述预设气压数据；所述输出设备被配置为输出所述实际气压数据。
本公开的实施例还提供一种采用本公开任一实施例所述载台的薄膜切割方法，包括：在所述台体的所述台面上设置膜状待切割物，其中，所述待切割物至少覆盖部分所述开孔；驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向远离所述台面的方向运动，以将所述膜状待切割物吸附在所述台面上；切割所述待切割物。
例如，本公开实施例提供的切割方法，还包括：在所述台面上设置所述待切割物之前，驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向接近所述台面的方向运动以进行初始化。
例如，在本公开实施例提供的切割方法中，在切割所述待切割物的过程中，切割的路径经过所述待切割物覆盖的开孔中的部分。
例如，本公开实施例提供的切割方法，还包括：当所述开孔中的实际气压数据小于预设气压数据时，驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向接近所述台面的方向运动；当所述开孔中的实际气压数据大于预设气压数据时，驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向远离所述台面的方向运动。
附图说明
为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，并非对本公开的限制。
图1是本公开实施例提供的一种载台的侧视示意图之一；
图2是本公开实施例提供的一种载台的侧视示意图之二；
图3是本公开实施例提供的一种载台的俯视示意图；以及
图4是本公开实施例提供的一种切割方法的流程图。
附图标记
10-载台；100-台体；110-台面；120-开孔；130-活塞；200-驱动机构；210-连接部；220-传动部；300-动力设备；400-气压传感器；500-控制器；600-输入设备；700-输出设备；800-膜状待切割物。
具体实施方式
下面将结合附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述参考在附图中示出并在以下描述中详述的非限制性示例实施例，更加全面地说明本公开的示例实施例和它们的多种特征及有利细节。应注意的是，图中示出的特征不是必须按照比例绘制。本公开省略了已知材料、组件和工艺技术的描述，从而不使本公开的示例实施例模糊。所给出的示例仅旨在有利于理解本公开示例实施例的实施，以及进一步使本领域技术人员能够实施示例实施例。因而，这些示例不应被理解为对本公开的实施例的范围的限制。
除非另外特别定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。此外，在本公开各个实施例中，相同或类似的参考标号表示相同或类似的构件。
在例如制作柔性显示面板的过程中，需要对柔性膜状待切割物进行切割。在例如激光切割的过程中，可采用负压吸附的方式将膜状待切割物固定在载台上，但负压吸附的方式容易使膜状待切割物变形，进而导致在切割过程中切割线变宽、切割精度下降等工艺不良。
本公开的实施例提供的载台和切割方法，可减小或消除膜状待切割物在被切割时局部的形变，减少或避免在切割过程中切割线变宽、切割精度下降等工艺不良。
图1是本公开实施例提供的一种载台的侧视示意图之一，图2是本公开实施例提供的一种载台的侧视示意图之二，图3是本公开实施例提供的一种载台的俯视示意图。
如图1、图2和图3所示，本公开的实施例提供一种载台10，包括台体100和多个活塞130。台体100包括台面110，台面110中设置有多个开孔120。多个活塞130分别设置于至少部分多个开孔120中且被配置为可沿开孔120的侧壁相对台面110往复运动，由此当开孔的在台面110的开口被薄膜(膜状待切割物的示例)覆盖时，可以调节相应的开孔120中的气压。
例如，载台10可以由铝等金属或大理石等耐高温无机材质制成，以使载台10能够承受例如激光切割产生的高温。
例如，每个开孔120中均设置有活塞130。
例如，各个开孔120贯通台体100。
例如，本公开实施例提供的载台10还包括驱动机构200，该驱动机构200被配置为可分别驱动多个活塞130沿开孔120的侧壁相对台面110往复运动。
例如，驱动机构200也可以被配置为可驱动台体100相对活塞130往复运动。
例如，在本公开实施例提供的载台10中，驱动机构200包括连接部210和与连接部210相连接的传动部220；活塞130和传动部220通过连接部210连接，由此可被传动部220驱动。
例如，连接部210与传动部220通过螺纹结构或齿轮结构等连接。传动部220例如为传动轴。
例如，本公开实施例提供的载台10还可包括动力设备300，该动力设备300在工作中可与传动部220连接，由此可驱动该传动部220。
例如，传动部220与动力设备300通过螺纹结构或齿轮结构等连接，由此动力设备300可驱动传动部220。
例如，在本公开实施例提供的载台10中，动力设备300包括电动机、燃油发动机或手动动力设备中的一种或其组合。电动机例如为步进电机，可通过调整步进电机被施加的脉冲信号调整步进电机的转动角度、转动速度和转动方向。
例如，动力设备300可带动传动部220运动，传动部220可带动连接部210运动，连接部210进而可带动活塞130运动。
例如，通过改变动力设备300的运动方向(例如电动机的转动方向)，可改变传动部220、连接部210的运动方向，进而改变活塞130的运动方向，进而实现驱动活塞130沿开孔120的侧壁相对台面110往复运动。
例如，如图1和图2所示，活塞130通过连接部210组成一个整体，在动力设备300和传动部220的带动下同步运动，也就是说在同一时刻所有活塞130处于开孔120中相同的位置，并可同步沿开孔120的侧壁向接近或远离台面110的方向运动。
需要说明的是，本公开的实施例包括但不仅限于活塞130通过连接部210组成一个整体的情况。也可以是每个活塞130由一套独立的驱动机构和动力设备驱动，也就是说每个活塞130分别由一套与其对应的连接部、传动部和动力设备驱动，这样可以实现每个活塞130的分别运动，灵活调整每个活塞130的位置，由此在工作中可更精确地控制该活塞130所在的开孔中的气压。
例如，活塞130为实心活塞，实心活塞是指活塞130在接近台面110的表面和远离台面110的表面之间没有连通的孔或气道，以保证活塞130的密闭性。
例如，在本公开实施例提供的载台10中，活塞130可以由弹性材料制成。例如，由弹性材料制成的活塞130可更好地保证活塞130与开孔120侧壁的密闭性。
例如，在本公开实施例提供的载台10中，活塞130与开孔120的侧壁为紧密配合。
例如，活塞130与开孔120的侧壁为紧密配合是指活塞130与开孔120的侧壁之间不漏气或基本不漏气，以保证当膜状待切割物800被设置在台面110上时，膜状待切割物800、开孔120的侧壁和活塞130共同组成一个密闭的腔体，从而保证当活塞130沿开孔120的侧壁运动时可改变该腔体的气压。
例如，在本公开实施例提供的载台10中，多个开孔120的尺寸相同，其截面例如可以均为圆形、椭圆形、方形等。
例如，在本公开实施例提供的载台10中，多个开孔120呈矩阵/阵列分布，可以分布在几乎整个台面或者仅占据部分台面。
例如，活塞130可设置为可拆卸的，以方便活塞130的维护和替换。例如，可根据膜状待切割物的尺寸和切割路径在开孔120中灵活设置活塞130，在膜状待切割物尺寸较小时可节省活塞130的数量。
例如，开孔120为圆柱形。例如，圆柱形的开孔120便于活塞130的安装和拆卸。
例如，本公开实施例提供的载台10还包括气压传感器400，该气压传感器400设置于至少一个开孔120中，例如设置在该开孔120的侧壁上且位于活塞130与台面110之间的位置或活塞130接近台面的一侧。
例如，如图1所示，气压传感器400设置在活塞130接近台面110的一侧。例如，如图2所示，气压传感器400设置于开孔120的侧壁上且位于活塞130与台面110之间的位置。又例如，气压传感器400设置于开孔120的侧壁上且位于活塞130往复运动中可到达的最接近台面110的位置与台面110之间的位置。这样设置的气压传感器400，可测量在工作过程中膜状待切割物800、开孔120的侧壁和活塞130共同组成的腔体中的实际气压。
需要说明的是，本公开的实施例包括但不局限于图1或图2所示的情形，也可以在每个活塞130上或每个开孔120的侧壁上均设置气压传感器400，以获取每个密闭腔体中的气压，结合上文介绍的每个活塞130单独驱动的方式和下文介绍的控制器500实现对每个密闭腔体中的气压的精确控制，进而使膜状待切割物均匀地被吸附在载台100的台面110上，以减小膜状待切割物800的形变。
例如，本公开实施例提供的载台10，还可包括控制器500。该控制器500例如与气压传感器400、驱动机构200或动力设备300等通过有线或无线方式信号连接。气压传感器400可向控制器500发送在工作实时测量的实际气压数据，控制器500被配置为接收气压传感器400发送的实际气压数据，并比较实际气压数据与预设气压数据(或称为参考气压数据)，从而控制活塞130的移动方向。
例如，预设气压数据包括控制器500中存储的历史数据或者人工输入的数据。
例如，气压传感器400和控制器500通过无线通讯(例如蓝牙或无线局域网)或有线通讯传输数据。
例如，控制器500和动力设备300通过无线通讯(例如蓝牙或无线局域网)或有线通讯传输数据。
例如，在切割过程中，当密闭腔体中的实际气压数据小于预设气压数据时，控制器500向动力设备300发送增压信号，动力设备300进而带动驱动机构200驱动活塞130沿开孔120的侧壁向接近台面110的方向运动，以增大密闭腔体中的气压；当密闭腔体中的实际气压数据大于预设气压数据时，控制器500向动力设备300发送减压信号，动力设备300进而带动驱动机构200驱动活塞130沿开孔120的侧壁向远离台面110的方向运动，以减小密闭腔体中的气压。
例如，控制器500可以通过FPGA、DSP、单片机等信号处理器实现。
例如，控制器500可以包括处理器和存储器，处理器执行存储器中存储的软件程序实现比较实际气压数据与预设气压数据以及向动力设备300发送增压或减压信号的功能，进而控制活塞130的移动方向。
例如，本公开实施例提供的载台10还可包括输入设备600和输出设备700，输入设备600被配置为输入预设气压数据；输出设备700被配置为输出实际气压数据。
例如，输入设备600可以为触控屏、键盘或鼠标等设备。例如，输出设备700可以为显示屏、信号灯、打印机、声音或震动提示设备等。
例如，输入设备600与控制器500通过无线通讯(例如蓝牙或无线局域网)或有线通讯传输数据。
例如，输出设备700与控制器500通过无线通讯(例如蓝牙或无线局域网)或有线通讯传输数据。
例如，输入设备600可以方便操作者根据不同的膜状待切割物的情况(例如膜状待切割物的材料、大小、形状等)灵活输入预设气压数据。
例如，输出设备700可以输出预设气压数据、实际气压数据以及预设气压数据与实际气压数据之差，使操作者直观地了解载台10的工作状况。
例如，接下来示例性地介绍载台10的工作过程。
如图1所示，在把膜状待切割物800(例如柔性基板)设置在载台10的台面110上之前，控制器500通过有线或无线通讯向动力设备300发送初始化信号，响应于该初始化信号，动力设备300带动传动部220运动，传动部220带动连接部210运动，进而驱动活塞130沿开孔120的侧壁向接近于台面110的方向运动，并使活塞130停留在靠近台面110的初始化位置，初始化位置例如为活塞130在开孔120中往复运动过程中最靠近台面110的位置，此时，开孔120内的气压与外界大气压相同(例如为1个大气压)。
如图2所示，将膜状待切割物800铺设在载台10的台面110上由此覆盖了台面中开孔120的开口，膜状待切割物800、开孔120的侧壁以及活塞130组成密闭的腔体。操作者根据膜状待切割物800的材料、大小及形状信息确定预设气压，并通过输入设备600输入该预设气压(该预设气压例如小于外界大气压)，输入设备600将该预设气压数据发送给控制器500。气压传感器400测量此时该密闭腔体内的实际气压数据，并将该实际气压数据通过有线或无线通讯发送给控制器500，控制器500比较预设气压数据和实际气压数据，判断实际气压数据大于预设气压数据，控制器500向动力设备300发送减压信号，动力设备300进而带动驱动机构200驱动活塞130沿开孔120的侧壁向远离台面110的方向运动，减小密闭腔体中的气压，将膜状待切割物吸附在台面110上。例如，在活塞130运动的过程中，气压传感器400实时向控制器500发送实际气压数据，控制器500实时向输出设备700发送预设气压数据和实际气压数据，输出设备700实时输出预设气压数据和实际气压数据。当密闭腔体中的实际气压数据小于预设气压数据时，控制器500向动力设备300发送增压信号，动力设备300进而带动驱动机构200驱动活塞130沿开孔120的侧壁向接近台面110的方向运动，以增大密闭腔体中的气压。通过减压和增压的循环实现密闭腔体内实际气压的闭环控制，直到实际气压等于预设气压。此时，控制器500向动力设备发送气压调节完成信号，响应于该气压调节完成信号，动力设备300停止运动。
如图3所示，沿切割线810对膜状待切割物800进行切割，在整个切割过程中，动力设备300不再运动，以使活塞130保持静止状态。例如，切割线810经过被膜状待切割物800覆盖的部分通孔120，当切割至某个通孔120的边缘时，由于膜状待切割物800被贯穿，使得对应于该通孔120的密闭腔体与外界大气连通，该通孔120附近的膜状待切割物800处于自然伸展状态，减小或消除了因吸附造成的局部形变，进而避免了切割线变宽、切割精度下降等工艺不良。
图4是本公开实施例提供的一种切割方法的流程图。如图4所示，本公开的实施例还提供一种采用本公开任一实施例提供载台的薄膜切割方法，包括如下步骤：
步骤S10：驱动活塞沿开孔的侧壁向接近台面的方向运动以进行初始化；
步骤S20：在台体的台面上设置膜状待切割物，待切割物至少覆盖部分开孔；
步骤S30：驱动活塞沿开孔的侧壁向远离台面的方向运动，以将膜状待切割物吸附在台面上；
步骤S40：切割待切割物。
例如，步骤S10也可以在每次切割完成后进行。例如，当活塞处于接近于台面的位置，活塞的运动足以使密闭腔体中的实际气压等于预设气压时，也可以省略步骤S10。
例如，在本公开实施例提供的切割方法中，在切割待切割物的过程中，切割的路径经过待切割物覆盖的开孔中的部分。
例如，本公开实施例提供的切割方法，还可包括：当实际气压数据小于预设气压数据时，驱动活塞沿开孔的侧壁向接近台面的方向运动；当实际气压数据大于预设气压数据时，驱动活塞沿开孔的侧壁向远离台面的方向运动。
本公开的实施例提供的载台和切割方法，可减小或消除膜状待切割物在被切割时局部的形变，减少或避免在切割过程中切割线变宽、切割精度下降等工艺不良。
虽然上文中已经用一般性说明及具体实施方式，对本公开作了详尽的描述，但在本公开实施例基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本公开精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本公开要求保护的范围。

Claims (16)

1.一种载台，包括：
台体，所述台体包括台面，所述台面中设置有多个开孔；
多个活塞，所述多个活塞分别设置于至少部分所述多个开孔中，且被配置为可沿所述开孔的侧壁相对所述台面往复运动。
2.根据权利要求1所述的载台，还包括驱动机构，其中，所述驱动机构被配置为可分别驱动所述多个活塞沿所述开孔的侧壁相对所述台面往复运动。
3.根据权利要求2所述的载台，其中，所述驱动机构包括连接部和与所述连接部相连接的传动部；
所述活塞和所述传动部通过所述连接部连接。
4.根据权利要求3所述的载台，还包括动力设备，其中，所述动力设备与所述传动部连接，并可驱动所述传动部。
5.根据权利要求4所述的载台，其中，所述动力设备包括电动机、燃油发动机或手动动力设备中的一种或其组合。
6.根据权利要求1所述的载台，其中，所述活塞由弹性材料制成。
7.根据权利要求1或6所述的载台，其中，所述活塞与所述开孔的侧壁为紧密配合。
8.根据权利要求1所述的载台，其中，所述多个开孔的尺寸相同。
9.根据权利要求1或8所述的载台，其中，所述多个开孔呈矩阵分布。
10.根据权利要求1-6任一所述的载台，还包括气压传感器，其中，所述气压传感器设置于至少一个所述开孔的侧壁上且位于所述活塞与所述台面之间的位置或所述活塞接近所述台面的一侧。
11.根据权利要求10所述的载台，还包括控制器，其中，所述控制器被配置为接收所述气压传感器检测并发送的实际气压数据，并比较所述实际气压数据与预设气压数据，从而控制所述活塞的移动方向。
12.根据权利要求11所述的载台，还包括输入设备和输出设备，其中，
所述输入设备被配置为输入所述预设气压数据；
所述输出设备被配置为输出所述实际气压数据。
13.一种采用如权利要求1所述的载台的薄膜切割方法，包括：
在所述台体的所述台面上设置膜状待切割物，其中，所述待切割物至少覆盖部分所述开孔；
驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向远离所述台面的方向运动，以将所述膜状待切割物吸附在所述台面上；
切割所述待切割物。
14.根据权利要求13所述的切割方法，还包括：
在所述台面上设置所述待切割物之前，驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向接近所述台面的方向运动以进行初始化。
15.根据权利要求13所述的切割方法，其中，在切割所述待切割物的过程中，切割的路径经过所述待切割物覆盖的开孔中的部分。
16.根据权利要求13所述的切割方法，还包括：
当所述开孔中的实际气压数据小于预设气压数据时，驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向接近所述台面的方向运动；
当所述开孔中的实际气压数据大于预设气压数据时，驱动所述活塞沿所述开孔的侧壁向远离所述台面的方向运动。
CN201610326162.3A 2016-05-17 2016-05-17 载台和切割方法 Active CN105921894B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610326162.3A CN105921894B (zh) 2016-05-17 2016-05-17 载台和切割方法
PCT/CN2017/000035 WO2017197899A1 (zh) 2016-05-17 2017-01-03 载台和切割方法
US15/541,858 US20180207752A1 (en) 2016-05-17 2017-01-03 Carrying table and cutting method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610326162.3A CN105921894B (zh) 2016-05-17 2016-05-17 载台和切割方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105921894A true CN105921894A (zh) 2016-09-07
CN105921894B CN105921894B (zh) 2017-10-10

Family

ID=56841656

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610326162.3A Active CN105921894B (zh) 2016-05-17 2016-05-17 载台和切割方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20180207752A1 (zh)
CN (1) CN105921894B (zh)
WO (1) WO2017197899A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017197899A1 (zh) * 2016-05-17 2017-11-23 京东方科技集团股份有限公司 载台和切割方法
CN108247202A (zh) * 2018-01-16 2018-07-06 京东方科技集团股份有限公司 一种废料排出装置及方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113733181B (zh) * 2021-09-01 2023-01-13 昆山瑞升弘精密机械有限公司 一种金属铝箔裁切装置及其使用方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1974137A (zh) * 2006-12-12 2007-06-06 浙江大学 大面积柔软薄性物料真空吸附定位系统
CN101124133A (zh) * 2004-04-14 2008-02-13 科福罗科学解决方案有限公司 用于调整距离的非接触支撑平台
CN201405409Y (zh) * 2009-04-24 2010-02-17 上海舒平精工机械有限公司 真空吸附工作台
CN102097532A (zh) * 2010-11-29 2011-06-15 常州亿晶光电科技有限公司 吸气式太阳能电池层压件返修工作台
CN102825392A (zh) * 2012-09-12 2012-12-19 昆山允可精密工业技术有限公司 一种新型真空吸附工作台
CN205166195U (zh) * 2015-11-30 2016-04-20 昆山国显光电有限公司 真空吸附装置
CN106067438A (zh) * 2015-04-23 2016-11-02 日月光半导体制造股份有限公司 载具以及将半导体元件附接到载具的方法与半导体方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007123316A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置並びにデバイス製造方法
CN101706624B (zh) * 2009-11-09 2011-09-07 友达光电股份有限公司 基板组合系统及基板组合方法
CN105301911B (zh) * 2014-06-24 2018-07-20 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种用于高精密工件台的无管路物料吸附装置及方法
CN105108355B (zh) * 2015-09-18 2017-10-17 京东方科技集团股份有限公司 承载台、承载装置和激光切割设备
CN105921894B (zh) * 2016-05-17 2017-10-10 京东方科技集团股份有限公司 载台和切割方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101124133A (zh) * 2004-04-14 2008-02-13 科福罗科学解决方案有限公司 用于调整距离的非接触支撑平台
CN1974137A (zh) * 2006-12-12 2007-06-06 浙江大学 大面积柔软薄性物料真空吸附定位系统
CN201405409Y (zh) * 2009-04-24 2010-02-17 上海舒平精工机械有限公司 真空吸附工作台
CN102097532A (zh) * 2010-11-29 2011-06-15 常州亿晶光电科技有限公司 吸气式太阳能电池层压件返修工作台
CN102825392A (zh) * 2012-09-12 2012-12-19 昆山允可精密工业技术有限公司 一种新型真空吸附工作台
CN106067438A (zh) * 2015-04-23 2016-11-02 日月光半导体制造股份有限公司 载具以及将半导体元件附接到载具的方法与半导体方法
CN205166195U (zh) * 2015-11-30 2016-04-20 昆山国显光电有限公司 真空吸附装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017197899A1 (zh) * 2016-05-17 2017-11-23 京东方科技集团股份有限公司 载台和切割方法
CN108247202A (zh) * 2018-01-16 2018-07-06 京东方科技集团股份有限公司 一种废料排出装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2017197899A1 (zh) 2017-11-23
CN105921894B (zh) 2017-10-10
US20180207752A1 (en) 2018-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105921894A (zh) 载台和切割方法
CN203348321U (zh) 空气轴承和气浮运动系统
CN106583178B (zh) 一种自动油边机的皮革材料的边缘定位方法和装置
JP5064316B2 (ja) 除振装置
CN107428083A (zh) 用于生成式制造三维物体的设备
CN106584440A (zh) 姿态可调整、坐标解耦的七自由度机器人及控制方法
TWI711572B (zh) 拾取工具、材料拾取系統以及藉由拾取工具移動材料的方法
US11960309B2 (en) Portable mass airflow training module
ATE231771T1 (de) Verfahren zur planaren herstellung von pneumatischen und fluidischen miniaturmanipulatoren
CN102267274B (zh) 微米精度三层平面工件对位机器人系统
CN107672158A (zh) 多自由度的智能3d打印机
CN206083008U (zh) 涂油设备
CN109760311A (zh) 一种具有整合系统的3d生物打印机
CN204935640U (zh) 一种基于视觉振动送料吸取的机器人
CN104313800A (zh) 柔性布料夹具
CN104595293B (zh) 一种组合风场的产生装置和方法
EP2573476A3 (en) Air conditioning apparatus
CN106704672B (zh) 一种自激励无功耗脉动气流发生装置
CN104075019B (zh) 一种可调节定位气动截止阀
CN109383793A (zh) 垂直起降飞行器及其控制方法
CN107818711A (zh) 一种用于模拟直升机振动的单自由度振动系统
CN208585693U (zh) 一种带取料角度切换装置的振动盘
CN208845651U (zh) 转动输出装置
US20070052710A1 (en) Virtual mounter system
CN205439550U (zh) 丝网印刷板台

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant