CN105895479A - 一种离子束检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种离子束检测装置,包括:离子束流检测模块、预过滤光栏模块、支撑板等,所述离子束流检测模块由法拉第杯、驱动轴、真空波纹管、驱动气缸构成,所述离子束流检测模块设计不仅能够对气体元素离子进行检测,同时还能对特种金属离子进行检测,法拉第杯入口处装配有抑制石墨电极,能够有效的阻止外部电子进入法拉第杯内,同时也能够抑制法拉第杯内电子溢出,所述束流检测模块能够准确的检测离子束流。所述预过滤光栏模块由过滤石墨光栏板、移动主轴、差分抽气模块、驱动气缸构成,所述预过滤光栏模块能够对进入法拉第杯的离子进行预过滤,过滤石墨光栏板上设计了两种规格的预过滤缝,能够有效的提高离子进入法拉第杯的离子质量,有效的提高法拉第杯的测量精度,方便离子注入工艺调试。本发明涉及离子注入装置,隶属于半导体制造领域。
Description
技术领域
本发明涉及半导体器件制造控制系统,特别是一种离子束检测装置。
背景技术
随着集成电路工艺技术的提高,对离子注入设备提出了更高的要求,离子注入元素的种类更多,离子注入设备的应用范围更广,其可应用于各种材料改性、半导体器件制造以及大功率器件如SiC电子器件制造等领域,并要求离子注入设备自动化程度较高,操作简单方便,工作稳定。
现有的离子束检测装置检测精度低,工作稳定性差,运动时真空度低,检测装备成本高等,为解决以上问题,需要一种新型离子束检测装置。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,针对现有技术不足,提供一种离子束检测装置,其既可对硼、磷、氢、氮、氙等气态元素进行检测,又可对镍、钼、锆、金等金属元素进行检测,所述离子束流检测模块主要由预过滤光栏模块、支撑板,其特征在于:离子束流检测模块和预过滤光栏模块装配在支撑板上,其中离子束流检测模块利用直线气缸驱动,并采用真空波纹管保证真空密封性,进而完成法拉第杯的伸缩运动。预过滤光栏模块同样利用直线气缸驱动,并采用差分抽气保证真空密封性,来完成预过滤光栅两型缝的分选。所述离子束检测装置不仅能够对气体元素离子进行检测,同时还能对特种金属离子进行检测。
与现有技术相比,本发明所具有的有益效果为:本发明结构紧凑,拆装维护方便;工作稳定;成本较低。能够对特种离子进行检测,主轴水冷效果好,离子束检测装置能够保证良好密封性,其具有良好的运动平稳性和密封性,方便后续离子注入工艺调试。
附图说明
图1为本发明一实施例结构示意图;
图2为本发明一离子束流检测模块结构示意图;
图3为本发明一实施例预过滤光栏模块结构示意图;
具体实施方式
如图1所示,离子束流检测模块(1)、预过滤光栏模块(2)、支撑板(3),其特征在于:离子束流检测模块(1)和预过滤光栏模块(2)装配在支撑板(3)上,其中离子束流检测模块利用直线气缸驱动,并采用真空波纹管保证真空密封性,进而完成法拉第杯的伸缩运动。预过滤光栏模块(2)同样利用直线气缸驱动,并采用差分抽气保证真空密封性,来完成预过滤光栅两型缝的分选。所述离子束检测装置不仅能够对气体元素离子进行检测,同时还能对特种金属离子进行检测。
如图2所示,所述离子束流检测模块(1)由法拉第杯(11)、前抑制石墨电极(12)、主轴(13)、真空波纹管(14)、直线驱动气缸(15)构成,其特征在于:法拉第杯(11)入口处装配有前抑制石墨电极(12),其能够有效的阻止外部电子进入法拉第杯(11)内,同时也能够抑制法拉第杯(11)内电子溢出,所以该型束流检测模块能够准确的检测离子束流。所述离子束流检测模块利用直线驱动气缸(15)驱动一端固定法拉第杯(11)的主轴(13),完成直线伸缩运动,完成法拉第杯(11)的往返伸缩运动,进而完成束流采集和工艺注入任务,所述法拉第杯(11)和主轴(13)内开有水冷管道,能够形成水冷通路,能够有效的降低法拉第测束流时的杯体和主轴温度,提高了法拉第杯测束稳定性。所述离子束检测模块利用真空波纹管(14)的伸缩性,将主轴(13)一端与真空波纹管真空连接,保证了法拉第杯运动时的真空密封性。
如图3所示,所述的预过滤光栏模块(2)由过滤光栏板(21)、移动主轴(22)、差分抽气模块(23)、直线驱动气缸(24)构成,其特征在于:所述预过滤光栏模块能够对进入法拉第杯的离子进行预过滤,所述过滤光栏板(21)上设计了两种规格的预过滤缝,能够有效的提高离子进入法拉第杯的离子质量,有效的提高法拉第杯的测量精度,方便离子注入工艺调试。所述预过滤光栏板(21)固定在移动主轴(22)一端,其中移动主轴内焊接有冷却通水管,能够形成联通的内外腔体,且能够形成水流通道,具有良好的冷却效果。所述预过滤光栏利用直线驱动气缸(24)驱动,气缸拉杆一端与移动主轴(22)一端连接,通过气缸拉杆带动移动主轴,来完成预过滤光栅两型缝的分选。为保证光栏运动时的密封性,所述预过滤光栏模块采用差分抽气方式,该差分抽气模块(23)主要有两个U型密封圈和隔圈组成,其中两U型密封圈开口朝向大气侧,这样保证了移动主轴运动时的真空密封性。
Claims (3)
1.一种离子束检测装置,包括:离子束流检测模块(1)、预过滤光栏模块(2)、支撑板(3),其特征在于:离子束流检测模块(1)和预过滤光栏模块(2)装配在支撑板(3)上,其中离子束流检测模块利用直线气缸驱动,并采用真空波纹管保证真空密封性,进而完成法拉第杯的伸缩运动。预过滤光栏模块(2)同样利用直线气缸驱动,并采用差分抽气保证真空密封性,来完成预过滤光栅两型缝的分选。所述离子束检测装置不仅能够对气体元素离子进行检测,同时还能对特种金属离子进行检测。
2.根据权利要求1所述离子束流检测模块(1)由法拉第杯(11)、前抑制石墨电极(12)、主轴(13)、真空波纹管(14)、直线驱动气缸(15)构成,其特征在于:法拉第杯(11)入口处装配有前抑制石墨电极(12),其能够有效的阻止外部电子进入法拉第杯(11)内,同时也能够抑制法拉第杯(11)内电子溢出,所以该型束流检测模块能够准确的检测离子束流。所述离子束流检测模块利用直线驱动气缸(15)驱动一端固定法拉第杯(11)的主轴(13),完成直线伸缩运动,完成法拉第杯(11)的往返伸缩运动,进而完成束流采集和工艺注入任务,所述法拉第杯(11)和主轴(13)内开有水冷管道,能够形成水冷通路,能够有效的降低法拉第测束流时的杯体和主轴温度,提高了法拉第杯测束稳定性。所述离子束检测模块利用真空波纹管(14)的伸缩性,将主轴(13)一端与真空波纹管真空连接,保证了法拉第杯运动时的真空密封性。
3.根据权利要求1所述的预过滤光栏模块(2)由过滤光栏板(21)、移动主轴(22)、差分抽气模块(23)、直线驱动气缸(24)构成,其特征在于:所述预过滤光栏模块能够对进入法拉第杯的离子进行预过滤,所述过滤光栏板(21)上设计了两种规格的预过滤缝,能够有效的提高离子进入法拉第杯的离子质量,有效的提高法拉第杯的测量精度,方便离子注入工艺调试。所述预过滤光栏板(21)固定在移动主轴(22)一端,其中移动主轴内焊接有冷却通水管,能够形成联通的内外腔体,且能够形成水流通道,具有良好的冷却效果。所述预过滤光栏利用直线驱动气缸(24)驱动,气缸拉杆一端与移动主轴(22)一端连接,通过气缸拉杆带动移动主轴,来完成预过滤光栅两型缝的分选。为保证光栏运动时的密封性,所述预过滤光栏模块采用差分抽气方式,该差分抽气模块(23)主要有两个U型密封圈和隔圈组成,其中两U型密封圈开口朝向大气侧,这样保证了移动主轴运动时的真空密封性。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410788958.1A CN105895479B (zh) | 2014-12-18 | 2014-12-18 | 一种离子束检测装置 |
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CN201410788958.1A CN105895479B (zh) | 2014-12-18 | 2014-12-18 | 一种离子束检测装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105895479A true CN105895479A (zh) | 2016-08-24 |
CN105895479B CN105895479B (zh) | 2019-04-23 |
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---|---|---|---|
CN201410788958.1A Active CN105895479B (zh) | 2014-12-18 | 2014-12-18 | 一种离子束检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN105895479B (zh) |
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