CN2796082Y - 测束法拉第装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种测束法拉第装置，属于半导体器件制造领域。所述的测束法拉第装置包括法拉第杯，气缸轴，气缸体，气缸活塞，气缸密封盖，进出气接头，进出水接头，其中法拉第筒(2)采用石墨制成并被设计成倒锥形，法拉第筒(2)底部带有活动法拉第杯底板(1)，法拉第筒(2)连接在气缸轴(3)上，气缸轴(3)穿过气缸体(7)，气缸轴(3)的另一端连接有移动导向杆(10)，在气缸体(7)与气缸轴(3)接触部位有气孔环(4)和密封圈(5)，气缸轴(3)尾部连接有移动导向杆(10)。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体器件制造装置，特别涉及一种半导体器件制造装置中的测束法拉第装置。
背景技术
现有半导体集成电路制造技术中，随着集成度越来越高和电路规模越来越大，要求电路中单元器件尺寸越来越小，于是对半导体器件制造设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备，其离子源的优劣直接关系到半导体器件的质量好坏。因此，作为离子注入机中离子源束流指标检测的法拉第装置，是一个既关键又必不可少的部件。
在以往的测束法拉第装置中大都采用金属焊件，因此在入口处要设置抑制电极，但还会产生未被抑制的二次电子；同时由于法拉第装置直接收束流和特殊的高温使用环境，使得金属筒外部要设计水套作为冷却；法拉第杯的底板由于采用了焊接方式的固定连接，也给维修带来极大不便。
实用新型内容
本实用新型克服现有技术的缺点，提供了一种结构简单，维护方便，测量准确的测束法拉第装置。
本实用新型技术方案如下：法拉第筒采用石墨制成并被设计成倒锥形；法拉第杯底板采用方便更换的活动连接方式；在气缸体与气缸轴接触的部位设置绝缘并起支撑作用的气孔环和密封圈；在气缸轴的尾部设置保证运行平稳的移动导向杆。
采用本实用新型，无需设置抑制电极，可以有效防止金属粒子和二次电子污染；由于采用耐高温的石墨材料，因而无需在法拉第杯外部焊接冷却水套；法拉第杯底板采用活动连接方式，可方便更换法拉第杯底板，操作简单，使维护大大简化。
附图说明
图1为本实用新型的结构图。
图中：
1-法拉第杯底板；2-法拉第筒；3-气缸轴；4-气孔环；
5-密封圈；6-气缸活塞；7-气缸体；8-气缸密封盖；
9-进出水接头；10-移动导向杆；11-进出气接头
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的结构和工作原理做进一步说明：
如附图1所示，所述的法拉第筒2和可更换的法拉第杯底板1组成法拉第杯，法拉第筒2与法拉第杯底板1可采用螺栓等活动连接方式。
法拉第筒2连接到气缸轴3的一端，气缸轴3可带动法拉第筒2移动。
气缸轴3穿过气缸体7，借助于进出水接头9可以冷却气缸轴3。气缸轴3另一端连接有移动导向杆10，移动导向杆10可保证气缸轴3平稳移动。
气孔环4由高分子材料制成，支撑气缸轴3并起绝缘作用，以保证有效的测量。
气缸活塞6由高分子材料制作，绝缘并压缩气缸体7内气体使气缸轴3移动。
本实用新型在检测离子源束流指标时，利用气缸体7的作用，使法拉第杯位于离子源束流通道的中心位置。该位置可通过气缸活塞6的运动行程来调节。在进行注片时，利用气缸体7的作用，法拉第杯移开离子源束流通道位置，使离子源束流完全通过并顺利到靶。法拉第筒2设计成倒锥形，同时深度按入口尺寸的一定比例设计，可有效抑制二次电子，以保证测量的准确性。法拉第筒2为石墨材料，离子源束流不接触金属材料，可有效降低金属粒子污染。
Claims (1)
1.一种测束法拉第装置，其包括：法拉第杯，气缸轴，气缸体，气缸活塞，气缸密封盖，进出气接头，进出水接头，其特征在于法拉第筒(2)为倒锥形，法拉第筒(2)底部带有活动法拉第杯底板(1)；法拉第筒(2)连接在气缸轴(3)上，气缸轴(3)穿过气缸体(7)，气缸轴(3)的另一端连接有移动导向杆(10)；在气缸体(7)与气缸轴(3)接触部位有气孔环(4)和密封圈(5)；气缸轴(3)尾部连接有移动导向杆(10)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| CN 200520011269 CN2796082Y (zh) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 测束法拉第装置 |
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| CN2796082Y true CN2796082Y (zh) | 2006-07-12 |
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2796082Y (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106094006A (zh) * | 2016-07-29 | 2016-11-09 | 中国原子能科学研究院 | 一种高精度法拉第筒 |
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2005
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