CN103794448A - 一种垂直方向角度测量的装置 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种垂直方向角度测量的装置，该装置包括：挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、驱动轴支撑(3)、编码器(4)、驱动轴(5)、差分抽气系统(6)、水冷系统(7)。说明书对一种测量垂直方向角度装置的工作原理及过程作出了详细说明，并给出了具体实施例。
Description
技术领域
一种垂直方向角度测量的装置，通过精密的结构及逻辑严谨电气控制可以精确测量垂直方向的束流角度，在离子注入机垂直方向角度测量的技术领域中得到应用。
背景技术
随着半导体工艺的迅速发展，产品对离子注入角度要求也越来月高，就中束流注入设备而言，尤其是角度敏感的工艺，如果注入角度与设计要求角度偏差在0.1度，产品就属于不合格。目前，我们的中束流离子注入机在测量水平方向的束流角度及平行度方面，在技术上已经可以精确的测量，但是对于垂直方向束流角度，还未提供可以测量的功能部件，因此无法量化垂直方向的角度偏差。为了更加完善中束流离子注入机的功能，以满足当前中束流离子注入工艺要求，增加垂直方向角度测量的功能是必然的。
发明内容
本发明是针对上述现有技术中存在的问题而增加的一种功能部件，此部件结构简单、精度高，能可靠实现离子注入机某些角度敏感的工艺垂直方向角度的测量。
本发明专利通过以下技术方案来实现：
一种垂直方向角度测量的装置，该装置包括：挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、驱动轴支撑(3)、编码器(4)、驱动轴(5)、差分抽气系统(6)、水冷系统(7)。
电机(2)收到指令后开始运行，通过传动机构同步带，带动驱动轴(5)旋转，挡束杯(1)在驱动轴(5)的驱动下可以根据需求在±11°范围内转动；此时，根据挡束杯(1)旋转的角度不同，其遮挡束线的多少不同，未被遮挡的束线穿过挡束杯(1)之后，经过后方束流采集器的采集，根据这些束线产 生的电流作为原始数据进行计算来确定束线垂直方向的角度，进而确定离子注入机的其他参数，让注入角度更精确。
本发明具有一下显著特点：
1.装置结构简单，方便安装、维修拆卸。
2.可以准确测量垂直方向的束流角度。
3.其结构与差分抽气系统的结合，对真空环境污染相对较少。
附图说明
图1是本发明所述垂直方向角度测量装置的外观图；
图2是本发明所述垂直方向角度测量装置差分抽气系统(6)及驱动轴(5)的关系；
图3是本发明所述垂直方向角度测量装置测量角度的原理图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
如图1，电机(2)收到指令后开始运行，通过传动机构同步带，带动驱动轴(5)旋转，挡束杯(1)在驱动轴(5)的驱动下可以根据需求在±11°范围内转动；此时，根据挡束杯(1)旋转的角度不同，其遮挡束线的多少不同，未被遮挡的束线穿过挡束杯(1)之后，如图2，经过挡束杯(1)后方束流采集器的采集，根据这些束线产生的电流作为原始数据进行计算来确定束线垂直方向的角度，进而确定离子注入机的其他参数，让注入角度更精确。
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (5)
1.一种垂直方向角度测量的装置，该装置包括：挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、驱动轴支撑(3)、编码器(4)、驱动轴(5)、差分抽气系统(6)、水冷系统(7)。
2.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置，其特征在于：为了保证挡束杯(1)与束流的物理方向垂直关系，确保测量精度，驱动轴(5)上钻有定位销孔。
3.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置，其特征在于：在差分抽气系统(6)中，弹簧密封圈的安装方式与常规的安装方式相反，驱动轴(5)台阶处做了特殊处理，在保证动密封功能的同时，不仅降低了安装过程中弹簧密封圈的破损率，而且降低了安装难度。
4.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置，其特征在于：驱动轴支撑(3)与差分抽气系统(6)的结合，有效防止了此装置在工作状态下对真空环境的有害污染。
5.如权利要求1所述的一种垂直方向角度测量装置，其特征在于：通过电机及传动机构(2)，再经过驱动轴(5)，根据控制系统要求转动的角度，挡束杯(1)旋转到要求的角度，挡住经过的部分束流(如图3)，通过的束流到要求的束流采集器，根据通过束流产生的电流精确测定束线垂直方向的角度。
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