CN203367217U - 一种真空电离规管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种真空电离规管，所述真空电离规管包括灯丝、收集极和加速极，所述灯丝为铱灯丝，所述收集极为片状收集极，所述加速极为片状”∏”型加速极，所述灯丝位于所述收集极支持片状”∏”型加速极的”∏”型两臂之间，所述片状收集极将加速极及灯丝围起，所述片状收集极和加速极上设有通孔。所述的真空电离规管，其在测试时翻越每个量程节点的时间减少一半以上，测量下限较原来也有所提高，规管灵敏度提高25-30%。
Description
技术领域
本实用新型本实用新型涉及一种真空电离规管，尤其涉及一种真空电离规管。
背景技术
在真空测量中，现有的真空电离规管具有抗氧化、灯丝工作温度低、线性好等优点，是一种适合高压强下工作的真空规管，比较典型的是ZJ-10型电离真空规管。但是这种电离规管目前存在的问题是：在测试过程中真空下限相对有限，测试过程中达到10-5Pa所需时间较长。
发明内容
本实用新型提供一种真空电离规管，该电离规管能够测量相对较低的真空度，并且具有较高的测试灵敏度。
本实用新型的技术方案是：一种真空规管，所述真空规管包括灯丝、收集极和加速极，所述灯丝为铱灯丝，所述收集极为片状收集极，所述加速极为片状”∏”形加速极，所述灯丝位于所述片状”∏”形加速极的”∏”形两臂之间，所述片状收集极将加速极及灯丝围起，所述片状收集极设有通孔，以减小收集极的面积。
所述片状”∏”形加速极的两臂上各设有一个位置不对称的孔，用以调整电子流Ie，保证测试线性度。
现有技术中的ZJ-10规管电极面积较大，放气源较多，会造成测试下限相对较低，采用本实用新型中的技术方案，规管工作时，灯丝通电加热，发射出的电子在加速极电场作用下，飞向加速极，并在阴极-加速极-收集极空间往返振荡，在飞行中与气体分子碰撞，使气体分子电离而产生正离子和电子。正离子被收集极接受，形成离子流Ii，电子被加速极吸收，形成电子流或称为发射电流Ie。实践证明，压强＜10-1Pa时，离子流与被测的气体分子密度（即压强P）成正比，即 Ii=K IeP
这里K为规管常数，又称规管灵敏度。也就是说，当规管灵敏度确定之后，只要发射电流保持不变，就可从测得的粒子流得到压强值。由此可以说明，在电场强度不变的情况下，要想得到较高的真空度，也就是说压强P降低，规管灵敏度K和发射电流Ie不变，降低离子流Ii即可。降低离子流Ii的办法就可以采用减少收集极面积，以此减少收集极收集的正离子数量。
将现有的真空电离规管和本实用新型中的真空电离规管通过校准比对，收集极打孔和加速极打孔后装配的新管测试时翻越每个量程节点的时间减少一半以上，测量下限较原来也有所提高，规管灵敏度较改动前提高25-30%。
附图说明
图1 一种真空电离规管的主视图
图2 一种真空电离规管的右视图
图3 一种真空电离规管的左视图
图4 一种真空电离规管的收集极结构图
图5 一种真空电离规管的收集极结构左视图
图6 一种真空电离规管的收集极结构俯视图
图7 一种真空电离规管的加速极结构图
图8 一种真空电离规管的加速极结构右视图
图9 一种真空电离规管的加速极结构左视图
图10 一种真空电离规管的加速极结构俯视图。
图中1—铱灯丝，2—收集极，3—加速极，4—灯丝支持杆，5—收集极支持杆，6—加速极支持杆，7—管座，8—收集极上的圆形通孔，9—收集极上的方形通孔，10—加速极上的通孔。
具体实施方式
本实用新型的具体实施例是：
一种真空电离规管，所述真空电离规管包括灯丝、收集极和加速极，所述灯丝为铱灯丝，所述收集极为片状收集极，所述加速极为片状”∏”形加速极，所述灯丝位于所述片状”∏”形加速极的”∏”形两臂之间，所述片状矩形收集极将加速极及灯丝三面围起，所述片状矩形收集极围成的三面中有两面设有多个圆形通孔，一个侧面设有方形通孔，另一面未围起，用以减小收集极面积，所述片状”∏”形加速极的两臂上各设有一个位置不对称的圆形通孔，以提高测试线性度。
真空电离规管还包括管座、灯丝支持杆、加速极支持杆和收集极支持杆，所述灯丝与灯丝支持杆焊接在一起，所述收集极焊接在收集极支持杆上，所述收集极支持杆、灯丝支持杆和加速极支持杆都分别固定在管座中。
所述实施例的真空电离规管，其在测试时翻越每个量程节点的时间减少一半以上，测量下限较原来也有所提高，规管灵敏度提高25-30%。
Claims (6)
1.一种真空电离规管，所述真空电离规管包括灯丝、收集极和加速极，其特征在于：所述灯丝为铱灯丝，所述收集极为片状收集极，所述加速极为片状“∏”形加速极，所述灯丝位于所述片状”∏”形加速极的”∏”形两臂之间，所述片状收集极将加速极及灯丝围起，所述片状收集极设有通孔，减少收集极的面积。
2.如权利要求1所述的真空电离规管，其特征在于：所述”∏”形加速极的两臂上各设有一个位置不对称的通孔。
3.如权利要求2所述的真空电离规管，其特征在于：所述真空电离规管还包括管座、灯丝支持杆、加速极支持杆和收集极支持杆，所述灯丝与灯丝支持杆焊接在一起，所述收集极焊接在收集极支持杆上，所述收集极支持杆、灯丝支持杆和加速极支持杆都分别固定在管座中。
4.如权利要求3所述的真空电离规管，其特征在于：所述片状收集极是片状矩形收集极，所述片状矩形收集极围成的三面中有两面设有多个圆形通孔，一个侧面是方形通孔，另一面未围起。
5.如权利要求1-4任一项权利要求所述的真空电离规管，其特征在于：所述加速极上的孔是圆形通孔。
6.如权利要求5所述的真空电离规管，其特征在于：所述管座是玻璃管座。
Priority Applications (1)
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| CN 201320375717 CN203367217U (zh) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 一种真空电离规管 |
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| CN 201320375717 CN203367217U (zh) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 一种真空电离规管 |
Publications (1)
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| CN 201320375717 Withdrawn - After Issue CN203367217U (zh) | 2013-06-27 | 2013-06-27 | 一种真空电离规管 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN203367217U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103346059A (zh) * | 2013-06-27 | 2013-10-09 | 成都国光电气股份有限公司 | 一种真空电离规管 |
| CN107546099A (zh) * | 2016-09-14 | 2018-01-05 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空计规管管壳与插头座结构 |
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2013
- 2013-06-27 CN CN 201320375717 patent/CN203367217U/zh not_active Withdrawn - After Issue
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103346059A (zh) * | 2013-06-27 | 2013-10-09 | 成都国光电气股份有限公司 | 一种真空电离规管 |
| CN103346059B (zh) * | 2013-06-27 | 2015-12-02 | 成都国光电气股份有限公司 | 一种真空电离规管 |
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| CN107546099B (zh) * | 2016-09-14 | 2019-05-03 | 北京卫星环境工程研究所 | 真空计规管管壳与插头座结构 |
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