CN105861984A - 一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法 - Google Patents

一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105861984A
CN105861984A CN201610221435.8A CN201610221435A CN105861984A CN 105861984 A CN105861984 A CN 105861984A CN 201610221435 A CN201610221435 A CN 201610221435A CN 105861984 A CN105861984 A CN 105861984A
Authority
CN
China
Prior art keywords
carbon
nickel
coating
workpiece
preparation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610221435.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105861984B (zh
Inventor
刘小萍
刘小镇
于盛旺
黑鸿君
郭麒
孟天旭
高洁
王荣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyuan University of Technology
Original Assignee
Taiyuan University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyuan University of Technology filed Critical Taiyuan University of Technology
Priority to CN201610221435.8A priority Critical patent/CN105861984B/zh
Publication of CN105861984A publication Critical patent/CN105861984A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105861984B publication Critical patent/CN105861984B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/021—Cleaning or etching treatments
    • C23C14/022—Cleaning or etching treatments by means of bombardment with energetic particles or radiation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58—After-treatment
    • C23C14/5846—Reactive treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种炭/炭复合材料耐高温氧化涂层的制备方法，该方法通过以下技术方案实现：使用等离子体表面活化技术和双辉等离子表面冶金技术，先用氢等离子体刻蚀，活化炭/炭复合材料工件表面；然后以镍靶作为源极，在工件表面制备镍渗层；再以铬靶作为源极制备镍‑铬复合渗镀涂层，最后使用硅氧烷作为前驱体、氧气作为反应气体，在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层。本发明制备的涂层与基体结合强度高，涂层成分呈梯度分布，能够提高炭/炭复合材料的耐高温氧化性能。涂层的制备在一种装置中完成，工艺简单、成本低。

Description

一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法
技术领域
本发明涉及一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，属于材料表面改性领域。
背景技术
炭/炭复合材料具有高强度、高模量、抗热震、耐烧蚀、热导率高、热膨胀系数低、吸振性好、摩擦性好和比重小等优异性能，且在高温下仍能保持室温时的力学性能，特别是强度随温度升高表现出不降反升的特性，使其作为热结构件在航空、航天等领域使用具有其它材料难以比拟的优势。但是，炭/炭复合材料高温抗氧化能力不足的问题，限制了其在航空、航天等高温领域中的应用。因此，改善炭/炭复合材料的高温抗氧化性能，是其在高温服役环境适用性的关键。
目前，改善炭/炭复合材料的高温抗氧化性能的方法主要有两种：(1)添加改性抑制剂使基体改性技术，这种技术虽然可以在一定程度上改善炭/炭复合材料的抗氧化性能，但是其防氧化效果有限，且保护时间不长，再者盐类或陶瓷、金属类等颗粒抑制剂的加入会造成炭/炭复合材料高温力学性能和热学性能的降低；(2)借助表面改性层阻挡氧与基体接触的高温抗氧化涂层技术，该方法具有抗氧化防护稳定持久的特点，且不会对基体造成损伤，所以不会对其性能产生不利影响。因此，高温抗氧化涂层技术成为研究改善炭/炭复合材料耐高温氧化性的热点。
高温抗氧化涂层选用的材料主要有玻璃、贵金属及陶瓷等。其中最早研究的是玻璃涂层，主要利用玻璃在高温下的流动性和自封闭性，能够填充炭/炭复合材料在使用过程中产生的裂纹孔洞等，但其在低温时流动性不足，高温时玻璃中的硅化物等极易与炭/炭复合材料中的碳反应，使涂层失效；贵金属涂层成本高，且由于热膨胀系数的严重不匹配，导致涂层与基体结合强度弱，涂层易剥落；用包埋法或渗透法制备的MoSi2/SiC、WSi2/Si、MoSi2/WSi2、WSi2/SiC抗氧化涂层，通过Mo、W的扩散形成梯度分布，可以将C/C复合材料的抗氧化温度大幅度提高。但硅基金属间化合物与炭/炭复合材料的热膨胀系数存在较大差异，使涂层与基体结合强度差，且烧结温度极高，限制了该体系涂层的应用。此外，MoSi2、WSi2低温(小于600℃)时生成MoO3、WO3等挥发性物质，使涂层出现灾难性破坏，涂层抗氧化性能急剧下降。SiC涂层是目前应用比较成熟的抗氧化涂层，为改善因涂层与基体热膨胀系数不匹配而导致的结合强度问题，在制备涂层前，使用马弗炉对炭/炭复合材料表面进行微氧化处理，使其表面粗化，涂层制备结束后，在涂层与基体间形成改性层，从而使其抗氧化性能和结合强度都得到大幅提高；但在微氧化过程中，高温下碳与氧反应迅速，氧化程度难以控制，且会对基体造成一定程度的损伤，影响其高温性能。
发明内容
本发明旨在提供一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，使用等离子体表面活化技术可使炭/炭复合材料表面粗化，有助于提高涂层与基体的结合强度，双辉等离子表面冶金技术制备与基体呈冶金结合的耐高温氧化的复合渗镀涂层；涂层与基体呈冶金结合，可进一步解决结合强度低的问题，且涂层表面为氧化铬和氧化硅，不与氧反应，可解决氧化过程中因气体排出形成孔洞而导致抗氧化性能下降的问题。
本发明提供了一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，使用等离子体表面活化技术和双辉等离子表面冶金技术，先用氢等离子体刻蚀，活化炭/炭复合材料工件表面，然后以镍靶作为源极，在工件表面制备镍渗层；再以铬靶作为源极制备镍-铬复合渗镀涂层，最后使用硅氧烷作为前驱体、氧气作为反应气体，在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层。
上述的炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，包括以下步骤：
（1）工件表面活化处理：将炭/炭复合材料工件放入微波等离子体增强装置中，抽真空至1Pa以下，以氢气作为等离子体激发气体，流量为150-300sccm，工作气压5-7kPa，微波功率1.5-2kW，对炭/炭复合材料工件表面进行刻蚀活化处理，刻蚀温度为700-1000℃，处理时间为10-90min；
（2）制备镍渗层：将刻蚀活化后的炭/炭复合材料工件放入双辉等离子表面冶金装置内，以厚度为3-6mm、纯度为99.99-99.999%的镍金属靶材作为源极，将靶材下表面与工件上表面间距控制在16-18mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，其气流量为60-80sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-800V，工件极电压为350-550V，工件温度控制在800-900℃，进行镍渗层的制备，制备时间为0.5-2h；
（3）制备镍-铬复合渗镀层：上述镍涂层制备结束后，将镍靶源极更换成厚度为3-6mm、纯度为99.95-99.99%的铬金属靶材作为源极，调整靶材下表面与工件上表面间距在16-20mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，其流量为60-80sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-850V，工件极电压为350-600V，工件温度为800-950℃，进行铬涂层的制备，制备时间为3-5h，高温条件下镍、铬之间互扩散形成镍-铬复合渗镀涂层；
（4）制备氧化铬和氧化硅的复合涂层：镍-铬复合渗镀涂层制备结束后，以氢气作为载体，采用鼓泡法携带硅氧烷通入反应腔室，氢气流量为5-10sccm，同时通入氧气，氧气流量为2-5sccm，控制源极电压在500-700V，工件极电压在300-450V，控制工件温度为800-900℃，进行氧化铬和氧化硅的共沉积，沉积时间为2-4h，最终制得耐高温氧化涂层。
进一步地，所述硅氧烷为八甲基环四硅氧烷或十甲基环五硅氧烷。
本发明的原理是：（1）先使用微波等离子体表面活化实验装置对炭/炭复合材料表面进行刻蚀处理，形成蜂窝状结构的活化表面，有助于提高涂层与基体的结合强度。（2）使用双辉等离子表面冶金技术在刻蚀处理后的炭/炭复合材料表面制备镍渗层，金属镍属于非碳化物形成元素，不与碳反应，镍过渡层填充炭/炭复合材料表面因刻蚀而形成的蜂窝状缝隙，与基体形成犬牙交错结合，且会将炭/炭复合材料封装起来，阻挡碳元素向外扩散，可避免后续涂层制备过程中碳化物的形成。（3）在工件表面形成镍-铬合金层：考虑到镍不具备高温抗氧化性能，不能作为高温抗氧化涂层使用，所以在其表面渗入铬，制备抗高温氧化的铬涂层。（4）在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层，氧化铬、氧化硅、碳化铬和碳化硅同时沉积，能够与基体形成冶金结合，涂层制备结束后，停止硅氧烷和氢气通入，维持氩气和氧气通入，高温下碳化铬和碳化硅与氧反应生成氧化铬和氧化硅，至最后涂层中只有氧化铬和氧化硅存在，且高温下氧化硅具有流动性，能够填补因碳化铬和碳化硅与氧反应产生气体而形成的通道，有助于提高涂层与基体的结合强度和涂层的致密性，且氧化铬有助于提高涂层的韧性。
本发明的有益效果：
1）本发明采用氢等离子体刻蚀炭/炭复合材料，形成蜂窝状结构的活化表面，有助于随后金属的渗入及提高涂层与基体的结合强度。
2）本发明采用镍渗层渗透到炭/炭复合材料内部，且镍涂层将炭/炭复合材料封装起来，能够阻挡碳元素向外扩散，避免后续渗铬过程中碳化铬的形成，且能防止涂层氧化过程中贯穿通道的形成。
3）本发明制备的氧化铬和氧化硅复合涂层，涂层致密均匀，且涂层表面物质不与氧反应，阻挡氧向内扩散，避免气体扩散通道的产生，氧化硅形成三维网格结构，金属氧化物的均匀分布有助于提高涂层的韧性，两者都有助于防止内应力引起的涂层裂纹的产生，使得制备的复合涂层具有优良的高温抗氧化性能。
4）本发明采用同一台双辉等离子冶金实验装置就能够实现镍渗层、镍-铬合金层及氧化铬和氧化硅复合涂层的制备，生产成本低，有助于大规模工业化生产应用。
附图说明
图1为炭/炭复合材料表面抗氧化复合涂层的截面示意图；
图2为未处理炭/炭复合材料与实施例1、实施例2制备耐高温氧化涂层后的氧化失重率对比图；
图3为实施例1、实施例2制备耐高温氧化涂层氧化失重率图。
图中：1-炭/炭复合材料；2-镍渗层；3-镍-铬合金涂层；4-铬渗层；5-氧化铬-氧化硅复合涂层。
具体实施方式
下面通过实施例来进一步说明本发明，但不局限于以下实施例。
实施例1：
一种炭/炭复合材料耐高温氧化涂层的制备方法
本实施例使用等离子体表面活化技术和双辉等离子表面冶金技术，先用氢等离子体刻蚀炭/炭复合材料工件表面；然后在工件表面制备镍渗层，再以铬为靶材，在镍渗层表面渗入铬，在工件表面形成镍-铬合金涂层，最后分别通入氢气携带十甲基环五硅氧烷和氧气作为反应气体，在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层。制备的高温耐氧化涂层示意图如附图1所示。具体包括以下步骤：
（1）工件表面活化处理工艺如下：将炭/炭复合材料工件放入微波等离子体增强实验装置内，抽真空至1Pa以下，通入氢气，流量为180sccm，工作气压5.8kPa，微波功率1.8kW，刻蚀时间40min，进行表面活化处理；
（2）镍渗层制备工艺如下：将刻蚀后的炭/炭复合材料工件放入双辉等离子表面冶金装置内，以厚度为5mm、纯度为99.99%的镍金属靶材作为源极，将靶材下平面与工件上表面间距控制在16mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，其流量为60sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-800V，工件极电压在350-550V，控制工件温度为850℃，时间0.5h，进行镍渗层制备；
（3）镍-铬合金涂层制备工艺如下：上述镍涂层制备结束后，将镍靶源极更换成厚度为5mm、纯度为99.99%的铬靶源极，调整靶材与工件上表面间距16mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，其流量为80sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-850V，工件极电压在350-600V将工件温度升至900℃，沉积时间3h，进行铬的沉积，高温条件下镍、铬之间互扩散形成镍-铬合金层；
（4）氧化铬和氧化硅的复合涂层制备工艺如下：上述镍-铬合金涂层制备结束后，以氢气作为载体，采用鼓泡法携带十甲基环五硅氧烷通入反应腔室，氢气流量为6sccm，同时通入氧气，其流量为3sccm，控制源极电压在500-700V，工件极电压在300-450V，控制工件温度为900℃，沉积时间3h，进行氧化铬和氧化硅的共沉积，制备复合涂层。
如图1所示，在炭/炭复合材料1表面的涂层依次为（从内向外）：镍渗层2、镍-铬合金涂层3、铬渗层4以及氧化铬-氧化硅复合涂层5。
实施例2：
一种炭/炭复合材料耐高温氧化涂层的制备方法
本实施例提供的提高炭/炭复合材料耐高温氧化性能的涂层制备方法，具体包括以下步骤：
（1）工件表面活化处理工艺如下：将炭/炭复合材料工件放入微波等离子体增强实验装置内，抽真空至1Pa以下，通入氢气，流量为200sccm，工作气压6.2kPa，微波功率2kW，刻蚀时间60min，进行表面活化处理；
（2）镍渗层制备工艺如下：将刻蚀后的炭/炭复合材料工件放入双辉等离子表面冶金装置内，以厚度为5mm、纯度为99.99%的镍金属靶材作为源极，将靶材下平面与工件上表面间距控制在18mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，其流量为65sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-800V，工件极电压在350-550V，控制工件温度为880℃，时间1h，进行镍渗层制备；
（3）镍-铬合金涂层制备工艺如下：上述镍涂层制备结束后，将镍靶源极更换成厚度为5mm、纯度为99.99%的铬靶源极，调整靶材与工件上表面间距18mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，其流量为70sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-850V，工件极电压在350-600V将工件温度升至950℃，沉积时间2h，进行铬的沉积，高温条件下镍、铬之间互扩散形成镍-铬合金层；
（4）氧化铬和氧化硅的复合涂层制备工艺如下：上述镍-铬合金涂层制备结束后，氢气作为载体，采用鼓泡法携带八甲基环四硅氧烷通入反应腔室，氢气流量为10sccm，同时通入氧气，其流量为5sccm，控制源极电压在500-700V，工件极电压在300-450V，控制工件温度为850℃，沉积时间3h，进行氧化铬和氧化硅的共沉积，制备复合涂层。
热重实验结果表明：带有氧化铬和氧化硅复合涂层的炭/炭复合材料在室温至1300℃的热重实验中一直保持增重的状态，实施例1和实施例2氧化5小时增重率分别为1.071%和0.70%；未处理的C/C复合材料试样氧化3小时后完全挥发，失重率为100%，如图2和图3所示，其中图3是更为清晰的氧化动力学曲线。

Claims (4)

1.一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，其特征在于：使用等离子体表面活化技术和双辉等离子表面冶金技术，先用氢等离子体刻蚀，活化炭/炭复合材料工件表面，然后以镍靶作为源极，在工件表面制备镍渗层；再以铬靶作为源极制备镍-铬复合渗镀涂层，最后使用硅氧烷作为前驱体、氧气作为反应气体，在工件表面制备氧化铬和氧化硅的复合涂层。
2.根据权利要求1所述的炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
（1）工件表面活化处理：将炭/炭复合材料工件放入微波等离子体增强装置中，抽真空至1Pa以下，以氢气作为等离子体激发气体，流量为150-300sccm，工作气压5-7kPa，微波功率1.5-2kW，对炭/炭复合材料工件表面进行刻蚀活化处理，刻蚀温度为700-1000℃，处理时间为10-90min；
（2）制备镍渗层：将刻蚀活化处理后的炭/炭复合材料工件放入双辉等离子表面冶金装置内，以镍金属靶材作为源极，将靶材下表面与工件上表面间距控制在16-18mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，其流量为60-80sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-800V，工件极电压为350-550V，工件温度控制在800-900℃，进行镍渗层的制备，制备时间为0.5-2h；
（3）制备镍-铬复合渗镀层：上述镍涂层制备结束后，将镍靶更换为铬金属靶材，调整靶材下表面与工件上表面间距在16-20mm，抽真空至1Pa以下，通入惰性气体Ar，氩气流量为60-80sccm，开启源极和工件极电源，控制源极电压在600-850V，工件极电压为350-600V，工件温度为800-950℃，进行铬涂层的制备，制备时间为3-5h，高温条件下镍、铬之间互扩散形成镍-铬复合渗镀涂层；
（4）制备氧化铬和氧化硅的复合涂层：镍-铬复合渗镀涂层制备结束后，以氢气作为载体，采用鼓泡法携带硅氧烷通入反应腔室，氢气流量为5-10sccm，同时通入氧气，氧气流量为2-5sccm，控制源极电压在500-700V，工件极电压在300-450V，控制工件温度为800-900℃，进行氧化铬和氧化硅的共沉积，沉积时间为2-4h，最终制得耐高温氧化涂层。
3.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，其特征在于：所述硅氧烷为八甲基环四硅氧烷或十甲基环五硅氧烷。
4.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法，其特征在于：所述镍金属靶材的厚度为3-6mm、纯度为99.99-99.999%；所述铬金属靶材的厚度为3-6mm、纯度为99.95-99.99%。
CN201610221435.8A 2016-04-12 2016-04-12 一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法 Expired - Fee Related CN105861984B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610221435.8A CN105861984B (zh) 2016-04-12 2016-04-12 一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610221435.8A CN105861984B (zh) 2016-04-12 2016-04-12 一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105861984A true CN105861984A (zh) 2016-08-17
CN105861984B CN105861984B (zh) 2018-05-22

Family

ID=56636573

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610221435.8A Expired - Fee Related CN105861984B (zh) 2016-04-12 2016-04-12 一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105861984B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112593185A (zh) * 2020-11-17 2021-04-02 北京北方华创微电子装备有限公司 薄膜制备方法
CN115491637A (zh) * 2022-09-30 2022-12-20 太原理工大学 一种提高金刚石衬底光学透过率的方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5238741A (en) * 1989-10-19 1993-08-24 United Kingdom Atomic Energy Authority Silicon carbide filaments bearing a carbon layer and a titanium carbide or titanium boride layer
US20070284255A1 (en) * 2006-05-17 2007-12-13 Vladimir Gorokhovsky Wear resistant vapor deposited coating, method of coating deposition and applications therefor
CN102732832A (zh) * 2012-06-28 2012-10-17 南京航空航天大学 一种钛合金表面抗高温氧化和耐磨损的氧化物梯度涂层及其制备方法
CN105386049A (zh) * 2015-11-21 2016-03-09 太原理工大学 一种在硬质合金表面制备梯度硬质复合涂层的方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5238741A (en) * 1989-10-19 1993-08-24 United Kingdom Atomic Energy Authority Silicon carbide filaments bearing a carbon layer and a titanium carbide or titanium boride layer
US20070284255A1 (en) * 2006-05-17 2007-12-13 Vladimir Gorokhovsky Wear resistant vapor deposited coating, method of coating deposition and applications therefor
CN102732832A (zh) * 2012-06-28 2012-10-17 南京航空航天大学 一种钛合金表面抗高温氧化和耐磨损的氧化物梯度涂层及其制备方法
CN105386049A (zh) * 2015-11-21 2016-03-09 太原理工大学 一种在硬质合金表面制备梯度硬质复合涂层的方法

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
XI XI LUO ET AL.: ""A study on high temperature oxidation behavior of double glow plasma surface metallurgu Fe-Al-Cr alloyed layer on Q235 steel"", 《APPLIED SURFACE SCIENCE》 *
XIANGNA CONG ET AL.: ""A novel Ir-Zn gradient coating prepared on Mo substrate by double glow plasma"", 《APPLIED SURFACE SCIENCE》 *
YING ZHANG ET AL.: ""plasma and microstructure of tungsten coating on c/c composite prepared by double-glow plasma"", 《FUSION ENGINEERING AND DESIGN》 *
吴王平等: ""C/C复合材料表面铱涂层的研究"", 《贵金属》 *
杨鑫等: ""C/C复合材料的高温抗氧化防护研究进展"", 《宇航材料工艺》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112593185A (zh) * 2020-11-17 2021-04-02 北京北方华创微电子装备有限公司 薄膜制备方法
CN115491637A (zh) * 2022-09-30 2022-12-20 太原理工大学 一种提高金刚石衬底光学透过率的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN105861984B (zh) 2018-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101488302B1 (ko) 알루미늄 다이캐스팅 금형용 코팅재 및 이의 제조방법
CN102534469B (zh) 一种高温抗氧化涂层钼材料的制备方法
JP5306227B2 (ja) 連続焼鈍炉用ハースロールおよびその製造方法
CN106835054B (zh) 金刚石单晶表面金属化处理的方法
CN103374697B (zh) 类金刚石膜层的表面处理方法及制品
CN104988466A (zh) 一种利用双辉等离子渗金属技术低温制备α-Al2O3涂层的方法
CN107779829B (zh) 基于高温镍基合金的多层复合耐高温腐蚀涂层的制备方法
CN105861984A (zh) 一种炭/炭复合材料表面耐高温氧化涂层的制备方法
CN113969394B (zh) 一种铌合金表面耐高温高阻氧隔热涂层及其制备方法
CN101158041A (zh) 金属表面形成ZrO2陶瓷复合材料的方法
CN108441822A (zh) 一种磁控溅射法制备(Cu,Fe)3O4尖晶石涂层的方法及其应用
CN111455333A (zh) 一种富Al刚玉结构Al-Cr-O薄膜及其制备方法
Zhang et al. Effect of annealing temperature on microstructure and mechanical properties of plasma sprayed TiC-Ti5Si3-Ti3SiC2 composite coatings
TW201305386A (zh) 殼體及其製作方法
JP6110852B2 (ja) 溶射被覆層を有する炭素材料
CN103434209B (zh) 一种新型的低热导率和耐高温热障涂层及其制备方法
CN112962012B (zh) 一种集抗氧化和阻界面扩散于一体的复合防护涂层及其制备方法
CN106098501B (zh) 一种Ag‑Mg‑Al合金次级发射阴极材料及其制备方法
CN101798696B (zh) 一种碳化钛基多元陶瓷涂层的制备方法
CN111471969B (zh) 一种用于在高温下抗氧化的Cr/CrN/CrAlN梯度涂层及制备方法
CN105669254B (zh) 一种提高炭/炭复合材料耐高温氧化性能的方法
CN116219376B (zh) 一种钽表面抗高温烧蚀涂层及其制备方法
CN103570352A (zh) 一种石墨发热体加热炉内碳素材料表面原位反应烧结SiC涂层的制备方法
CN105887029A (zh) 一种具备氮钇锆硬质涂层钼合金板材的制备方法
CN116926542B (zh) 一种低摩擦系数的铜-镍-金刚石复合材料及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180522

Termination date: 20200412

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee