CN105834582A - 一种具有良好加工性能的镍磷厚膜 - Google Patents

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Abstract

一种具有良好加工性能的镍磷厚膜，涉及收集镜片的镍磷厚膜，为了解决加工镍磷厚膜时金刚石车刀磨损严重，加工件颤抖严重，表面粗糙度不能达到要求的问题。按质量百分比计：磷为M，镍为1‑M，M为9％～10％。对镍磷厚膜车削加工，金刚石车刀行进顺利，加工件稳定，加工后表面粗糙度得到降低，表面没有波纹，本发明适用于收集镜片的精加工。

Description

一种具有良好加工性能的镍磷厚膜
技术领域
本发明涉及收集镜片的镍磷厚膜。
背景技术
用毛细管大电流快脉冲放电Z箍缩获取极紫外光(13.5nm)辐射，做为极大规模集成电路刻线(刻线<20nm)的光刻光源，其中极紫外光的收集系统，在收集镜片粗加工后，需用化学镀镀一层镍磷厚膜，膜厚在200μm以上，然后对镀有镍磷厚膜的收集镜片，用金刚石车床精加工，为保证极紫外光在收集镜上掠入射的反射效率尽量高、表面粗糙度设计上要求在1nm左右。对收集镜片精加工就是在镀的镍磷厚膜上进行的。
采用本课题组提出的“电脉冲提高化学镀镍磷合金层厚度的方法”的发明专利(专利号ZL2014 1006 2341.1)”可实现对收集镜片的化学镀厚膜。
镀膜后，在金刚石车床上，对镍磷厚膜车削加工，金刚石车刀磨损非常严重，加工件颤抖十分严重，精加工无法进行。
发明内容
本发明的目的是为了解决加工镍磷厚膜时金刚石车刀磨损严重，加工件颤抖严重，表面粗糙度不能达到要求的问题，从而提供一种具有良好加工性能的镍磷厚膜。
本发明所述的一种具有良好加工性能的镍磷厚膜，按质量百分比计：磷为M，镍为1-M，M为9％～10％。
镀镍磷厚膜后，在金刚石车床上，对镍磷厚膜车削加工，金刚石车刀行进顺利，加工件稳定，加工后表面粗糙度得到降低，表面没有波纹，膜的硬度为Hv610度。本发明的镍磷厚膜镀制后精加工得到较理想效果，加工性能好，为收集镜片集成为收集镜系统打下了基础。
本发明适用于收集镜片的精加工。
具体实施方式
具体实施方式一：本实施方式所述的一种具有良好加工性能的镍磷厚膜，本实施方式中，按质量百分比计：磷为M，镍为1-M，M为9％～10％。
为了进行比较，改变镍磷厚膜的成分比例，镍磷厚膜中磷质量含量低，其磷、镍所占的质量百分比分别是磷3％～5％，镍97％～95％。镀制后，对收集镜片金刚石车刀车削，金刚石车刀磨损非常严重，加工件也颤抖十分严重，精加工无法进行，测得膜的硬度Hv710度。
为了提高加工性能，降低加工后表面的粗糙度，通常需要改进车削加工装置，而本实施方式从改进镍磷厚膜入手，本实施方式简单、易实现。
具体实施方式二：本实施方式是对具体实施方式一所述的一种具有良好加工性能的镍磷厚膜作进一步说明，本实施方式中，M为9.5％。
M为9.5％时，加工性能进一步改善，加工件更加稳定。

Claims (2)

1.一种具有良好加工性能的镍磷厚膜，其特征在于，按质量百分比计：磷为M，镍为1-M，M为9％～10％。
2.根据权利要求1所述的一种具有良好加工性能的镍磷厚膜，其特征在于，M为9.5％。
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