CN105765232B

CN105765232B - 真空泵用配件、西格班型排气机构、以及复合型真空泵

Info

Publication number: CN105765232B
Application number: CN201480063641.XA
Authority: CN
Inventors: 野中学; 桦泽刚志
Original assignee: Edwards Japan Ltd
Current assignee: Edwards Japan Ltd
Priority date: 2013-11-28
Filing date: 2014-10-03
Publication date: 2019-05-14
Anticipated expiration: 2034-10-03
Also published as: JP6616560B2; US20160298645A1; CN105765232A; EP3076021A1; KR102214000B1; EP3076021B1; JP2015102076A; KR20160090289A; EP3076021A4; WO2015079801A1; US10280937B2

Abstract

本发明提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构，并且，提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的复合型真空泵。本发明的实施方式的真空泵是具备将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构的复合型真空泵。固定圆板形成有具有峰部和谷部的螺旋状槽（螺旋槽），在作为对置于旋转圆筒（旋转体圆筒部）的一侧的内径部、或配设于外周侧的固定圆筒的内径侧的双方或某一个上具有突起（突出）部。另外，旋转圆板形成有具有峰部和谷部的螺旋状槽，在配设于内周侧的旋转圆筒的外径部、或作为该旋转圆板对置于间隔件的一侧的外径部的双方或某一个上具有突起（突出）部。

Description

真空泵用配件、西格班型排气机构、以及复合型真空泵

技术领域

本发明涉及真空泵用配件、西格班型排气机构、以及复合型真空泵。详细来说，涉及在配设的真空泵中将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构，并且，涉及将具有排气作用的管道和管道有效地相连的复合型真空泵。

背景技术

真空泵具备形成具备吸气口以及排气口的外装体的壳体，在该壳体的内部，收纳有在该真空泵中发挥排气功能的构造物。该发挥排气功能的构造物大体上由被旋转自如地轴支承的旋转部（转子部）和相对于壳体被固定的固定部（定子部）构成。另外，设置有用于使旋转轴高速旋转的马达，若旋转轴借助该马达的工作而高速旋转，则气体借助转子叶片（旋转圆板）和定子叶片（固定圆板）的相互作用而从吸气口被吸引，并从排气口排出。真空泵中的具有西格班型的结构的西格班型分子泵具备旋转圆板（旋转圆盘）和在轴向上与该旋转圆板具有间隙（空隙）地设置的固定圆板，并在该旋转圆板或固定圆板的至少某一个的间隙对置表面上刻设有螺旋状槽（也称为螺旋槽或涡旋状槽）流道。而且，是下述这样的真空泵：借助旋转圆板对扩散进入至螺旋状槽流道内的气体分子施加旋转圆板切线方向（即，旋转圆板的旋转方向的切线方向）的动量，由此借助螺旋状槽施加从吸气口朝向排气口占优的方向性来进行排气。为了在工业上利用这样的西格班型分子泵或者具有西格班型分子泵部的真空泵，由于在旋转圆板和固定圆板的级为单级的情况下压缩比不足，因此采用多级化。这里，西格班型分子泵是半径流泵元件，所以为了多级化，例如，需要下述这样的结构：以在从外周部向内周部排气后、从内周部向外周部排气、再从外周部向内周部排气这样的方式，从吸气口朝向排气口（即，真空泵的轴线方向），在旋转圆板以及固定圆板的外周端部以及内周端部将流道折返来进行排气。

专利文献1：日本特开昭60－204997号。

专利文献2：日本实用新案登录公报第2501275号。

在专利文献1中，记载了下述技术：在真空泵中，在泵箱体内具备涡轮分子泵部、螺旋状槽泵部和离心式泵部。在专利文献2中，记载了下述技术：在西格班型分子泵中，在各旋转圆板以及静止圆板的对置面上设置方向不同的螺旋状槽。上述的现有技术的结构中的气体分子（气体）的流动如下所述。由上游西格班型分子泵部移送至内径部的气体分子被排出至形成于旋转圆筒和固定圆板之间的空间。接着，被向该空间开口的下游西格班型分子泵部的内径部吸引，然后，被移送至该下游西格班型分子泵部的外径部。在多级化的情况下，该流动针对每一级重复进行。然而，在上述的空间（即，形成于旋转圆筒和固定圆板之间的空间）中没有排气作用，因此由上游西格班型分子泵部对气体分子施加的向排气方向的动量在到达该空间时消失。

图30是为了说明以往的西格班型分子泵4000而表示以往的西格班型分子泵4000的概要结构例的图。箭头表示气体分子的流动。图31是用于说明配设于以往的西格班型分子泵4000的固定圆板5000的图，是从以往的西格班型分子泵4000的吸气口4（图30）侧观察的情况下的固定圆板5000的剖视图。固定圆板5000内的箭头表示气体分子的流动，固定圆板5000外的箭头表示旋转圆板9（图30）的旋转方向。此外，以下，将1个（1级）固定圆板5000中的吸气口4侧称为西格班型分子泵上游区域、排气口6侧称为西格班型分子泵下游区域来进行说明。如上所述，在西格班型分子泵4000中，即使对气体分子施加朝向排气口6占优的动量，也由于作为该气体分子的流道的内侧折返流道a（即，形成于旋转圆筒10和固定圆板5000之间的空间）是没有排气作用的“相连”的空间，因此导致施加的动量消失。因此，在该内侧折返流道a中排气作用间断，因此已压缩的气体分子每次通过该内侧折返流道a都被开放，其结果，在以往的西格班型分子泵4000中，存在不能得到良好的排气效率的问题。

若缩小内侧折返流道a的流道截面积（即，使由旋转圆筒10的外径和固定圆板5000的内径形成的间隙变窄），则气体分子滞留于内侧折返流道a，作为西格班型分子泵上游区域的出口（从上游区域向下游区域的折返地点）的内侧折返流道a的流道压力上升。其结果，产生压力损失而使真空泵（西格班型分子泵4000）整体的排气效率降低。为了防止这样的排气效率的降低，以往，如图30所示，需要内侧折返流道a的流道截面积以及管道宽度相比西格班型分子泵部中的管道（由旋转圆筒10和固定圆板5000的各对置面形成的间隙，供气体分子通过的管状的流道）的截面积以及管道宽度而充分增大。但是，若将内侧折返流道a的流道的尺寸设定得较大，则内径侧支承旋转部的径向磁力轴承装置30等的尺寸被制约，另一方面，若增大成为外径侧的固定圆板5000的直径，则西格班型分子泵部的半径方向尺寸减少而流道变窄，从而存在不能充分地得到每1级的压缩性能的问题。为了使用这样的现有技术来得到既定的压缩比，需要增加西格班型分子泵部的级数。但是，存在下述问题：若增加级数，则旋转圆板9、固定圆板5000的材料费用、加工费用增大，进而，高速旋转的旋转圆板9的质量、惯性力矩增大，因此额外需要对其进行支承的磁力轴承装置的容量等，导致构成真空泵的结构件的成本增大。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供在配设的真空泵中将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构，并且，提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的复合型真空泵。

为了实现上述目的，在技术方案1记载的本申请发明中，提供一种真空泵用配件，其特征在于，具有在至少一部分上配设有螺旋槽的圆板状部，在下述面中的至少某1个面的至少一部分上配设有突起：前述圆板状部的未配设前述螺旋槽的内周侧面或外周侧面、或者配设于前述圆板状部的内周侧并与该圆板状部同心的圆筒状部的外周侧面、或配设于前述圆板状部的外周侧并与该圆板状部同心的圆筒状部的内周侧面。

在技术方案2记载的本申请发明中，提供一种真空泵用配件，具有与至少一部分上配设有螺旋槽的圆板状部同心地配设的圆筒状部，其特征在于，

在前述圆板状部配设于前述圆筒状部的外周侧的情况下的该圆筒状部的外周侧面、或前述圆板状部配设于前述圆筒状部的内周侧的情况下的该圆筒状部的内周侧面中，在至少某一面的至少一部分上配设有突起。

在技术方案3记载的本申请发明中，提供根据技术方案1或技术方案2所述的真空泵用配件，其特征在于，前述突起的配设数是前述螺旋槽的配设数的整数倍。

在技术方案4记载的本申请发明中，提供根据技术方案1或技术方案2所述的真空泵用配件，其特征在于，前述螺旋槽的配设数是前述突起的配设数的整数倍。

在技术方案5记载的本申请发明中，提供根据技术方案1至技术方案4中任一技术方案所述的真空泵用配件，其特征在于，在配设有前述突起的面中，前述突起的位置和前述螺旋槽的峰部的前述面侧的端部的位置一致。

在技术方案6记载的本申请发明中，提供根据技术方案1至技术方案5中任一技术方案所述的真空泵用配件，其特征在于，在配设有前述突起的面中，前述突起和前述螺旋槽的峰部的前述面侧的端部以连续的形状配设。

在技术方案7记载的本申请发明中，提供根据技术方案1至技术方案6中任一技术方案所述的真空泵用配件，其特征在于，前述突起相对于前述圆板状部的中心轴具有既定的角度地配设。

在技术方案8记载的本申请发明中，提供根据技术方案1至技术方案7中任一技术方案所述的真空泵用配件，其特征在于，前述突起以下述尺寸配设：突出量为前述突起和前述螺旋槽接近的部分处的前述螺旋槽的深度的70％以上。

在技术方案9记载的本申请发明中，提供根据技术方案1至技术方案8中任一技术方案所述的真空泵用配件，其特征在于，前述圆板状部由1个或多个配件构成。

在技术方案10记载的本申请发明中，提供一种西格班型排气机构，其特征在于，由技术方案1至技术方案9中任一技术方案所述的真空泵用配件、和具有对置于前述螺旋槽的面的第2配件构成，借助前述真空泵用配件和前述第2配件的相互作用来移送气体。

在技术方案11记载的本申请发明中，提供根据技术方案10所述的西格班型排气机构，其特征在于，前述第2配件以及前述突起以下述尺寸配设：前述第2配件和前述突起对置的面中的该第2配件和该突起的距离为2mm以内。

在技术方案12记载的本申请发明中，提供根据技术方案10或技术方案11所述的西格班型排气机构，其特征在于，前述突起向具备前述真空泵用配件的真空泵的排气方向倾斜地配设。

在技术方案13记载的本申请发明中，提供一种复合型真空泵，其特征在于，将技术方案10、技术方案11、或技术方案12所述的西格班型排气机构和螺纹槽型分子泵机构复合而成。

在技术方案14记载的本申请发明中，提供一种复合型真空泵，其特征在于，将技术方案10、技术方案11、或技术方案12所述的西格班型排气机构和涡轮分子泵机构复合而成。

在技术方案15记载的本申请发明中，提供一种复合型真空泵，其特征在于，将技术方案10、技术方案11、或技术方案12所述的西格班型排气机构、螺纹槽型分子泵机构和涡轮分子泵机构复合而成。

发明的效果

根据本发明，能够提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构，并且，能够提供将具有排气作用的管道和管道有效地相连的复合型真空泵。

附图说明

图1是表示涉及本发明的实施方式的西格班型分子泵的概要结构例的图。

图2是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的放大图。

图3是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图4是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图5是表示涉及本发明的实施方式的西格班型分子泵的概要结构例的图。

图6是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图7是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图8是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图9是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图10是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的放大图。

图11是表示涉及本发明的实施方式的西格班型分子泵的概要结构例的图。

图12是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的放大图。

图13是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的图。

图14是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的图。

图15是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的图。

图16是表示涉及本发明的实施方式的西格班型分子泵的概要结构例的图。

图17是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的放大图。

图18是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的图。

图19是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的图。

图20是用于说明涉及本发明的实施方式的旋转圆板的放大图。

图21是表示涉及本发明的实施方式的西格班型分子泵的概要结构例的图。

图22是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的放大图。

图23是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图24是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图25是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的放大图。

图26是表示涉及本发明的实施方式的西格班型分子泵的概要结构例的图。

图27是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图28是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图29是用于说明涉及本发明的实施方式的固定圆板的图。

图30是用于说明现有技术的图，是表示西格班型分子泵的概要结构例的图。

图31是用于说明现有技术的图，是从吸气口侧观察的情况下的固定圆板的剖视图。

具体实施方式

（i）实施方式的概要

本发明的实施方式的真空泵是具备将具有排气作用的管道和管道有效地相连的真空泵用配件以及西格班型排气机构的复合型真空泵。更详细来说，涉及本发明的实施方式的固定圆板形成有具有峰部和谷部的螺旋状槽，在作为对置于旋转圆筒（旋转体圆筒部）的一侧的内径部、或配设于外周侧的固定圆筒的内径侧的双方或某一个上具有突起（突出）部。另外，涉及本发明的实施方式的旋转圆板形成有具有峰部和谷部的螺旋状槽，在配设于内周侧的旋转圆筒的外径部、或作为该旋转圆板对置于间隔件的一侧的外径部的双方或某一个上具有突起（突出）部。由该突起形状构成的突出部（突起部）构成为，将该固定圆板的上游区域（吸气口侧的面）和下游区域（排气口侧的面）的螺旋状槽的双方的峰部（固定圆板峰部）延长并使其包络而成、在没有形成螺旋状槽的面上设置突起部分、或者在内径部以及外径部的某一个或双方上配设斜板而成等。在本发明的实施方式中，借助形成有该突出部的区域（气体的流道），能够在具有排气作用的西格班型分子泵上游区域和西格班型分子泵下游区域保持排气的连续性。

（ii）详细的实施方式

以下，参照图1至图31来对本发明的优选的实施方式详细地进行说明。此外，在本实施方式中，作为真空泵的一例，使用西格班型分子泵进行说明，并将与旋转圆板的直径方向垂直的方向作为轴线方向（中心轴）。另外，以下，将1个（1级）固定圆板的吸气口侧称为西格班型分子泵上游区域、排气口侧称为西格班型分子泵下游区域来进行说明。

首先，以下对下述这样的西格班型排气机构以及具有该西格班型排气机构的真空泵的结构例进行说明，该西格班型排气机构以将西格班型分子泵上游区域的气体从外径侧向内径侧排气、然后将西格班型分子泵下游区域的气体从内径侧向外径侧排气这样的流动（气体的路线被折返的结构）进行排气。此外，在本发明的各实施方式中，所谓的西格班型排气机构，表示借助形成有螺旋状槽的第1配件和具有与该第1配件对置的面的第2配件的相互作用来移送气体的机构（结构）。

（ii－1）结构

图1是表示涉及本发明的第1实施方式的西格班型分子泵1的概要结构例的图。此外，图1表示西格班型分子泵1的轴线方向的剖视图。形成西格班型分子泵1的外装体的壳体2做成大致圆筒状的形状，并与设置于壳体2的下部（排气口6侧）的基座3一同构成西格班型分子泵1的箱体。而且，在该箱体的内部，收纳有作为在西格班型分子泵1中发挥排气功能的构造物的气体移送机构。该气体移送机构大体上由被旋转自如地支承（轴支承）的旋转部和相对于箱体被固定的固定部构成。

在壳体2的端部形成有用于将气体向该西格班型分子泵1导入的吸气口4。另外，在壳体2的吸气口4侧的端面，形成有向外周侧伸出的凸缘部5。另外，在基座3上形成有用于从该西格班型分子泵1排出气体的排气口6。

旋转部由作为旋转轴的转轴7、配设于该转轴7的转子8、设置于转子8的多块旋转圆板9、以及旋转圆筒10等构成。此外，由转轴7以及转子8构成转子部。各旋转圆板9由做成相对于转轴7的轴线垂直地以放射状延伸的圆板形状的圆板部件构成。另外，旋转圆筒10由做成与转子8的旋转轴线同心的圆筒形状的圆筒部件构成。

在转轴7的轴线方向中间，设置有用于使转轴7高速旋转的马达部20。进而，相对于转轴7的马达部20，在吸气口4侧以及排气口6侧设置有用于将转轴7沿径向方向（径向）非接触地支承（轴支承）的径向磁力轴承装置30、31，并在转轴7的下端设置有用于将转轴7沿轴线方向（轴向方向）非接触地支承（轴支承）的轴向磁力轴承装置40。

在箱体的内周侧形成有固定部（定子部）。该固定部由设置于吸气口4侧的多块固定圆板50等构成，在该固定圆板50上刻设有作为由固定圆板谷部51以及固定圆板峰部52构成的螺旋状的槽的螺旋槽部53。此外，在本实施方式中，对于在固定圆板50上刻设有螺旋状的槽（螺旋槽部53）的结构和在旋转圆板9上刻设有螺旋状的槽（后述的螺旋槽部93）的结构的各结构，以各实施方式进行说明。由螺旋状的槽形成的螺旋状槽流道只要刻设在旋转圆板9或固定圆板50的至少某一个的间隙对置表面上即可。各固定圆板50由做成相对于转轴7的轴线垂直地以放射状延伸的圆板形状的圆板部件构成。各级的固定圆板50借助做成圆筒形状的间隔件60相互隔开并固定。图1的箭头表示气体的流动。此外，在本实施方式的各图中，为了说明，将表示气体的流动的箭头表示于附图的一部分。在西格班型分子泵1中，旋转圆板9和固定圆板50相互区分地配置，沿轴线方向形成有多级，但为了满足真空泵所要求的排出性能，也能够按照需要而设置任意数量的转子配件以及定子配件。

借助这样地构成的西格班型分子泵1，进行配设于西格班型分子泵1的真空室（未图示）内的真空排气处理。

（ii－2）第1实施方式

首先，对在固定圆板50上形成有由固定圆板谷部51和固定圆板峰部52构成的螺旋槽部53、并且在固定圆板50上的未形成有螺旋槽部的内周侧配设有突出部600的方式即第1实施方式进行说明。如图1所示，涉及第1实施方式的西格班型分子泵1在配设的固定圆板50的内周具有突出部600。更详细来说，配设于西格班型分子泵1的固定圆板50在作为对置于旋转圆筒10的一侧的内径侧，具有突出部600，该突出部600通过延长形成于上游区域（吸气口4侧的面）的螺旋状槽的峰部（固定圆板峰部52）和形成于下游区域（排气口6侧的面）的螺旋状槽的峰部（固定圆板峰部52）的双方并使它们包络而形成。图2是用于说明涉及第1实施方式的固定圆板50的图，是图1中的B－B’剖视图（从转轴7侧观察壳体2侧的情况下的剖视图）。如图2所示，在固定圆板50上从固定圆板50向内周方向（若参照图1，则从固定圆板50的内周侧面朝向马达部20方向）突出地形成有以与旋转圆板9的运动方向大致垂直的角度配设的突出部600。

在第1实施方式中，借助该突出部600，在固定圆板50的上游和下游将流道结合。也就是说，通过形成该突出部600，使具有排气作用（即，具有螺旋状槽构造）的西格班型分子泵上游区域和西格班型分子泵下游区域以排气作用不间断的方式连续。这样，在第1实施方式中，供在西格班型排气机构（西格班型分子泵部）的区域中流动的气体分子（气体）通过的流道不是以往的内侧折返流道a（图30、图31）那样的不具有排气作用、压缩作用的空间，而是在旋转圆筒10和固定圆板50的内径部侧面的空间（间隙）中，将形成于固定圆板50的突出部600所存在的空间作为内侧折返流道来通过。

图3是从吸气口4侧观察涉及第1实施方式的固定圆板50的立体投影图。如图3所示，在表面的上下形成有由固定圆板谷部51和固定圆板峰部52构成的螺旋槽部53的固定圆板50上，在作为对置于旋转圆筒10（图1）的一侧的内径侧面上形成有突出部600。在第1实施方式中，形成于固定圆板50的上下表面的固定圆板峰部52的相位上下一致，并且，突出部600和固定圆板峰部52连续地形成为一体型而成。图4（a）与图3对应，是用于说明涉及第1实施方式的固定圆板50的图，是从图1的A－A’方向（吸气口4侧）观察配设有图3所示的固定圆板50的西格班型分子泵1的剖视图。在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的螺旋槽部。此外，在图4中，在固定圆板50的内部所示的实线箭头表示在形成于固定圆板50的上游面的螺旋槽部53（固定圆板谷部51）中通过的气体分子的流动的一部分。另一方面，在该图中，在固定圆板50的内部所示的虚线箭头表示在形成于固定圆板50的下游面的螺旋槽部53（固定圆板谷部51）中通过的气体分子的流动的一部分。如图3以及图4（a）所示，在第1实施方式中，形成于固定圆板50的上游面（吸气口4侧的面）的固定圆板峰部52、突出部600、以及形成于固定圆板50的下游面（排气口6侧的面）的固定圆板峰部52以无间断地相连的状态连续地形成，从而构成为一体型。

如上所述，在具有涉及第1实施方式的固定圆板50的西格班型分子泵1中，固定圆板50的螺旋槽部53的峰（固定圆板峰部52）和突出部600无间断地连续地相连而成。根据该结构，形成于突出部600之间的流道和形成于固定圆板峰部52之间的流道连续地相连。因此，能够得到下述这样的效果：由上游（靠吸气口4侧）的螺旋槽部53施加于气体（气体分子）的“向排气方向占优的动量”不易消失，即防止因由旋转圆筒10和管道（西格班型分子泵1的半径方向的排气流道）形成的空间间断而导致散逸。此外，所谓“向排气方向占优的动量”，是指在西格班型分子泵1（西格班型排气机构）的轴线方向、内径侧的流道中，对气体分子以向该气体分子的排气方向占优的方式施加的动量。

另外，形成于固定圆板50的上下表面的固定圆板峰部52的相位相同，且以将该上下的固定圆板峰部52的端面彼此相连的方式配设有突出部600。根据该结构，形成于突出部600之间的流道和形成于螺旋槽部53的峰（固定圆板峰部52）之间的流道连续地相连。因此，能够得到下述这样的效果：由上游的螺旋槽部53施加于气体的“向排气方向占优的动量”不易消失，即、防止因由旋转圆筒10和管道（西格班型分子泵1的半径方向的排气流道）形成的空间间断而导致散逸。

这里，在第1实施方式中，如上所述地构成为，形成于固定圆板50的上下表面的固定圆板峰部52的相位一致，并且，突出部600和上下表面的固定圆板峰部52的端面（内径侧的端面）连续地形成为一体型，但并不限于此。如图4（b）所示，也可以构成为，在固定圆板50上形成突出部600的位置和固定圆板峰部52的内径方向端面不一致，也就是说，突出部600和固定圆板峰部52以非连续的状态形成。或者，如图4（c）所示，也可以构成为，形成于固定圆板50的上下表面的螺旋槽部53的、固定圆板峰部52的相位在上表面（由实线图示）和下表面（由虚线图示）不一致。在这种不使上下的相位一致的结构的情况下，如图4（c）所示，优选地，构成为，形成于固定圆板50的上游的固定圆板峰部52（实线）和突出部600的上游端部、以及形成于固定圆板50的下游的固定圆板峰部52（虚线）和突出部600的下游端部连续地形成。在该结构的情况下，突出部600构成为，与西格班型分子泵1的轴线方向形成既定的角度。此外，对于突出部600与西格班型分子泵1的轴线方向具有既定的角度的情况下的结构在后详细叙述（变形例3）。或者，虽未图示，但在形成于固定圆板50的上下表面的螺旋槽部53的、固定圆板峰部52的相位在上表面（实线）和下表面（虚线）不一致的结构中，突出部600也可以与西格班型分子泵1的轴线方向平行地形成。在该结构的情况下，以形成于固定圆板50的上游的固定圆板峰部52（实线）和突出部600的上游端部连续的状态、形成于固定圆板50的下游的固定圆板峰部52（虚线）和突出部600的下游端部连续的状态、或者突出部600的上游端部和下游端部中的每一个都与固定圆板峰部52非连续的状态中的任一个的结构，形成于固定圆板50的内周面。

（ii－3）第2实施方式

图5是表示涉及第2实施方式的西格班型分子泵100的概要结构例的图。对于与图1相同的结构，省略附图标记和说明。图6是从吸气口4侧观察涉及第2实施方式的固定圆板50的立体图。在第2实施方式中，与第1实施方式不同的点在于，形成于固定圆板50的突出部（突起部）601以与固定圆板50的内径侧面的轴向宽度相同的宽度（轴向的宽度）形成。也就是说，在第2实施方式中，突出部601以在固定圆板50的内径侧端不与螺旋槽部53的峰（固定圆板峰部52）连续的状态配设于固定圆板50。此外，与上述的轴向正交的方向的宽度既可以例如图6所示地与固定圆板峰部52的轴线方向截面中的与轴线方向正交的宽度大致相同值，也可以比该宽度大或比该宽度小。

另外，在上述的第1实施方式以及第2实施方式中，做成配设于固定圆板50的突出部600（601）的数量与刻设于固定圆板50的螺旋槽部53的峰（固定圆板峰部52）的数量相同的结构，但并不限于此。希望的是，突出部600（601）的配设数是固定圆板峰部52的配设数的整数倍即可。

（ii－4－1）第1实施方式、第2实施方式的变形例1

图7是用于说明涉及第1实施方式以及第2实施方式的变形例1的固定圆板50的图，是从吸气口4侧观察图1或者图5中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的螺旋槽部。在第1实施方式以及第2实施方式中，构成为，如图7（a）所示，配设于固定圆板50的突出部600（601）的数量与刻设于固定圆板50的螺旋槽部53的峰（固定圆板峰部52）的数量相同（1倍），为8。与此相对，在本变形例1中，也可以构成为，例如图7（b）所示，将刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的数量设为8而将突出部600（601）的数量设为8的2倍即16。或者，也可以构成为，例如图7（c）所示，将刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的数量设为8而将突出部600（601）的数量设为8的3倍即24。进而，也可以构成为，如图7（d）所示，将刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的数量设为6而将突出部600（601）的数量设为6的4倍即24。也就是说，在图7的各图中，构成为，突出部600（601）的配设数为固定圆板峰部52的配设数的整数倍（n＝1，2，3…）。

（ii－4－2）第1实施方式、第2实施方式的变形例2

与变形例1相同，也可以反过来使固定圆板峰部52的配设数为突出部600（601）的配设数的整数倍。使用图8对该变形例2的结构进行说明。图8是用于说明涉及第1实施方式以及第2实施方式的变形例2的固定圆板50的图，是从吸气口4侧观察图1或者图5中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的螺旋槽部。在第1实施方式以及第2实施方式中，构成为，如图8（a）所示，配设于固定圆板50的突出部600（601）的数量与刻设于固定圆板50的螺旋槽部53的峰（固定圆板峰部52）的数量相同（1倍），为8。与此相对，在本变形例2中，也可以构成为，例如图8（b）所示，将突出部600（601）的数量设为4，将刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的数量设为4的2倍即8。或者，也可以构成为，例如图8（c）所示，将突出部600（601）的数量设为4，将刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的数量设为4的3倍即12。进而，也可以构成为，如图8（d）所示，将突出部600（601）的数量设为3，将刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的数量设为3的4倍即12。也就是说，在图8的各图中，构成为，固定圆板峰部52的配设数为突出部600（601）的配设数的整数倍（n＝1，2，3…）。

对于突出部600（601）的配设而言，像上述的第1实施方式、第2实施方式的变形例1以及变形例2那样，不需要与螺旋槽部53的间距（峰部和峰部之间的尺寸）相同。即，也可以以与固定圆板峰部52的间距不同的间距设置突出部600（601）。特别地，在西格班型分子泵1（100）的排气口6的压力较高而气体分子的逆流成分较多的情况下，为了使逆流防止效果提高，希望做成增加突出部600（601）的间距的结构。

（ii－4－3）第1实施方式、第2实施方式的变形例3

接下来，对配设于西格班型分子泵的固定圆板的突出部以与西格班型分子泵的轴线方向具有既定的角度的状态（即，倾斜的状态）配设于固定圆板的方式进行说明。图9是用于说明涉及第1实施方式以及第2实施方式的变形例3的固定圆板50的图，是从吸气口4侧观察图1或者图5中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的螺旋槽部。图10是用于说明涉及第1实施方式以及第2实施方式的变形例3的固定圆板50的放大图，是图1或者图5中的B－B’剖视图（从转轴7侧观察壳体2侧的情况下的剖视图）。如图10所示，在固定圆板50上从固定圆板50朝向内周方向（若参照图5，则从固定圆板50的内周侧面朝向马达部20方向）地突出形成有以与旋转圆板9的运动方向（切线方向）大致垂直的角度配设的突出部610。在第1实施方式以及第2实施方式的变形例3中，如图9以及图10所示，形成于固定圆板50的上下表面的螺旋槽部53的固定圆板峰部52的相位在由固定圆板50和旋转圆筒10形成的内径侧的折返流道侧，在上下表面不一致（产生偏移）。也就是说，固定圆板峰部52在上表面（在图9中由实线图示）和下表面（在图9中由虚线图示）形成于不同的位置（即，在以剖视图观察的情况下，隔着固定圆板50而上下不同的位置）。在这种不使螺旋槽部53的上下表面上的相位一致的变形例3中，将突出部610如下地形成于固定圆板50。形成于固定圆板50的上游的固定圆板峰部52（图9、实线）和作为突出部610的上游端部的延长部611a、以及形成于固定圆板50的下游的固定圆板峰部52（图9、虚线）和作为突出部610的下游端部的延长部611b构成为经由倾斜部612连续地形成。根据该结构，由延长部611a－倾斜部612－延长部611b构成的突出部610构成为，在倾斜部612处与西格班型分子泵1的轴线方向形成既定的角度。

更详细来说，在经由空间而与旋转圆筒10对置的、固定圆板50的内径侧的轴线方向侧面（没有形成螺旋槽部53的面）上，以向该空间突出、并且与旋转圆筒10隔着间隙、并且形成有朝向旋转圆板9旋转的方向（以下，称为旋转方向）向下游方向倾斜的斜面的方式，固定配设有突出部610。即，突出部610的倾斜部612以固定圆板50为水平基准朝下具有角度（俯角或伏角。以下，统一记为俯角）。也就是说，在第1实施方式、第2实施方式的变形例3中，突出部610的倾斜部612构成为向西格班型分子泵1（100）的排气方向倾斜。

对该倾斜部612的形成进行具体的说明。首先，在固定圆板50的内径侧面上形成有将形成于上游区域（吸气口4侧的面）的固定圆板峰部52的固定圆板50内径侧端部延长而形成的延长部611a、和将形成于下游区域（排气口6侧的面）的固定圆板峰部52的固定圆板50内径侧端部延长而形成的延长部611b。而且，以从延长部611a朝向延长部611b具有既定的角度（俯角）的方式，或者，从延长部611b朝向延长部611a具有既定的角度（仰角）的方式使延长部611a和延长部611b包络而形成突出部610。该突出部610中的包络部分构成倾斜部612。即，如图10所示，配设为，在将旋转圆板9的运动方向作为行进方向前方的情况下，相比形成于固定圆板50的上游面的延长部611a，形成于固定圆板50的下游面的延长部611b位于前方。而且，以从延长部611a与固定圆板50接触的面（水平基准）朝向延长部611b与固定圆板50接触的面形成朝下的角度（俯角）的方式设置有倾斜部612。由该延长部611a－倾斜部612－延长部611b构成突出部610。这样，在第1实施方式、第2实施方式的变形例3中，突出部610的倾斜部612构成为向西格班型分子泵1（100）的排气方向G倾斜。

根据上述的、固定圆板50在作为西格班型分子泵1（100）的轴线方向流道（折返流道）的固定圆板50的内径侧、具备从固定圆板50的内径侧面突出且具有倾斜部612的突出部610的结构，在第1实施方式以及第2实施方式的变形例3中，相比突出部610的倾斜部612的上表面（朝向吸气口4的面）侧，气体分子占优地向下表面（朝向排气口6的面）侧入射。而且，倾斜部612以朝向旋转圆板9的旋转方向以固定圆板50为水平基准具有朝下的角度（俯角）的方式倾斜，所以气体分子占优地向下游反射。这样一来，向下游的扩散概率相比其逆扩散概率占优，由此在内径侧的折返流道产生排气作用。这样，在第1实施方式以及第2实施方式的变形例3中，在内径侧的折返流道中，能够防止由西格班型分子泵1（100）的西格班型排气机构对气体分子以使排气方向成为占优的方式施加的动量散逸，并且能够在折返部产生拖拽效果，所以能够将在内径侧的折返流道中的损失抑制在最小限度。

（ii－5）第3实施方式

接下来，对在旋转圆板上形成有螺旋槽部且在旋转圆板上的没有形成螺旋槽部的外周侧配设有突出部的方式即第3实施方式进行说明。图11是表示涉及第3实施方式的西格班型分子泵120的概要结构例的图。此外，对于与图1重复的结构，附加相同的附图标记并省略说明。图12是图11中的B－B’剖视图（从壳体2侧观察转轴7侧的情况下的剖视图）。此外，在第3实施方式中，作为一例，对将没有形成螺旋槽部的固定圆板（无槽）500配设于西格班型分子泵120的例子进行说明。如图11所示，涉及第3实施方式的西格班型分子泵120配设有带槽旋转圆板90，该带槽旋转圆板90形成有由旋转圆板谷部91和旋转圆板峰部92构成的螺旋槽部93。而且，在带槽旋转圆板90上的没有形成螺旋槽部93的外周侧配设有突出部800。如图12所示，突出部800以与带槽旋转圆板90的运动方向大致垂直的状态从带槽旋转圆板90向外周方向（若参照图11，则从带槽旋转圆板90朝向壳体2的方向）突出地形成。

图13是用于说明涉及第3实施方式的带槽旋转圆板90的图，是从吸气口4侧观察图11中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的螺旋槽部。在该图中，在带槽旋转圆板90的内部示出的实线箭头表示形成于带槽旋转圆板90的上游面（吸气口4侧）的螺旋槽部93中的气体的流动的一部分。同样地，在带槽旋转圆板90的内部示出的虚线箭头表示形成于带槽旋转圆板90的下游面（排气口6侧）的螺旋槽部93中的气体的流动的一部分。在第3实施方式中，构成为，形成于带槽旋转圆板90的上下表面的旋转圆板峰部92的相位上下一致，并且，突出部800和旋转圆板峰部92连续地形成为一体型。更详细来说，形成于带槽旋转圆板90的上游面（吸气口4侧的面）的旋转圆板峰部92（图13、实线）、突出部800、以及形成于带槽旋转圆板90的下游面（排气口6侧的面）的旋转圆板峰部92（图13，虚线）这3处以无间断地相连的状态构成。也就是说，形成于带槽旋转圆板90的上表面的螺旋槽部93和形成于下表面的螺旋槽部93相位相同，在带槽旋转圆板90的外径端，上下表面的旋转圆板峰部92彼此以隔着带槽旋转圆板90而配置在相同位置的方式构成。而且，在带槽旋转圆板90的外径端，以将上下的旋转圆板峰部92的外径端部彼此经由带槽旋转圆板90相连的方式向外径方向突出地形成有突出部800。

根据该结构，在具有涉及第3实施方式的带槽旋转圆板90的西格班型分子泵120中，形成于突出部800之间的流道和形成于旋转圆板峰部92之间的流道连续地相连。因此，由上游（靠吸气口4侧）的螺旋槽部93对气体施加的“向排气方向占优的动量”不易消失，从而能够防止散逸。

（ii－5－1）第3实施方式的变形例

在上述的在第3实施方式中，构成为，形成于带槽旋转圆板90的上下表面的螺旋槽部93（旋转圆板峰部92）的相位一致，并且，突出部800和上下表面的旋转圆板峰部92的端面（外径侧的端面）连续地形成为一体型，但并不限于此。图14是用于说明涉及第3实施方式的变形例的带槽旋转圆板90的图，是从吸气口4侧观察图11中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的旋转圆板峰部92（螺旋槽部93）。图15是用于说明涉及第3实施方式的变形例的带槽旋转圆板90的图，是图11中的B－B’剖视图（从转轴7侧观察壳体2侧的情况下的剖视图）。在带槽旋转圆板90上从带槽旋转圆板90向外周方向（若参照图11，则从带槽旋转圆板90的外周侧面朝向壳体2的方向）突出地形成有以与带槽旋转圆板90的运动方向大致垂直的角度配设的突出部810。如图14所示，在第3实施方式的变形例中，构成为，刻设于带槽旋转圆板90的螺旋槽部93在上表面（由实线图示）和下表面（由虚线图示）相位不一致，带槽旋转圆板90的外径端面上的上下各旋转圆板峰部92的位置不一致（产生偏移）。在这种结构的情况下，优选地，构成为，形成于带槽旋转圆板90的上游面的旋转圆板峰部92（实线）和突出部810的上游端部、以及形成于带槽旋转圆板90的下游面的旋转圆板峰部92（虚线）和突出部810的下游端部连续地形成。也就是说，突出部810构成为，至少一部分与西格班型分子泵120的轴线方向形成既定的角度。

接下来，参照图14以及图15对既定的角度进行说明。在第3实施方式的变形例中，如图14所示，形成于带槽旋转圆板90的上下表面的螺旋槽部93的旋转圆板峰部92在上表面（由实线图示）和下表面（由虚线图示）形成于不同的位置（即，在以剖视图观察的情况下，隔着带槽旋转圆板90而上下不同的位置）。在该第3实施方式的变形例中，如下地形成的突出部810形成于带槽旋转圆板90。形成于带槽旋转圆板90的上游面的旋转圆板峰部92（实线）和将突出部810的上游端部延长（或者，将旋转圆板峰部92的上游外径侧端部延长）的延长部801a、以及形成于带槽旋转圆板90的下游面的旋转圆板峰部92（虚线）和将突出部810的下游端部延长（或者，将旋转圆板峰部92的下游外径侧端部延长）的延长部801b经由倾斜部802连续地形成。根据该结构，在由延长部801a－倾斜部802－延长部801b构成的突出部810上，在倾斜部802处与西格班型分子泵120的轴线方向形成既定的角度。

更详细来说，在经由空间而与间隔件60对置的、带槽旋转圆板90的外径侧的轴线方向侧面（没有形成螺旋槽部93的面）上，以向该空间突出、并且与带槽旋转圆板90隔着间隙、并且形成有朝向带槽旋转圆板90的旋转方向向下游方向倾斜的斜面（倾斜部802）的方式，固定配设有突出部810。对该倾斜部802的形成进行具体的说明。首先，在带槽旋转圆板90的外径侧面上，形成有将形成于上游区域（吸气口4侧的面）的旋转圆板峰部92的带槽旋转圆板90外径侧端部延长而形成的延长部801a、和将形成于下游区域（排气口6侧的面）的旋转圆板峰部92的带槽旋转圆板90外径侧端部延长而形成的延长部801b。在第3实施方式的变形例中，如图15所示，配设为，在以带槽旋转圆板90的运动方向作为行进方向前方的情况下，相比形成于带槽旋转圆板90的上游面的延长部801a，形成于带槽旋转圆板90的下游面的延长部801b位于后方。而且，以从延长部801a与带槽旋转圆板90接触的面（水平基准）朝向延长部801b与带槽旋转圆板90接触的面形成有朝下的角度（俯角）的方式设置有倾斜部802。或者，以从延长部801b朝向延长部801a具有朝上的既定的角度（仰角）的方式，使延长部801a和延长部801b包络而形成突出部810。该突出部810中的包络部分构成倾斜部802。这样一来，由延长部801a－倾斜部802－延长部801b构成的突出部810形成于带槽旋转圆板90的外周侧面。在上述的第3实施方式的变形例中，突出部810的倾斜部802构成为，向西格班型分子泵120的排气方向倾斜。

根据上述的、带槽旋转圆板90在作为西格班型分子泵120的轴线方向流道（外径侧的折返流道）的带槽旋转圆板90的外径侧、具备从带槽旋转圆板90的外径侧面突出、并且具有倾斜部802的突出部810的结构，在第3实施方式的变形例中，相比突出部810的倾斜部802的上游面（朝向吸气口4的面）侧，气体分子占优地向下游面（朝向排气口6的面）侧入射。而且，倾斜部802以带槽旋转圆板90为水平基准而具有向下的角度（俯角）地倾斜，所以气体分子占优地向下游反射。这样一来，向下游的扩散概率相比其逆扩散概率占优，由此在西格班型分子泵120的外径侧的折返流道产生排气作用。这样，在第3实施方式的变形例中，在外径侧的折返流道中，能够防止由西格班型分子泵120的西格班型排气机构对气体分子以向排气方向占优的方式施加的动量散逸，并且，能够在折返部产生拖拽效果，所以能够将在内径侧的折返流道的损失抑制在最小限度。

或者，虽未图示，但在形成于带槽旋转圆板90的上下表面的螺旋槽部93的、旋转圆板峰部92的相位在上表面（实线）和下表面（虚线）不一致的结构中，突出部800也可以与西格班型分子泵120的轴线方向平行地形成。也就是说，在该结构中不形成倾斜部。在该结构的情况下，以形成于带槽旋转圆板90的上游面的旋转圆板峰部92（实线）和突出部800的上游外径侧端部连续的状态、或形成于带槽旋转圆板90的下游面的旋转圆板峰部92（虚线）和突出部800的下游外径侧端部连续的状态、或者突出部800的上游外径侧端部和下游外径侧端部中的每一个都与旋转圆板峰部92非连续的状态中的任一个的结构，在带槽旋转圆板90的外周面突出地形成突起部800。

（ii－6）第4实施方式

接下来，对在带槽旋转圆板90上配设有旋转圆筒10、并在该旋转圆筒10上形成有突出部900以及接合部901的西格班型分子泵130进行说明。更详细来说，在具有螺旋槽部93的带槽旋转圆板90的内周侧，与该带槽旋转圆板90同心地配设有旋转圆筒10，并在该旋转圆筒10的外周侧面上形成有突出部900以及接合部901。此外，在本第4实施方式中，作为一例，将配设于西格班型分子泵130的固定圆板作为没有形成螺旋槽的固定圆板500进行说明。图16是表示涉及第4实施方式的西格班型分子泵130的概要结构例的图。此外，对与图1重复的结构省略附图标记以及说明。图17是图16中的B－B’剖视图（从壳体2侧观察转轴7侧的情况下的剖视图）。图18是用于说明涉及第4实施方式的带槽旋转圆板90和旋转圆筒10的图，是从吸气口4侧观察图16中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的旋转圆板峰部92（螺旋槽部93）。如图16所示，涉及第4实施方式的西格班型分子泵130在配设的旋转圆筒10的外周面上具有突出部900，还具有将旋转圆筒10以及带槽旋转圆板90接合的接合部901。更详细来说，在旋转圆筒10上，在作为对置于固定圆板500的面的外径侧面上向固定圆板500侧突出地设置有接合部901和突出部900。如图16以及图17所示，接合部901由接合部901a和接合部901b构成。接合部901a是旋转圆板峰部92的侧面，构成为，将形成于靠上游（吸气口4）侧地配设的带槽旋转圆板90的螺旋槽部93中的、排气口6侧（即，带槽旋转圆板90内周端部）向内径侧延长。而且，除了旋转圆筒10之外，与在西格班型分子泵130（西格班型排气机构）上经由间隙以及固定圆板500而对置地配设的多个带槽旋转圆板90中的、配设于下游侧的带槽旋转圆板90的、形成于排气口6侧的旋转圆板谷部91相接（被固定）。接合部901b是旋转圆板峰部92的侧面，构成为，将形成于靠下游（排气口6）侧地配设的带槽旋转圆板90的螺旋槽部93中的、吸气口4侧（即，带槽旋转圆板90内周端部）向内径侧延长。而且，除了旋转圆筒之外，与同样地配设的多个带槽旋转圆板90中的、配设于上游侧的带槽旋转圆板90的、形成于吸气口4侧的旋转圆板谷部91相接（被固定）。突出部900在旋转圆筒10的外径侧面上，设置于旋转圆筒10和固定圆板500对置的位置，并分别接合于上述的接合部901a以及接合部901b。另外，如图17以及图18所示，以与带槽旋转圆板90的运动方向大致垂直的角度配设的突出部900以及接合部901从旋转圆筒10向外周方向（若参照图16，则从旋转圆筒10的外周侧面朝向壳体2方向）突出地形成。

这样，在第4实施方式中，借助该突出部900以及接合部901，将固定圆板500的上游和下游的流道结合。也就是说，通过在旋转圆筒10上形成该突出部900以及接合部901，成为使具有排气作用（即，具有螺旋状槽构造）的西格班型分子泵上游区域和西格班型分子泵下游区域以不间断排气作用的方式连续的构造。因此，在西格班型分子泵130的西格班型排气机构的区域内流动的气体分子在旋转圆筒10的外周侧面的区域、特别是通过旋转圆筒10的外周侧面和固定圆板500的内径部侧面对置而形成的空间区域（间隙）中，将形成于旋转圆筒10的突出部900以及接合部901所存在的空间作为内侧折返流道而通过。根据该结构，在第4实施方式中，由上游（靠吸气口4侧）的西格班型排气机构的半径方向的排气流道（螺旋槽部93）对气体施加的“向排气方向占优的动量”变得不易消失，从而防止散逸。

另外，在上述的第4实施方式中，如图18所示，构成为，配设于旋转圆筒10的突出部900以及接合部901的数量和刻设于带槽旋转圆板90的螺旋槽部93的峰（旋转圆板峰部92）的数量相同，但并不限于此。如第1实施方式、第2实施方式的变形例1所说明的那样，突出部900以及接合部901的配设数是旋转圆板峰部92的配设数的整数倍即可。或者，如第1实施方式、第2实施方式的变形例2所说明的那样，旋转圆板峰部92的配设数是突出部900以及接合部901的配设数的整数倍即可。

（ii－6－1）第4实施方式的变形例

接下来，作为第4实施方式的变形例，对形成于对置的带槽旋转圆板90的各个对置侧面的突出部901（901a和901b）的相位不一致、并且在配设于西格班型分子泵130的旋转圆筒10上、配设有与西格班型分子泵130的轴线方向呈既定的角度（即，以倾斜的状态）地配设的倾斜突出部910的方式进行说明。图19是用于说明涉及第4实施方式的变形例的带槽旋转圆板90和旋转圆筒10的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的螺旋槽部（旋转圆板峰部92）。图20是与图17相同的位置处的剖视图，是用于说明涉及第4实施方式的变形例的带槽旋转圆板90和旋转圆筒10的图。在第4实施方式的变形例中，如图19所示，在形成于对置的带槽旋转圆板90的各个对置侧面的旋转圆板峰部92上形成的螺旋槽部93的旋转圆板峰部92的相位在内径侧的折返流道侧在上下表面不一致（产生偏移）。也就是说，在旋转圆板峰部92的上游面（由实线图示）和下游面（由虚线图示）形成于不同的位置（即，在以剖视图观察的情况下，隔着带槽旋转圆板90上下不同的位置）。在第4实施方式的变形例中，如图20所示，在多个带槽旋转圆板90中的、刻设在靠吸气口4侧地形成的带槽旋转圆板90的下游面（排气口6侧）上的螺旋槽部93的旋转圆板谷部91上形成的接合部901a形成在旋转圆板峰部92的带槽旋转圆板90的运动方向后方侧。另一方面，在与形成有该接合部901a的带槽旋转圆板90经由间隙地对置的、刻设于靠排气口6侧的带槽旋转圆板90的上游面（吸气口4侧）的螺旋槽部93的旋转圆板谷部91上形成的接合部901b形成于旋转圆板峰部92的带槽旋转圆板90的运动方向前方侧。而且，以从接合部901a朝向接合部901b的方式，在旋转圆筒10上形成有倾斜突出部910。根据该结构，从旋转圆筒10突出地设置的倾斜突出部910构成为，与西格班型分子泵130的轴线方向形成既定的角度。更详细来说，倾斜突出部910以固定圆板500为水平基准，具有从接合部901a向接合部901b朝下的角度（俯角）。也就是说，倾斜突出部910构成为，向西格班型分子泵130的排气方向倾斜。

根据该结构，在第4实施方式的变形例中，在作为西格班型分子泵130的轴线方向流道（折返流道）的旋转圆筒10的外径侧，相比倾斜突出部910的上表面（朝向吸气口4的面）侧，气体分子占优地向下表面（朝向排气口6的面）侧入射。这样一来，向下游的扩散概率相比其逆扩散概率占优，由此向旋转圆筒10的外径侧产生排气作用。由此，在西格班型分子泵130中，能够防止由西格班型排气机构对气体分子以向排气方向占优的方式施加的动量散逸，并且，能够在折返部产生拖拽效果，所以能够将在内径侧的折返流道的损失抑制在最小限度。

（ii－7）第5实施方式

接下来，对在固定圆板的外周侧、在与该固定圆板同心地配设的固定圆筒部的内周侧面上形成有突出部的方式进行说明。图21是表示涉及第5实施方式的西格班型分子泵140的概要结构例的图。此外，对与图1重复的结构省略附图标记以及说明。图22是图21中的B－B’剖视图（从转轴7侧观察壳体2侧的情况下的剖视图）。图23是用于说明涉及第5实施方式的固定圆板50的图，是从吸气口4侧观察图21中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的固定圆板峰部52（螺旋槽部53）。如图21所示，涉及第5实施方式的西格班型分子泵140在固定圆板50上配设有固定圆筒部501、延长部502（延长部502a、延长部502b）、以及突出部1001（突出部1001a、突出部1001b）。固定圆筒部501是在固定圆板50的外周侧与固定圆板50同心圆状地固定配设的圆筒形的配件。延长部502是在固定圆筒部501的内周侧面向西格班型分子泵140的中心轴方向突出地固定配设的配件，由在位于靠吸气口4侧的固定圆板50的、没有形成螺旋槽部53的外径部54的下游侧配设的延长部502a、以及在位于靠排气口6侧的固定圆板50的、没有形成螺旋槽部53的外径部54的上游侧配设的延长部502b构成。延长部502a在配设于西格班型分子泵140的情况下，分别地，上游侧接合于外径部54，壳体2侧接合于固定圆筒部501，中心轴侧接合于固定圆板峰部52，而且，下游侧接合于突出部1001a。延长部502b在配设于西格班型分子泵140的情况下，分别地，上游侧接合于突出部1001b，壳体2侧接合于固定圆筒部501，中心轴侧接合于固定圆板峰部52，而且，下游侧接合于外径部54。突出部1001是在固定圆筒部501的内周侧面向西格班型分子泵140的中心轴方向突出地固定配设的配件。突出部1001a在延长部502a的与延长部502a被固定于外径部54的一侧相反侧的面上，以在配设于西格班型分子泵140的情况下在与对置的旋转圆板9之间具有间隙的尺寸被配设。突出部1001b在延长部502b的与延长部502b被固定于外径部54的一侧相反侧的面上，以在配设于西格班型分子泵140的情况下在与对置的旋转圆板9之间具有间隙的尺寸被配设。此外，在第5实施方式中，如图21以及图22所示，突出部1001a和突出部1001b在接合部（接合面）F处无间隙地贴紧相接像1块板一样地形成。但是，并不限于这种结构，也可以构成为在突出部1001a和突出部1001b的对置面之间存在间隙。

根据该结构，在第5实施方式中，在西格班型分子泵140的外侧的折返流道（西格班型分子泵140的轴线方向的流道）中，能够防止由西格班型排气机构对气体分子以向排气方向占优的方式施加的动量散逸，并能够产生旋转的拖拽效果，所以在该外侧折返流道中也能够保持排气的连续性。

（ii－7－1）第5实施方式的变形例

图24是并用于说明涉及第5实施方式的变形例的固定圆板50的图，是从吸气口4侧观察图21中的A－A’方向的剖视图，在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的固定圆板峰部52（螺旋槽部53）。图25是图21中的B－B’剖视图（从转轴7侧观察壳体2侧的情况下的剖视图）。如图25所示，在第5实施方式的变形例中，构成为，刻设于固定圆板50的螺旋槽部53在上表面（由实线图示）和下表面（由虚线图示）相位不一致，固定圆板50的外径端面上的上下的各固定圆板峰部52的位置不一致（产生偏移）。在该结构的情况下，优选地，构成为，形成于上游侧的固定圆板50的外径部54的延长部502a、倾斜部1002、以及形成于下游侧的固定圆板50的外径部54的延长部502b连续地形成。也就是说，倾斜部1002构成为，与西格班型分子泵140的轴线方向形成既定的角度。

接下来，参照图25，对既定的角度进行说明。在第5实施方式的变形例中，如图25所示，配设为，在以旋转圆板9的运动方向为行进方向前方的情况下，相比形成于固定圆板50的下游面的固定圆板峰部52（延长部502a），形成于固定圆板50的上游面的固定圆板峰部52（延长部502b）位于前方。而且，以从延长部502a与突出部1002接触的面（水平基准）朝向延长部502b与突出部1002接触的面形成朝下的既定的角度（俯角）的方式设置有突出部1002。或者，以从延长部502b与突出部1002接触的面（水平基准）朝向延长部502a与突出部1002接触的面形成朝上的既定的角度（仰角）的方式设置有突出部1002。在这样地构成的第5实施方式的变形例中，倾斜部1002构成为，向西格班型分子泵140的排气方向倾斜。

根据上述的第5实施方式的变形例的结构，相比倾斜部1002的上游面（朝向吸气口4的面）侧，气体分子占优地向下游面（朝向排气口6的面）侧入射。而且，倾斜部1002以延长部502a与突出部1002接触的面为水平基准具有朝下的角度（俯角）地倾斜，所以气体分子占优地向下游反射。这样一来，向下游的扩散概率比其逆扩散概率占优，由此在西格班型分子泵140的外径侧的折返流道产生排气作用。这样，在第5实施方式的变形例中，在外径侧的折返流道中，能够防止由西格班型分子泵140的西格班型排气机构对气体分子以向排气方向占优的方式而施加的动量散逸，并且，能够在折返部产生拖拽效果，所以能够将在内径侧的折返流道中的损失抑制在最小限度。

（ii－8）第6实施方式

图26是用于说明涉及本发明的第6实施方式的西格班型分子泵200的图，图26（a）是轴线方向的剖视图。此外，对与图1相同的结构附加相同的附图标记并省略说明。图26（b）是图26（a）中的C－C’剖视图（从转轴7侧观察壳体2侧的情况下的剖视图）。在本发明的第6实施方式中，将在配设于西格班型分子泵200的具有螺旋槽部的真空泵用配件（图26中是固定圆板50）上形成的突出部（图26中是突出部2000）用与固定圆板50不同部件的板状的部件构成。

此外，参照图1，对各实施方式以及各变形例中的各突出部（突起部）的突出量P进行说明。在上述的各实施方式以及各变形例中，作为一例，构成为，各突出部（突起部）的突出量P以成为各突出部（突起部）和螺旋状槽（图1中螺旋槽部53）接近的部分处的螺旋状槽的深度S的70％以上的尺寸被配设。

另外，同样参照图1，对各实施方式以及各变形例中的、具有各突出部（突起部）的第1配件（具有螺旋槽部的真空泵用配件）和与第1配件构成西格班型排气机构的第2配件的距离W进行说明。在上述的各实施方式以及各变形例中，作为一例，构成为，第1配件和第2配件的距离W以成为2mm以内的尺寸被配设。

（ii－9）各实施方式的变形例

图27是用于说明上述的各实施方式的变形例的图，是从吸气口4侧观察表示概要结构例的各图的A－A’方向的剖视图。此外，在图27中作为一例使用固定圆板50进行说明。在该图中，以虚线表示排气口6侧（下游侧）的固定圆板峰部52。在本发明的各实施方式的变形例中，上述的各实施方式和突出部（突起部）的形状不同。如图27所示，涉及本发明的各实施方式的突出部（突起部）也可以由固定圆板峰部52向内径侧的延长方向延伸的端部所形成的突出部630构成。与上述的各实施方式的不同点在于，突出部630在与刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的边界处不具有弯曲部，而是具有由将形成固定圆板峰部52的曲线延长而得的曲线形成的形状。这里，固定圆板峰部52指的是，到发挥由旋转圆板9和固定圆板50产生的拖拽效果的部分为止，涉及本发明的各实施方式的突出部（突起部）指的是，不是发挥该拖拽效果的部分的延长部分。

图28是用于说明上述的各实施方式的变形例的图，是从吸气口4侧观察表示概要结构例的各图的A－A’方向的剖视图。如图28所示，涉及本发明的各实施方式的突出部（突起部）也可以由固定圆板峰部52向外径侧的延长方向延伸的端部所形成的突出部640构成。与上述的各实施方式的不同点在于，突出部640在与刻设于固定圆板50的固定圆板峰部52的边界处不具有弯曲部，而是具有由将形成固定圆板峰部52的曲线延长而得的曲线形成的形状。

（ii－10）各实施方式的变形例

图29是用于说明涉及本发明的各实施方式的固定圆板的变形例的图，是从吸气口4侧观察表示概要结构例的各图的A－A’方向的剖视图。如图29所示，固定圆板50也可以做成由多个配件形成的结构。在图29中，作为一例，固定圆板50由2个配件构成，这2个配件由能够用分割面C分割的半圆状构成。

在各实施方式以及各变形例中说明的既定的角度（俯角）希望由从5度到85度的角度构成。

此外，各个实施方式也可以分别组合。另外，上述的本发明的各实施方式并不限于西格班型分子泵。也能够应用于具备西格班型分子泵部和涡轮分子泵部的复合型泵、具备西格班型分子泵部和螺纹槽式泵部的复合型泵、或者具备西格班型分子泵部、涡轮分子泵部和螺纹槽式泵部的复合型泵。在具备涡轮分子泵部的复合型真空泵的情况下，虽未图示，但还具备由旋转轴以及固定于该旋转轴的旋转体构成的旋转部，在旋转体上多级地配设有放射状地设置的转子叶片（动叶片）。另外，具备固定部，所述固定部相对于转子叶片相互不同地多级地配设有定子叶片（静叶片）。在具备螺纹槽式泵部的复合型真空泵的情况下，虽未图示，但在与旋转圆筒的对置面上形成有螺旋槽（螺旋状槽），还具备隔开既定的空隙地面向旋转圆筒的外周面的螺纹槽间隔件，具备下述这样的气体移送机构：在该气体移送机构中，若旋转圆筒高速旋转，则气体分子随着旋转圆筒的旋转而被螺纹槽引导，同时向排气口侧送出。在具备涡轮分子泵部和螺纹槽式泵部的复合型涡轮分子泵的情况下，虽未图示，但构成为，还具备上述的涡轮分子泵部和上述的螺纹槽式泵部，并具备下述这样的气体移送机构：在该气体移送机构中，在气体分子被涡轮分子泵部（第1气体移送机构）压缩后，被螺纹槽式泵部（第2气体移送机构）进一步压缩。

根据该结构，涉及本发明的各实施方式的各西格班型分子泵能够实现以下的效果。（1）能够使在旋转圆筒侧的折返区域以及间隔件侧的折返区域的损失为最小限度，所以能够构筑将在折返流道的损失抑制在最小限度的西格班型分子泵。（2）能够将以往的没有排气作用的流道的、由旋转圆筒和固定圆板形成的区域、由间隔件和固定圆板形成的区域的双方或单方用作排气空间，所以能够实现空间效率高、旋转体以及泵的小型化、支承旋转体的轴承的小型化、以及由效率提高带来的节能化。

附图标记说明

1西格班型分子泵；2壳体；3基座；4吸气口；5凸缘部；6排气口；7转轴；8转子；9旋转圆板；10旋转圆筒；20马达部；30径向磁力轴承装置；31径向磁力轴承装置；40轴向磁力轴承装置；50固定圆板；51固定圆板谷部；52固定圆板峰部；53螺旋槽部；54外径部；60间隔件；90带槽旋转圆板；91旋转圆板谷部；92旋转圆板峰部；93螺旋槽部；100西格班型分子泵；120西格班型分子泵；130西格班型分子泵；140西格班型分子泵；200西格班型分子泵；500固定圆板（无槽）；501固定圆筒部（配设于固定圆板）；502延长部；502a延长部；502b延长部；600突出部；601突出部；610突出部；611a延长部（上游）；611b延长部（下游）；612倾斜部；630突出部；640突出部；800突出部；801a延长部（上游）；801b延长部（下游）；802倾斜部；810突出部；900突出部；901a接合部；901b接合部；910倾斜突出部；1001a突出部；1001b突出部；1002倾斜部；2000斜板（突出部）；4000西格班型分子泵（以往）；5000固定圆板（以往）。

Claims

1.一种真空泵用配件，其特征在于，

具有配设有螺旋槽的圆板状部，前述螺旋槽在前述圆板状部的内周与外周之间连续，在下述面中的至少某1个面的至少一部分上配设有在半径方向上突出的突起：前述圆板状部的未配设前述螺旋槽的内周侧面或外周侧面、或者配设于前述圆板状部的内周侧并与该圆板状部同心的圆筒状部的外周侧面、或配设于前述圆板状部的外周侧并与该圆板状部同心的圆筒状部的内周侧面；前述螺旋槽的吸气口侧的出口与前述螺旋槽的排气口侧的入口以在轴向上具有相互重叠的部分的方式对置。

2.如权利要求1所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述突起的配设数是前述螺旋槽的配设数的整数倍。

3.如权利要求1所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述螺旋槽的配设数是前述突起的配设数的整数倍。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

在配设有前述突起的面中，前述突起的位置和前述螺旋槽的峰部的前述面侧的端部的位置一致。

5.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

在配设有前述突起的面中，前述突起和前述螺旋槽的峰部的前述面侧的端部以连续的形状配设。

6.如权利要求4所述的真空泵用配件，其特征在于，

7.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述突起相对于前述圆板状部的中心轴具有既定的角度地配设。

8.如权利要求4所述的真空泵用配件，其特征在于，

9.如权利要求5所述的真空泵用配件，其特征在于，

10.如权利要求6所述的真空泵用配件，其特征在于，

11.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述突起以下述尺寸配设：突出量为前述突起和前述螺旋槽接近的部分处的前述螺旋槽的深度的70％以上。

12.如权利要求4所述的真空泵用配件，其特征在于，

13.如权利要求5所述的真空泵用配件，其特征在于，

14.如权利要求6所述的真空泵用配件，其特征在于，

15.如权利要求7所述的真空泵用配件，其特征在于，

16.如权利要求8所述的真空泵用配件，其特征在于，

17.如权利要求9所述的真空泵用配件，其特征在于，

18.如权利要求10所述的真空泵用配件，其特征在于，

19.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

20.如权利要求4所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

21.如权利要求5所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

22.如权利要求6所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

23.如权利要求7所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

24.如权利要求8所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

25.如权利要求9所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

26.如权利要求10所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

27.如权利要求11所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

28.如权利要求12所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

29.如权利要求13所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

30.如权利要求14所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

31.如权利要求15所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

32.如权利要求16所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

33.如权利要求17所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

34.如权利要求18所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

35.一种真空泵用配件，具有与至少一部分上配设有螺旋槽的圆板状部同心地配设的圆筒状部，其特征在于，

在前述圆板状部配设于前述圆筒状部的外周侧的情况下的该圆筒状部的外周侧面、或前述圆板状部配设于前述圆筒状部的内周侧的情况下的该圆筒状部的内周侧面中，在至少某一面的至少一部分上配设有突起；前述螺旋槽的吸气口侧的出口与前述螺旋槽的排气口侧的入口以在轴向上具有相互重叠的部分的方式对置。

36.如权利要求35所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述突起的配设数是前述螺旋槽的配设数的整数倍。

37.如权利要求35所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述螺旋槽的配设数是前述突起的配设数的整数倍。

38.如权利要求35至37中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

39.如权利要求35至37中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

40.如权利要求38所述的真空泵用配件，其特征在于，

41.如权利要求35至37中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

42.如权利要求38所述的真空泵用配件，其特征在于，

43.如权利要求39所述的真空泵用配件，其特征在于，

44.如权利要求40所述的真空泵用配件，其特征在于，

45.如权利要求35至37中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

46.如权利要求38所述的真空泵用配件，其特征在于，

47.如权利要求39所述的真空泵用配件，其特征在于，

48.如权利要求40所述的真空泵用配件，其特征在于，

49.如权利要求41所述的真空泵用配件，其特征在于，

50.如权利要求42所述的真空泵用配件，其特征在于，

51.如权利要求43所述的真空泵用配件，其特征在于，

52.如权利要求44所述的真空泵用配件，其特征在于，

53.如权利要求35至37中任一项所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

54.如权利要求38所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

55.如权利要求39所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

56.如权利要求40所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

57.如权利要求41所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

58.如权利要求42所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

59.如权利要求43所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

60.如权利要求44所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

61.如权利要求45所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

62.如权利要求46所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

63.如权利要求47所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

64.如权利要求48所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

65.如权利要求49所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

66.如权利要求50所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

67.如权利要求51所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

68.如权利要求52所述的真空泵用配件，其特征在于，

前述圆板状部由1个或多个配件构成。

69.一种西格班型排气机构，其特征在于，

由权利要求1至68中任一项所述的真空泵用配件、和具有对置于前述螺旋槽的面的第2配件构成，借助前述真空泵用配件和前述第2配件的相互作用来移送气体。

70.如权利要求69所述的西格班型排气机构，其特征在于，

前述第2配件以及前述突起以下述尺寸配设：前述第2配件和前述突起对置的面中的该第2配件和该突起的距离为2mm以内。

71.如权利要求69或70所述的西格班型排气机构，其特征在于，

前述突起向具备前述真空泵用配件的真空泵的排气方向倾斜地配设。

72.一种复合型真空泵，其特征在于，

将权利要求69、70或71所述的西格班型排气机构和螺纹槽型分子泵机构复合而成。

73.一种复合型真空泵，其特征在于，

将权利要求69、70或71所述的西格班型排气机构和涡轮分子泵机构复合而成。

74.一种复合型真空泵，其特征在于，

将权利要求69、70或71所记载的西格班型排气机构、螺纹槽型分子泵机构和涡轮分子泵机构复合而成。