CN105762100A - 用于真空加工设备的基片传输方法 - Google Patents
用于真空加工设备的基片传输方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105762100A CN105762100A CN201410789876.9A CN201410789876A CN105762100A CN 105762100 A CN105762100 A CN 105762100A CN 201410789876 A CN201410789876 A CN 201410789876A CN 105762100 A CN105762100 A CN 105762100A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sheet
- film chamber
- processed
- vacuum processing
- product sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Blow-Moulding Or Thermoforming Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于真空加工设备的基片传输方法，其中，真空加工设备包括片盒腔、传输腔和工艺腔，片盒腔内部包括多个预备片位置和多个完成片位置，传输腔和工艺腔需要保持真空状态。该基片传输方法采用并行任务思路，当在先投入的产品片在工艺腔中被加工的期间，将在后投入的产品片送入片盒腔中进行准备工作。该方法可以节约对片盒腔进行抽真空操作或充气操作的时间，提高真空加工设备单位时间内的产能。
Description
技术领域
本发明涉及微电子加工制造领域，具体涉及一种用于真空加工设备的基片传输方法。
背景技术
产率(又称产能，throughput)在工艺自动化制造过程中是一个重要指标，它直接影响生产和公司效益。在微电子加工制造领域，产率由多种因素决定，其中两个关键因子就是工艺时间和传输时间。工艺时间是指产品片在工艺腔室做工艺的时间，主要由机台的硬件决定。传输时间是指产品片从片盒腔到工艺腔花费的时间，主要由传输结构和传输速率决定。
相关技术中，如图1所示，此为一款刻蚀机示意图。从图1中可以看到，该刻蚀机主要由三个腔室组成，上面的腔室为工艺腔，是产品片进行工艺刻蚀的地方；中间的腔为传输腔，是产品片传输必须经过的腔，最下面的腔为片盒腔，是生产人员放置产品片的腔。图中的A和B表示产品片放置的位置。正常生产过程中工艺腔和传输腔都是处于高真空的状态下，片盒腔在真空状态和大气状态之间来回切换。
假设要加工两片产品片a和b，相关技术中采用图2所示的工作流程，属于完全串行的方式，在片盒腔进行充气和抽气的过程中，工艺腔室处于未生产的状态，导致产率不高，存在资源浪费现象，有待改进。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
为此，本发明的目的在于提出一种能够提高产率的用于真空加工设备的基片传输方法。
为达到上述目的，本发明实施例提出了一种用于真空加工设备的基片传输方法，所述真空加工设备包括片盒腔、传输腔和工艺腔，其中所述片盒腔内部包括多个预备片位置和多个完成片位置，所述传输腔和工艺腔需要保持真空状态，所述方法包括下列步骤：S1.将待加工的产品片放入所述预备片位置,对所述片盒腔抽真空；S2.判断所述预备片位置上是否存在待加工的产品片，若是，则将所述预备片位置上的所述待加工的产品片移至所述传输腔；否则，转到S4；S3.所述待加工的产品片在所述工艺腔工艺过程中，对所述片盒腔执行充气取片和/或抽气放片步骤，返回S2；S4.将所述工艺腔中的所述已加工的产品片移至所述片盒腔中的完成片位置；S5.对所述片盒腔充气，将所述片盒腔内的所述完成片位置上的已加工的产品片取出。
根据本发明实施例提出的用于真空加工设备的基片传输方法，采用并行任务思路，通过待加工的产品在工艺腔工艺过程中，对片盒腔执行充气取片和/或抽气方片步骤，从而节约对片盒腔进行抽真空操作或充气操作的时间，提高真空加工设备单位时间内的产能。
另外，根据本发明上述实施例的用于真空加工设备的基片传输方法，还可以具有如下附加的技术特征：
进一步地，在本发明的一个实施例中，所述S1之前，包括：S0.判断所述片盒腔内的所述完成片位置上是否有产品片，如果有则取出该产品片；否则执行所述S1。
进一步地，在本发明的一个实施例中，所述S3，包括下列步骤：将所述传输腔中的所述待加工的产品片移至所述工艺腔进行工艺,并将所述工艺腔中的所述已加工的产品片移至所述片盒腔中的完成片位置；同时，对所述片盒腔充气，并将新的待加工的产品片放入所述片盒腔内的所述预备片位置，将所述完成片位置的已加工的产品片取出；对所述片盒腔抽真空,返回S2。
进一步地，在本发明的一个实施例中，所述片盒腔内部包括一个预备片位置和一个完成片位置。
优选地，在本发明的一个实施例中，所述真空加工设备可以为刻蚀机。
进一步地，在本发明的一个实施例中，在所述工艺腔中对产品片的加工时长T1,对所述片盒腔充气的时长为T2，对所述片盒腔抽气的时长为T3，其中T1≥T2+T3。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1为刻蚀机的结构示意图；
图2为相关技术中用于刻蚀机的任务调度方法的流程图；
图3为根据本发明实施例的用于真空加工设备的基片传输方法的流程图；
图4为根据本发明一个具体实施例的用于真空加工设备的基片传输方法的流程图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
图3为本发明实施例的用于真空加工设备的基片传输方法的流程图。真空加工设备包括片盒腔、传输腔和工艺腔，其中片盒腔内部包括多个预备片位置和完成片位置，传输腔和工艺腔需要保持真空状态。参照图3所示，该基片传输方法包括以下步骤：
S1.将待加工的产品片放入预备片位置,对片盒腔抽真空。
其中，在本发明的一个实施例中，参照图4所示，S1之前，包括：
S0.判断片盒腔内的完成片位置上是否有产品片，如果有则取出该产品片；否则执行S1。
S2.判断预备片位置上是否存在待加工的产品片，若是，则将预备片位置上的待加工的产品片移至传输腔；否则，转到S4。
S3.待加工的产品片在工艺腔工艺过程中，对片盒腔执行充气取片和/或抽气放片步骤，返回S2。
具体地，在本发明的一个实施例中，S3，包括下列步骤：将传输腔中的待加工的产品片移至工艺腔进行工艺,并将工艺腔中的已加工的产品片移至片盒腔中的完成片位置；同时，对片盒腔充气，并将新的待加工的产品片放入片盒腔内的预备片位置，将完成片位置的已加工的产品片取出；对片盒腔抽真空,返回S2。
S4.将工艺腔中的已加工的产品片移至片盒腔中的完成片位置。
S5.对片盒腔充气，将片盒腔内的完成片位置上的已加工的产品片取出。
在本发明的一个具体实施例中，片盒腔内部包括一个预备片位置和一个完成片位置。需要说明的是，预备片位置和完成片位置均可以为一个或多个，在本发明的以下部分以预备片位置和完成片位置各为一个进行详细介绍，虽然以下实施例以一个预备片位置和完成片位置为例，但是本领域技术人员应当理解的是，对于任何预备片位置和完成片位置都可以通过以下类似的方式进行配置。具体地，如图4所示，本发明实施例的基片传输方法可以包括以下步骤：
S41.判断片盒腔内的完成片位置上是否有产品片，如果有则取出该产品片。即在初始时刻要求片盒腔的完成片位置空置。
S42.将待加工的产品片放入片盒腔内的预备片位置。
S43.对片盒腔抽真空。
S44.将从预备片位置上的待加工的产品片移至传输腔。
S45.将传输腔中的待加工的产品片移至工艺腔。
S46.工艺腔中对待加工的产品片进行加工变为已加工的产品片。
需要说明的是，在执行步骤S45至S46的期间，执行步骤S471至S473。也就是说，要求等待“S44.将从预备片位置上的待加工的产品片移至传输腔”之后才能开始执行步骤S471，以及，要求在“S46.工艺腔中对待加工的产品片进行加工变为已加工的产品片”结束之前结束步骤S473。
S471.对片盒腔充气。
S472.将新的待加工的产品片放入片盒腔内的预备片位置,同时，判断片盒腔内的完成片位置是否有产品片，如果有则取出该产品片，
S473.对片盒腔抽真空，以将从预备片位置上的待加工的产品移至工艺腔。
S48.将工艺腔中的已加工的产品片移至传输腔。
S49.将传输腔中的已加工的产品片移至片盒腔中的完成片位置。
S410.判断是否继续生产，若继续生产则跳至步骤S44，若不继续生产则执行步骤S411。
S411.对片盒腔充气。
S412.将片盒腔内的完成片位置上的已加工的产品片取出。
本发明实施例的用于真空加工设备的基片传输方法，采用并行的方式，使在工艺腔工艺的过程中完成片盒腔的充气、抽气操作和取放片操作，从而节省了充气，抽气和取放片的时间，提高产率。
作为一种可实施方式，真空加工设备可以为刻蚀机。
作为一种可实施方式，在工艺腔中对产品片的加工时长T1,对片盒腔充气的时长为T2，对片盒腔抽气的时长为T3，其中T1≥T2+T3。需要说明的是，由于实际情况当中机械手工作效率较高，产品片在不同腔室进行传输移动的时间通常可以忽略不计。
为使本领域技术人员更好地理解，申请人进行了以下对比实验。在刻蚀设备的实际情况中，以刻蚀LED晶片为例，工艺时间一般在30分钟左右，传输时间一般在1分钟左右，片盒腔充气或抽气时间一般为3分钟左右。
方案一，采用现有技术
如果生产2片，耗时为：片盒腔抽气时间+片1传输时间(片盒腔到工艺腔)+片1工艺时间+片1传输时间(工艺腔到片盒腔)+片2传输时间(片盒腔到工艺腔)+片2工艺时间+片2传输时间(工艺腔到片盒腔)+片盒腔充气时间。如果生产4片就会花费2片时间的2倍，过程为上面序列的再次重复。那么假设传输时间相同的情况下，生产4片耗时为：2(片盒腔抽气时间+片盒腔充气时间)+4[传输时间(片盒腔到工艺腔)+传输时间(工艺腔到片盒腔)]+片1工艺时间+片2工艺时间+片3工艺时间+片4工艺时间。
方案二、采用本发明的方法
如果生产4片，耗时为：片盒腔抽气时间+片1传输时间(片盒腔到工艺腔)+片1工艺时间(可在此时间内完成片盒腔充气、生产人员放片2和抽气)+片1传输时间(工艺腔到片盒腔)+片2传输时间(片盒腔到工艺腔)+片2工艺时间(可在此时间内完成片盒腔充气、生产人员放片3、取片1和抽气)+片2传输时间(工艺腔到片盒腔)+片3传输时间(片盒腔到工艺腔)+片3工艺时间(可在此时间内完成片盒腔充气、生产人员放片4、取片2和抽气)+片3传输时间(工艺腔到片盒腔)+片4传输时间(片盒腔到工艺腔)+片4工艺时间(可在此时间内完成片盒腔充气、生产人员取片3和抽气)+片4传输时间(工艺腔到片盒腔)+片盒腔充气时间(取片4)。即，片盒腔抽气时间+片盒腔充气时间+4[传输时间(片盒腔到工艺腔)+传输时间(工艺腔到片盒腔)]+片1工艺时间+片2工艺时间+片3工艺时间+片4工艺时间。
方案二相对于方案一，采用并行的方式节省了一次片盒腔充气和抽气的时间。每多生产两片，就多节省出一次片盒腔充气和抽气的时间。
同理，相对于相关技术，如果片盒腔采用4个片位，则每多生产4片，就多节省出一次片盒腔充气和抽气的时间。
根据本发明实施例提出的用于真空加工设备的基片传输方法，采用并行任务思路，通过待加工的产品在工艺腔工艺过程中，对片盒腔执行充气取片和/或抽气方片步骤，从而节约对片盒腔进行抽真空操作或充气操作的时间，相当于当在先投入的产品片在工艺腔中被加工的期间，将在后投入的产品片送入片盒腔中进行准备工作，如果相关技术中片盒腔采用N个片位，则每多生产N片，就多节省出一次片盒腔充气和抽气的时间，从而能够提高真空加工设备单位时间内的产能。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (6)
1.一种用于真空加工设备的基片传输方法，其特征在于，所述真空加工设备包括片盒腔、传输腔和工艺腔，其中所述片盒腔内部包括多个预备片位置和多个完成片位置，所述传输腔和工艺腔需要保持真空状态，所述方法包括下列步骤：
S1.将待加工的产品片放入所述预备片位置,对所述片盒腔抽真空；
S2.判断所述预备片位置上是否存在待加工的产品片，若是，则将所述预备片位置上的所述待加工的产品片移至所述传输腔；否则，转到S4；
S3.所述待加工的产品片在所述工艺腔工艺过程中，对所述片盒腔执行充气取片和/或抽气放片步骤，返回S2；
S4.将所述工艺腔中的所述已加工的产品片移至所述片盒腔中的完成片位置；
S5.对所述片盒腔充气，将所述片盒腔内的所述完成片位置上的已加工的产品片取出。
2.根据权利要求1所述的用于真空加工设备的基片传输方法，其特征在于，所述S1之前，包括：
S0.判断所述片盒腔内的所述完成片位置上是否有产品片，如果有则取出该产品片；否则执行所述S1。
3.根据权利要求1所述的用于真空加工设备的基片传输方法，其特征在于，所述S3，包括下列步骤：
将所述传输腔中的所述待加工的产品片移至所述工艺腔进行工艺,并将所述工艺腔中的所述已加工的产品片移至所述片盒腔中的完成片位置；
同时，对所述片盒腔充气，并将新的待加工的产品片放入所述片盒腔内的所述预备片位置，将所述完成片位置的已加工的产品片取出；
对所述片盒腔抽真空,返回S2。
4.根据权利要求1所述的用于真空加工设备的基片传输方法，其特征在于，所述片盒腔内部包括一个预备片位置和一个完成片位置。
5.根据权利要求1所述的用于真空加工设备的基片传输方法，其特征在于，所述真空加工设备为刻蚀机。
6.根据权利要求1所述的用于真空加工设备的基片传输方法，其特征在于，在所述工艺腔中对产品片的加工时长T1,对所述片盒腔充气的时长为T2，对所述片盒腔抽气的时长为T3，其中T1≥T2+T3。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410789876.9A CN105762100A (zh) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 用于真空加工设备的基片传输方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410789876.9A CN105762100A (zh) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 用于真空加工设备的基片传输方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105762100A true CN105762100A (zh) | 2016-07-13 |
Family
ID=56339733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410789876.9A Pending CN105762100A (zh) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 用于真空加工设备的基片传输方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105762100A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112198761A (zh) * | 2020-09-07 | 2021-01-08 | 中国科学院微电子研究所 | 载片系统及物料传递方法 |
| CN113658890A (zh) * | 2021-08-17 | 2021-11-16 | 长鑫存储技术有限公司 | 提高半导体设备产能的方法和系统 |
| CN113671904A (zh) * | 2020-05-13 | 2021-11-19 | Tcl科技集团股份有限公司 | 机台监测方法、装置、机台、可读存储介质及终端设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040013497A1 (en) * | 1998-12-01 | 2004-01-22 | Hidenobu Shirai | Semiconductor transfer and manufacturing apparatus |
| CN101859723A (zh) * | 2009-04-01 | 2010-10-13 | 东京毅力科创株式会社 | 基板交换方法以及基板处理装置 |
| CN103515172A (zh) * | 2012-06-22 | 2014-01-15 | 日新离子机器株式会社 | 离子束照射装置和离子束照射装置的运转方法 |
-
2014
- 2014-12-17 CN CN201410789876.9A patent/CN105762100A/zh active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040013497A1 (en) * | 1998-12-01 | 2004-01-22 | Hidenobu Shirai | Semiconductor transfer and manufacturing apparatus |
| CN101859723A (zh) * | 2009-04-01 | 2010-10-13 | 东京毅力科创株式会社 | 基板交换方法以及基板处理装置 |
| CN103515172A (zh) * | 2012-06-22 | 2014-01-15 | 日新离子机器株式会社 | 离子束照射装置和离子束照射装置的运转方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113671904A (zh) * | 2020-05-13 | 2021-11-19 | Tcl科技集团股份有限公司 | 机台监测方法、装置、机台、可读存储介质及终端设备 |
| CN113671904B (zh) * | 2020-05-13 | 2022-09-06 | Tcl科技集团股份有限公司 | 机台监测方法、装置、机台、可读存储介质及终端设备 |
| CN112198761A (zh) * | 2020-09-07 | 2021-01-08 | 中国科学院微电子研究所 | 载片系统及物料传递方法 |
| CN112198761B (zh) * | 2020-09-07 | 2023-09-01 | 中国科学院微电子研究所 | 载片系统及物料传递方法 |
| CN113658890A (zh) * | 2021-08-17 | 2021-11-16 | 长鑫存储技术有限公司 | 提高半导体设备产能的方法和系统 |
| CN113658890B (zh) * | 2021-08-17 | 2023-09-29 | 长鑫存储技术有限公司 | 提高半导体设备产能的方法和系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105762100A (zh) | 用于真空加工设备的基片传输方法 | |
| CN102768941B (zh) | 一种批处理机台派货的方法和装置 | |
| CN109562433A (zh) | 一种多工位管材缩口设备 | |
| CN107688332B (zh) | 一种基于客户需求的锻压产品生产线配置方法及系统 | |
| CN107856371B (zh) | 一种曲面玻璃盖板的掩膜及其制造方法 | |
| TW201604963A (zh) | 爐管製程的派工控制方法 | |
| CN102446786A (zh) | 一种半导体制程中的设备监控方法 | |
| US20170073224A1 (en) | Mems-based method for manufacturing sensor | |
| EP3498472A1 (en) | Method for simulating flexible cell chip lamination process and lamination assembly | |
| CN104991506B (zh) | 基于plc与触摸屏控制的产线设定系统及其设定方法 | |
| CN106250263A (zh) | 电子设备的备用处理控制装置以及备用处理控制方法 | |
| CN103777618B (zh) | 半导体工艺的指令执行的控制方法及控制装置 | |
| CN104899088B (zh) | 一种消息处理方法及装置 | |
| CN104749895B (zh) | 一种双气浮大型基板传输装置 | |
| CN106028780A (zh) | 一种电子元件针脚整形装置 | |
| CN102452800A (zh) | 真空玻璃中间支撑物的设置方法 | |
| CN107275248B (zh) | 机台控制方法和机台控制系统 | |
| CN104549583B (zh) | 一种微流控芯片的制造方法 | |
| CN103941674B (zh) | 一种多通道管控工艺流程的设计方法 | |
| CN102354674B (zh) | 多工艺机台的工序控制方法 | |
| CN106738177A (zh) | 一种用于生产钢带箱的锁扣装订方法 | |
| CN104760311A (zh) | 一种轮胎成型机胎面夹取的改进方法 | |
| CN101886262A (zh) | 湿法刻蚀机台及消除硅片刻蚀差异的方法 | |
| CN105578705B (zh) | 一种二次蚀刻双面电路板及其加工工艺 | |
| CN109473380A (zh) | 晶圆加工机台及其加工方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 100176 No. 8, Wenchang Avenue, Daxing District economic and Technological Development Zone, Beijing Applicant after: Beijing North China microelectronics equipment Co Ltd Address before: 100176 No. 8, Wenchang Avenue, Daxing District economic and Technological Development Zone, Beijing Applicant before: Beifang Microelectronic Base Equipment Proces Research Center Co., Ltd., Beijing |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20160713 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |