CN112198761A

CN112198761A - 载片系统及物料传递方法

Info

Publication number: CN112198761A
Application number: CN202010930845.6A
Authority: CN
Inventors: 王魁波; 吴晓斌; 谢婉露; 罗艳; 沙鹏飞; 韩晓泉
Original assignee: Institute of Microelectronics of CAS
Current assignee: Institute of Microelectronics of CAS
Priority date: 2020-09-07
Filing date: 2020-09-07
Publication date: 2021-01-08
Anticipated expiration: 2040-09-07
Also published as: CN112198761B

Abstract

本申请涉及一种载片系统及物料传递方法，载片系统包括腔室、充气装置、抽气装置和温度调节装置，腔室包括依次连通的大气腔、载片腔和工艺腔，大气腔与载片腔之间设置有第一物料阀，载片腔与工艺腔之间设置有第二物料阀；大气腔的内部设置为大气压环境，工艺腔的内部设置为真空环境；充气装置与载片腔连通，充气装置用于对载片腔充气以使载片腔的内部形成大气压环境；抽气装置与载片腔连通，抽气装置用于对载片腔抽气以使载片腔的内部形成真空环境；温度调节装置与载片腔连通以调节载片腔内的温度。本申请通过控制载片腔的气压环境和温度，以载片腔作为过渡腔，实现了物料在大气腔与工艺腔之间的传递，保证了工艺腔的清洁度和物料温度的稳定性。

Description

载片系统及物料传递方法

技术领域

本申请属于光刻技术领域，尤其是极紫外光刻技术领域，具体涉及一种载片系统及物料传递方法。

背景技术

本部分提供的仅仅是与本公开相关的背景信息，其并不必然是现有技术。

在工业生产领域中，很多工艺都需要在真空环境下进行，例如，真空镀膜工艺、离子束焊接工艺、极紫外(Extreme Ultra-violet，简称EUV)光刻工艺、离子束光刻工艺、电子束光刻工艺等均需要在真空环境下进行。

工艺加工过程中，通常需要在大气环境与真空环境之间进行物料的传递，具体包括将待加工物料从大气环境传递到真空环境，以及将加工完成的物品从真空环境传递到大气环境。极紫外光刻工艺中，物料可以是硅片或者掩模。上述需要在真空环境下进行的工艺，尤其是极紫外光刻工艺，对真空环境中的残余气体的成分以及从大气环境传递到真空环境的物料的温度要求较高，不满足条件的真空环境会影响到光刻的精度甚至会降低产品良率。

发明内容

本申请第一方面提出了一种载片系统，包括：

腔室，所述腔室包括依次连通的大气腔、载片腔和工艺腔，所述大气腔与所述载片腔之间设置有第一物料阀，所述载片腔与所述工艺腔之间设置有第二物料阀；所述大气腔的内部设置为大气压环境，所述工艺腔的内部设置为真空环境；

充气装置，所述充气装置与所述载片腔连通，所述充气装置用于对所述载片腔充气以使所述载片腔的内部形成大气压环境；

抽气装置，所述抽气装置与所述载片腔连通，所述抽气装置用于对所述载片腔抽气以使所述载片腔的内部形成真空环境；

温度调节装置，所述温度调节装置与所述载片腔连通以调节所述载片腔内的温度。

本申请第二方面提出了一种物料传递方法，所述物料传递方法通过如上所述的载片系统来实施，所述物料传递方法包括：

充气装置对载片腔进行充气，使所述载片腔内的气压达到设定气压；

打开第一物料阀，将物料从大气腔转移至所述载片腔，关闭所述第一物料阀；

抽气装置将所述载片腔抽至真空，温度调节装置对所述载片腔内的温度进行调节；

打开第二物料阀，将所述物料从所述载片腔转移至工艺腔，对所述物料进行加工；

将加工后的物料转移至所述载片腔，关闭所述第二物料阀，充气装置将所述载片腔充气至设定气压；

打开所述第一物料阀，将所述加工后的物料从所述载片腔转移至所述大气腔，关闭所述第一物料阀。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。在附图中：

图1为本申请实施例的载片系统的结构示意图；

图2为本申请一个实施例中载片腔和抽气装置的结构示意图；

图3为本申请另一个实施例中载片腔和抽气装置的结构示意图；

图4为本申请一个实施例的物料传递方法的流程图；

图5为本申请一个实施例的物料传递方法中抽气调节阀的开度的变化示意图；

图6为图5对应的载片腔内的气压的变化示意图；

图7为本申请另一个实施例的物料传递方法中抽气调节阀的开度的变化示意图；

图8为图7对应的载片腔内的气压的变化示意图。

附图中各标记表示如下：

100、载片系统；

10、大气腔；11、大气主腔；12、物料盒；13、第一机械臂；

20、载片腔；21、物料支架；

30、工艺腔；31、加工工位；32、第二机械臂；

41、第一物料阀；42、第二物料阀；

51、气源；52、充气阀门；

61、真空泵；62、抽气调节阀；621、快抽阀；622、缓抽阀；

71、恒温水源；72、进水管；73、出水管；

80、真空计；

90、物料。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解的是，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反的，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“所述”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”、“含有”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、步骤、操作、元件、部件、和/或它们的组合。

尽管可以在文中使用术语第一、第二、第三等来描述多个元件、部件、区域、层和/或部段，但是，这些元件、部件、区域、层和/或部段不应被这些术语所限制。这些术语可以仅用来将一个元件、部件、区域、层或部段与另一区域、层或部段区分开。除非上下文明确地指出，否则诸如“第一”、“第二”之类的术语以及其它数字术语在文中使用时并不暗示顺序或者次序。因此，以下讨论的第一元件、部件、区域、层或部段在不脱离示例实施方式的教导的情况下可以被称作第二元件、部件、区域、层或部段。

为了便于描述，可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的关系，这些相对关系术语例如为“内部”、“外部”、“内侧”、“外侧”、“下面”、“下方”、“上面”、“上方”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中装置的不同方位。例如，如果在图中的装置翻转，那么描述为“在其它元件或者特征下面”或者“在其它元件或者特征下方”的元件将随后定向为“在其它元件或者特征上面”或者“在其它元件或者特征上方”。因此，示例术语“在……下方”可以包括在上和在下的方位。装置可以另外定向(旋转90度或者在其它方向)并且文中使用的空间相对关系描述符相应地进行解释。

如图1至图3所示，本申请第一方面的实施例提出了一种载片系统100，该载片系统100包括腔室、充气装置、抽气装置和温度调节装置，其中，腔室包括依次连通的大气腔10、载片腔20和工艺腔30，大气腔10与载片腔20之间设置有第一物料阀41，载片腔20与工艺腔30之间设置有第二物料阀42；大气腔10的内部设置为大气压环境，工艺腔30的内部设置为真空环境；充气装置与载片腔20连通，充气装置用于对载片腔20充气以使载片腔20的内部形成大气压环境；抽气装置与载片腔20连通，抽气装置用于对载片腔20抽气以使载片腔20的内部形成真空环境；温度调节装置与载片腔20连通以调节载片腔20内的温度。

本实施例提出的载片系统100可以应用在光刻工艺中，例如可用于极紫外光刻工艺领域，实现硅片和/或掩模在大气与真空环境之间的传递。

由于极紫外光刻工艺需要在真空环境中进行，而且对真空环境内的气体的成分以及从外界进入到真空环境内的物料90的温度都有严格的要求，本实施例提出的载片系统100通过设置依次连通的大气腔10、载片腔20和工艺腔30实现物料传递，通过设置载片腔20连通的充气装置、抽气装置和温度调节装置，控制载片腔20的内部气压环境和温度，使物料90在传递时以载片腔20作为过渡腔，避免大气腔10的环境与工艺腔30的环境互相影响，保证了工艺腔的清洁度和物料温度的稳定性。

具体地，大气腔10用于存储物料90，需要说明的是，本实施例中所说的物料可以是待加工的物料，也可以是加工完成后的物料。大气腔10的内部设置为大气压环境，能够为物料提供大气压环境，示例性地，大气腔10的内部充设有高纯度的保护气，例如可以是纯度为99.999％的氮气、干空气等，由此使得大气腔10内的物料处于清洁的微正压环境，从而保护物料。

进一步地，在本申请的一些实施例中，大气腔10内的气压大于外界气压，具体地，由于物料需要在外界与大气腔10之间转移，即，待加工的物料需要从外界进入大气腔10，加工好的物料需要从大气腔10移出到外界，故本实施例中大气腔10内的气压略高于外界气压，从而避免外界环境中的气体以及一些杂质微粒进入大气腔10中，由此进一步保证大气腔10内环境的清洁程度。

如图1所示，在本申请的一些实施例中，大气腔10包括大气主腔11和物料盒12，物料盒12与主腔体11连通，物料腔12的数量可以为多个，物料腔12用于放置待加工的物料或加工完成的物料；在此基础上，大气主腔11内设置有第一机械臂13，第一机械臂13用于转移物料90，可以理解地，第一机械臂13可以将物料腔12内的待加工的物料转移至载片腔20内，也可以将载片腔20内的加工完成的物料转移至物料腔12内。本实施例将第一机械臂13设置在大气主腔11内，便于第一机械臂13对物料90进行转移。

工艺腔30用于加工物料，本实施例中工艺腔30的内部设置为真空环境，以满足加工工艺的需求。在本申请的一种实施例中，工艺腔30内设置有第二机械臂32，第二机械臂32用于转移物料90，可以理解地，第二机械臂32可以将载片腔20内的待加工的物料转移至工艺腔30内，也可以将工艺腔30内的加工完成的物料转移至载片腔20内，需要说明的是，本实施例中的第二机械臂32能够在真空环境下工作。

进一步地，在本申请的一种实施例中，工艺腔30内还设置有加工工位31，加工工位31用于承载被加工的物料90，如图1所示，加工工位31可以设置在第二机械臂32背离载片腔20的一侧，以便于第二机械臂32对加工工位31上的物料90进行转移。

请继续参阅图1，载片腔20连接在大气腔10与工艺腔30之间，是物料转移过程中的过渡腔，具体地，如图1所示，载片腔20的一端通过第一物料阀41与大气腔10连通，可以通过第一物料阀41的开启实现与大气腔10的连通；载片腔20的另一端通过第二物料阀42与工艺腔30连通，可以通过第二物料阀42的开启实现与工艺腔30的连通，可以理解地，本实施例通过设置第一物料阀41和第二物料阀42保证了载片腔20的独立性，防止载片腔20的环境受到大气腔10或工艺腔30内的环境的影响。

在一种可能的实施方式中，载片腔20内设置有用于放置物料90的物料支架21。当待加工的物料需要从大气腔10进入载片腔20时，载片腔20用于实现大气环境来适应大气腔10内的大气环境；当加工完成后的物料需要从工艺腔30进入载片腔20时，载片腔20用于实现真空环境以适应工艺腔30内的真空环境。

在上述实施方式的基础上，在载片腔20需要实现大气环境时，充气装置向载片腔20内充气，如图1所示，在本申请的一些实施例中，充气装置包括气源51、充气阀门52和充气管路，充气管路分别与载片腔20和气源51连通，充气阀门52设置在充气管路上。具体地，气源51设置为高纯气源51，高纯气源51提供的气体为保护气，例如可以是氮气、干空气等。高纯气源51通过充气管路与载片腔20连通，向载片腔20充气至实现大气压环境，相应地，载片腔20上设置有进气口。充气阀门52设置充气管路上，用于控制充气管路的通断。

在载片腔20需要实现真空环境时，抽气装置对载片腔20进行抽气，如图1所示，在本申请的一些实施例中，抽气装置包括真空泵61、抽气调节阀62和抽气管路，抽气管路分别与载片腔20和真空泵61连通，抽气调节阀62设置在抽气管路上。

在本申请的一种实施例中，如图1所示，抽气调节阀62设置为一种开度可调的真空阀门，抽气调节阀62可以根据实际抽气需要实时调节开度，也就是说，抽气调节阀62可以通过调节自身开度，控制抽气管路中气流量的大小，进而控制抽气的速率，当需要较小的抽速时，抽气调节阀62调节至较小的开度；当需要较大的抽速时，抽气调节阀62调节至较大的开度。

在本申请的另一种实施例中，如图2所示，抽气调节阀62包括两个阀门，分别为快抽阀621和缓抽阀622，相应地，抽气管路包括快抽管路和缓抽管路，快抽阀设置在快抽管路上，缓抽阀622设置在缓抽管路上。可以理解地，快抽阀621和快抽管路用于实现较大的流导，缓抽阀622和缓抽管路用于实现较小的流导。

需要说明的是，在抽气装置对载片腔20进行抽气时，根据抽气速度的不同，载片腔20内会产生不同的气体流态，如湍流、层流或分子流等，其中，湍流会导致气流的无规则流动、乱流及旋涡等，这样会导致载片腔20底部或抽气管路中沉积的颗粒污染物返流或无规则运动到物料的表面，影响后续的加工工艺。因此，本实施例中通过设置开度可调的抽气调节阀62或缓抽阀622与快抽阀621相配合，能够灵活改变抽气速度，从而降低或避免不良气体流态的产生。

本实施例中真空泵61可以设置有一个，该真空泵61分别通过快抽管路和缓抽管路与载片腔20连通。具体地，当需要对载片腔20进行缓抽时，打开缓抽阀622，真空泵61通过缓抽管路对载片腔20抽气；当需要对载片腔20进行快抽时，打开快抽阀621，真空泵61通过快抽管路对载片腔20抽气；由此，本实施例可以通过开启不同的阀门改变抽气的速率。

进一步地，在本申请的一些实施例中，载片系统100还包括真空计80，如图1所示，真空计80与载片腔20连通，用于检测载片腔20内的气压或真空度。具体地，真空计80通过管路与载片腔20连通，管路上还可以设置有控制管路通断的阀门。当载片腔20处于充气过程中或充气达到设定气压后，本实施例中真空计80可以对载片腔20内的实时气压进行检测；当载片腔20处于抽气过程中或已抽至真空时，本实施例中真空计80可以对载片腔20内的实时真空度进行检测。

在本申请的一些实施例中，为了提高物料的传递速率，载片腔20的数量可以设置为多个，例如，如图3所示，载片腔20的数量设置为两个。在此基础上，各个载片腔20可以分别连接有快抽管路和缓抽管路，快抽阀621设置在快抽管路上，缓抽阀622设置在缓抽管路上。当然，多个载片腔20可以共用一个真空泵61，也可以分别连接一个真空泵61。

在上述实施方式的基础上，载片系统100还包括与载片腔20连通的温度调节装置，需要说明的是，在一些工艺中，例如硅片的极紫外光刻工艺中，物料90在工艺腔30中被加工时，需要保证物料90处于稳定的温度或温度区间，而当物料90处于载片腔20中时，载片腔20在被抽至真空的过程中会产生冷却效应，导致载片腔20内及物料90的温度降低。因此，本实施例通过设置温度调节装置，通过在抽气的过程中调节载片腔20的温度，保证物料90处于稳定的温度或温度区间，或及时恢复到设定的温度或温度区间。

可以理解地，本实施例中的温度调节装置用于对载片腔20进行加热，温度调节装置具体可以设置为能够发热的装置，在本申请的一些实施例中，如图1所示，温度调节装置包括恒温水源71、进水管72、出水管73以及设置在载片腔20内的换热管，进水管72的两端分别与恒温水源71和换热管连通，出水管73的两端分别与恒温水源71和换热管连通。利用恒温水在进水管72、换热管、出水管73中的流动对载片腔20进行加热。具体的，载片腔20内设置的物料支架21可以与换热管连接，由此，换热管能够直接对物料支架21进行加热，从而快速提高放置在物料支架21上的物料的温度。

本申请第二方面的实施例提出了一种物料传递方法，如图4所示，该物料传递方法通过上述任一实施例提出的载片系统100来实施，包括：

充气装置对载片腔20进行充气，使载片腔20内的气压达到设定气压；需要说明的是，本步骤中的设定气压略大于或等于大气腔内的气压。

打开第一物料阀41，将物料90从大气腔10转移至载片腔20，关闭第一物料阀41；具体地，大气腔10内可以设置有转移物料90用的第一机械臂13，打开第一物料阀41后，载片腔20与大气腔10连通，第一机械臂13将物料送至载片腔20内。

抽气装置将载片腔20抽至真空，温度调节装置对载片腔20内的温度进行调节；为了适应工艺腔30的真空环境，本步骤中的载片腔20提前转换为真空环境；由于抽气装置对载片腔20进行抽气时，载片腔20内的温度会降低，因此需要温度调节装置对温度进行调节，从而保证物料的温度的稳定，避免影响后续的工艺。

打开第二物料阀42，将物料90从载片腔20转移至工艺腔30，对物料90进行加工；具体地，工艺腔30内可以设置有转移物料90用的第二机械臂32，打开第二物料阀42后，载片腔20与工艺腔30连通，第二机械臂32将物料90送至工艺腔30内。

将加工后的物料转移至载片腔20，关闭第二物料阀42，充气装置将载片腔20充气至设定气压；具体地，第二机械臂32将加工后的物料送至载片腔20后，为了适应大气腔10的真空环境，载片腔20提前转换为大气压环境，本步骤中利用充气装置对载片腔20进行充气。

打开第一物料阀41，将加工后的物料从载片腔20转移至大气腔10，关闭第一物料阀41。本步骤中加工后的物料被转移至大气腔10后，转移过程结束。

本申请实施例的物料传递方法具有与上述任一实施例中载片系统100相同的优点，在此不再赘述。

由于在抽气装置对载片腔20进行抽气时，抽气速度不同，载片腔20内会产生不同的气体流态，例如湍流会导致气流的无规则流动、乱流及旋涡等，这样会导致载片腔20底部或抽气管路中沉积的颗粒污染物返流或无规则运动到物料的表面，影响后续的加工工艺。因此，在对载片腔20进行抽气时，需要控制抽速；另外，根据抽气时载片腔20内的温度会降低，在抽气过程中，需要对载片腔20进行温度调节。

对此，上述抽气装置将载片腔20抽至真空，温度调节装置对载片腔20内的温度进行调节的步骤具体包括：

抽气装置的抽气调节阀62调至第一开度对载片腔20进行抽气，使载片腔20内的气压降低至第一设定气压，温度调节装置对载片腔20进行加热；停止抽气，温度调节装置对载片腔20进行加热，使载片腔20内的温度达到预设温度值；抽气调节阀62调至第二开度对载片腔20进行抽气，使载片腔20内形成真空环境，第二开度大于第一开度。也就是说，本实施例中分别对载片腔20进行缓抽和快抽，并在温度下降后停止抽气，通过加热使载片腔20内的温度恢复正常。

具体地，如图5和图6所示，在本申请的一些实施例中，抽气装置将载片腔20抽至真空的过程包括三个阶段：

阶段P1-1：缓抽阶段，如图5和图6所示，缓抽阶段对应的时间区间为t₁₁～t₁₂，可以理解地，在刚开始抽气时，由于载片腔20内的初始气压较大，稍大的抽速就会形成湍流，因此本阶段在刚开始抽气时采用缓抽的方式。

具体地，本阶段中抽气调节阀62的开度如图6所示为

开度为

时对应的抽速较小，相应地，本阶段内气压的变化曲线如图5中所示为L₁₁，气压数量级缓慢下降。

可以理解地，虽然本阶段的抽速较小，但由于载片腔20内的初始气压较大，气压降低过程会产生明显的冷却效应，温度调节装置在该时间段内可能难以及时抵消冷却效应造成的物料温度的下降，因此需要对物料的温度进行调节使其恢复。

阶段P1-2：温度恢复阶段，如图5和图6所示，温度恢复阶段对应的时间区间为t₁₂～t₁₃，本阶段抽气调节阀62关闭，载片腔20内的气压基本不变，气压变化曲线如图5所示为L₁₂。本阶段中温度调节装置持续工作，从而使物料的温度恢复到预设温度。

阶段P1-3：快抽阶段，如图5和图6所示，快抽阶段对应的时间区间为t₁₃～t’，可以理解地，由于此时载片腔20内的气压较低，不容易形成湍流，因此本阶段抽气时可采用快抽的方式。需要说明的是，t’时刻的气压P₁₂不大于工艺腔30的工作气压。

具体地，本阶段中抽气调节阀62的开度如图6所示为

可以设置为100％，此时对应的抽速较大，相应地，本阶段内气压的变化曲线如图5中所示为L₁₃，气压数量级快速下降。可以理解地，虽然P1-3阶段的抽速较大，但由于载片腔20内的气压较低，因此冷却效应不明显，工作中的温度调节装置能够及时补偿冷却效应，故本阶段中物料的温度基本维持不变。

在本申请的另一些实施例中，抽气装置将载片腔20抽至真空的过程包括三个阶段：

阶段P2-1：缓抽阶段，如图7和图8所示，缓抽阶段对应的时间区间为t₂₁～t₂₂，可以理解地，在刚开始抽气时，由于载片腔20内的初始气压较大，稍大的抽速就会形成湍流，因此本阶段在刚开始抽气时采用缓抽的方式。

具体地，本阶段中抽气调节阀62的开度如图8所示为

开度为

时对应的抽速较小，相应地，本阶段内气压的变化曲线如图7中所示为L₂₁，气压数量级缓慢下降。

可以理解地，虽然本阶段的抽速较小，但由于载片腔20内的初始气压较大，气压降低过程会产生明显的冷却效应，温度调节装置在该时间段内可能难以及时抵消冷却效应造成的物料温度的下降。

阶段P2-2：快抽阶段，如图7和图8所示，快抽阶段对应的时间区间为t₂₂～t₂₃，可以理解地，由于此时载片腔20内的气压较低，不容易形成湍流，因此本阶段抽气时可采用快抽的方式。

具体地，本阶段中抽气调节阀62的开度如图8所示为

可以设置为100％，此时对应的抽速较大，相应地，本阶段内气压的变化曲线如图7中所示为L₂₃，气压数量级快速下降。可以理解地，虽然P2-2阶段的抽速较大，但由于载片腔20内的气压较低，因此冷却效应不明显，工作中的温度调节装置能够及时补偿快抽阶段此时的冷却效应，故本阶段中物料的温度基本维持不变或缓慢上升，可以理解地，缓抽阶段产生的冷却效应导致物料的温度依然偏低，因此需要对物料的温度进行调节使其恢复。

阶段P2-3：温度恢复阶段，如图7和图8所示，温度恢复阶段对应的时间区间为t₁₃～t’，本阶段抽气调节阀62关闭，载片腔20内的气压基本不变，气压变化曲线如图5所示为L₁₂。本阶段中温度调节装置持续工作，从而使物料的温度恢复到预设温度。需要说明的是，t’时刻的气压P₂₂不大于工艺腔30的工作气压。

需要说明的是，有些特殊的工艺中载片腔20所需的气压P₂₂很低，而载片腔20的材料释气相对较高，如果抽气调节阀62完全关闭，则载片腔20内的气压会缓慢上升，无法适应工艺腔30的真空环境，甚至会污染工艺腔30的真空环境，对此，如图8所示，抽气调节阀62在P2-3阶段可以开启一个较小的开度

以保证载片腔20内的气压维持不变或轻微下降，即此时对应的气压变化曲线分别如图7中L₂₃或L₂₄所示。

以上，仅为本申请较佳的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种载片系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述充气装置包括气源、充气阀门和充气管路，所述充气管路分别与所述载片腔和所述气源连通，所述充气阀门设置在所述充气管路上。

3.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述抽气装置包括真空泵、抽气调节阀和抽气管路，所述抽气管路分别与所述载片腔和所述真空泵连通，所述抽气调节阀设置在所述抽气管路上。

4.根据权利要求3所述的载片系统，其特征在于，所述抽气调节阀包括快抽阀和缓抽阀，所述抽气管路包括快抽管路和缓抽管路，所述快抽阀设置在所述快抽管路上，所述缓抽阀设置在所述缓抽管路上。

5.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述载片系统还包括真空计，所述真空计与所述载片腔连通，以检测所述载片腔内的气压或真空度。

6.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述温度调节装置包括恒温水源、进水管、出水管以及设置在所述载片腔内的换热管，所述进水管的两端分别与所述恒温水源和所述换热管连通，所述出水管的两端分别与所述恒温水源和所述换热管连通。

7.根据权利要求1所述的载片系统，其特征在于，所述大气腔包括大气主腔和物料盒，所述物料盒与所述大气主腔连通，所述大气主腔内设置有用于转移物料的第一机械臂；所述载片腔内设置有用于放置所述物料的物料支架；所述工艺腔内设置有用于加工所述物料的加工工位和用于转移所述物料的第二机械臂。

8.根据权利要求1或7所述的载片系统，其特征在于，所述大气腔的内部设置有保护气和/或所述大气腔内的气压大于外界气压。

9.一种物料传递方法，其特征在于，所述物料传递方法通过根据权利要求1至8中任一项所述的载片系统来实施，所述物料传递方法包括：

10.根据权利要求9所述的物料传递方法，其特征在于，所述抽气装置将所述载片腔抽至真空，温度调节装置对所述载片腔内的温度进行调节，包括：

所述抽气装置的抽气调节阀调至第一开度对所述载片腔进行抽气，使所述载片腔内的气压降低至第一设定气压，所述温度调节装置对所述载片腔进行加热；

停止抽气，所述温度调节装置对所述载片腔进行加热，使所述载片腔内的温度达到预设温度值；

所述抽气调节阀调至第二开度对所述载片腔进行抽气，使所述载片腔内形成真空环境，所述第二开度大于所述第一开度。