CN105758294B - 干涉物镜和光干涉测量装置 - Google Patents

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Abstract

干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。

Description

干涉物镜和光干涉测量装置
技术领域
本发明涉及一种光干涉测量装置，其用于使用由光干涉产生的干涉条纹的亮度信息进行测量，并且，本发明还涉及一种用于该光干涉测量装置的干涉物镜。
背景技术
传统上，已知有一种光干涉测量装置，诸如三维测量装置，用于使用由光干涉产生的干涉条纹的亮度信息，精确地测量测量对象的三维形状。
例如，在使用白光光源的光干涉测量装置中，在干涉光路和测量光路的光路长度彼此一致(match)的焦点位置中，波长的干涉条纹的峰值彼此叠加合成的干涉条纹的亮度变大。因此，根据光干涉测量装置，有可能获取干涉图像，其示出在改变参考光路或测量光路的光路长度的同时、干涉光强度在诸如CCD相机的成像器件的成像范围中的分布，并且，有可能通过在成像范围中的每个测量位置中检测干涉光强度处于峰值的焦点位置，来测量测量对象的三维形状。
根据作为一种用于光干涉测量装置的干涉系统的mirau型干涉物镜，有必要相对地改变样品表面、以及参考镜的角度和倾斜方向，使得通过测量光路的光和通过参考光路的光产生适于测量的干涉条纹。在许多情况下，通过使用倾斜台来倾斜样品，来调节在样品表面和所述参考镜之间的相对角度。另一方面，JP2011-85655A提出一种mirau型干涉物镜，其调节参考镜而不是样品的角度。对着沟槽的倾斜表面按压螺钉，所述沟槽具有在保持参考镜的保持架的外表面中提供的V形横截面，并且，通过螺钉的旋紧量来调节参考镜的角度。
发明内容
根据在JP2011-85655 A中描述的参考镜的角度调节机制，围绕支撑保持架的两个钢球彼此连接的直线，调节所述参考镜的倾角。保持参考镜和半反射镜的干涉部分镜筒围绕光轴旋转，从而调节倾斜方向(干涉条纹的朝向)。根据JP2011-85655 A中描述的干涉物镜，因为有必要分别移动干涉部分镜筒和保持该参考镜的保持架，所以干涉物镜的结构与操作方法变得复杂。
因此，本发明的目的是：解决上述问题，提供一种能够容易地调节参考镜的倾斜度以用于产生干涉条纹的干涉物镜，并且提供一种具有该干涉物镜的光干涉测量装置。
为了解决上述问题，根据本发明的干涉物镜包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，球面形内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。根据该配置，能够通过参考镜调节机构而容易地调节支撑组件的球面形内表面所支撑的镜保持组件的位置。
根据本发明，干涉物镜还可包括并入了支撑组件的镜筒，镜保持组件可包括从球面形外表面伸出、且在其末梢端被提供有倾斜表面的伸出部，参考镜调节机构可以包括被置于与镜筒的伸出部相对应的位置的调节螺孔、以及被沿螺纹插入调节螺孔、且紧靠伸出部的倾斜表面的调节螺钉，并且，可根据调节螺钉的旋紧量来调节镜保持组件的倾斜量。根据该配置，能够通过调节螺钉的旋紧量而容易地调节支撑组件的球面形内表面所支撑的镜保持组件的位置。
根据本发明，镜保持组件的伸出部可被提供在镜保持组件的外周的至少90度上，并且，可提供调节螺孔，使得其可在对着伸出部的末梢端且在至少90度上延伸的范围中移动。根据这样的配置，有可能通过移动调节螺孔而容易地调节倾斜方向。
根据本发明，镜保持组件可包括多个伸出部，并且，镜筒可以包括与伸出部相对应的多个调节螺孔。在这种情况下，特别地，这两个伸出部可被提供在彼此偏离90度的位置。根据该配置，能够通过两个调节螺钉的旋紧量而容易地调节倾斜方向和倾角。
根据本发明，镜保持组件可以在与当紧固调节螺钉时增大倾斜量的方向相反的方向上偏转。根据这样的配置，即使调节螺钉的旋紧量减少，也有可能随着旋紧量的改变而改变镜保持组件的倾斜度。
为了解决上述问题，本发明的光干涉测量装置包括上述干涉物镜中的任何一个。根据该配置，能够通过参考镜调节机构而容易地调节支撑组件的球面形内表面所支撑的镜保持组件的位置。结果，在由光干涉测量装置进行测量时，调节变得容易。
附图说明
图1是示出光干涉测量装置的实施例的测量装置的完整配置的透视图，其中，干涉光学系统和图像测量装置被组合；
图2是示出光干涉光头152的配置连同光路的示意图；
图3是示出物镜部分22的结构的截面图；
图4A是第一实施例中的保持具有参考镜222的玻璃板223的保持组件225的顶视图，图4B是第一实施例中的保持组件225的侧视图；
图5是示出第一实施例中的镜筒229的外观的透视图；
图6是示出物镜部分22的光学系统的主要部分、测量光路和参考光路的放大图；
图7是示出计算机本体201的配置的框图；
图8是示出调节参考镜222的倾斜度的过程的流程图；
图9是示出由光干涉光头152进行的测量三维形状的过程的流程图；
图10A是第二实施例中的保持具有参考镜222的玻璃板223的保持组件225的顶视图，图10B是第二实施例中的保持组件225的侧视图；以及
图11是示出第二实施例中的镜筒229的外观的透视图。
具体实施方式
【第一实施例】
下面，通过参照附图来描述根据本发明的光干涉测量装置的实施例的测量装置，其中，干涉光学系统和图像测量装置被组合。
图1是示出此实施例的测量装置的完整配置的透视图，其中，干涉光学系统和图像测量装置被组合。将干涉光学系统和图像测量装置组合的测量装置包括非接触型图像测量机1和计算机系统2，计算机系统2驱动和控制图像测量机1并执行必要的数据处理。将干涉光学系统和图像测量装置组合的测量装置可以适当地包括打印出测量结果的打印机。
图像测量机1包括底座11、样品台(台)12、支撑臂13a和13b、X轴导轨14和成像单元15。如图1中所示，台12被放置为使得其上表面(作为基面)与水平面一致。工件W被放置在台12上。台12在Y轴方向上由Y轴驱动机构(未示出)驱动，并且能够在Y轴方向上相对于所述成像单元移动。向上延伸的支撑臂13a和13b被固定到底座11的两侧边缘的中心部，并且，X轴导轨14被固定为使得所述支撑臂13a和13b的两个上端彼此相连。X轴导轨14支撑成像单元15。由X轴驱动机构(未示出)沿X轴导轨14驱动所述成像单元15。
成像单元15可拆卸地包括：图像光头151，用于对工件W的二维图像进行成像；以及光干涉光头152，用于通过光干涉测量来测量工件W的三维形状，并且，在通过计算机系统2使用任一光头设置的测量位置，测量工件。成像单元15的测量视野通常被设置得比光干涉光头152的测量视野更宽。有可能在图像光头151和光干涉光头152之间切换，并通过计算机系统2的控制而使用所述头。通过共同的支撑板来支撑图像光头151和光干涉光头152，以便维持恒定的位置关系，并且，将它们调校(caribrate)为使得在它们被切换前后不改变测量坐标轴。
图像光头151包括CCD相机、照明装置和聚焦机构，并且，对工件W的二维图像进行成像。所成像的二维图像的数据被捕获到计算机系统2中。
图2是示出光干涉光头152的配置的示意图。光干涉光头152包括光输出部分20、光干涉光头部分21、物镜部分22、成像透镜23、成像部分24和驱动机构25。
光输出部分20包括光源，其输出在宽带上具有多个波长成分的低相干性宽带光。例如，诸如卤素灯(halogen)和LED(发光二极管)的白光源被用作光输出部分20。
光干涉光头部分21包括分束器211和准直透镜212。从与物镜部分22的光轴L直角相交的方向，通过准直透镜212，从光输出部分20输出的光被平行发射到分束器211。光沿着光轴L从光束分离器211输出，并且，平行光束从上方被发射到物镜部分22。
图3是示出物镜部分22的配置的示意图。物镜部分22包括光学系统，其从上方起依次包括位于同一光轴上的物镜221、具有参考镜222的玻璃板223、以及分束器224。物镜部分22的光轴L被调节为使得光轴L与垂直于X轴和Y轴的Z轴一致。工件W被放置在物镜部分22下面的台12上。物镜部分22的光学系统被放置在圆柱形镜筒229中。物镜221和分束器224被安装为使得相对于所述镜筒229的位置关系不变。玻璃板223是由玻璃制成的透明薄板，并且，参考镜222以如下这样的方向被安装在玻璃板223的中心部上：使得该参考镜222的反射面与玻璃板223接触。
图4A是保持具有参考镜222的玻璃板223的保持组件225的顶视图，图4B是保持组件225的侧视图。保持组件225具有球面形外表面和圆柱形内表面。保持组件225保持具有参考镜222的玻璃板223，使得参考镜222的反射面的中心与形成保持组件225的外表面的球面的中心彼此一致。保持组件225包括在其圆柱形内表面中形成的凹陷，并且玻璃板223可被保持在凹陷中。调节螺钉接收部分2251在围绕保持组件225的中轴至少90度上，从保持组件225的外表面伸出。调节螺钉接收部分2251的末梢端被提供有倾斜面S，其相对于与中轴直角相交的平面而倾斜。
在镜筒229中提供支撑组件226和压框(press-frame)227，它们均具有与所述保持组件225的外表面相对应的球面形凹陷。支撑组件226和压框227可摆动地支撑保持具有参考镜222的玻璃板223的保持组件225。以支撑组件226支撑保持组件225并且压框227按压保持组件225的状态，在支撑组件226和压框227之间的边界中形成开口。以调节螺钉接收部分2251从此开口暴露的状态，支撑保持组件225。
图5是示出镜筒229的外观的透视图。镜筒229的外表面被提供有调节环单元228(对应于本发明的调节螺孔)。调节环单元228被安装为使得其可以在与支撑组件226和压框227之间的边界中的开口相对应的范围(即，围绕保持组件225的中轴至少90度的范围)内移动。例如，可以通过限定例如可移动范围和可移动方向的轨道安装调节环单元228。被形成有内螺纹的螺孔被提供在调节环单元228的中心部中。调节螺钉300被沿螺纹插入螺孔中。在与镜筒229的中轴直角(即，径向)相交的方向上提供螺孔，并且，根据调节螺钉300的旋紧量，调节螺钉300在镜筒229的径向上移动。调节螺钉300被旋紧，直到其末梢端紧靠调节螺钉接收部分2251的倾斜面S为止。如果调节螺钉300被进一步旋紧，则倾斜表面S被向上推压，并且，保持组件225在支撑组件226和压框227中旋转。以此方式，保持组件225的倾斜度根据调节螺钉300的旋紧量而改变。保持组件225可在与由调节螺钉300的旋紧动作导致的倾斜度改变相反的方向(即，与通过调节螺钉的旋紧动作增加倾斜量的方向相反的方向)上偏转。根据这一点，即使旋紧量减少，也有可能改变保持组件225的倾斜度，使得调节螺钉300的末梢端与调节螺钉接收部分2251的倾斜面S彼此紧靠。调节螺钉300被旋紧的方向是保持组件225的倾斜的最大倾斜角方向。因此，有可能通过改变调节环单元228的位置来改变保持组件225的倾斜方向。
根据上述配置，能够调节参考镜222的倾斜度，而不旋转保持参考镜222和分束器224的整个单元，并且，可以得到期望的干涉条纹。此外，由于参考镜222的反射面总是位于来自分束器224的反射光的焦点位置，所以能够防止由调节引起的失焦。
基于通过光干涉光头部分21将平行光束从物镜部分22上的位置发射到物镜221的假设，将参考图6来描述干涉操作。注意，在图6中，省略用于调节参考镜222的倾斜度的配置(例如，保持组件225、支撑组件226、压框227、调节环单元228和调节螺钉300)。注意，虽然将使用沿着图6中的箭头延伸的光路描述该配置，但实际的干涉相对于光轴L对称旋转地发生。
首先，通过物镜221，入射光变成会聚光，并进入分束器224。这里，入射光被分成通过具有参考镜222的参考光路(在图6中的虚线)的反射光、以及通过被放置了工件W的测量光路(图6中的实线)的透射光。
反射光被会聚，并被参考镜222反射，然后被分束器224反射。相位差控制组件被安装在分束器224上，并且，通过反射光路的反射光和通过测量光路的反射光的相位被调节。相反，透射光被会聚、并施加到工件W的一点，并且在该处被反射，并进入和通过分束器224。来自参考镜222的反射光和来自工件W的反射光由分束器224组合，并成为组合波。
组合波被物镜221变成平行光束，向上行进并进入成像透镜23(图2中的点划线)。此时，当反射光路(光路1+光路2)和测量光路(光路3+光路4)的光路长度彼此相等时，产生干涉条纹。
成像部分24是CCD相机等，其包括用于配置成像部件的二维成像器件，并且，成像部分24对从物镜部分22输出的组合波(来自工件W的反射光以及来自参考镜222的反射光)的干涉图像进行成像。
通过来自计算机系统2的移动命令，驱动机构25在光轴L的方向上移动光干涉光头152。这里，在图6中，如果从分束器224到参考镜222的距离被定义为d1、以及从分束器224到工件W的测量面中的光收集位置的距离被定义为d2，则在d1＝d2的位置处的光路长度差变为0。因此，当进行测量时，通过在光轴方向(即，Z轴方向)上移动光干涉光头152而调节距离d2，使得光路长度差变为0(d1＝d2)。虽然在上面的描述中，光干涉光头152被移动，但可通过移动台12来调节距离d2。从分束器224到参考镜222的距离d1可以是可变的。该驱动机构25作为光路长度改变部件而改变参考光路和测量光路中的任一个的长度。
在驱动机构25移动光干涉光头152在光轴L的方向上的位置、并在计算机系统2的控制下扫描光干涉光头152的状态下，光干涉光头152重复通过成像部分24的成像操作。由成像部分24成像的在每个移动扫描位置处的干涉图像的图像日期被捕获到计算机系统2中，在测量视野中的每个位置中检测干涉条纹处于峰值的移动扫描位置，并获得工件W的测量表面的每个位置(Z方向位置)上的高度。
计算机系统2包括计算机本体201、键盘202、操纵杆盒子(下面称为J/S)203、鼠标204、以及显示器205。
如图7所示，计算机本体201包括执行控制的主要部分的CPU 40、存储单元41、工作存储器42、接口(IF)43、44、45和46、以及控制显示器205上的显示的显示控制单元47。
从键盘202、J/S操纵杆203和鼠标204输入的操作员的指令信息通过接口43被输入到CPU 40。接口44连接到测量装置，将来自CPU 40的各种控制信号提供到测量装置，从测量装置接收各种状态信息和测量结果，并将它们输入到CPU 40。
当选择图像测量模式时，显示控制单元47在显示器205上显示基于从图像光头151的CCD相机提供的图像信号的图像。当选择了光干涉测量模式时，显示控制单元47在CPU 40的控制下，在显示器205上适当地显示由光干涉光头152成像的图像、CAD数据、由光干涉光头152测量的三维形状数据，等等。由图像光头151和光干涉光头152获得的测量结果可通过接口45被输出到打印机。接口46将由外部CAD系统(未示出)提供的工件W的CAD数据(设计数据)转换为预定形式，并将其输入到计算机系统2。
工作存储器42提供用于CPU 40的各种处理的工作区。例如，存储单元41包括硬盘驱动器和RAM，并存储由CPU 40执行的程序、以及测量装置的测量结果，等等。
基于通过接口的各种输入信息、操作员的指令和在存储单元41中存储的程序等，CPU 40执行各种处理，包括：在通过图像光头151的图像测量模式和通过光干涉光头152的光干涉测量模式之间的切换处理；测量区域的指定处理；成像单元15在X轴的方向上的移动处理；台12在Y轴的方向上的移动处理；通过图像光头151的二维图像的成像处理；通过光干涉光头152的干涉图像的测量处理；三维形状数据的计算处理，等等。CPU 40执行存储在存储单元41中的程序，从而实现本发明的控制手段的功能。
图8是示出根据该实施例的用于调节参考镜222的倾斜度以产生期望的干涉条纹、以便使用测量装置测量三维形状的过程的流程图。
首先，将测量模式切换到通过光干涉光头152的光干涉测量模式(步骤S100)。接着，将工件W放置在台12上(步骤S110)。然后，为了产生干涉条纹，驱动机构25在光轴方向上移动光干涉光头152(步骤S120)，并且，成像部分24对干涉图像进行成像(步骤S130)。然后，确定在所获得的图像上是否显示出期望的干涉条纹(步骤S140)上。如果期望的干涉条纹未被显示出(步骤S140；否)，则过程前进到步骤S150，并且，调节参考镜222的倾斜度。在步骤S150中，根据在步骤S130中成像的干涉图像上显示出的干涉条纹，操作调节环单元228和调节螺钉300，并且调节参考镜222的倾斜度，以便获得图像中所显示出的干涉条纹的数目，并使干涉条纹朝向期望的方向。过程返回到步骤S130。当显示出期望的干涉条纹时(步骤S140；是)，完成调节。
接着，将通过参照图9中示出的流程图，描述用于由光干涉光头152测量三维形状的过程。通过在完成上述调节的状态下用测量对象工件W替换调节工件W，进行测量工件的测量。如果三维形状的测量开始，则将光干涉光头152在光轴方向(Z轴方向)上移动预定量(S200)，并且，对显示测量表面的干涉光强的二维分布的干涉图像进行成像(S210)。这个操作被重复预定采样数目(步骤S200至S220)。如果累积了预定数目的干涉图像，则检测干涉光强行的峰值位置，其示出由测量表面的每个测量位置上的光路长度差的改变引起的干涉光强的改变(S230)。然后，将每个所检测的测量位置的峰值位置显示并输出为测量点的高度(S240)。
【第二实施例】
本发明的第二实施例将在下面基于附图进行说明。根据第二实施例的光干涉测量装置的特征在于：具有多个调节螺钉接收部分2251的保持组件225保持参考镜222，而非第一实施例的保持组件225；镜筒229包括在与每个调节螺钉接收部分2251的末梢端相对的位置上的调节环单元228'。由于除了通过采用这样的配置而产生的不同点之外，第二实施例与第一实施例是相同的，所以将省略相同配置的描述。
图10A是第二实施例中的保持组件225的顶视图，图10B是保持组件225的侧视图。保持组件225具有球面形外表面和圆柱形内表面。保持组件225保持具有参考镜222的玻璃板223，使得参考镜222的反射面的中心与形成保持组件225的外表面的球面的中心一致。两个调节螺钉接收部分2251-1和2251-2在围绕保持组件225的中轴彼此偏离90度的位置上，从保持组件225的外表面伸出。更具体地，第一调节螺钉接收部分2251-1在X轴方向上从保持组件225的外表面伸出，第二调节螺钉接收部分2251-2在Y轴方向上从保持组件225的外表面伸出。在调节螺钉接收部分2251-1和2251-2的末梢端提供倾斜面S。倾斜面S从与调节螺钉接收部分2251-1和2251-2的中轴相交的平面倾斜。
在镜筒229中，提供具有与保持组件225的外表面相对应的球面形凹陷的支撑组件226和压框227。支撑组件226和压框227可摆动地支撑保持具有参考镜222的玻璃板223的保持组件225。以支撑组件226支撑保持组件225并且压框227按压保持组件225的状态，在支撑组件226和压框227之间的边界中形成开口。以调节螺钉接收部分2251-1和2251-2从此开口暴露的状态，支撑保持组件225。
图11是示出本实施例的镜筒229的外观的透视图。镜筒229的外表面被提供有调节螺孔228-1和228-2，它们位于分别对着调节螺钉接收部分2251-1和2251-2的末梢端的位置。被形成有内螺纹的螺孔被提供在每个调节螺孔的中心。调节螺钉300-1和300-2分别被沿螺纹插入调节螺孔228-1和228-2的螺孔中。在与镜筒229的中轴直角(即，径向)相交的方向上提供每个螺孔，并且，根据调节螺钉300的旋紧量，每个调节螺钉在镜筒229的径向上移动。每个调节螺钉300被旋紧，直到其末梢端紧靠调节螺钉接收部分的倾斜面S为止，并且，保持组件225的倾斜度根据调节螺钉300的旋紧量而改变。在此实施例中，有可能通过调节具有彼此有90度差异的螺钉方向的两个调节螺钉的旋紧量，任意改变倾斜方向和倾斜量。保持组件225可在与由调节螺钉的旋紧产生的倾斜的改变相反的方向(即，与通过调节螺钉的旋紧动作增加倾斜量的方向相反的方向)上偏转。根据这一点，即使旋紧量减少，也有可能改变保持组件225的倾斜度，使得调节螺钉的末梢端与调节螺钉接收部分的倾斜面S彼此紧靠。
根据上述配置，能够调节参考镜222的倾斜度，而不旋转保持参考镜222和分束器224的整个单元，并且，可以得到期望的干涉条纹。此外，由于参考镜222的反射面总是位于来自分束器224的反射光的焦点位置，所以能够防止调节引起的失焦。
【实施例的修改】
本发明不限于上述实施例，并且，能够实现本发明的目的的范围内的修改和改善被包括在本发明中。
例如，在实施例中，使用白光干涉光头作为光干涉光头，白光干涉光头使用发出白光的光源。可替代地，光干涉光头可以是使用发出单色光的光源的单色光干涉光头，或者，也可以采用使用能够输出光、同时在白光和单色之间切换的光源的光干涉光头，并且，可以切换方式进行具有宽测量范围的白光干涉测量、和能够极精确测量的单色光干涉测量。期望波长的激光器可被用作发出单色光的光源。当进行单色光干涉测量时，对三个或更多干涉图像进行成像，同时改变光干涉光头152的光轴方向、或光源的波长，并且，可通过基于三个或更多图像的干涉光强的计算，获得测量值(每个测量位置的高度)。
虽然在实施例中描述了使用mirau型干涉仪的图像测量装置，但本发明也可以被应用于使用不同于该图像测量装置的干涉仪的测量装置。本发明也可以被应用于使用诸如迈克尔逊干涉仪、斐索干涉仪和特怀曼-格林干涉仪的其他光路干涉仪的测量装置。
基于使用mirau型干涉仪的图像测量装置的例子描述了实施例，其中，在镜筒外部暴露的调节螺钉被手动紧固，以调节参考镜的倾斜度。可替换地，本发明也可以被应用于使用不同于该图像测量装置的干涉仪的测量装置。此外，本发明也可以被应用于使用诸如迈克尔逊干涉仪、斐索干涉仪和特怀曼-格林干涉仪的其他光路干涉仪的测量装置。
虽然第二实施例的物镜部分22包括两个调节螺钉接收部分2251和两个调节螺孔228'，但物镜部分22可具有更多的调节螺钉接收部分2251和更多的调节螺孔228'。
在实施例中，在光干涉光头部分21中，光从分束器211沿光轴L发射，并且物镜部分22从上面被照射平行光束。然而，用于照明的光学系统不限于此。例如，可采用科勒照明，以用均匀光照射工件W。作为科勒照明的一个例子，通过分束器朝向光轴L的光(非平行光)可被形成在物镜的光瞳(pupil)位置，通过物镜使此光变成平行光，并且，可用平行光照射工件W。根据这样的柯勒照明，可以用具有均匀的亮度的光照射工件W。
工业应用性
如果本发明被应用于光干涉测量装置，则能够容易地调节产生干涉条纹的参考镜的倾斜度。

Claims (3)

1.干涉物镜，包括：
物镜系统；
分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；
参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；
镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；
支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述球面形内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及
参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置，
还包括并入了支撑组件的镜筒，其中，镜保持组件包括从球面形外表面伸出、且在其末梢端被提供有倾斜表面的伸出部，
参考镜调节机构包括：调节螺孔，其被置于与镜筒的伸出部相对应的位置；以及调节螺钉，其被沿螺纹插入调节螺孔，且紧靠伸出部的倾斜表面，并且，根据调节螺钉的旋紧量来调节镜保持组件的倾斜量，
其中，镜保持组件的伸出部被提供在镜保持组件的外周的至少90度上，并且提供调节螺孔，使得其能够在对着伸出部的末梢端且在至少90度上延伸的范围中移动。
2.根据权利要求1所述的干涉物镜，其中，镜保持组件在与当紧固调节螺钉时增加倾斜量的方向相反的方向上偏转。
3.光干涉测量装置，包括根据权利要求1或2所述的干涉物镜。
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