CN105742221A - 衬底吸附装置及其作动方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及衬底吸附装置及其作动方法，一种衬底吸附装置包含至少一载体以及至少一吸附元件.载体包含至少一吸附孔。吸附元件对应设置于吸附孔上，并具有一连接部与一伸缩部，连接部连接在载体与伸缩部间，且连接部与伸缩部共同界定与吸附孔相连通的一连通孔，其中，伸缩部的形变量为30％～50％。

Description

衬底吸附装置及其作动方法

技术领域

本发明关于一种衬底吸附装置，特别关于一种衬底吸附装置及其作动方法。

背景技术

在半导体制程或衬底加工制程中，常需要使用一衬底吸附装置来搬运衬底，以使衬底到达所需要的地点来进行所需制程。而在衬底吸附装置搬运衬底的过程中，而薄型化衬底在由上往下的吸附过程吸附难免会因为薄型化与轻软的特性受到地心引力的影响而产生波浪形等不规则的弯曲(bending)，因此衬底吸附装置所提供给衬底的吸附效果相当程度地影响搬运的质量以及产品的良率。

另外，由于现在的平面电子装置，例如显示装置、触控装置等等，都要求轻薄化，以致于电子装置内所使用的衬底也需要相当的薄形化。而传统的衬底吸附装置在吸附这些薄化的衬底时，由于在吸附过程无法因应对薄化衬底的不规则弯曲量来提供足够的吸附效果，导致薄化衬底因其不规则的波浪弯度以致部分区域无法贴合，甚至有部分区域会吸附不到。因此在吸附的过程容易造成破片、掉片、报废等损坏，进而影响后续制程的进行以及产品的良率。

因此，如何提供一种衬底吸附装置，能高效率的应用于这些薄化衬底而能提供合适的吸附效果以应对薄化衬底的弯曲量，进而提升产品良率，实为当前重要课题之一。

发明内容

有鉴于上述课题，本发明的目的在于提供一种衬底吸附装置，其具有创新的结构设计，而能高效率的应用于这些薄化衬底并提供合适的吸附效果，进而能提升产品良率。

此外，因应薄化衬底的趋势，本发明亦提供一种更合适的作动方法来应用于衬底吸附装置，使得衬底吸附装置能够发挥更佳的吸附效果。

为达上述目的，本发明的一种衬底吸附装置包含至少一载体以及至少一吸附元件.载体包含有至少一吸附孔。吸附元件对应设置于吸附孔上，并具有一连接部与一伸缩部，连接部连接于载体与伸缩部间，且连接部与伸缩部共同界定有与吸附孔相连通的一连通孔，其中，伸缩部的形变量为30％～50％。

在一实施例中，伸缩部的形变量进一步为35％～50％。

在一实施例中，伸缩部的形变量进一步为42％～48％。

在一实施例中，在同一载体上的所述吸附元件分隔排列，并呈二维数组或交错排列。

在一实施例中，载体内有一气体管路通过吸附孔连接吸附元件。

在一实施例中，吸附元件的材质包含硅胶。

为达上述目的，本发明的一种衬底吸附装置的作动方法，其使用如上所述的任一衬底吸附装置，其中，所述吸附元件的吸附作动时间不同步。

在一实施例中，载体上界定有一第一位置及一第二位置，所述吸附元件的吸附顺序由第一位置往第二位置吸附。

在一实施例中，第一位置位于载体中段位置处，第二位置位于载体外侧。

在一实施例中，第一位置位于载体外侧，第二位置位于载体中段位置处。

承上所述，在本发明的一种衬底吸附装置中，载体上的吸附元件具有一连接部与一伸缩部，且连接部连接于载体与伸缩部间，其中，伸缩部的形变量为30％～50％。本发明藉由将吸附元件设计成具有伸缩部的结构，且限定其形变量为30％～50％，而能对衬底提供更合适的吸附效果。由于形变量太大对于吸附元件的整体结构强度并不有利，而形变量太小又无法解决薄化衬底形变量的状况，因此经由验证，将形变量限制在30％～50％可得到较佳的吸附效果及结构强度，进而能提升产品良率。此外，在本发明的一种衬底吸附装置的作动方法中，吸附元件的吸附作动时间不同步。主要是由于薄化衬底在吸附之前可能会有各种不规则的波浪弯度，以往的一次性吸着方式对于控制薄化衬底变形量与整体吸附能力不够，导致薄化衬底在传送时吸着异常的发生率提高，进而有破片、掉片、报废甚至导致停机等重大损失。故本发明提出不同步的吸附方式，对薄化衬底作渐进式吸着，进而让薄化衬底在吸附时降低其过大的弯度与提高整体水平吸着，以增加上衬底水平性，对于在组立薄化衬底时，其组立精度可以获得一定控制及提升。本发明的不同步渐进式吸着可以是由外侧朝中间吸附或由中间朝外侧吸附，藉此可使本发明的衬底吸附装置发挥更佳的吸附效果。

附图说明

图1为本发明一实施例的一衬底吸附装置应用于一衬底S的俯视示意图。

图2为本发明一实施例的一衬底吸附装置的一部分示意图。

图3A及图3B为本发明一实施例的吸附元件未进行吸附与进行吸附的示意图。

图4为本发明另一实施例的一衬底吸附装置的吸附元件交错排列的示意图。

图5为本发明一实施例的衬底吸附装置的作动方法的示意图。

图6为本发明一实施例的衬底吸附装置的作动方法中，吸附元件的吸附顺序的可能方向的示意图。

具体实施方式

以下将参照相关附图，说明依本发明较佳实施例的一种衬底吸附装置及其作动方法，其中相同的元件将以相同的参照符号加以说明。

图1为本发明一实施例的一衬底吸附装置1应用于一衬底S的俯视示意图，图2为衬底吸附装置1的一部分示意图。在本实施例中，衬底S例如为一玻璃衬底，并例如应用于半导体制程或其它衬底加工制程，于此并不限制。

请参照图1及图2所示，衬底吸附装置1包含至少一载体11以及至少一吸附元件12。在本实施例中，衬底吸附装置1以包含多个载体11为例，并且载体11为长条状并且沿一方向设置，此外，载体11互相平行。另外，本实施例的衬底吸附装置1更包含一连接体13，其连接所述载体11。于此，连接体13连接所述载体11的一端。载体11包含有至少一吸附孔111，于此以载体11包含多个吸附孔111为例，并且同一载体11的吸附孔111以分隔设置且直线排列为例。在其它实施例中，同一载体11上的吸附孔111亦可呈二维数组或交错排列(如图4所示)。另外，载体11内设有一气体管路112通过该吸附孔111而连接吸附元件12。

在本实施例中，吸附元件12对应设置于吸附孔111上，因此，本实施例具有多个吸附元件12，并且同一载体11上的吸附元件12以分隔设置且直线排列为例。在其它实施例中，同一载体11上的吸附元件12亦可呈二维数组或交错排列。

在本实施例中，吸附元件12具有一连接部121与一伸缩部122。连接部121连接于载体11与伸缩部122间，且连接部121与伸缩部122共同界定有与吸附孔111相连通的一连通孔123。换言之，当气体管路112经由吸附孔111与连通孔123进行抽真空时，载体11上的吸附元件12可对衬底S进行吸附。

图3A及图3B为本发明一实施例的吸附元件12未进行吸附与进行吸附的示意图。请参照图3B所示，在吸附元件12进行吸附时，伸缩部122的形变量为30％～50％。举例而言，本实施例的吸附元件12未进行吸附时，其连接部121的一长度h1为4公厘，伸缩部122的一长度h2为14公厘，而进行吸附时，连接部121的长度可视为不变，而伸缩部122的长度h3变为8公厘，因此伸缩部122在此例子中的形变量约为43％((14-8)/14)。在其它实施例中，伸缩部122的形变量可进一步为35％～50％。在其它实施例中，伸缩部122的形变量可进一步为42％～48％。

在本实施例中，吸附元件12的伸缩部122为三层结构为例，进而提升其可挠性。此外，吸附元件12的材质亦可包含硅胶以提升其可挠性。于此以吸附元件12的伸缩部122由硅胶构成为例。当然，在其它实施例中，吸附元件12的伸缩部122可具有其它可挠结构及/或由其它弹性材质制成。

另外，本发明一实施例的衬底吸附装置的作动方法，其可使用如上所述的任一衬底吸附装置。其中，所述吸附元件的吸附作动时间不同步。以下以图5来说明本实施例的衬底吸附装置1的作动方法。

请参照图5所示，一载体11上界定有一第一位置P1及一第二位置P2，所述吸附元件12的吸附顺序由第一位置P1往第二位置P2吸附。在本实施例中，第一位置P1位于载体11中段位置处，第二位置P2位于载体11外侧。换言之，在本实施例的衬底吸附装置的作动方法中，吸附元件12的吸附顺序依据方向D1实施。在其它实施例中，第一位置可位于载体11外侧，第二位置P2可位于载体11中段位置处，亦即吸附元件12的吸附顺序可依据方向D11实施。需注意者，上述仅为举例说明，非用以限制本发明。图6所示为其它可应用的吸附顺序的方向，其中包含如垂直向外的方向D1、水平向外的方向D2、对角向外的方向D3、D4、螺旋向外的方向D5以及螺旋向内的方向D6。另外，本发明亦包含上述方向向内或向外的态样，以及上述所有方向的任意组合。藉由吸附元件的吸附作动时间不同步以及吸附依循的不同方向，可使本发明的衬底吸附装置发挥不同的吸附效果。

综上所述，在本发明的一种衬底吸附装置中，载体上的吸附元件具有一连接部与一伸缩部，且连接部连接于载体与伸缩部间，其中，伸缩部的形变量为30％～50％。本发明藉由将吸附元件设计成具有伸缩部的结构，且限定其形变量为30％～50％，而能对衬底提供更合适的吸附效果。由于形变量太大对于吸附元件的整体结构强度并不有利，而形变量太小又无法解决薄化衬底形变量的状况，因此经由验证，将形变量限制在30％～50％可得到较佳的吸附效果及结构强度，进而能提升产品良率。此外，在本发明的一种衬底吸附装置的作动方法中，吸附元件的吸附作动时间不同步，例如是由外侧朝中间吸附或由中间朝外侧吸附，藉此可使本发明的衬底吸附装置发挥更佳的吸附效果。

以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于后附的权利要求中。

Claims (10)

1.一种衬底吸附装置，包含：

至少一载体，其包含有至少一吸附孔；以及

至少一吸附元件，对应设置于所述吸附孔上，并具有一连接部与一伸缩部，所述连接部连接于所述载体与所述伸缩部间，且所述连接部与所述伸缩部共同界定有与所述吸附孔相连通的一连通孔，其中，所述伸缩部的形变量为30％～50％。

2.如权利要求1所述的衬底吸附装置，其中，所述伸缩部的形变量进一步为35％～50％。

3.如权利要求2所述的衬底吸附装置，其中，所述伸缩部的形变量进一步为42％～48％。

4.如权利要求1所述的衬底吸附装置，其中，在同一载体上的所述吸附元件分隔排列，并呈二维数组或交错排列。

5.如权利要求1所述的衬底吸附装置，其中，所述载体内有一气体管路通过所述吸附孔连接所述吸附元件。

6.如权利要求1所述的衬底吸附装置，其中，所述吸附元件的材质包含硅胶。

7.一种衬底吸附装置的作动方法，其使用如权利要求1至6项的任一项所述的衬底吸附装置，其中，所述吸附元件的吸附作动时间不同步。

8.如权利要求7所述的衬底吸附装置的作动方法，其中，所述载体上界定有一第一位置及一第二位置，所述吸附元件的吸附顺序由第一位置往第二位置吸附。

9.如权利要求8所述的衬底吸附装置的作动方法，其中，所述第一位置位于所述载体中段位置处，所述第二位置位于所述载体外侧。

10.如权利要求8项所述的衬底吸附装置的作动方法，其中，所述第一位置位于所述载体外侧，所述第二位置位于所述载体中段位置处。