CN105671643A - 一种单晶炉的炉盖 - Google Patents

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潘清跃
王平
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    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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Abstract

本发明涉及一种单晶炉的炉盖，包括炉盖主体、过流阀、出气管、气体处理装置和定位机构，所述的炉盖主体呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体内设置有空心腔体，所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座，所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处，所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道，所述的过流通道与空心腔体相连通，所述的过流阀安装在过流通道内，所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通，所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处，所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

Description

一种单晶炉的炉盖
技术领域
本发明专利涉及单晶炉技术领域，特别是一种单晶炉的炉盖。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶硅需要在高压的环境下进行制备，但是当单晶炉内的压力过大后很容易造成自身结构的损坏，所以设计一种具有压力保护功能的单晶炉炉盖就显得尤为重要。
发明内容
本发明的目的就是通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏；发明了一种单晶炉的炉盖。
为解决上述的技术问题，本发明提供了一种单晶炉的炉盖，包括
炉盖主体，所述的炉盖主体呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体内设置有空心腔体，所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座，所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处，
过流阀，所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道，所述的过流通道与空心腔体相连通，所述的过流阀安装在过流通道内，
出气管，所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通，
气体处理装置，所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处，
定位机构，所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。
进一步：所述的过流阀包括阀筒、阀盖、弹簧和阀芯，所述的阀筒位于过流通道内，所述的阀盖连接在阀筒的上端，所述的阀芯活动连接在阀筒内，所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连，所述的阀筒的侧壁上开设有溢流通道，所述的阀盖上相对于溢流通道的位置设置有溢流孔，所述的溢流通道通过溢流孔与过流通道相连通。
进一步：所述的气体处理装置为气体采集袋。
又进一步：所述的定位机构包括开设在连接座底部的导向槽、开设在炉体上沿表面的半圆形卡槽、球形卡头和弹簧，所述的球形卡头通过弹簧连接在导向槽内，当导向槽正对半圆形卡槽时，球形卡头在弹簧的作用下会卡入半圆形卡槽内。
采用上述结构后本发明通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏；并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图2为过流阀的结构示意图。
图3为图1中A的放大图。
具体实施方式
如图1所示的一种单晶炉的炉盖，包括炉盖主体1、过流阀4、出气管6、气体处理装置7和定位机构，所述的炉盖主体1呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体1内设置有空心腔体2，所述的炉盖主体1下端的两侧设置有连接座3，所述的炉盖主体1通过两侧的连接座3安装在炉体的上沿处，所述的炉盖主体1的弧形内壁上开设有过流通道5，所述的过流通道5与空心腔体2相连通，所述的过流阀安装在过流通道5内，所述的出气管6穿过炉盖主体1的上侧壁与空心腔体2相连通，所述的气体处理装置7安装在出气管6的出气口处，所述的定位机构设置在连接座3与炉体的上沿之间，所述的气体处理装置7为气体采集袋。工作时，把炉盖主体1放置在炉体的上沿处，然后旋转炉盖主体1利用定位机构进行定位，然后通过两侧的连接座3对炉盖主体1和炉体进行固定，当单晶炉内的压强过大时，过流阀4会自行启动降低单晶炉内的气压，防止单晶炉受到过大的压力而造成自身结构的损坏。
如图2所示的过流阀4包括阀筒9、阀盖10、弹簧12和阀芯11，所述的阀筒9位于过流通道3内，所述的阀盖10连接在阀筒9的上端，所述的阀芯11活动连接在阀筒9内，所述的阀芯11通过弹簧12与阀盖10相连，所述的阀筒9的侧壁上开设有溢流通道13，所述的阀盖10上相对于溢流通道13的位置设置有溢流孔14，所述的溢流通道13通过溢流孔14与过流通道5相连通。当单晶炉内的压强过大时，单晶炉内的气体会自动挤压阀芯11，使阀芯11挤压弹簧12沿着阀筒9向上运动，随着阀芯11不断向上运动，当溢流通道13与单晶炉的内部空间相连通后，单晶炉内的高压气体会依次通过溢流通道13和溢流孔14流入密封腔体5内，然后再通过出气通道6流入气体处理装置7内，从而起到降低单晶炉内压强的作用。当单晶炉内的压强降低后，此时弹簧12提高的弹力大于气体提高的压力时，弹簧12会推着阀芯11向反方向运动，重新堵塞溢流通道13，此时单晶炉内的气体就不会在自动流出。本设计通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏。
如图3所示的定位机构包括开设在连接座3底部的导向槽15、开设在炉体上沿表面的半圆形卡槽16、球形卡头17和弹簧18，所述的球形卡头17通过弹簧18连接在导向槽15内，当导向槽15正对半圆形卡槽16时，球形卡头17在弹簧18的作用下会卡入半圆形卡槽16内。本设计通过定位机构对炉盖主体1进行定位，从而更加准确方便地安装在炉体的上沿处；并且其具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

Claims (4)

1.一种单晶炉的炉盖，其特征在于：包括
炉盖主体(1)，所述的炉盖主体(1)呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体(1)内设置有空心腔体(2)，所述的炉盖主体(1)下端的两侧设置有连接座(3)，所述的炉盖主体(1)通过两侧的连接座(3)安装在炉体的上沿处，
过流阀(4)，所述的炉盖主体(1)的弧形内壁上开设有过流通道(5)，所述的过流通道(5)与空心腔体(2)相连通，所述的过流阀安装在过流通道(5)内，
出气管(6)，所述的出气管(6)穿过炉盖主体(1)的上侧壁与空心腔体2相连通，
气体处理装置(7)，所述的气体处理装置(7)安装在出气管(6)的出气口处，
定位机构，所述的定位机构设置在连接座(3)与炉体的上沿之间。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉盖，其特征在于：所述的过流阀(4)包括阀筒(9)、阀盖(10)、弹簧(12)和阀芯(11)，所述的阀筒(9)位于过流通道(3)内，所述的阀盖(10)连接在阀筒(9)的上端，所述的阀芯(11)活动连接在阀筒(9)内，所述的阀芯(11)通过弹簧(12)与阀盖(10)相连，所述的阀筒(9)的侧壁上开设有溢流通道(13)，所述的阀盖(10)上相对于溢流通道(13)的位置设置有溢流孔(14)，所述的溢流通道(13)通过溢流孔(14)与过流通道(5)相连通。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉盖，其特征在于：所述的气体处理装置(7)为气体采集袋。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的炉盖，其特征在于：所述的定位机构包括开设在连接座(3)底部的导向槽(15)、开设在炉体上沿表面的半圆形卡槽(16)、球形卡头(17)和弹簧(18)，所述的球形卡头(17)通过弹簧(18)连接在导向槽(15)内，当导向槽(15)正对半圆形卡槽(16)时，球形卡头(17)在弹簧(18)的作用下会卡入半圆形卡槽(16)内。
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