CN104712797A - 一种新型单晶炉顶部安全阀 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种新型单晶炉顶部安全阀，一种新型单晶炉顶部安全阀，包括阀体、阀芯、弹簧、铰接法兰、安装法兰，所述阀芯和弹簧均设在阀体内部，弹簧设置在阀芯后端，阀芯前端工作面为锥面，所述阀体内部与阀芯工作面相对处为与阀芯锥面配合的锥面，所述铰接法兰设在阀体一端，铰接法兰与安装法兰铰接，安装法兰与单晶炉炉体连接，该阀在炉压升高时能自动打开放气，避免了炉体爆裂危险，保证了安全生产，并且可以通过锁紧扣打开阀，清扫方便，避免外部气体或污染物进入到炉内。

Description

一种新型单晶炉顶部安全阀
技术领域
本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种新型单晶炉顶部安全阀。
背景技术
单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料，单晶炉在硅单晶拉制过程中，当炉体漏水等异常情况发生时，炉压会突然增大时，炉内会从真空变更高压状态，这时需要通过安全阀打开放气，泄压，从而减少安全隐患，而且在硅单晶拉制过程中，会产生大量的氧化物，顺着真空管道排放，拉晶结束后，需要打开真空管道清扫，现有的单晶炉安全阀直接与炉体真空管道连接，打开麻烦清扫不便，而且在阀体打开时外部气体或污染物容易进入单晶炉内部造成污染影响晶体生长。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种新型单晶炉顶部安全阀，该阀在炉压升高时能自动打开放气，避免了炉体爆裂危险，保证了安全生产，并且可以通过锁紧扣打开阀，清扫方便，避免外部气体或污染物进入到炉内。
本发明所采用的技术方案是：一种新型单晶炉顶部安全阀，包括阀体、阀芯、弹簧、铰接法兰、安装法兰，所述阀芯和弹簧均设在阀体内部，弹簧设置在阀芯后端，阀芯前端工作面为锥面，所述阀体内部与阀芯工作面相对处为与阀芯锥面配合的锥面，所述铰接法兰设在阀体一端，铰接法兰与安装法兰铰接，安装法兰与单晶炉炉体连接。
所述阀体内部弹簧后端设有支撑凸台，支撑凸台中间设有锥形通孔，锥形通孔口径小的一端向后，所述阀体后端设有向内的锥面，锥面上设有均布的通孔，锥面前端设有与凸台通孔配合的弹性空心橡胶球。
所述铰接法兰与安装法兰接合面设有锥形凸起，安装法兰一侧设有与凸起配合的锥形凹槽，凹槽底部设有密封O型圈，所述铰接法兰与安装法兰侧边设有锁紧扣。
所述弹性空心橡胶球与支撑凸台锥形通孔紧密贴合。
本发明的有益效果是：采用上述方案，当炉压升高时，阀芯打开释放气体减压，进入阀体的气体再经阀体内部的支撑凸台的锥形通孔聚能，使后端的弹性空心橡胶球发生形变，气体经通孔释放出，降低炉内压力，阀芯常态闭合，弹性空心橡胶球只有在一定的压力下才会形变，使外部的气体和污染物进入不到单晶炉内部，避免影响晶体生长，铰接法兰与安装法兰侧边设置的锁紧扣，可以快捷的打开，方便清扫在硅单晶拉制过程中，产生大量的氧化物。
附图说明
图1为本发明的截面图。
图2为本发明的打开示意图。
其中：1为阀体，2为阀芯，3为弹簧，4为铰接法兰，5为安装法兰，6为支撑凸台，7为锥形通孔，8为弹性空心橡胶球，9为锁紧扣，10为O型圈。
具体实施方式
如图1，一种新型单晶炉顶部安全阀，包括阀体1、阀芯2、弹簧3、铰接法兰4、安装法兰5，安装法兰5与单晶炉炉体的真空管道连接，铰接法兰4与安装法兰5铰接，铰接法兰4与安装法兰5侧边设有锁紧扣9，打开锁紧扣9铰接法兰4可以连动阀体1以铰接处为轴旋转打开，从而方便清扫在硅单晶拉制过程中，产生大量的氧化物，铰接法兰4与安装法兰5接合面设有锥形凸起，安装法兰5一侧设有与凸起配合的锥形凹槽，凹槽底部设有密封O型圈，有效的保证了气密性，阀芯2和弹簧3均设在阀体1内部，弹簧3设置在阀芯2后端，阀芯2前端工作面为锥面，阀体1内部与阀芯2工作面相对处为与阀芯2锥面配合的锥面，阀体1内部弹簧3后端设有支撑凸台6，支撑凸台6中间设有锥形通孔7，锥形通孔7口径小的一端向后，1阀体1后端设有向内的锥面，锥面上设有均布的通孔，锥面前端设有与凸台通孔配合的弹性空心橡胶球8，弹性空心橡胶球8与支撑凸台6锥形通孔7紧密贴合，当炉压升高时，阀芯2打开释放气体减压，气体进入阀体1，再经阀体1内部的支撑凸台6的锥形通孔7聚能，使后端的弹性空心橡胶球8发生形变，然后气体经通孔释放出，降低炉内压力，阀芯1常态闭合，弹性空心橡胶球8只有在一定的压力下才会形变，使外部的气体和污染物进入不到单晶炉内部，避免影响晶体生长。
本发明并不局限于所述的实施例，本领域的技术人员在不脱离本发明的精神即公开范围内，仍可作一些修正或改变，故本发明的权利保护范围以权利要求书限定的范围为准。

Claims (4)

1.一种新型单晶炉顶部安全阀，包括阀体、阀芯、弹簧、铰接法兰、安装法兰，其特征是：所述阀芯和弹簧均设在阀体内部，弹簧设置在阀芯后端，阀芯前端工作面为锥面，所述阀体内部与阀芯工作面相对处为与阀芯锥面配合的锥面，所述铰接法兰设在阀体一端，铰接法兰与安装法兰铰接，安装法兰与单晶炉炉体连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉顶部安全阀，其特征在于，所述阀体内部弹簧后端设有支撑凸台，支撑凸台中间设有锥形通孔，锥形通孔口径小的一端向后，所述阀体后端设有向内的锥面，锥面上设有均布的通孔，锥面前端设有与凸台通孔配合的弹性空心橡胶球。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉顶部安全阀，其特征在于，所述铰接法兰与安装法兰接合面设有锥形凸起，安装法兰一侧设有与凸起配合的锥形凹槽，凹槽底部设有密封O型圈，所述铰接法兰与安装法兰侧边设有锁紧扣。
4.根据权利要求2所述的一种新型单晶炉顶部安全阀，其特征在于，所述弹性空心橡胶球与支撑凸台锥形通孔紧密贴合。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105671643A (zh) * 2016-03-16 2016-06-15 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 一种单晶炉的炉盖
CN109224971A (zh) * 2018-09-18 2019-01-18 湖北武洲新材料科技有限公司 一种高效安全无毒的硅钢片涂层液生产加工设备

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