CN105648506A - 镀敷装置、镀敷单元以及镀敷流水线 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够应对各种各样制品的镀敷装置、镀敷单元以及镀敷流水线。镀敷装置(3)包括：箱形的镀槽(31)，其上方敞开；阳极部(34)，其配置在镀槽(31)内；阴极部(33)，其配置在镀槽(31)的上方；以及摆动装置(32)，其用于使阴极部(33)摆动，能够在静止镀敷状态和滚镀状态间切换，该静止镀敷状态是将用于保持镀件的静止镀敷用夹具(8)悬吊在阴极部(33)上的状态，该滚镀状态是将用于收纳镀件的滚筒用夹具(9)安装于镀槽(31)的状态。

Description

镀敷装置、镀敷单元以及镀敷流水线

技术领域

本发明涉及能够应对各种各样制品的镀敷装置、镀敷单元以及镀敷流水线。

背景技术

以往，作为电镀的方法，公知有将镀件以保持在夹具上的方式浸泡在镀敷液中进行镀敷的静止镀敷方法、和将镀件以收纳在开有小孔的滚筒中的方式浸泡在镀敷液中进行镀敷的滚镀方法(参照专利文献1和2)。作为静止镀敷方法和滚镀方法，可应用的制品不同，且做出来的品质也不同。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－013822号公报

专利文献2：日本特开2012－162758号公报

发明要解决的问题

但是，像专利文献1和2所记载的那样，静止镀敷方法是利用在镀槽的上方配置摆动杆的结构来进行的，滚镀方法是利用将滚筒配置在镀槽内的结构来进行的。若将滚筒配置在具有摆动杆的镀敷装置中，则摆动杆和滚筒会彼此干涉。因而，并不存在能够利用静止镀敷和滚镀这两种方法方便地进行镀敷的镀敷装置。

发明内容

本发明的目的在于提供能够应对各种各样制品的方便的镀敷装置、镀敷单元以及镀敷流水线。

用于解决问题的方案

本发明的一技术方案的镀敷装置的特征在于，其包括：

箱形的镀槽，其上方敞开；

阳极部，其配置在所述镀槽内；

阴极部，其配置在所述镀槽的上方；以及

摆动装置，其用于使所述阴极部摆动，

能够在静止镀敷状态和滚镀状态间切换，该静止镀敷状态是将用于保持镀件的静止镀敷用夹具悬吊在所述阴极部的状态，该滚镀状态是将用于收纳镀件的滚筒用夹具安装于所述镀槽的状态。

在本发明的一技术方案的镀敷装置中，其特征在于，

所述摆动装置设置在所述镀槽的背面。

本发明的一技术方案的镀敷装置的特征在于，

所述滚筒用夹具具有用于收纳镀件的滚筒、用于支承所述滚筒的滚筒支承构件、以及用于将所述滚筒支承构件安装在所述镀槽的边缘部的钩挂部，所述滚筒用夹具能够相对于所述镀槽进行装拆。

本发明的一技术方案的镀敷装置的特征在于，

在将所述滚筒用夹具安装于所述镀槽的情况下，所述滚筒以越远离所述滚筒支承构件越靠下的方式倾斜。

本发明的一技术方案的镀敷装置的特征在于，

在将所述滚筒用夹具安装于所述镀槽的情况下，所述滚筒支承构件以其上部从所述阴极部和镀槽之间突出而其下部向所述镀槽的中央接近的方式，倾斜地安装在所述钩挂部。

本发明的一技术方案的镀敷装置的特征在于，

包括用于使所述阴极部移动的移动机构。

本发明的一技术方案的镀敷装置的特征在于，

所述移动机构是用于使所述阴极部沿着所述镀槽的边缘部移动的滑动构件。

本发明的一技术方案的镀敷装置的特征在于，

所述移动机构是用于使所述阴极部弯折的弯折部。

本发明的一技术方案的镀敷单元的特征在于，

其包括：

架台，其具有上架台和用于支承所述上架台的下架台；

所述镀敷装置，其载置在所述下架台上；以及

过滤器，其载置在所述上架台上，用于过滤所述镀敷装置的所述镀槽内的镀敷液。

本发明的一技术方案的镀敷流水线的特征在于，

将多个所述镀敷单元在所述镀槽的侧方排列。

本发明的一技术方案的镀敷流水线的特征在于，

在所述镀槽的下方具备用于输送从所述镀槽排出来的排气的排气管道。

本发明的一技术方案的镀敷流水线的特征在于，

在所述镀槽的背面侧具备用于输送从所述镀槽排出来的排气的排气管道。

本发明的一技术方案的镀敷流水线的特征在于，

在所述镀槽的前方具备能够沿着所述镀槽排列的方向移动的、用于冲洗所述镀件的冲洗槽。

发明的效果

采用本发明，能够提供能够应对各种各样制品的镀敷装置、镀敷单元以及镀敷流水线。

附图说明

图1表示本发明的一个实施方式的镀敷装置的第1实施例。

图2表示在静止镀敷状态下使用本发明的一实施方式的第1实施例的镀敷装置的一个例子。

图3表示在滚镀状态下使用本发明的一实施方式的第1实施例的镀敷装置的一个例子。

图4表示在滚镀状态下使用本发明的一实施方式的第2实施例的镀敷装置的一个例子。

图5表示在静止镀敷状态或滚镀状态下使用本发明的一实施方式的第3实施例的镀敷装置的一个例子。

图6表示本发明的一实施方式的镀敷单元。

图7表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的俯视图。

图8表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的主视图。

图9表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的另一个例子。

图10表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的另一个例子。

图11表示本实施方式的镀敷单元所采用的小型滚筒和作为参考例的大型滚筒。

附图标记说明

1、镀敷单元；2、架台；21、上架台；22、下架台；3、镀敷装置；31、镀槽；32、摆动装置；321、滑动构件(移动机构)；33、阴极杆；331、弯折部(移动机构)；34、阳极板(阳极部)；4、回收槽；5、排气部；6、控制部；7、过滤部；8、静止镀敷用夹具；9、滚筒用夹具；91、滚筒支承构件；92、滚筒；93、钩挂部；10、镀敷流水线；11、冲洗槽；50、排气管道。

具体实施方式

以下，根据附图具体地说明本发明一实施方式的镀敷装置3、镀敷单元1以及镀敷流水线10。

图1表示本发明的一实施方式的镀敷装置的第1实施例。

镀敷装置3具有用于贮存镀敷液的镀槽31、设置在镀槽31的上方且构成阴极部的阴极杆33、用于使阴极杆33摆动的摆动装置32、构成配置在镀槽31内的阳极部的阳极板34、设置在镀槽31内侧且用于加热镀敷液的加热器35、设置在镀槽31内侧且用于检测镀敷液液面的液面检测部36、以及设置在镀槽31内侧且用于检测镀敷液温度的温度检测部37。

镀槽31是以上方可敞开的方式设置的箱形构件。在此，将靠用于进行镀件的更换作业的作业空间S侧的面设为正面311，将隔着镀槽31而相对于作业空间S靠里侧的面设为背面312，将连结正面311和背面312且像后述那样将镀敷单元1接连设置的方向上的两侧的面设为侧面313。在镀槽31中贮存镀敷液。在镀槽31的上方以从正面311跨越到背面312的方式设置棒状的阴极杆33。阴极杆33的一端安装在摆动装置32上。摆动装置32设置在镀槽31的背面312的外侧，用于使阴极杆33摆动。阳极板34以从上方观看时隔着阴极杆33的方式，彼此相对地设置于镀槽31的侧面313的内侧。

图2表示在静止镀敷状态下使用本发明的一实施方式的第1实施例的镀敷装置的一个例子，是镀敷装置3的镀槽31的从与侧面313正交的截面观看背面侧时的图。

在图2所示的例子中，镀敷装置3使用静止镀敷用夹具8。静止镀敷用夹具8具有悬吊在阴极杆33上的悬吊部81和自悬吊部81分支神展而用于保持镀件P的吊杆部82。

另外，静止镀敷用夹具8并不限定于该例子，也可以是在筐状的部分载置镀件P的结构、在钓钩状的顶端钩挂镀件P的结构、或者像晒衣夹那样利用弹簧夹住镀件P的结构等。

在工作时，在镀敷装置3中，保持有镀件P的静止镀敷用夹具8悬吊在阴极杆33上，浸泡在镀槽31内的镀敷液中。而且，通过向阳极板34和阴极杆33通入电流，对镀件P进行镀敷。

图3表示在滚镀状态下使用本发明的一实施方式的第1实施例的镀敷装置的一个例子。图3的(a)是透过镀槽的正面观看第1实施例的在滚镀状态下使用的镀敷装置时的图，图3的(b)是透过镀槽的侧面观看第1实施例的在滚镀状态下使用的镀敷装置时的图。

在图3所示的例子中，镀敷装置3使用滚镀用夹具9。滚镀用夹具9具有滚筒支承构件91、支承在滚筒支承构件91下部侧的滚筒92、以及安装在滚筒支承构件91的上部侧的钩挂部93。

滚筒92是在表面有形成供镀敷液通过的孔或狭缝的筒状构件，其以能够相对于滚筒支承构件91旋转的方式设置在该滚筒支承构件91上。另外，滚筒92的截面形状并不限定于圆形，也可以是多边形、特别是五边形或者六边形。在滚筒92的内部收纳镀件P。钩挂部93钩挂在镀槽31的正面311的边缘部，保持滚筒支承构件91和滚筒92。在第1实施例中，无论是如图3的(a)所示从正面311观看镀敷装置3，还是如图3的(b)所示从侧面313观看镀敷装置3，滚筒支承构件91都以倾斜的方式被钩挂部93钩挂。

在如图3的(a)所示从镀敷装置3的正面311侧观看时，滚筒支承构件91以其下部比上部接近镀槽31的位于彼此相对的阳极板34之间的中央部的方式倾斜。而且，在如图3的(b)所示从镀敷装置3的侧面313侧观看时，滚筒92以越远离钩挂部93则越靠下方的方式倾斜地安装在滚筒支承构件91上。另外，滚筒92优选与滚筒支承构件91成直角地安装在该滚筒支承构件91上。即，滚筒支承构件91在从镀敷装置3的侧面313侧观看时以其下部比上部接近镀槽31的正面311的方式倾斜。

由于这样使滚筒支承构件91倾斜，使滚筒92向镀槽31的位于彼此相对的阳极板34之间的中央部接近，因此，镀敷装置3能够准确地对镀件P进行镀敷。此外，通过使滚筒92以其远离滚筒支承构件91的顶端位于下方的方式倾斜，从而即使镀件P的数量很少，也能够使镀件P向下方汇集，能够高效率且稳定地供电。

在工作时，在镀敷装置3中，首先将滚筒部9插入到镀槽31内。此时，优选的是倾斜地插入以避开阴极杆33。然后，将收纳有镀件P的滚筒92浸泡在镀槽31内的镀敷液中。将阴极导线94与镀件P一同插入到滚筒92内。在该状态下，通过向阳极板34和阴极导线94通入电流，从而对镀件P进行镀敷。另外，在图3所示的滚镀的例子中，不使用摆动装置32和阴极杆33。

这样，第1实施例的镀敷装置3能够应对静止镀敷和滚镀这两者，能够应对各种各样制品进行镀敷。此外，在将滚筒用夹具9安装于镀槽31的情况下，由于滚筒支承构件91以其上部从阴极杆33和镀槽31之间突出、而下部向镀槽31的中央部接近的方式倾斜地安装在钩挂部93上，因此，能够在镀槽31的中央部处高效率地对镀件进行镀敷。

图4是在滚镀状态下使用本发明的一实施方式的第2实施例的镀敷装置的一个例子。图4的(a)是透过镀槽的正面观看第2实施例的在滚镀状态下使用的镀敷装置时的图，图4的(b)是透过镀槽的侧面观看第2实施例的在滚镀状态下使用的镀敷装置时的图。

在图4所示的第2实施例中，镀敷装置3的阴极杆33具有弯折部331。弯折部331能够保持向上方弯折的状态。

在将第2实施例用于静止镀敷的情况下，与图2所示的第1实施例同样地，镀敷装置3以阴极杆33不弯折而悬吊静止镀敷用夹具8的方式进行镀敷。

在将第2实施例用于滚镀的情况下，如图4所示使用滚镀用夹具9。滚镀用夹具9与图3所示的结构大致相同，但由于阴极杆33在弯折部331处被弯折，因此，若该滚镀用夹具9被钩挂在与摆动装置32相对的位置，则不必为了避开阴极杆33而倾斜。因而，如图4的(a)所示，在从正面311侧观看镀敷装置3的情况下，滚筒支承构件91不倾斜。滚镀用夹具9的其他结构与图3所示的实施例1是同样的。另外，弯折部331也可以在驱动器等的作用下弯折。

这样，第2实施例的镀敷装置3能够应对静止镀敷和滚镀这两者，能够应对各种各样制品进行镀敷。而且，在从正面311侧观看镀敷装置3的情况下，由于不必使滚筒支承构件91倾斜，因此，能够将滚镀用夹具9做成简单的结构。此外，能够容易自阴极杆33移动而空出的空间来设置滚筒92。并且，通过使滚筒92以其远离滚筒支承构件91的顶端位于下方的方式倾斜，从而即使镀件P的数量很少，也能够向下方汇集，从而稳定地供电。

图5表示在静止镀敷或者滚镀状态下使用本发明的一实施方式的第3实施例的镀敷装置的一个例子。图5的(a)是第3实施例的在静止镀敷状态下使用的镀敷装置的立体图，图5的(b)是第3实施例的在滚镀状态下使用的镀敷装置的立体图。

在图5所示的第3实施例中，镀敷装置3的摆动装置32和阴极杆33能够沿着镀槽31的边缘部滑动。

如图5的(a)所示，在将第3实施例用于静止镀敷的情况下，与图2所示的第1实施例同样地，镀敷装置3以使阴极杆33位于彼此相对的阳极板34之间的中央附近并悬吊静止镀敷用夹具8的方式进行镀敷。

在将第3实施例用于滚镀的情况下，如图5的(b)所示，使用滚镀用夹具9。滚镀用夹具9与图3所示的实施例1的结构大致相同，但由于利用滑动构件321使摆动装置32和阴极杆33滑动，因此，不必使滚镀用夹具9倾斜以避开阴极杆33。滑动构件321由未图示的引导件和滑动件等构成。因而，在从正面311侧观看镀敷装置3的情况下，滚筒支承构件91不倾斜。滚镀用夹具9的其他结构与图3所示的实施例1是同样的。另外，滑动件也可以由未图示的驱动器等驱动。

这样，第3实施例的镀敷装置3能够应对静止镀敷和滚镀这两者，能够对各种各样制品进行镀敷。而且，在从正面311侧观看镀敷装置3的情况下，由于不必使滚筒支承构件91倾斜，因此，能够将滚镀用夹具9做成简单的结构。此外，能够容易自极杆33移动而空出的空间来设置滚筒92。并且，通过使滚筒92以其远离滚筒支承构件91的顶端位于下方的方式倾斜，即使镀件P的数量很少，也能够向下方汇集，从而能够高效率且稳定地供电。

图6表示本发明的一实施方式的镀敷单元。图6的(a)是镀敷单元的主视图，图6的(b)是镀敷单元的侧视图。

在镀敷流水线中，通常是一次向大规模的镀槽中取放许多制品进行镀敷。在以该大规模的镀槽对少量样品等进行镀敷的情况下，将样品等混入与样品结构不同的制品中一起进行镀敷。但是，在混入与制品不同结构的样品等进行镀敷的情况下，必须在镀敷之后对制品和样品等进行分选，从而花费作业时间。

此外，也存在将样品等混入到价格比制品便宜的代替品中一起进行镀敷的方法。但是，由于也对混入的代替品一起进行镀敷，因此，会造成材料和能量的浪费。并且，在对样品等和代替品进行镀敷的期间内无法对制品进行镀敷，生产率也会降低。

本实施方式的镀敷单元1能够被整套载置在架台2上。架台2具有下架台22和载置支承在下架台22上的上架台21。在下架台22的上表面载置有镀敷装置3和回收部4，在从上架台21的内部空间到下架台22的内部空间的范围内安装排气部5。此外，在上架台21的上表面载置控制部6和过滤部7。如图6的(a)所示，控制部6的操作按钮、操作拨盘配置在正面侧。

这样，本实施方式的镀敷单元1通过有效地利用上下方向、紧凑配置各部而形成为小型。而且，通过形成为小型，从而镀敷单元1能够移动，能够有效地利用空间。此外，能够高效率地对少量镀件进行镀敷。

图7表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的俯视图。另外，在图7中，排列有四个镀敷单元1a～1d，但只要是两个以上即可。

各镀敷单元1a～1d能够进行各不相同的处理。例如能够使各镀敷单元1a～1d分别进行前处理、酸活性处理、预镀铜、镀铜、镀镍等处理。

在本实施方式的镀敷单元1a～1d中，将各镀敷装置3a～3d的摆动装置32a～32d配置在镀槽31a～31d的背面312a～312d。而且，镀敷流水线10的各镀敷单元1a～1d在与阴极杆33a～33d的延伸方向正交的方向上沿着作业空间S排列。

即，在镀敷流水线10中，各镀敷装置3a～3d的摆动装置32a～32d以平行于镀敷单元1a～1d的排列方向的方式排列。而且，能够将自镀槽31a～31d突出的摆动装置32a～32d全部配置在背面312a～312d侧。因而，能够将邻近的镀槽31a～31d和回收槽4a～4d邻接配置，能够有效利用空间。此外，能够轻松地进行作业空间S中的作业。

图8表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的主视图。另外，在图8中排列有三个镀敷单元1a～1c，但只要是两个以上即可。

本实施方式的镀敷流水线10在各电镀单元1a～1c的各架台2a～2c的内部空间中具有使各排气部5a～5c的各排气罩51a～51c结合的排气管道50。特别优选的是，将排气管道50配置在载置有各镀槽31a～31c和各回收槽4a～4c的各下架台22a～22c的内部空间。从各镀敷单元1a～1c排出来的排气被从排气管道50排出到外部。

在本实施方式中，将排气管道50配置在各架台2a～2c的内部空间，能够有效利用空间。此外，能够将排气管道50从视野中隐藏而使作业环境良好。

图9表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的另一个例子。图9的(a)是镀敷流水线的另一个例子的主视图，图9的(b)是镀敷流水线的另一个例子的侧视图。另外，在图9中，排列有两个镀敷单元1a～1b，但只要是两个以上即可。

图9所示的镀敷流水线10在各镀槽31a～31b和各回收槽4a～4b这些构件的背面侧配置使各排气部5a～5b的各排气罩51a～51b结合的排气管道50。特别优选的是，将排气管道50载置在载置有各镀槽31a～31b和各回收槽4a～4b的各下架台22a～22b上。从各镀敷单元1a～1b排出来的排气被从排气管道50排出到外部。

在本实施方式中，通过将排气管道50载置在各下架台22a～22b上，能够有效利用空间。此外，能够将排气管道50从视野中隐藏而使作业环境良好。

图10表示排列有本发明的一实施方式的镀敷单元的镀敷流水线的另一个例子。另外，在图10中，排列有四个镀敷单元1a～1d，但只要是两个以上即可。

图10所示的镀敷流水线10也可以将冲洗槽11以该冲洗槽11能移动的方式配置在各镀槽31a～31d和各回收槽4a～4d这些构件的正面侧的作业空间S中。冲洗槽11可以载置在台车等上而移动，也可以载置在滑动件等上而在具有引导部的工作台上移动。此外，也可以在使用开关等的远程操作下或者自动控制下移动。并且，冲洗槽11也可以连结供排水的软管、电缆等。此外，冲洗槽11也可以分割为多个槽。

这样，通过将冲洗槽11以能够移动的方式配置在各镀槽31a～31d和各回收槽4a～4d这些构件的正面侧的作业空间S，能够更有效地利用空间。此外，由于能够使冲洗槽11移动到各镀槽31a～31d和各回收槽4a～4d这些构件的附近，因此，能够高效率地作业。

接着，对形成为小型的本实施方式的镀敷单元1使用小型滚筒时的效果进行说明。

图11表示本实施方式的镀敷单元所采用的小型滚筒和作为参考例的大型滚筒。图11的(a)是小型滚筒，图11的(b)是大型滚筒。

在使用滚筒92的镀敷作业中，镀件通常仅在图11中斜线所示的区域921a、922a中被镀敷。即，在小型滚筒921的情况下，被镀敷区域921a的体积占滚筒内部整体的体积的比例较大，在大型滚筒922的情况下，被镀敷区域922a占滚筒内部整体的体积的比例较小。在使这些滚筒搅拌而对镀件镀敷相同时间的情况下，小型滚筒921的、镀件存在于被镀敷区域921a内的时间，比大型滚筒922的、镀件存在于被镀敷区域922a内的时间长。因而，与大型滚筒922相比，小型滚筒921能够在短时间内进行镀敷。

此外，在镀锌时，通常使用氰化物镀敷液，但氰化物镀敷液的强毒性成为问题，因而近年来氰化物的使用受到严格限制。因此，虽然优选使用非氰化物镀敷液，但在大型滚筒922的镀敷中使用无氰化物镀敷液的情况下，由于镀敷费时间，因此，有可能由锌置换析出铜而导致密合不良。由于本实施方式的镀敷单元1使用能够在短时间内进行镀敷的小型滚筒921，因此，能够使用无氰化物镀敷液。

以上，采用本实施方式的镀敷装置3，由于包括上方敞开的箱形的镀槽31、配置在镀槽31内的阳极板34、配置在镀槽31上方的阴极杆33、以及用于使阴极杆33摆动的摆动装置32，能够在将用于保持镀件的静止镀敷用夹具8悬吊在阴极杆33上的静止镀敷状态、和将用于收纳镀件的滚筒用夹具9安装于镀槽31的滚镀状态间切换，因此，能够应对各种各样的制品。

此外，采用本实施方式的镀敷装置3，由于摆动措置32设置在镀槽31的背面侧，因此，不会妨碍在作业空间S中进行的作业，能够轻松地作业。

此外，采用本实施方式的镀敷装置3，滚筒用夹具9具有用于收纳镀件的滚筒92、用于支承滚筒92的滚筒支承构件91、以及用于将滚筒支承构件91安装在镀槽31的边缘部上的钩挂部93，该滚筒用夹具9能够相对于镀槽31进行装拆，因此，能够简单地安装在镀槽31上。

采用本实施方式的镀敷装置3，在将滚筒用夹具9安装在镀槽31上的情况下，滚筒92以越远离滚筒支承构件91越靠下方的方式倾斜，因此，即使镀件P的数量很少，也会向下方汇集，能够高效率且稳定地供电。

采用本实施方式的镀敷装置3，在将滚筒用夹具9安装在镀槽31上的情况下，滚筒支承构件91以其上部从阴极杆33和镀槽31之间突出、而下部向镀槽31的中央部接近的方式，相对于钩挂部93倾斜安装，因此，能够在镀槽31的中央部高效率地对镀件进行镀敷。

采用本实施方式的镀敷装置3，由于包括用于使阴极杆33移动的移动机构32a、33a，因此，容易相对于供阴极杆33移动的空间来设置滚筒92。

采用本实施方式的镀敷装置3，由于移动机构32a是用于使阴极杆33沿着镀槽的边缘部移动的滑动构件321，因此，能够利用简单的机构使阴极杆33移动。

采用本实施方式的镀敷装置3，由于移动机构33a是用于使阴极杆33弯折的弯折部331，因此，能够利用简单的机构使阴极杆33移动。

采用本实施方式的镀敷单元1，由于包括具有上架台21和用于支承上架台21的下架台22的架台2、载置在下架台22上的镀敷装置3、以及载置在上架台21上且用于对镀敷装置3的镀槽31内的镀敷液进行过滤的过滤器7，因此，通过有效利用上下方向紧凑地配置各部分而形成小型。而且，通过形成为小型，镀敷单元1能够移动，能够有效利用空间。此外，能够高效率地对少量的镀件进行镀敷。

采用本实施方式的镀敷流水线10，由于多个镀敷单元1在镀槽31的侧方排列，因此，能够将自镀槽31突出的摆动装置32全部配置在背面312侧，将相邻的镀槽31邻近地配置，能够有效利用空间。

采用本实施方式的镀敷流水线10，由于将用于输送从镀槽31排出来的排气的排气管道50配置于镀槽31的下方，因此，能够有效利用空间。此外，能够隐藏排气管道50而使作业环境良好。

采用本实施方式的镀敷流水线10，由于将用于输送从镀槽排出来的排气的排气管道配置于镀槽的背面侧，因此，能够有效利用空间。此外，能够隐藏排气管道而使作业环境良好。

采用本实施方式的镀敷流水线10，由于在镀槽31的前方具备能够沿着镀槽31排列的方向移动的、用于冲洗镀件的冲洗槽11，因此，通过将冲洗槽11以能够移动的方式配置在各镀槽31的前方，能够更有效地利用空间。此外，由于能够使冲洗槽11移动到各镀槽31的附近，因此，能够高效率地进行作业。

以上，对本发明的各种实施方式进行了说明，但本发明并不仅限定于这些实施方式，将各个实施方式的结构适当组合而构成的实施方式也落在本发明的范围内。

Claims (13)

1.一种镀敷装置，其特征在于，

该镀敷装置(3)包括：

箱形的镀槽(31)，其上方敞开；

阳极部(34)，其配置在所述镀槽(31)内；

阴极部(33)，其配置在所述镀槽(31)的上方；以及

摆动装置(32)，其用于使所述阴极部(33)摆动，

该镀敷装置(3)能够在静止镀敷状态和滚镀状态间切换，该静止镀敷状态是将用于保持镀件的静止镀敷用夹具(8)悬吊在所述阴极部(33)的状态，该滚镀状态是将用于收纳镀件的滚筒用夹具(9)安装于所述镀槽(31)的状态。

2.根据权利要求1所述的镀敷装置，其特征在于，

所述摆动装置(33)设置在所述镀槽(31)的背面。

3.根据权利要求1所述的镀敷装置，其特征在于，

所述滚筒用夹具(9)具有用于收纳镀件的滚筒(92)、用于支承所述滚筒(92)的滚筒支承构件(91)、以及用于将所述滚筒支承构件(91)安装在所述镀槽(31)的边缘部的钩挂部(93)，所述滚筒用夹具(9)能够相对于所述镀槽(31)进行装拆。

4.根据权利要求3所述的镀敷装置，其特征在于，

在将所述滚筒用夹具(9)安装于所述镀槽(31)的情况下，所述滚筒(92)以越远离所述滚筒支承构件(91)越靠下方的方式倾斜。

5.根据权利要求3或4所述的镀敷装置，其特征在于，

在将所述滚筒用夹具(9)安装于所述镀槽(31)的情况下，所述滚筒支承构件(91)以其上部从所述阴极部(33)和镀槽(31)之间突出而其下部向所述镀槽(31)的中央接近的方式，倾斜地安装在所述钩挂部(93)。

6.根据权利要求3或4所述的镀敷装置，其特征在于，

该镀敷装置(3)包括用于使所述阴极部(33)移动的移动机构(321、331)。

7.根据权利要求6所述的镀敷装置，其特征在于，

所述移动机构(321)是用于使所述阴极部(33)沿着所述镀槽(31)的边缘部移动的滑动构件(321)。

8.根据权利要求6所述的镀敷装置，其特征在于，

所述移动机构(331)是用于使所述阴极部(33)弯折的弯折部(331)。

9.一种镀敷单元，其特征在于，

该镀敷单元(1)包括：

架台(2)，其具有上架台(21)和用于支承所述上架台(21)的下架台(22)；

权利要求1～8中任一项所述的镀敷装置(3)，其载置在所述下架台(22)上；以及

过滤器(7)，其载置在所述上架台(21)上，用于过滤所述镀敷装置(3)的所述镀槽(31)内的镀敷液。

10.一种镀敷流水线，其特征在于，

该镀敷流水线(10)将多个权利要求9所述的镀敷单元(1)在所述镀槽(31)的侧方排列。

11.根据权利要求10所述的镀敷流水线，其特征在于，

在所述镀槽的下方具备用于输送从所述镀槽(31)排出来的排气的排气管道。

12.根据权利要求10所述的镀敷流水线，其特征在于，

在所述镀槽的背面侧具备用于输送从所述镀槽(31)排出来的排气的排气管道。

13.根据权利要求10～12中任一项所述的镀敷流水线，其特征在于，

在所述镀槽(31)的前方具备能够沿着所述镀槽(31)所排列的方向移动的、用于冲洗所述镀件的冲洗槽(11)。