CN105628987A - 探针和接触检查装置 - Google Patents

Abstract

[解决的问题]提供探针与接触检查装置，探针能够使探针与电路板之间的电连接稳定化，接触检查装置装配有该探针。[解决方案]一种探针，其具有第一端和第二端，所述第一端与测试对象接触和分离，所述第二端与电路板接触，以对所述测试对象执行检查，其中所述第二端设置有转动被限制部，所述转动被限制部限制所述探针绕着所述探针的轴线方向的转动。所述第一端与所述第二端之间设置有可伸缩部，所述可伸缩部能够沿所述探针的轴线方向自由伸缩并具有至少一个螺旋槽。所述第二端由管状构件形成。而且，所述第一端与所述第二端之间设置有至少两个所述可伸缩部，并且所述可伸缩部之间形成有中间部。

Description

探针和接触检查装置

技术领域

本发明涉及在半导体集成电路等的通电测试中使用的探针和设置有该探针的接触检查装置。

背景技术

通常，对诸如半导体集成电路等的测试对象执行通电测试，以确定测试对象是否是按照精确的规格制造的。使用诸如探针卡、探针单元和探针块等的接触检查装置来执行该通电测试，该接触检查装置具有作为单独压靠测试对象的待检查部分的接触部的多根探针。这种类型的接触检查装置用于通过使测试对象的待检查部分与测试器电连接而执行检查。

这种类型的接触检查装置通过利用与测试对象的待检查部分接触的多根探针对该待检查部分施加压力来建立电连接。然而，由于半导体集成电路越来越小且越来越复杂，因此用于检查测试对象的待检查部分的探针的尺寸已经相应地变得很小。结果，如果在对测试对象进行检查期间作用于探针的压力是大的，则探针可能会弯曲，或者相邻的探针可能会彼此接触并导致短路，所有这些都会造成如下问题：可能不能对测试对象进行适当的检查。

对于该问题，提出了如下接触检查装置：在该接触检查装置中，每根探针均设置有可伸缩部。可伸缩部伸缩，以吸收在对测试对象进行检查期间作用于探针的一部分压力。因此，能够控制探针的弯曲以及由相邻的探针所导致的短路(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP2010-281583A

发明内容

发明要解决的问题

该接触检查装置包括：探针，其由筒状构件制成，该探针与测试对象的待检查部分接触；头部，其将探针的顶部引导至预定位置；保持部，其保持探针的中间部；基部，其引导探针的后端部；以及电极部，其与探针的由基部引导的后端部电连接。

在该探针中，具有螺旋槽的可伸缩部设置在探针的顶部与中间部之间以及探针的中间部与后端部之间。因此，当探针压靠测试对象的待检查部分时，可伸缩部沿探针的轴线方向弯曲并吸收一部分压力，使得作用在探针与该待检查部分之间的压力能够具有适当的强度。

顺便地，该探针通过可伸缩部沿探针的轴线方向的弯曲来吸收一部分压力。此时，一部分压力沿螺旋方向作用于螺旋状的可伸缩部，并且给予探针绕着探针的轴线方向的转动力。这可以使探针绕着轴线方向转动。如果探针绕着轴线方向转动，则探针的与电极部接触的后端也会绕着轴线方向转动。结果，在与探针的后端部接触的电极部处会产生磨损和损坏。因此，探针的后端部与电极部之间的接触会变得不稳定，从而可能导致接触不良。因此，探针与电极部之间的电连接可能会变得不稳定，使得接触检查装置的可靠性劣化。

本发明是鉴于上述缺点而作出的，因而，本发明的目的在于提供能够使探针与电路板之间的电连接稳定化的探针，以及设置有该探针的接触检查装置。

用于解决问题的方案

为了实现上述目的，根据本发明的第一方面的探针为如下的探针：其具有第一端和第二端，所述第一端与测试对象接触和分离，所述第二端与电路板接触，以对所述测试对象执行检查，其中，所述第二端设置有转动被限制部，所述转动被限制部限制所述探针绕着所述探针的轴线方向的转动。

当探针的第一端在探针的第二端与电路板接触的情况下压靠测试对象时，或者当探针与测试对象分离时，有时会产生绕着探针的轴线方向的转动力。探针的第二端侧被构造成与电路板接触(非固定)。因而，当产生该转动力时，可能会通过转动而对接触部造成磨损和损坏。此外，如果探针重复地对测试对象执行检测，则会产生该转动力。因而，将会在探针与电路板之间重复地产生探针的转动，从而可能导致较大的磨损或损坏。

根据该方面，因为转动被限制部限制探针绕着轴线方向转动，所以能够控制第二端与电路板之间的接触部处产生的磨损和损坏。因此，能够使探针与电路板之间的电连接稳定化，因而能够改善接触检查装置的可靠性。

根据本发明的第二方面的探针为根据第一方面的探针，其中，所述第一端与所述第二端之间设置有可伸缩部，所述可伸缩部能够沿所述探针的轴线方向自由伸缩并具有至少一个螺旋槽。

根据该方面，当探针的第一端与测试对象接触时，设置在第一端与第二端之间的、具有螺旋槽的可伸缩部沿轴线方向收缩并吸收一部分压力。然后，一部分压力作用于探针使探针绕着轴线方向转动。然而，因为限制探针绕着轴线方向转动的转动被限制部设置于第二端，所以限制了探针在其第二端处绕着轴线方向转动。结果，能够控制第二端与电路板之间的接触部处产生的磨损和损坏。因此，能够使探针与电路板之间的电连接稳定化，因而能够改善接触检查装置的可靠性。

根据本发明的第三方面的探针为根据第二方面的探针，其中，所述第二端由管状构件形成。

探针的第二端由管状构件构成。因此，当探针与电路板之间重复地发生转动时，电路板的接触部被环状地磨损。换言之，磨损集中在同一部位。结果，探针与电路板之间发生接触压力的波动，从而使探针与电路板之间的电连接变得不稳定。

然而，在该方面中，通过转动被限制部限制了第二端的转动。因此，即使当第二端由管状构件形成时，也会限制第二端处的转动。因而，能够更有效地控制第二端与电路板之间的磨损和损坏的产生，并且能够使探针与电路板之间的电连接稳定化。

根据本发明的第四方面的探针为根据第二方面或第三方面的探针，其中，所述第一端与所述第二端之间设置有至少两个所述可伸缩部，并且所述可伸缩部之间形成有中间部。

根据本发明的第五方面的探针为根据第一方面至第四方面中任一方面的探针，其中，所述转动被限制部形成为缺欠部，所述缺欠部通过使所述第二端的一部分缺欠而形成。

在本说明书中，“通过使第二端的一部分缺欠而形成的缺欠部”不仅包括通过切除第二端的一部分所形成的缺口，而且还包括通过除了切割以外的诸如加压和其它形成方法等的方法而在第二端形成的缺欠部。

根据该方面，因为将转动被限制部形成为缺欠部，所以转动被限制部能够容易地形成于第二端。

根据本发明的第六方面的探针为根据第一方面至第四方面中任一方面的探针，其中，所述转动被限制部通过将管状构件的所述第二端形成为多边形形状而形成。

根据该方面，转动被限制部通过将由管状构件制成的第二端形成为多边形形状而形成。通过将转动被限制部的形状形成为多边形形状，能够使如下力分布至该多边形形状的各表面：作用于转动被限制部以限制绕着轴线方向转动的力。因此，需要较小的力来控制探针的第二端的转动。

此外，通过将第二端形成为多边形形状，增大了第二端与电路板之间的接触面积，由此增加了第二端与电路板之间的摩擦力。因而，能够控制探针的转动。另外，归因于接触面积的增大，所以能够减小第二端与电路板之间的每单位面积的接触压力。因而，能够减少磨损，并且能够使探针与电路板之间的电连接稳定化。

此外，因为通过对由管状构件制成的第二端进行加压成型来形成转动被限制部，所以能够在第二端容易地形成转动被限制部。另外，因为管状构件被形成为多边形形状，所以能够改善管状构件的强度(刚性)。

根据本发明的第七方面的探针为根据第一方面至第四方面中任一方面的探针，其中，所述转动被限制部形成为突起，该突起沿所述探针的径向从所述探针突出。

根据本发明的第八方面的探针为根据第一方面或第二方面的探针，其中，所述探针包括：第一接触部，其构成所述探针的第一端；以及第二接触部，其构成所述探针的第二端，所述第二接触部与所述电路板线接触，并且所述转动被限制部形成为突起，该突起沿所述探针的径向从所述探针突出。

根据本发明的第九方面的接触检查装置为如下接触检查装置：其对测试对象执行接触检查，该接触检查装置包括：第一方面至第八方面所述的多根探针；电路板，其与所述探针的所述第二端接触；以及探针头，所述多根探针插入通过所述探针头，并且所述探针头能够拆装地安装于所述电路板，其中，所述探针头的与所述电路板相对的一侧设置有转动限制部，所述转动限制部与所述探针的转动被限制部接合。

根据该方面，因为探针头的与电路板相对的一侧设置有与探针的转动被限制部接合的转动限制部，所以当探针的第一端与测试对象接触时，在允许第一端相对于测试对象绕着轴线方向转动的同时确实地限制了第二端绕着轴线方向转动。因此，能够使探针与电路板之间的电连接稳定化，因而能够改善接触检查装置的可靠性。

附图说明

图1是根据本发明的第一实施方式的设置有探针的接触检查装置的侧截面图。

图2是图1所示的接触检查装置的探针基板侧的放大图。

图3是根据第一实施方式的探针的侧视图。

图4是示出根据第一实施方式的探针的转动被限制部的放大图。

图5是示出根据第一实施方式的探针头的上表面的立体图。

图6是示出探针插入通过探针头的状态下的探针头的上表面的平面图。

图7是示出根据第一实施方式的一个变型的转动被限制部的立体图。

图8是示出根据第一实施方式的另一变型的转动被限制部的立体图。

图9是示出根据第一实施方式的再一变型的转动被限制部的立体图。

图10A是示出当探针基板的接触点部的形状为管状时的接触状态的示意图，图10B是示出当探针基板的接触点部的形状为六边形时的接触状态的示意图，图10C是示出当探针基板的接触点部的形状为星形时的接触状态的示意图。

图11是根据第二实施方式的探针的侧视图。

图12是示出根据第二实施方式的探针的转动被限制部的放大图。

图13是根据第三实施方式的探针的侧视图。

图14是示出根据第三实施方式的探针的转动被限制部的放大图。

图15是设置有根据第三实施方式的探针的接触检查装置的侧截面图。

图16是根据第三实施方式的定位构件的立体图。

图17是示出探针插入通过探针头和定位构件的状态的平面图。

图18是示出如下状态的平面图，多个定位构件相对于彼此移动以使插入通过探针头的探针对齐，由此使探针从转动未被限制状态切换至转动被限制状态。

具体实施方式

以下基于附图对本发明的实施方式作出说明。仅在第一实施方式中说明所有实施方式中均由相同附图标记指代的共同组成元件，并且在随后的实施方式的说明中省略它们的说明。

<<<第一实施方式>>>

<<<接触检查装置的概述>>>

图1和图2均示出了作为“接触检查装置”的一个实施方式的探针卡90。探针卡90包括作为“圆板”的探针基板12、增强板14、探针头16以及多个探针100。探针卡90与测试器(未示出)电连接，并且以能够相对于该测试器摆动运动的方式安装于该测试器。

在本实施方式中，探针基板12为盘状，并且被构造成包括未示出的陶瓷基板和布线基板的多层基板。在探针基板12的如在图1中观察到的-Z侧表面(以下称作“下表面”)上设置有多个导电接触部12a。在本实施方式中，图1中的Z轴表示上下方向，+Z侧和-Z侧分别意味着上侧和下侧。

探针基板12中设置有未图示出的多条布线路径。各条布线路径在一端处均经由设置于探针基板12的下表面的导电接触部12a中的一个导电接触部12a与探针100中的一根探针100电连接，并且在另一端处均与设置于探针基板12的+Z侧表面(以下称作“上表面”)的多个导电部(未示出)中的一个导电部连接。位于探针基板12的上表面的各导电部(未示出)均与测试器(未示出)连接。

增强板14安装于探针基板12的上表面。增强板14为盘状，并且由金属构件形成。增强板14的-Z侧表面、换言之增强板14的面对探针基板12的上表面的下表面被形成为平坦表面14a。增强板14的平坦表面14a(参照图1)被形成为具有预定的平面度(例如，30μm)或更佳。因为安装于增强板14的探针基板12被强制具有与平坦表面14a相同的平面度，所以增强板14限定探针基板12的平面度。

探针头16经由紧固构件20能够拆装地安装于探针基板12的下表面。探针头16包括上探针头22、下探针头24和中间保持构件26。上探针头22与下探针头24在上下方向上是间隔开的。在本实施方式中，在上下方向上，上探针头22放置在上方，下探针头24放置在下方。在本实施方式中，上探针头22和下探针头24均由诸如陶瓷等的非导电材料形成。

在上下方向上，中间保持构件26介于上探针头22与下探针头24之间。在本实施方式中，中间保持构件26被构造成由非导电树脂材料制成的膜构件。

上探针头22具有多个转动限制部102(参照图5)，而下探针头24和中间保持构件26分别具有多个孔24a和多个孔26a。多个转动限制部102以及多个孔24a和26a沿上下方向延伸，并且具有沿上下方向延伸的共用轴线。换言之，各转动限制部102与对应的孔24a和26a同轴地配置。稍后将详细说明转动限制部102。

多根探针100插入通过探针头16。具体地，每根探针100延伸通过一组同轴配置的转动限制部102以及对应的孔24a和26a。换言之，探针100插入通过上探针头22、下探针头24和中间保持构件26。这里，每根探针100均具有第一端(下端)100a(参照图3)和第二端(上端)100b(参照图3)，该第一端100a和第二端100b在上下方向上独立地从探针头16突出。

在探针100插入通过转动限制部102以及孔24a和26a的状态下，中间保持构件26被强制沿与探针100的轴线方向相交的方向(图1中的X轴方向或Y轴方向)移动。结果，每根探针100的中间部110在与轴线方向相交的方向上被中间保持构件26加压，使得主要是探针100的中间部110沿与轴线方向相交的方向弯曲。换言之，探针100在探针头16内弯曲成弓状，并且探针100被探针头16保持。

此外，多根探针100通过中间保持构件26在探针头16内沿与轴线方向相交的方向、即沿相同方向弯曲和排列。因此，由于通过中间保持构件26提前限制了探针100的弯曲方向，所以即使当对测试对象进行检查期间过压(overdrive)作用于每根探针100时，也会防止探针卡90的由处于弯曲状态的相邻探针彼此接触所导致的短路。

如图1所示，探针卡90的下方设置有检查台28。检查台28包括X台、Y台、Z台和θ台的组合。检查台28的顶部安装有卡盘顶(chucktop)30。因而，卡盘顶30被以能够在水平面上沿X轴方向、与X轴方向正交的Y轴方向以及与水平面(XY平面)正交的上下方向(即，Z轴方向)调整的方式定位。卡盘顶30还能够绕着Z轴调整其转动位置(θ方向)。

卡盘顶30的顶部设置有供测试对象34安装的安装表面32。在本实施方式中，测试对象34为已经嵌有多个集成电路的半导体晶片。测试对象34的上表面设置有多个电极34a。因为在探针100的第二端100b与探针基板12的接触部12a接触的情况下使多个电极34a与探针100的第一端100a接触，所以在探针卡90与测试对象34之间建立了电连接。

<<<关于探针的构造>>>

现在参照图3和图4来详细说明每根探针100的构造。每根探针100均包括：第一接触部104，其形成探针100的第一端100a；以及弹性部106。在本实施方式中，弹性部106被形成为管状构件。弹性部106设置有可伸缩部108，可伸缩部108在其轴线方向上具有至少一个螺旋槽。在本实施方式中，两个可伸缩部108A和108B(参照图3)设置于弹性部106。此外，中间部110设置在可伸缩部108A与108B之间。

在本实施方式中，第一接触部104与弹性部106的第一端连接。具体地，第一接触部104焊接于弹性部106的第一端(图3中的“下端侧”)。弹性部106具有供弹性部106与第一接触部104焊接的焊接部106a。焊接部106a的直径比弹性部106的其它部分大。探针头16的孔24a和26a的直径比焊接部106a的直径、即比探针100的最大直径大。

此外，在本实施方式中，可伸缩部108A和108B沿着弹性部106的轴线方向(上下方向)形成为螺旋槽。可伸缩部108A和108B能够沿着弹性部106的轴线方向伸缩。另外，在本实施方式中，当探针100插入通过探针头16时，与中间保持构件26对应的中间部110设置在可伸缩部108A与108B之间。

在本实施方式中，接触点部106b和转动被限制部112设置于弹性部106的第二端(图3中的“上端侧”)。接触点部106设置于弹性部106的第二端，即探针100的第二端100b。当在探针100插入通过探针头16的情况下将探针头16安装至探针基板12时，接触点部106b与探针基板12的接触部12a接触。

另外，弹性部106的位于第二端侧的一部分缺欠(被切除)并且形成为缺欠部(切除部)。在本实施方式中，转动被限制部112形成为缺欠部。应当注意，在本实施方式中，虽然缺欠部的在弹性部106的径向上的缺欠量(切除量)设定成比弹性部106的半径小，但是还可以将缺欠量设定成比弹性部106的半径大的值。

探针100由导电金属材料形成。作为一个示例，探针100由具有高韧性的诸如镍(Ni)、镍-磷合金(Ni-P)、镍-钨合金(Ni-W)、磷青铜、钯-钴合金(Pd-Co)和钯-镍-钴合金(Pd-Ni-Co)等的导电金属材料形成。

现在参照图5和图6来说明转动限制部102。在本实施方式中，多个转动限制部102设置在探针头16的上探针头22中。更具体地，转动限制部102设置在上探针头22中，使得在探针头16安装于探针基板12的情况下转动限制部102面对探针基板12的接触部12a。另外，转动限制部102形成为探针100的第二端的形状，即形成为与转动被限制部112的形状对应的形状。更具体地，本实施方式的转动限制部102形成为探针100的第二端的形状、即与缺欠部的形状对应的D字形。此外，转动限制部102贯穿上探针头22。

如图6所示，当探针100的第二端100b、即弹性部106的第二端插入通过上探针头22的转动限制部102时，形成位于弹性部106的第二端的转动被限制部112的缺欠部与转动限制部102的面对缺欠部的部分接合。因而，在探针100的第二端100b试图绕着探针100的轴线方向转动时通过转动限制部102限制了转动被限制部112绕着探针100的轴线方向的转动。换言之，限制了探针100的第二端100b的转动。

因此，能够控制位于探针基板12的接触部12a与探针100的第二端100b之间的接触部、即接触点部106b处产生的磨损和损坏。结果，能够使探针100与探针基板12之间的电连接稳定化，因而能够改善探针卡90的可靠性。应当注意，出于说明的目的，在图6中转动限制部102和探针100的尺寸被放大。

总之，转动被限制部112与探针头16的转动限制部102接合，以限制在探针100的第二端100b、即接触点部106b与探针基板12的接触部12a接触的状态下探针100绕着探针100的轴线方向转动。因而，能够控制接触点部106b与探针基板12的接触部12a之间的接触部的磨损和损坏的产生。结果，能够使探针100与探针基板12之间的电连接稳定化，因而能够改善探针卡90的可靠性。

此外，在本实施方式中，当作为探针100的第一端100a的第一接触部104与测试对象34的电极34a接触时，具有螺旋槽的、设置在第一接触部104与接触点部106b之间的可伸缩部108沿轴线方向收缩并吸收一部分压力。然后，尽管一部分压力作用于探针100，使探针100绕着轴线方向转动，但是归因于限制探针100绕着探针100的轴线方向转动的转动被限制部112设置于探针100的第二端100b，所以控制了探针在其第二端100b处绕着轴线方向的转动。因而，能够控制接触点部106b与探针基板12的接触部12a之间的接触部的磨损和损坏的产生。结果，能够使探针100与探针基板12之间的电连接稳定化，因而能够改善探针卡90的可靠性。

探针100的弹性部106形成为管状构件。因此，当在探针100的弹性部106的接触点部106与探针基板12的接触部12a之间重复地发生转动时，探针基板12的接触部12a环状地被磨损。换言之，磨损集中在同一部位。结果，探针100与探针基板12之间发生接触压力的波动，从而使探针100与探针基板12之间的电连接变得不稳定。

然而，在本实施方式中，通过转动被限制部112限制接触点部106b绕着探针100的轴线方向的转动。因此，即使当弹性部106由管状构件形成时，也会限制接触点部106b处的转动。因而，能够更有效地控制接触点部106b与探针基板12的接触部12a之间的磨损和损坏的产生，并且能够使探针100与探针基板12之间的电连接稳定化。

在本实施方式中，因为转动被限制部112形成为缺欠部，所以能够在弹性部106的第二端容易地形成转动被限制部112。

<<<第一实施方式的变型>>>

(1)虽然转动被限制部112形成为位于探针100的第二端100b、即弹性部106的第二端的缺欠部，替代地，如图7所示，在探针100的第二端100b处可以形成采用槽的形式的转动被限制部114。另外，如图8和图9所示，可以通过加压成型(pressforming)等将由管状构件制成的弹性部106的第二端(探针100的第二端100b)形成为多边形形状，以获得转动被限制部116和118。作为一个例子，在图8中，转动被限制部116形成为六边形形状，而在图9中，转动被限制部118形成为星形形状。应当注意，在这种情况下，设置于上探针头22的转动限制部102的形状形成为与设置于弹性部106的第二端的转动被限制部114、116和118的形状对应。

此外，通过将位于弹性部106的转动被限制部116和118形成为多边形形状，能够使如下力分布至多边形形状的各表面：作用于转动被限制部116和188以限制绕着轴线方向转动的力。因此，需要较小的力来控制探针100的第二端100b的转动。

此外，如图10A所示，如果弹性部106的接触点部106b具有管状形状，则当接触点部106b相对于探针基板12的接触部12a转动时形成环状的接触区域12b。另一方面，如图10B所示，如果弹性部106的第二端(探针100的第二端100b)形成有六边形的转动被限制部116，则当接触点部106b相对于探针基板12的接触部12a转动时形成环状的接触区域12c。

该接触区域12c为如下区域：该区域形成在通过位于六边形的外周侧的顶点的外接圆与通过位于六边形的内周侧的顶点的内接圆之间。此外，接触区域12c的面积比接触区域12b的面积大。结果，增加了接触部12a与接触点部106b之间的摩擦力，并且该摩擦力用于防止弹性部106转动。因而，能够控制弹性部106的转动。另外，归因于接触点部106b与接触部12a之间的接触面积的增大，所以能够减小接触点部106b与接触部12a之间的每单位面积的接触压力。因而，能够减小接触部12a的磨损。

图10C示出了弹性部106的转动被限制部118的形状形成为星形的情况。该接触区域12d为如下区域：该区域形成在通过位于星形的外周侧的顶点的外接圆与通过位于星形的内周侧的顶点的内接圆之间。利用该构造，接触区域12d的面积比接触区域12b和12c的面积大。因而，通过接触区域12d能够获得比通过接触区域12c获得的效果好的上述效果。

换言之，通过将位于弹性部106的第二端的转动被限制部116和118形成为多边形形状，增大了设置于第二端的接触点部106b与探针基板12的接触部12a之间的接触面积，由此增加了接触点部106b与接触部12a之间的摩擦力。因而，能够控制探针100的转动。另外，当通过加压成型形成转动被限制部116和118时，能够在弹性部106的第二端(探针100的第二端100b)容易地形成复杂的形状。此外，因为管状构件形成为多边形形状，所以能够增大管状构件的强度(刚性)。

(2)虽然在本实施方式中，每根探针100具有两个可伸缩部108，但是替代地，每根探针100可以具有一个或三个或更多个可伸缩部108。

(3)虽然在本实施方式中，每根探针100的两个可伸缩部180A和108B沿相同方向成螺旋状，但是替代地，两个可伸缩部180A和108B可以沿相反方向成螺旋状。

(4)在本实施方式中，转动限制部102的形状形成为与转动被限制部112的形状对应的D字形。然而，可以将转动限制部102形成为例如矩形形状，使得该矩形的一条边与转动被限制部112接合，以限制转动。

(5)此外，本实施方式的探针100可以被构造成使得弹性部106的两端均设置有可自由伸缩的接触部，即探针100可以构造为与弹簧针(Pogopin)(JP2014-025761A等)相似。

<<<第二实施方式>>>

现在将参照图11和图12来说明第二实施方式。参照图11，根据第二实施方式的探针68包括第一接触部70和弹性部72。弹性部72在位于图11中的-Z侧的一端处与第一接触部70连接。弹性部72具有两个可伸缩部74A和74B，两个可伸缩部74A和74B具有沿探针68的轴线方向(图11中的Z轴方向)间隔设置的螺旋槽(参照图11)。应当注意，将弹性部72的位于图11中的+Z侧的一端称作接触点部76。弹性部72的具有接触点部76的一端设置有转动被限制部78(参照图12)。

在本实施方式中，如图12所示，转动被限制部78形成为沿弹性部72的径向从弹性部72突出的突起。另外，在本实施方式中，转动被限制部78形成为矩形形状。此外，尽管在本实施方式中未示出，但是设置于探针头16的上探针头22的转动限制部102形成为尺寸上与矩形的转动被限制部78对应的矩形通孔。换言之，当探针68插入通过探针头16时，探针68的转动被限制部78与探针头16的矩形的转动限制部102接合。结果，转动限制部102限制转动被限制部78的转动，因而限制了探针68绕着其轴线方向的转动。

<<<第三实施方式>>>

接下来，将参照图13至图18来说明第三实施方式。本实施方式的探针卡10与第一实施方式的区别在于，探针头16与探针基板12之间设置有多个定位构件36和38，以及转动限制部56和58形成于定位构件36和38。

<<<探针卡的概况>>>

如图15所示，在本实施方式的探针卡10中，替代转动限制部102，探针头16的上探针头22形成有多个孔22a。多个孔22a沿上下方向(Z轴)延伸并且与孔24a和26a具有沿上下方向延伸的共用轴线。换言之，每组孔22a、24a和26a的轴线同轴地配置。

多根探针18插入通过探针头16。具体地，每根探针18插入通过一组同轴配置的孔22a、24a和26a。换言之，探针18插入通过上探针头22、下探针头24和中间保持构件26。这里，每根探针18具有第一端18a(参照图13)和第二端18b(参照图13)，该第一端18a和第二端18b在上下方向上独立地从探针头16突出。

如图15所示，探针头16的上表面、即上探针头22的上表面经由紧固构件40和定位销42安装有多个定位构件36和38。在本实施方式中，定位构件36和38包括第一定位构件36和第二定位构件38。稍后对定位构件36和38进行详细说明。探针18的第二端18b(参照图13)插入通过定位构件36和38，并且从定位构件36和38朝向探针基板12突出。

<<<关于探针的构造>>>

现在参照图13和图14来详细说明每根探针18的构造。每根探针18均包括：第一接触部44，其形成探针18的第一端18a；第二接触部46，其形成探针18的第二端18b；以及弹性部48。第一接触部44和第二接触部46分别连接在弹性部48的两相反端。

在本实施方式中，第一接触部44和第二接触部46焊接在弹性部48的两相反端。弹性部48具有供弹性部48与第一接触部44和第二接触部46分别焊接的焊接部48a和48b。焊接部48a和48b的直径均比弹性部48的其它部分大。探针头16的孔22a、24a和26a的直径均比焊接部48a和48b的直径、即比探针18的最大直径大。

弹性部48设置有具有螺旋槽的可伸缩部50A和50B(参照图13)，槽部50和50在弹性部48的轴线方向(上下方向)上产生弹力。可伸缩部50A和50B设置在在轴线方向上间隔开的两个位置处。可伸缩部50A和50B之间设置有中间部48c，当探针18插入通过探针头16时，中间部48c与中间保持构件26对应。

第二接触部46具有多边形的转动被限制部52。如图14所示，在本实施方式中，转动被限制部52具有矩形形状。在本实施方式中，转动被限制部52的轴线方向上的厚度至少比第一定位构件36的轴线方向上的厚度大。换言之，转动被限制部52具有足够的厚度，以在探针18插入通过第一定位构件36和第二定位构件38时与第一定位构件36和第二定位构件38接合。

转动被限制部52具有比探针头16的孔22a、24a和26a的直径大的尺寸。换言之，当探针18插入通过探针头16时，转动被限制部52不能穿过孔22a，并且转动被限制部52的下表面抵靠上探针头22的上表面。因而，当探针18的第一接触部44穿过探针头16的与第一接触部44对应的孔22a、24a和26a、直到它从下探针头24突出时，转动被限制部52被上探针头22支撑。

在本实施方式中，第二接触部46具有顶部46a：该顶部46a具有沿与轴线方向(上下方向)正交的方向、即沿X轴方向或Y轴方向延伸的三棱柱形状。三棱柱的沿其轴线方向延伸的一条棱边位于顶部46a的上下方向的上方、换言之形成脊。因而，因为顶部46a的该棱边将与探针基板12的接触部12a中的一个接触部12a接触，所以探针18与探针基板12的接触部12a将彼此线接触。探针18由与探针100相似的导电金属材料形成。

<<<关于定位构件>>>

接下来参照图16来说明第一定位构件36和第二定位构件38。在本实施方式中，第一定位构件36和第二定位构件38均被形成为由诸如陶瓷等的非导电材料制成的板状构件。应当注意，出于描述的目的，图16中示出的是第一定位构件36，并且使用第一定位构件36来进行说明。

第一定位构件36在其四个角部处具有用于紧固构件40的通孔54(参照图16)，紧固构件40用于使第一定位构件36和第二定位构件38能够拆装地安装于上探针头22。如图16所示，通孔54被形成为沿第一定位构件36和第二定位构件38的对角线方向延伸的狭孔。在图17和图18中，省略了通孔54的示出。

第一定位构件36具有在X轴方向和Y轴方向上均以适当间隔排列的多个转动限制部56。转动限制部56具有多边形形状。在本实施方式中，转动限制部56具有矩形形状。转动限制部56具有足够大的尺寸，以使探针18的转动被限制部52能够穿过转动限制部56。第二定位构件38也具有与第一定位构件36的转动限制部56相似的转动限制部58。

第一定位构件36具有用于接收定位销42的多个定位孔60A和60B。第二定位构件38也具有多个定位孔62A和62B。第一定位构件36的定位孔60A和60B以及第二定位构件38的定位孔62A和62B均被形成为，当第一定位构件36和第二定位构件38如稍后说明地相对于彼此移动时，定位孔60A和60B的轴线与定位孔62A和62B的轴线一致。

<<<关于探针在转动未被限制状态与转动被限制状态之间的切换>>>

参照图17，第一定位构件36的矩形的转动限制部56与第二定位构件38的矩形的转动限制部58在上探针头22的上部在X轴方向和Y轴方向上均位于相同的位置并且彼此重叠。应当注意，在该状态下，第一定位构件36的定位孔60A和60B与第二定位构件38的定位孔62A和62B在X轴方向和Y轴方向上均彼此错开。

如图17所示，将探针18从第一定位构件36和第二定位构件38的上方穿过转动限制部56和58插入探针头16。换言之，图17示出将探针18的转动被限制部52接收在转动限制部56和58中。在该状态下，因为转动限制部56和58的尺寸均比转动被限制部52的尺寸大，所以转动被限制部52还未对齐，换言之，在转动限制部56中，第二接触部46的顶部46a的脊指向不同方向。

在该状态下，紧固构件40是松动的。然后，在第一定位构件36和第二定位构件38不从上探针头22移除的情况下，使第一定位构件36和第二定位构件38在上探针头22上相对于彼此移动。具体地，使第一定位构件36和第二定位构件38沿着矩形的转动限制部56和58的对角线移动。

当第一定位构件36和第二定位构件38沿着矩形的转动限制部56和58的对角线相对于彼此进一步移动时，探针18的被插入转动限制部56和58中的转动被限制部52压抵转动限制部56和58的侧壁，从而绕着探针18的轴线转动。因而，探针18的矩形的转动被限制部52的四条边与转动限制部56和58的侧壁接合。

换言之，因为第一定位构件36和第二定位构件38与矩形的转动被限制部52的彼此面对的两组对边接合，所以限制了转动被限制部52沿X轴方向和Y轴方向移动。换言之，转动被限制部52被第一定位构件36和第二定位构件38定位。另外，因为转动限制部56和58与转动被限制部52的四条边接合，所以转动限制部56和58能够限制转动被限制部52绕着探针18的轴线的转动。

结果，如图18所示，当第一定位构件36和第二定位构件38沿着矩形的转动限制部56和58的对角线相对于彼此移动时，定位了在被接收在转动限制部56和58中时未对齐的转动被限制部52，并且限制了探针18绕着轴线的转动。

然后，因为第一定位构件36的定位孔60A和60B的位置以及第二定位构件38的定位孔62A和62B的位置在X轴方向和Y轴方向上均彼此对应，所以定位销42分别插入与定位孔60A对应的定位孔62A以及与定位孔60B对应的定位孔62B。然后，通过拧紧多个紧固构件40，能够使第一定位构件36与第二定位构件38的相对位置固定，并且能够维持各转动被限制部52的位置和转动被限制状态。换言之，通过使第一定位构件36和第二定位构件38相对于彼此移动，能够将探针18从转动未被限制状态切换至转动被限制状态。

另外，当从定位孔62A(60A)和62B(60B)拔出插在其中的定位销42并使多个紧固构件40从如图18所示的探针18的转动被限制的状态释放时，第一定位构件36和第二定位构件38能够相对于彼此移动。然后，探针18能够从转动被限制状态切换至转动未被限制状态。然后，因为能够从探针头16中单独地拔出探针18，所以能够容易地更换探针头16中的被损坏的任意探针18。

另外，因为通过将探针18插入探针头16并使第一定位构件36和第二定位构件38相对于彼此移动，能够简单地定位探针18，并且能够简单地限制探针18转动，所以能够容易地组装探针头16。

<<<第三实施方式的变型>>>

(1)代替本实施方式中的探针18，可以使用第二实施方式中的探针68。

(2)虽然在本实施方式中，第一定位构件36和第二定位构件38设置在上探针头22的上部，但是可以仅将第一定位构件36设置在上探针头22的上部。在该构造中，通过使第一定位构件36的转动限制部56的尺寸与探针18的转动被限制部52的尺寸对应，能够仅通过转动限制部56接收探针18的转动被限制部52来限制探针18绕着探针18的轴线方向的转动。

无需赘述，本发明不限于以上实施方式，可以在权利要求书中说明的本发明的范围内进行各种变型，并且这些变型也包括在本发明的范围内。

Claims (9)

1.一种探针，其具有第一端和第二端，所述第一端与测试对象接触和分离，所述第二端与电路板接触，以对所述测试对象执行检查，其中，

所述第二端设置有转动被限制部，所述转动被限制部限制所述探针绕着所述探针的轴线方向的转动。

2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，

所述第一端与所述第二端之间设置有可伸缩部，所述可伸缩部能够沿所述探针的轴线方向自由伸缩并具有至少一个螺旋槽。

3.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，

所述第二端由管状构件形成。

4.根据权利要求2或3所述的探针，其特征在于，

所述第一端与所述第二端之间设置有至少两个所述可伸缩部，并且

所述可伸缩部之间形成有中间部。

5.根据权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

所述转动被限制部形成为缺欠部，所述缺欠部通过使所述第二端的一部分缺欠而形成。

6.根据权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

所述转动被限制部通过将管状构件的所述第二端形成为多边形形状而形成。

7.根据权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

所述转动被限制部形成为突起，该突起沿所述探针的径向从所述探针突出。

8.根据权利要求1或2所述的探针，其特征在于，

所述探针包括：第一接触部，其构成所述探针的第一端；以及第二接触部，其构成所述探针的第二端，

所述第二接触部与所述电路板线接触，并且

所述转动被限制部形成为突起，该突起沿所述探针的径向从所述探针突出。

9.一种接触检查装置，其用于对测试对象执行接触检查，该接触检查装置包括：

权利要求1至8中任一项所述的多根探针；

电路板，其与所述探针的所述第二端接触；以及

探针头，所述多根探针插入通过所述探针头，并且所述探针头能够拆装地安装于所述电路板，其中

所述探针头的与所述电路板相对的一侧设置有转动限制部，所述转动限制部与所述探针的转动被限制部接合。