CN105628652B - 测量过滤器污染的装置及测量过滤器污染的方法 - Google Patents

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Abstract

根据本实施例的测量过滤器污染的装置的一个形态,其包括:发光部,其向吸附异物的过滤器提供具有既定波长的光;受光部,其吸收反射到过滤器的反射光,将反射光信息转换为数字代码并输出;及污染度运算部,其对受光部提供的数字代码进行处理,运算过滤器的污染度,其中,污染度运算部运算反射到过滤器的反射光的波长由既定波长发生变化的程度,并对比发光部提供的光的光量与反射到过滤器的反射光的光量,由此,运算过滤器的污染度。

Description

测量过滤器污染的装置及测量过滤器污染的方法
技术领域
本发明涉及测量过滤器污染的装置及测量过滤器污染的方法(Apparatus andMethod For Measuring Contamination of Filter)。
背景技术
空气过滤器被广泛使用于家庭、工业设备中,例如家用真空吸尘器以及汽车的空气过滤器、半导体制造设备中的空气吹淋器设备等。空气过滤器配置在供给吸入的空气的通道中,过滤吸入的空气中包含的异物,由此净化吸入的空气。
到使用期限的过滤器,过滤吸入的空气中的异物的净化度降低,因此不能正常发挥过滤器的功能,无法过滤吸入的异物而直接排出。从而,导致通过半导体制造设备制造的半导体晶片产生缺陷(defect),使得汽车引擎发生故障,进而可引起由吸尘器排出的灰尘导致的呼吸系统疾病,因此,需要能够测量空气过滤器的污染度的方法及其装置。
现有技术中的关于空气过滤器的污染测量装置的现有文献有韩国专利第0909065号。
发明内容
(一)要解决的技术问题
现有技术的空气测量过滤器污染的装置通过向空气过滤器的一面照射具有可充分透过空气过滤器的波长带宽的光,检测从反面透过的光量,由此,测量被吸附于过滤器的异物量及空气过滤器的污染度。
但是,现有技术的空气测量过滤器污染的装置,由于采用对透过空气过滤器的光量进行检测的方式,因此,如果被吸附于空气过滤器的异物量微小,则照射的照射光光量与反射光光量之间没有差别,故无法充分掌握过滤器中吸附异物的程度,从而,存在无法充分感应过滤器的污染程度的问题。
并且,现有的测量过滤器污染的装置中使用的受光元件是主要利用硫化镉(CdS)的光量传感器,其主要材料为污染环境的镉,因此,在其制造及废弃时,可产生环境污染问题。
(二)技术方案
根据本实施例的测量过滤器污染的装置的一个形态,包括:发光部,其向吸附异物的过滤器提供具有既定波长的光;受光部,其吸收反射到过滤器的反射光,将反射光信息转换为数字代码并输出;及污染度演算部,其对受光部提供的数字代码进行处理(process),并演算过滤器的污染度,其中,污染度演算部演算反射到过滤器的反射光的波长由所述既定波长发生变化(shift)的程度,并对比发光部提供的光的光量与反射到过滤器的反射光的光量,由此,演算过滤器的污染度。
本实施例的过滤器的污染度演算方法,包括如下步骤:向过滤器照射光的步骤;吸收从过滤器反射的光的步骤;输出相应于吸收的反射光的光量和反射光的波长带宽的数字代码的步骤;利用数字代码,演算过滤器的污染度的步骤,其中,演算过滤器的污染度的步骤,演算向过滤器照射的光的波长反射到过滤器而发生变化的程度,比较向过滤器照射的光量和从过滤器反射的反射光的光量,由此,演算过滤器的污染度。
本实施例的测量过滤器污染的装置的另一个形态,包括:发光部,其至少向过滤器表面的一部分照射光;受光部,其吸收从过滤器表面反射的光;污染判断部,其对比由发光部照射的光与从过滤器表面反射的光的波长,并对比由发光部照射的光的光量与从过滤器表面反射的光的光量,由此,判断过滤器的污染状态;及报警部,其在过滤器的污染状态超过既定的临界值时,发出警告。
(三)有益效果
本实施例通过检测已知波长带宽的照射光反射到过滤器而变化的反射光的波长带宽,并演算波长带宽的变化及变化的波长带宽的光量,掌握过滤器中吸附异物的程度,并对比照射光的光量与反射光的光量,从而掌握过滤器的污染程度。
因此,能够通过两种相互不同的方式检测吸附于过滤器的异物的量,相比现有技术的过滤器污染度测量装置及过滤器污染度测量方法,具有以较高的信赖性对过滤器的污染度进行测量的优点。
附图说明
图1是表示本实施例的测量过滤器污染的装置的示意图。
图2是表示本实施例的测量过滤器污染的方法的简要的流程图。
图3a是表示应用色彩传感器的体现例的简图;图3b是表示照度传感器的概况图。
图4作为受光部色彩传感器感应照射的光的波长的图,是表示单元传感器对于蓝色、绿色、红色及白色光的相对感应的图。
图5是表示受光部的照度传感器感应照射的光的波长的图。
附图标记说明
100:发光部 110:第1透镜
200:过滤器 300:受光部
310:第2透镜 400:污染度演算部
具体实施方式
关于本发明的说明只是为了进行结构性以及功能性说明的实施例,本发明的保护范围不能限定于本文中说明的实施例。即,实施例可进行各种变更,且可具有各种形态,因此,应当理解为本发明的保护范围可包括能够实现其技术性思想的均等物。
另一方面,在本申请中使用的术语的意义应当参照以下说明进行理解。
"第1"、"第2"等术语是为了将一个组成要件与其他组成要件进行区别,不能由这些术语来限制本发明的保护范围。例如,第1组成要件可命名为第2组成要件,类似地,第2组成要件也可命名为第1组成要件。
在本发明中提及的某组成要件在其他组成要件的"上部"或"上面"时,应当理解为其可在另一组成要件的直上方,其中间也可存在其他的组成要件。反之,如提及某组成要件与其他组成要件"接触"时,应当理解为其中间不存在其他组成要件。另一方面,用于说明组成要件之间的关系的其他说明,即"介于"和"直接~介于"、"~之间"和"直接在~之间"或"邻接于~"和"直接邻接于~"等也要如前进行解释。
只要在文中未明确地区别说明,表示单数的说明应当理解为包括复数,"包括"或"具有"等术语是为了指定其存在实行的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合,并非预先排除存在一个或一个以上的其他特征或数字、步骤、动作、组成要件、部件或其组合和附加可能性。
各个步骤除非在文中明确地记载特定顺序,否则也可以不同于记述的顺序进行。即,各个步骤可按记述的顺序进行,也可实质性地同时进行,也可按相反的顺序进行。
用于说明本发明的实施例的附图,为了便于说明和理解,可夸大表示其大小、高度、厚度等,并非根据比例而扩大或缩小。并且,附图中可有意地缩小表示某组成要件,有意地扩大表示其他组成要件。
在此使用的所有术语,除另行定义,则与本发明所属技术领域的技术人员通常理解的意义相同。与通常使用的词典中的定义相同的术语,应当解释为与有关技术的文章中的意义一致,并且,若在本说明中没有明确定义,则不能解释为具有异常或过于形式的意义。
以下,参照附图对本发明的实施例的测量过滤器污染的装置和测量过滤器污染的方法进行说明。图1是表示本实施例的测量过滤器污染的装置的示意图,图2是表示本实施例的测量过滤器污染的方法的简要的流程图。参照图1和图2,发光部100向吸附异物的过滤器提供具有既定波长的光。在一个实施例中,发光部包括发光元件(LED,Light EmittingDevice),向过滤器一面的至少一部分提供具有既定波长带宽的可见光。作为一个例子,发光部向过滤器提供400~500nm的波长带宽的可见光。
通常,380~430nm为与紫色相应的波长带宽,430~520nm为与蓝色相应的波长带宽,520~565nm为与绿色相应的波长带宽,565~600nm的波长带宽为与黄色和橙色(orange)的一部分相应的波长带宽。只是,色彩(color)并不是随着所述的波长的变化而不连续地变化,而是随着波长的变化而连续地变化,因此,上述的波长带宽及其色彩,是为了有助于本发明的理解而指定相应波长带宽的代表颜色,并不是为了限制或限定本发明的保护范围。
作为一个实施例,将由发光部100提供的光均匀地向过滤器的表面照射会比较困难,尤其,在过滤器上形成有凹凸不平的区域时,会因凸出部分而无法向过滤器的表面均匀地照射光。当在发光部100表面配置第1透镜110时,能够使发光元件提供的光分光,从而,向过滤器表面均匀地照射光。
从过滤器表面反射的反射光由过滤器及吸附于过滤器的异物而散射,均匀地射向前方,因此,如果简单地配置受光元件,吸收从过滤器表面反射的光,则会降低聚光效率。此时,配置将反射光向受光部300聚集的第2透镜310,使受光部吸收被聚集的反射光,从而能够提高聚光效率。
在附图中,例举了凹透镜作为第一透镜110,凸透镜作为第二透镜的例子310,但这只是为了举例说明,第1透镜及第2透镜并不限定于凸透镜和凹透镜,可将对光进行分光并均匀地照射的透镜作为第1透镜,对光进行聚光的透镜作为第2透镜。作为一例,第1透镜及第2透镜可以是菲涅尔透镜(Fresnel Lens)。
过滤器200吸附所吸入的空气中所含的异物并进行过滤。通常,为了提高异物的过滤效率,过滤器200的与空气接触的表面积较大地形成。作为一个例子,过滤器可由微细的纤维(fiber)形成,或使过滤器形成有凹凸不平的区域,由此扩大与空气的接触面。作为一个例子,过滤器可以是能够过滤99.97%的0.3μm的粒子(particle)的高效微粒空气过滤器(HEPA filter,High Efficiency Particulate Airfilter)。
受光部300吸收反射到过滤器200的光,并变换为电性信号而输出。作为一个实施例,受光部300可包括色彩传感器310和照度传感器320(ALS,Ambient Light Sensor)。作为一个例子,色彩传感器检测红色(Red)、绿色(Green)及蓝色(Blue)区域带宽的波长,并输出与吸收的光的波长相应的数字代码(RGB)。照度传感器输出与检测的光量相应的数字代码(Lum)。
图3a是表示应用色彩传感器的体现例的简图;图3b是表示照度传感器的简图。参照图3a,根据本体现例的色彩传感器310包括分别感知红色、绿色及蓝色带宽的光,并以电性信号输出的单元传感器312、接收单元传感器输出的电性信号的缓冲放大器314(Buffer)、将缓冲放大器输出的电性信号放大的放大器316(Amplifier)、接收放大的电性信号来转换为与其相应的数字代码并输出的模拟数字转换器318(ADC,Analog DigitalConverter)。作为应用色彩传感器的其他体现例,可包括分别感应红色、绿色及蓝色带宽的光的单元传感器和感应白色光的单元传感器。
参照图3b,本体现例的照度传感器320包括感应吸收的光的量,并以电性信号输出的光量传感器322(Luminosity Sensor)、接收光量传感器输出的电性信号的缓冲放大器324、将缓冲放大器输出的电性信号放大的放大器326及接收放大的电性信号并转换为与其相应的数字代码(Lum)并输出的模拟数字转换器328。
根据未图示的其他体现例,与上述的体现例不同,使用具有多个输入端口和输出端口的一个模拟数字转换器,从各个输入端口接收包含于色彩传感器的放大器316的输出信号和包含于照度传感器的放大器326的输出信号,并向另外的输出端口输出转换的数字代码。
色彩传感器310和照度传感器320分别将检测的有关波长带宽的信息和有关接收的光量的信息以数字代码形式向污染度演算部400提供,由此,污染度演算部能够获得反射光的波长信息和反射光的光量信息。
在一个实施例中,可分别应用色彩传感器和照度传感器来形成受光部,作为其他实施例,可将色彩传感器和照度传感器作为一个模块来应用,而形成受光部。
现有的光量传感器包括硫化镉(CdS),但镉中毒时,对人体的伤害是致命的,并且污染环境,因此,严格限制使用。本实施例的照度传感器使用不包含硫化镉的光量传感器,因此不发生镉中毒及环境污染的问题。
污染度演算部400将受光部300提供的数字代码(RGB,Lum)进行处理(process)来演算过滤器的污染度。作为一个实施例,污染度演算部400包括演算单元440,其利用受光部300提供的数字代码(RGB,Lum),演算反射光的波长及反射光的光量,并计算由发光部提供的光的波长反射到过滤器而形成的波长变化和变化的波长的光量,以此演算过滤器的污染程度。
作为一个实施例,本实施例的测量过滤器污染的装置及测量过滤器污染的方法,还包括报警部(未图示),其根据由污染度演算部400演算的过滤器的污染程度向用户提供报警信号(alarm signal)。报警部可包括从污染度演算部400接收控制信号并向用户提供视觉报警信号的发光元件和提供听觉报警信号的扬声器中的至少一者以上。
以下说明包含上述要件的测量过滤器污染的装置的运行和过滤器污染防止方法的实施步骤。发光部100向过滤器200照射光(S100)。图4作为受光部色彩传感器感应照射的光的波长的图,是表示单元传感器对于蓝色、绿色、红色及白色光的相对感应的图,图5是表示照度传感器感应受光部吸收的光的波长的图。
参照图4,可确定色彩传感器310接收的光的波长在400nm附近,增强对蓝色和白色光的感应,在500nm附近的波长带宽增强对绿色光的感应,在550nm附近的波长增强对红色光的感应,在600nm以上的波长带宽降低感应。即,可确定色彩传感器310相比其他波长带宽,可敏感地检测出400nm至600nm的波长带宽的光。
参照图5,可确定照度传感器320在可见光区域(Visible ray)中,在400nm波长带宽的附近的感应会增强,并且在600nm波长带宽,波长越长,照度传感器的感应会降低。因此,可确定照度传感器320与色彩传感器相同,能够敏感地检测出400nm至600nm的波长带宽的光。
由此,当发光部照射的光照射过滤器表面时,通过吸附于过滤器的异物反射,在反射光的波长带宽从发光部提供的光的波长带宽变化为400至600nm的波长带宽的情况下,能够以较高的敏感度和分辨率,检测出过滤器中吸附的异物。并且,在受光部照射的光被吸附在过滤器的异物吸光,使光量减少时的情况下,照度传感器也能够敏感检测出光量变化。
受光部300吸收从过滤器反射的光(S200),将吸收的光转换为与波长带宽相应的电性信号(S300)。作为一个实施例,受光部包括色彩传感器和照度传感器,受光部300输出与入射的光所含的波长及光量相应的数字代码(RGB,Lum),并提供给污染度演算部。
污染度演算部400利用具有从受光部300提供的反射光的波长信息的数字代码(RGB)和具有反射光的光量信息的数字代码(Lum)来演算过滤器的污染度(S400)。作为一个实施例,向受光部300入射的光为由发光部100照射的光向过滤器反射的反射光,反射光的波长可根据反射面的色彩发生变化。例如,如太阳光通过蓝色反射面反射时,反射光的波长变化为与蓝色相应的带宽,如太阳光通过红色反射面反射时,反射光的波长则变化为红色带宽。
因此,将知道波长带宽的照射光向过滤器200照射,检测出从过滤器反射的反射光的波长,与发光部提供的光的波长带宽比较,即能够检测反射前后的波长变化。因此,利用由受光部提供的数字代码,可检测出过滤器是否吸附使得照射光的波长带宽变化的异物。
作为一个例子,当发光部照射的光的波长带宽为450nm,从过滤器反射的反射光包含具有550nm的波长带宽的光时,意味着向过滤器反射之后,光变化为长波长。由此,可确定过滤器吸附了使得照射的光变化为长波长区域的异物。
并且,当反射光的具有450nm带宽的光的光量相比其他波长带宽的光量占优势(dominant)时,可确定过滤器未大量吸附使得照射光的波长发生变化的异物,过滤器的污染度低。与此相反,当反射光中的与照射光的具有450nm带宽的光的光量相比,具有550nm的波长带宽的光的光量占优势时,能够确定过滤器大量吸附了使得照射光的波长变换为长波长的异物,过滤器的污染度高。
并且,在家庭中使用的空气清洁器、汽车上使用的空气过滤器等,通过吸附灰尘来过滤空气。灰尘被吸附在过滤器的表面,通常呈现灰色等无彩色。如同通过向白色表面照射光而被反射的反射光与照射光的波长带宽没有较大的差异,通过向吸附了无彩色的灰尘的过滤器照射的光被反射而形成的反射光的波长带宽相比照射光的波长带宽没有太大的变化,因此,利用色彩传感器测量过滤器的污染度较困难。
但是,随着吸附于过滤器的无彩色的异物的量增加,使得照射光反射的反射面变为灰色,照射光被异物吸光,使得反射光的光量相比照射光的光量少。由此,利用照度传感器检测反射光的光量,并对比发光部提供的照射光的光量与反射光的光量,即能够以较高的分辨率检测在过滤器表面以无彩色吸附的异物的量,能够更加精密地演算过滤器的污染度。
如上述说明,包含在受光部的色彩传感器及照度传感器,相比其他的波长带宽的光,能够以较高的敏感度测量400至600nm波长带宽的光。作为一个实施例,发光部向过滤器照射具有450nm的波长的单色光时,当反射光包含波长变化为500至600nm的长波长带宽的反射光和具有450nm的波长带宽的反射光成分时,过滤器的污染度根据波长变化为长波长带宽的反射光的光量和具有450nm的波长带宽的反射光的光量的比率来不同地演算。根据本实施例的受光部,相比其他波长区域,以较高的敏感度检测400至600nm波长带宽的光,从而,能够精确测量过滤器的污染度。
并且,在利用发光部提供的照射光的光量和反射光的光量的差异,测量过滤器的污染度情况下,发光部提供的光的波长带宽也属于受光部形成的照度传感器能够敏感检测的波长区域带宽,因此,能够以较高的精密度测量过滤器的污染度。
只是,对于利用照度传感器测量反射光的光量的实施例,仅举例说明了吸附异物而形成无彩色的反射面的情况,而在吸附异物使得反射面具有色彩的情况下,也可适用本实施例。作为一个例子,在过滤器的表面吸附有烟雾中的尼古丁及焦油,使过滤器变为深褐色的情况下,姑且不论反射光波长的变化,通过深褐色面反射的反射光的光量相比受光部100照射的光的光量少。由此,污染度演算部可接收由照度传感器检测并提供的数字代码(Lum),与照射光的光量进行比较,来演算过滤器的污染度。
作为演算过滤器的污染程度的实施例,污染度演算部400接收与照度传感器检测提供的反射光的光量相应的数字代码(Lum),并与照射光的光量进行比较,演算过滤器的污染度。并且,污染度演算部400通过从色彩传感器310提供的数字代码(RGB)确定的波长的变化程度和变化的波长的光量,利用既定的查阅表(Look up table)或演算既定的程序化的计算式,可演算过滤器的污染程度。
作为其他实施例中的一例各例子的污染度演算部400求得照射光的波长带宽与反射光的波长带宽的差异值,由此,可计算照射光的波长带宽和反射光波长带宽的变化,作为另外一个例子的污染度演算部300演算照射光的波长带宽和反射光的波长带宽的比率,由此,可计算照射光的波长带宽和反射光波长带宽的变化。并且,作为一个例子的污染度演算部400可通过计算照射光的光量与反射光光量的差异值,求得照射光的光量与反射光光量的差异,作为另一个例子,可通过演算照射光的光量和反射光光量的比率,计算照射光的光量与反射光光量的差异。
污染度演算部400通过如上述求得的照射光与反射光的波长带宽差异或照射光与反射光的变化的波长的比率及照射光与反射光的光量的差异或照射光与反射光的光量比率,利用既定的查阅表,或演算预先程序化的计算式,可演算过滤器的污染程度。
在一个实施例中,可包括在如上述计算的过滤器的污染度超过一定的临界值情况下,向外部发出警告信号的报警部(未图示)。并且,可实现报警部根据过滤器的污染度发出相互不同的警告。
根据本实施例,对比照射光的波长带宽与反射光的波长带宽,对比照射光的光量与反射光的光量,以此掌握在过滤器中的异物的吸附程度。由此,以相互不同的两种方式掌握过滤器中吸附有异物的程度,能够以较高的信任度,掌握过滤器中吸附异物的程度。
以上通过限定的实施例和附图进行了说明,但本发明并不限定于上述说明,本发明所属技术领域的技术人员在本发明的技术思想和保护范围内可进行各种修改及变更。

Claims (14)

1.一种测量过滤器污染的装置,其包括:
发光部,其向吸附异物的过滤器提供具有既定波长的光,
受光部,其吸收从过滤器反射的反射光,将反射光信息转换为数字代码并输出,及
污染度演算部,其对受光部提供的数字代码进行处理,演算过滤器的污染度;
其中,所述污染度演算部利用波长变化程度和光量变化程度演算过滤器的污染度,所述波长变化程度为在过滤器反射的反射光的波长从既定波长发生变化的程度,所述光量变化程度为在过滤器反射的反射光的光量从发光部提供的光的光量发生变化的程度,
所述波长变化程度是所述污染度演算部获得的照射光的波长带宽与反射光的波长带宽之间的差异值或者照射光的波长带宽与反射光的波长带宽的比率值,所述光量变化程度是所述污染度演算部获得的照射光的光量与反射光的光量之间的差异值或者照射光的光量与反射光的光量的比率值。
2.根据权利要求1所述的测量过滤器污染的装置,其特征是,所述测量过滤器污染的装置还包括:
第1透镜,其将发光部提供的光均匀地向过滤器照射;
第2透镜,其聚集从过滤器反射的光,向受光部照射。
3.根据权利要求1所述的测量过滤器污染的装置,其特征是,所述受光部包括:
色彩传感器,其检测红色、绿色及蓝色区域带宽的波长,输出与检测出的各个区域带宽相应的电性信号;及
照度传感器,其检测光量。
4.根据权利要求3所述的测量过滤器污染的装置,其特征是,所述色彩传感器包括:
单元传感器,其分别检测红色、绿色及蓝色波长带宽的光,
放大器,其放大由单元传感器输出的信号,
模拟数字转换器,其将由放大器输出的信号转换成数字代码;
所述照度传感器包括:
光量传感器,其检测吸收的光的光量,
放大器,其放大由光量传感器输出的信号,
模拟数字转换器,其将由放大器输出的信号转换成数字代码。
5.根据权利要求1所述的测量过滤器污染的装置,其特征是,所述发光部提供400至500nm带宽的光。
6.根据权利要求1所述的测量过滤器污染的装置,其特征是,所述受光部对400至600nm波长带宽的光的敏感度高于其他带宽。
7.根据权利要求1所述的测量过滤器污染的装置,其特征是,所述过滤器为高效微粒空气过滤器。
8.一种测量过滤器污染的方法,包括如下步骤:
向过滤器照射光的步骤,
吸收从过滤器反射的光的步骤,
输出与吸收的反射光的光量及反射光的波长带宽相应的数字代码的步骤,
利用数字代码,演算过滤器的污染度的步骤;
其中,演算所述过滤器的污染度的步骤,利用波长变化程度和光量变化程度演算过滤器的污染度,所述波长变化程度为在过滤器反射的反射光的波长从既定波长发生变化的程度,所述光量变化程度为在过滤器反射的反射光的光量从发光部提供的光的光量发生变化的程度,
所述波长变化程度是从演算所述过滤器的污染度的步骤中获得的照射光的波长带宽与反射光的波长带宽之间的差异值或者照射光的波长带宽与反射光的波长带宽的比率值,所述光量变化程度是从演算所述过滤器的污染度的步骤中获得的照射光的光量与反射光的光量之间的差异值或者照射光的光量与反射光的光量的比率值。
9.根据权利要求8所述的测量过滤器污染的方法,其特征是,向所述过滤器照射光的步骤是利用第1透镜,使光源提供的光均匀地向过滤器照射;
吸收从所述过滤器反射的光的步骤是利用第2透镜聚光,并向受光部照射。
10.根据权利要求8所述的测量过滤器污染的方法,其特征是,吸收从所述过滤器反射的光的步骤是利用色彩传感器,检测红色、绿色及蓝色区域带宽的光,输出电性信号;
按波长带宽转换为与其相应的数字代码的步骤是通过模拟数字转换器,将所述电性信号转换为数字代码。
11.根据权利要求8所述的测量过滤器污染的方法,其特征是,吸收从所述过滤器反射的光的步骤是利用光量传感器,检测从过滤器反射的光的光量,输出电性信号;
转换为数字代码的步骤是通过模拟数字转换器,将所述电性信号转换为数字代码。
12.根据权利要求8所述的测量过滤器污染的方法,其特征是,向所述过滤器照射光的步骤是照射400至500nm波长区域带宽的光。
13.根据权利要求8所述的测量过滤器污染的方法,其特征是,吸收从所述过滤器反射的光的步骤是利用具有对400至600nm波长区域带宽的光的敏感度高于对其他波长领区带宽的敏感度的传感器。
14.根据权利要求8所述的测量过滤器污染的方法,其特征是,所述过滤器为高效微粒空气过滤器。
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