CN105461193A - 显示器用玻璃基板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可抑制片玻璃的条痕的显示器用玻璃基板的制造方法。本发明是一种显示器用玻璃基板的制造方法，其具备：成形步骤，使熔融玻璃沿成形体的两侧面流下之后，在成形体的下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；冷却步骤，将所成形的玻璃板一面向下方搬送一面冷却；及检测步骤，检测在已冷却的玻璃板的表面产生的凸部的玻璃板宽度方向位置。在板厚偏差高于基准值的情况下，通过降低检测出凸部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度而进行调整，以使由凸部导致的板厚偏差成为基准值以下。

Description

显示器用玻璃基板的制造方法

技术领域

本发明涉及一种显示器用玻璃基板的制造方法。

背景技术

为制造用于液晶显示器或等离子体显示器等平板显示器的玻璃基板(以下，称为“显示器用玻璃基板”)，有时使用溢流下拉法。溢流下拉法包含：通过在成形炉中使熔融玻璃自成形体的上部溢出(溢流)而在成形体的下方成形板状的片玻璃的步骤；及使片玻璃在缓冷炉中缓冷的冷却步骤。在缓冷炉中，将片玻璃引入至成对的辊间，一面利用辊向下方搬送片玻璃一面将片玻璃延展至所需的厚度之后，使片玻璃缓冷。此后，将片玻璃切断成特定的尺寸而形成玻璃板。

沿成形体的侧面流下的熔融玻璃在离开成形体的同时，通过表面张力而向片玻璃的宽度方向收缩。专利文献1中揭示有一种方法，即在成形体与成形体下方的拉伸辊之间，在片玻璃的宽度方向的边缘部附近使用与片玻璃隔开而设置的冷却单元来调整片玻璃的边缘部的温度，从而控制片玻璃的收缩。其后，收缩得以抑制的片玻璃通过缓冷空间而成形。在该缓冷空间中，以使环境温度成为所需的温度分布(不会使玻璃板产生应变的温度分布)的方式进行控制而抑制玻璃板的板厚偏差、翘曲、应变。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开平5-124827号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

近年来，对液晶显示装置用玻璃基板所要求的规格(品质)变得严格。对于玻璃基板的表面要求较高的平坦性，为满足要求规格，特别是必须抑制由陡峭的凹或凸所致的条痕(或局部性的板厚偏差)的产生。该条痕是在特定的宽度上玻璃板的厚度(高度)变动所成的凹凸，且是供给至成形体的熔融玻璃中所含的异质材料延展而产生，或是在熔融玻璃沿成形体流下时，因由气流引起的温度变化而产生，在玻璃板的搬送方向上呈条纹状连续地产生。

因此，本发明的目的在于提供一种可抑制片玻璃的条痕的玻璃基板的制造方法。

[解决问题的技术手段]

本发明的一态样的特征在于，其是一种显示器用玻璃基板的制造方法，且包括：

成形步骤，使从在下部具有尖端的剖面楔状的成形体的上部溢流的熔融玻璃沿两侧面流下之后，在所述成形体的下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；

冷却步骤，将所成形的玻璃板一面向下方搬送一面冷却；及

检测步骤，检测在已冷却的玻璃板的表面上产生的凸部的玻璃板宽度方向位置，并且检测由所述凸部所致的玻璃板的板厚偏差；且

在所述板厚偏差高于基准值的情况下，

对所述玻璃板在高于软化点的温度区域，通过使检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度降低来进行调整，以使由所述凸部所致的板厚偏差成为所述基准值以下。

此处，“基准值”是指根据对玻璃板要求的规格而任意决定的值。基准值可设为例如0.06μm。

在所述冷却步骤中，优选通过抑制检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而降低粘度。

在所述冷却步骤中，优选通过在检测出所述凸部的宽度方向位置配置保温材而抑制玻璃板的冷却。

优选在所述玻璃板的粘度处于10^7.5～10^9.67泊(poise)的范围的区域，降低检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度。

优选在所述检测步骤中，检测在已冷却的玻璃板的表面上产生的凹部的玻璃板宽度方向位置，并且检测由所述凹部及所述凸部所致的玻璃板的板厚偏差，且

在所述板厚偏差高于基准值的情况下，

对所述玻璃板在高于软化点的温度区域，通过使检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度提高来进行调整，以使由所述凹部及所述凸部所致的板厚偏差成为所述基准值以下。

优选在所述熔融玻璃的合流部，通过促进检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而提高粘度。

优选在所述熔融玻璃的合流部，使促进玻璃板的冷却的冷却材接近于检测出所述凹部的宽度方向位置。

优选在所述玻璃板的粘度处于10^5.7～10^7.5泊的范围的区域，提高检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度。

本发明的二态样的特征在于，其是显示器用玻璃基板的制造方法，且包括：

成形步骤，使从在下部具有尖端的剖面楔状的成形体的上部溢流的熔融玻璃沿两侧面流下之后，在所述成形体的下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；

冷却步骤，在通过设置在所述成形体的下方的间隔板而与进行所述成形步骤的空间隔开的空间，将所成形的玻璃板一面向下方搬送一面冷却；及

检测步骤，检测在已冷却的玻璃板的表面上产生的凹部及凸部的玻璃板宽度方向位置，并且检测由所述凹部及凸部所致的玻璃板的板厚偏差；且

在所述板厚偏差高于基准值的情况下，通过以如下方式进行调整以使所述凹部及凸部的板厚偏差成为所述基准值以下，即

在所述成形步骤中，通过促进检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而提高粘度，并且

在所述冷却步骤中，通过抑制检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而降低粘度。

[发明的效果]

根据所述形态的玻璃板的制造方法及玻璃板的制造装置，对玻璃板在高于软化点的温度区域，通过使检测出凹部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度提高，并且使检测出凸部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度降低来进行调整，以使由凹部及凸部导致的板厚偏差成为基准值以下，故而可抑制玻璃板条痕。

附图说明

图1是表示本实施方式的制造方法的流程的图。

图2是玻璃基板的制造装置的概略图。

图3是成形装置的概略图。

图4是图3的IV-IV箭视剖视图。

图5是表示片玻璃与保温材的位置关系的图。

图6是表示片玻璃与保温材的位置关系的图。

图7是表示片玻璃与冷却材的位置关系的图。

具体实施方式

以下，对本发明的玻璃基板的制造方法进行说明。

(玻璃基板的制造方法的整体概要)

图1是表示本实施方式的玻璃基板的制造方法的步骤的一例的图。玻璃基板的制造方法主要包含熔解步骤(ST1)、澄清步骤(ST2)、均质化步骤(ST3)、供给步骤(ST4)、成形步骤(ST5)、缓冷步骤(ST6)、及切断步骤(ST7)。此外，也可包含磨削步骤、研磨步骤、清洗步骤、检查步骤、及捆包步骤等。所制造的玻璃基板根据需要而在捆包步骤中积层，并搬送至收货方的业者。

在熔解步骤(ST1)中，通过对玻璃原料进行加热而制作熔融玻璃。

在澄清步骤(ST2)中，通过使熔融玻璃升温而产生包含熔融玻璃中所含的氧气、CO₂或SO₂的气泡。该气泡吸收通过熔融玻璃中所含的澄清剂(氧化锡等)的还原反应产生的氧气而成长，并上浮至熔融玻璃的液面而释放出。其后，在澄清步骤中，通过使熔融玻璃的温度降低，而使利用澄清剂的还原反应而获得的还原物质进行氧化反应。由此，残存在熔融玻璃中的气泡中的氧气等气体成分被再次吸收至熔融玻璃中而气泡消失。

在均质化步骤(ST3)中，通过使用搅拌器搅拌熔融玻璃而进行玻璃成分的均质化。由此，可降低成为条痕等的原因的玻璃的组成不均。均质化步骤是在下述的搅拌槽中进行。

在供给步骤(ST4)中，将经搅拌的熔融玻璃供给至成形装置。

成形步骤(ST5)及缓冷步骤(ST6)是在成形装置中进行。

在成形步骤(ST5)中，将熔融玻璃成形为片玻璃并形成片玻璃流。在成形中使用溢流下拉法。

在缓冷步骤(ST6)中，以使成形且流动的片玻璃成为所需的厚度，且不产生内部应力的方式，进而以不产生翘曲的方式冷却。

在切断步骤(ST7)中，将缓冷后的片玻璃切断成特定的长度，由此获得板状的玻璃基板。将经切断的玻璃基板进而切断成特定的尺寸而制作目标尺寸的玻璃基板。

图2是进行本实施方式的熔解步骤(ST1)～切断步骤(ST7)的玻璃基板的制造装置的概略图。如图2所示，玻璃基板的制造装置主要具有熔解装置100、成形装置200、及切断装置300。熔解装置100具有熔解槽101、澄清管102、搅拌槽103、移送管104、105、及玻璃供给管106。

在图2所示的熔解槽101中设置有未图示的燃烧器等加热器件。向熔解槽中投入添加有澄清剂的玻璃原料而进行熔解步骤(ST1)。在熔解槽101中熔融的熔融玻璃经由移送管104而供给至澄清管102。

在澄清管102中，调整熔融玻璃MG的温度而利用澄清剂的氧化还原反应来进行熔融玻璃的澄清步骤(ST2)。澄清后的熔融玻璃经由移送管105而供给至搅拌槽103。

在搅拌槽103中，利用搅拌棒110搅拌熔融玻璃而进行均质化步骤(ST3)。将在搅拌槽103中得以均质化的熔融玻璃经由玻璃供给管106而供给至成形装置200(供给步骤ST4)。

在成形装置200中，利用溢流下拉法而自熔融玻璃成形片玻璃SG(成形步骤ST5)，且进行缓冷(缓冷步骤ST6)。

在切断装置300中，形成自片玻璃SG切下的板状的玻璃基板(切断步骤ST7)。

(成形装置)

其次，对本实施方式的成形装置200进行说明。图3是表示成形装置200的概略图，图4是图3的IV-IV箭视剖视图。

成形装置200的炉壁是由形成有氧化被膜的SiC构件、耐火砖、耐火隔热砖、纤维系隔热材料等耐火物、及不锈钢等金属的组合而形成。如图3、图4所示，成形装置200的内部空间划分为成形炉201、及成形炉201下部的缓冷炉202。在成形炉201中进行成形步骤(ST5)，且在缓冷炉202中进行缓冷步骤(ST6)。

成形炉201通过环境分隔构件260(0)划分为上部成形炉201A与下部成形炉201B。

在上部成形炉201A中设置有成形体210及多个冷却材220。

对成形体210通过图2所示的玻璃供给管106而自熔解装置100供给熔融玻璃。

成形体210是由耐火砖等构成的细长的构造体，如图4所示剖面形成楔形状。在成形体210的上部设置有成为引导熔融玻璃MG的流路的槽212。槽212与第3配管106连接，通过第3配管106流动而来的熔融玻璃MG沿槽212流动。槽212的深度越靠近熔融玻璃MG的玻璃流的下游则变得越浅，因此在槽212中流动的熔融玻璃MG慢慢自槽212溢出，并沿成形体210的两侧的侧壁流下，在成形体210的下方端部213合流、融合并向铅垂下方流下。由此，在成形装置200内形成自成形体210朝铅垂下方的片玻璃SG。

此外，成形体210的下方端部213的正下方的片玻璃SG的温度是相当于10^5.7～10^7.5泊(poise)的粘度的温度，例如为1000～1130℃。

如图3及图4所示，多个冷却材220设置在成形体210下部的与熔融玻璃MG合流而形成片玻璃SG的部分相同高度的位置。各冷却材220是在与片玻璃SG的宽度方向垂直的方向上延伸的棒状的构件，且并列配置在片玻璃SG的宽度方向上。各冷却材220以可通过利用未图示的移动机构在与片玻璃SG的宽度方向垂直的方向移动而调整与片玻璃SG的距离的方式，安装在上部成形炉201A的壁面。

冷却材220通过屏蔽来自设置在上部成形炉201A内的未图示的加热器的辐射热而局部地抑制片玻璃SG的加热量。此外，来自片玻璃SG的辐射热被冷却材220吸收，由此促进片玻璃SG的局部冷却。

构成与冷却材220相同高度的位置上的片玻璃SG的玻璃的粘度优选处于10^5.7～10^7.5泊的范围。

另外，冷却材220可仅设置在片玻璃SG的一面侧，也可设置在两侧。

冷却材220包含耐热性、耐侵蚀性优异、且热导率高于上部成形炉201A内的环境的材料(例如耐火砖、氧化铝、铂或铂合金等耐火物)。可通过调整冷却材220与片玻璃SG的距离而局部地促进来自片玻璃SG的宽度方向的任意位置的散热。

各冷却材220的形状、位置及冷却材220的数量可根据通过下述的检测装置290检测出的凹部及凸部的位置、凹部的自基准面的凹下量、及凸部的自基准面的突出量而适当变更。

此处，“基准面”是指在通过后述的光学式的表面检查装置测量片玻璃SG的板厚偏差时，以板厚偏差成为特定基准值的范围内的平坦区域为基准的面。以平坦区域为基准的面例如既可为平坦区域的平均面，也可为穿过平坦区域上的突出量为基准值以下的凸部或凹陷量为基准值以下的凹部且与平均面平行的面。

另外，“基准值”是指根据对玻璃板要求的规格而任意决定的值。基准值可设为例如0.06μm。

环境分隔构件260(0)设置在成形体210的下方端部213的下方附近，将成形炉201的内部空间划分为上部成形炉201A与下部成形炉201B。环境分隔构件260(0)是一对板状的隔热材料，以自厚度方向(图中X方向)的两侧隔着片玻璃SG的方式设置在片玻璃SG的厚度方向的两侧。在片玻璃SG与环境分隔构件260(0)之间，以不使环境分隔构件260(0)与片玻璃SG接触的程度设置有间隙。环境分隔构件260(0)将成形装置200的内部空间分隔开，由此阻断环境分隔构件260(0)的上方的成形炉201与下方的缓冷炉202之间的热移动。

在下部成形炉201B中设置有一对冷却辊230与冷却装置240。

冷却辊230及冷却装置240设置在环境分隔构件260(0)的下方。

如图3、图4所示，一对冷却辊230以自厚度方向的两侧隔着片玻璃SG的方式设置在片玻璃SG的厚度方向的两侧。冷却辊230对片玻璃SG的宽度方向两端部以降低至相当于约10^9.0泊以上的粘度的温度(例如900℃)以下的方式进行冷却。冷却辊230为中空，通过对内部供给冷却介质(例如空气等)而急冷。冷却辊230的直径小于下述的搬送构件2501、2502、...、250n，向炉内的插入长度也较短，此外进行急冷，因此产生变形(偏芯)的担心较少。

冷却装置240包含多个冷却单元(端部冷却单元241及中央冷却单元242)，对片玻璃SG进行冷却。

端部冷却单元241对片玻璃SG的宽度方向两端部以降低至相当于10^14.5泊以上的粘度的温度的方式进行冷却。

如图4所示，中央冷却单元242具备例如空冷管或水冷管等冷却管244，将片玻璃SG的宽度方向的中央部自高于软化点的温度冷却至缓冷点附近为止。此处，所谓片玻璃SG的中央部是指除在片玻璃成形后切断的对象以外的区域，且是以使片玻璃SG的板厚成为均匀的方式制造的区域。

中央冷却单元242将自成形体210的下端213离开的片玻璃SG急冷至软化点附近为止，其后，将片玻璃SG自软化点附近缓慢地冷却至缓冷点附近为止。例如，中央冷却单元242在流动方向上划分为多个，对片玻璃SG的流动方向的冷却速度进行调整。

本实施方式中，如图3、图4所示，在片玻璃SG的宽度方向的任意位置上，在片玻璃SG与冷却管244之间配置有保温材243。

保温材243包含耐热性、耐侵蚀性优异、且热导率低于上部成形炉201A内的环境的材料(例如耐火隔热砖、纤维系隔热材料等隔热材料)。通过将保温材243设置在片玻璃SG的宽度方向的任意位置上，可局部地抑制片玻璃SG的自宽度方向的任意位置的散热。

构成与保温材243相同高度的位置上的片玻璃SG的玻璃的粘度优选处于10^7.5～10^9.67泊的范围。

关于片玻璃SG的宽度方向上的设置保温材243的位置将在下文叙述。

保温材243的形状及保温材243的数量可根据通过下述的检测装置290检测出的凹部及凸部的位置、凹部的自基准面的凹下量及凸部的自基准面的突出量而适当变更。

缓冷炉202具有壁203。壁203划分缓冷炉202的供搬送片玻璃SG的炉内与外部空间的炉外。在缓冷炉202中设置有多个搬送构件250(1)、250(2)、...、250(n)、多个温度调整装置270(1)、270(2)、270(n)、及多个间隔板260(1)、260(2)、...、260(n)。

缓冷炉202通过间隔板260(1)而与下部成形炉201B间隔开，缓冷炉202的内部空间通过除间隔板260(1)以外的多个间隔板2022、...、202n而在高度方向上间隔成多个空间。在通过多个间隔板260(1)、260(2)、...、260(n)间隔的各空间中分别设置有搬送构件250(1)、250(2)、...、250(n)、及多个温度调整装置270(1)、270(2)、270(n)。具体而言，在通过间隔板260(1)及间隔板260(2)间隔的空间中设置有搬送构件250(1)及温度调整装置270(1)，在通过间隔板260(2)及未图示的间隔板260(3)间隔的空间中设置有搬送构件250(2)及温度调整装置270(2)。

间隔板260(3)与间隔板202n之间也通过未图示的间隔板260(4)～260(n－1)而间隔开，在被间隔开的各空间中同样地设置有其他未图示的搬送构件250(4)～250(n－1)及温度调整装置270(4)～270(n－1)。另外，最下部的搬送构件250n及温度调整装置270n设置在最下部的间隔板260(n)下部的空间中。

各搬送构件250(1)、250(2)、...、250(n)具备：一对旋转轴，其等设置在片玻璃SG的厚度方向的两侧，在炉壁的外部通过未图示的轴承悬臂支撑；及一对搬送辊，其等安装在各旋转轴的前端。各温度调整装置270(1)、270(2)、...、270(n)包含设置在片玻璃SG的厚度方向的两侧的一对加热器。各加热器在片玻璃SG的宽度方向上具备多个热源，能够分别调整加热量。多个热源例如是铬系发热线等。

在下部成形炉201B及缓冷炉202中，通过所述冷却辊230、冷却装置240及温度调整装置270(1)、270(2)、...、270(n)，以使片玻璃SG具有与预先设计的温度分布对应的温度分布的方式进行冷却。

在粘性区域中，以例如使片玻璃SG的宽度方向的端部的温度低于中央区域的温度，且使中央区域的温度成为均匀的温度分布(第1分布)的方式设计。由此，可一面抑制宽度方向的收缩，一面使片玻璃SG的板厚均匀。

在粘弹性区域，以例如使片玻璃SG的温度自中央部向端部在宽度方向上渐减的温度分布(第2分布)的方式设计。

在玻璃应变点附近的温度区域，以使片玻璃SG的宽度方向的端部的温度与中央部的温度成为大致均匀的温度分布的方式设计。

以按照所述设计的温度分布的方式来管理片玻璃SG的温度，由此可降低片玻璃SG的翘曲及应变(残留应力)。另外，片玻璃SG的中央区域是包含使板厚均匀的对象的部分的区域，片玻璃SG的端部是包含制造后切断的对象的部分的区域。

在缓冷炉202的下部设置有检测装置290。检测装置290例如是光学式的表面检查装置，其检测自缓冷炉202的下部搬出的片玻璃SG的表面上所产生的凹部及凸部的宽度方向的位置、凹部的自基准面的凹下量及凸部的自基准面的突出量、以及由该凹部及凸部导致的板厚偏差。另外，该凹部及凸部是片玻璃SG的厚度(高度)变动所成者，在片玻璃SG的搬送方向上呈条纹状连续地产生。在片玻璃SG的表面产生凹部及凸部的原因在于，供给至成形体210的熔融玻璃中所含的异质材料延展，或在自成形体下降的片玻璃产生由气流引起的温度变化。

本实施方式中，在通过检测装置290检测出的板厚偏差超出特定的基准值的情况下，使用冷却材220及保温材243进行调整，以使板厚偏差成为所述基准值以下。以使形成有凹部或凸部的凹凸形状变得平缓的方式进行调整，由此可防止显示器面板产生显示不均。

具体而言，在通过检测装置290检测出的板厚偏差超出特定的基准值的情况下，在通过检测装置290检测出凹部的情况下，在熔融玻璃的合流部，使冷却材220接近于片玻璃SG的检测出凹部的宽度方向位置，从而局部地促进自片玻璃SG的散热。由此，片玻璃SG的检测出凹部的宽度方向位置的部分被局部地冷却，该部分的玻璃的粘性局部性地增加。其后，当进行片玻璃SG的延展时，片玻璃SG的经局部地冷却的部分难以伸展，从而厚度难以变薄。

此时的冷却材220与片玻璃SG的距离是根据检测出的凹部的自基准面的凹下量而调节。

另一方面，在通过检测装置290检测的板厚偏差超出特定的基准值的情况下，在通过检测装置290检测出凸部的情况下，如图5所示，在冷却步骤中，通过将保温材243配置在片玻璃SG的检测出凸部C的宽度方向的位置而局部地抑制片玻璃SG的冷却。由此，片玻璃SG的检测出凸部C的宽度方向位置的部分的温度相对地高于周围，从而该部分的玻璃的粘性相对地低于周围。其后，当进行片玻璃SG的延展时，片玻璃SG的经局部保温的部分容易伸展，从而厚度容易变薄。

此时的保温材243的厚度或材质、保温材243与片玻璃SG的距离是根据检测出的凸部的自基准面的突出量而调节。

另外，如图6所示，也可为越向检测出凸部C的宽度方向位置的中央部则使保温材243与片玻璃SG的距离越短，且越向检测出凸部C的宽度方向位置的两端部则使保温材243与片玻璃SG的距离越长。

此外，如图7所示，也可自冷却材220局部地对检测出凸部C的宽度方向位置的突出量较中央部小的两端部进行冷却。该情况下，检测出凸部C的宽度方向位置的两端部的片玻璃SG难以伸展，在检测出凸部C的宽度方向位置的两端部形成有突出量较凸部C小的凸部C1、C2(图7中以一点链线表示)。由此，可使凸部C的宽度方向位置的两端部的突形状平缓。

于在片玻璃SG的宽度方向的位置上检测出陡峭的凹部(宽度狭窄的凹部)的情况下，当通过冷却材220抑制凹部的产生时，其后进行延展的结果，抑制凹部的产生的位置的周围进一步延展而变薄，抑制凹部的产生的位置相对变厚，从而有可能作为宽度稍宽的凸部而被检测出。该情况下，也可通过进而将保温材243配置在检测出该凸部的宽度方向的位置而抑制片玻璃SG的凸部的产生，由此以使板厚偏差成为所述基准值以下的方式进行微调整。

反之，于在片玻璃SG的宽度方向的位置检测出陡峭的凸部(宽度狭窄的凸部)的情况下，当通过保温材243抑制凸部的产生时，其后进行延展的结果，抑制凸部的产生的位置较周围延展而变薄，有可能作为宽度稍宽的凹部而被检测出。该情况下，也可通过进而将冷却材220配置在检测出该凹部的宽度方向的位置而抑制片玻璃SG的凹部的产生，由此以使板厚偏差成为所述基准值以下的方式进行微调整。

如以上所说明，根据本实施方式，在板厚偏差高于基准值的情况下，在熔融玻璃的合流部，通过使冷却材接近于检测出凹部的宽度方向位置来将片玻璃SG冷却而提高玻璃的粘度，在检测出凹部的宽度方向位置上难以使片玻璃SG局部延展，从而厚度难以变薄，因此可抑制凹部的残存。另一方面，通过将保温材243配置在检测出凸部的宽度方向位置而抑制片玻璃SG的冷却，从而使粘度相对降低，在检测出凸部的宽度方向位置上容易使片玻璃SG延展，从而厚度容易变薄，因此可抑制凸部的残存。因此，能以使由凹部及凸部导致的板厚偏差成为基准值以下的方式进行调整。

以上，对本发明的玻璃基板的制造方法详细地进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，当然也可在不脱离本发明的要旨的范围进行各种改良或变更。

例如，本实施方式中，也可在上部成形炉201A内，在片玻璃SG的宽度方向上配置多个缠绕有线圈的包含磁性体的管(磁性管)，通过在线圈中流动交流电流而使涡电流流过磁性管，利用由涡电流所产生的焦耳热使磁性管发热来局部地加热片玻璃SG。该情况下，在不对磁性管供给电流时，可将磁性管作为本实施方式的冷却材220而使用。

所述实施方式中，对自片玻璃SG的两表面使用冷却材220促进冷却的凸部调整、及使用保温材243抑制冷却的凹部调整的情况进行了说明，但本发明并不限定于此。例如，于仅在片玻璃SG的一面检测出凹部或凸部的情况下，也可仅在片玻璃的一面进行凹部及凸部的调整。此外，即便在自片玻璃SG的两表面检测出凹部及凸部的情况下，也可先在凹部的自基准面的凹下量及凸部的自基准面的突出量较大侧的面进行凹部及凸部的调整，在即便如此板厚偏差仍未成为基准值以下的情况下，也可在相反侧的面进行凹部及凸部的调整。

对通过本实施方式的玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板，使用应变点或缓冷点较高且具有良好的尺寸稳定性的无碱碎纹铝硅酸盐玻璃或含有微量碱的玻璃。

应用本实施方式的玻璃基板包含例如含有以下组成的无碱玻璃。

SiO₂：56～65质量％

Al₂O₃：15～19质量％

B₂O₃：8～13质量％

MgO：1～3质量％

CaO：4～7质量％

SrO：1～4质量％

BaO：0～2质量％

Na₂O：0～1质量％

K₂O：0～1质量％

As₂O₃：0～1质量％

Sb₂O₃：0～1质量％

SnO₂：0～1质量％

Fe₂O₃：0～1质量％

ZrO₂：0～1质量％

通过本实施方式的制造方法所制造的玻璃基板适宜应用在例如液晶显示器用玻璃基板、有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器用玻璃基板等平板显示器用玻璃基板、罩玻璃。此外，也可用作移动终端设备等的显示器或框体用的罩玻璃、触摸面板、太阳能电池的玻璃基板或罩玻璃。

尤其适宜于使用有多晶硅TFT(thin-filmtransistor，薄膜晶体管)的液晶显示器用玻璃基板、使用有IGZO(铟、镓、锌、氧)等氧化物半导体的氧化物半导体显示器用玻璃基板、及使用有LTPS(LowTemperaturePoly-Silicon，低温多晶硅)半导体的LTPS显示器用玻璃基板。

[符号的说明]

100熔解装置

101熔解槽

102澄清槽

103攪拌槽

104、105移送管

106玻璃供给管

200成形装置

201成形炉

202缓冷炉

210成形体

212槽

213下方端部

220冷却材

230冷却辊

240冷却装置

241端部冷却单元

242中央冷却单元

243保温材

244冷却管

250(1)、250(2)、...、250(n)搬送构件

260(0)环境分隔构件

260(1)、260(2)、...、260(n)间隔材

270(1)、270(2)，270(n)温度调整装置

290检测装置

300切断装置

Claims (9)

1.一种显示器用玻璃基板的制造方法，包括：

成形步骤，使从在下部具有尖端的剖面楔状的成形体的上部溢流的熔融玻璃沿两侧面流下之后，在所述成形体的下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；

冷却步骤，将所成形的玻璃板一面向下方搬送一面冷却；及

检测步骤，检测在已冷却的玻璃板的表面上产生的凸部的玻璃板宽度方向位置，并且检测由所述凸部所致的玻璃板的板厚偏差；且

在所述板厚偏差高于基准值的情况下，通过使检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度降低来进行调整，以使由所述凸部所致的板厚偏差成为所述基准值以下。

2.根据权利要求1所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其中在所述冷却步骤中，通过抑制检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而降低粘度。

3.根据权利要求2所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其中在所述冷却步骤中，通过在检测出所述凸部的宽度方向位置配置保温材而抑制玻璃板的冷却。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其中在所述玻璃板的粘度处于10^7.5～10^9.67泊(poise)的范围的区域，降低检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其中在所述检测步骤中，检测在已冷却的玻璃板的表面上产生的凹部的玻璃板宽度方向位置，并且检测由所述凹部及所述凸部所致的玻璃板的板厚偏差，且

在所述板厚偏差高于基准值的情况下，

对所述玻璃板在高于软化点的温度区域，通过使检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度提高来进行调整，以使由所述凹部及所述凸部所致的板厚偏差成为所述基准值以下。

6.根据权利要求5所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其中在所述熔融玻璃的合流部，通过促进检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而提高粘度。

7.根据权利要求6所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其中在所述熔融玻璃的合流部，使促进玻璃板的冷却的冷却材接近于检测出所述凹部的宽度方向位置。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的显示器用玻璃基板的制造方法，其中在所述玻璃板的粘度处于10^5.7～10^7.5泊的范围的区域，提高检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的粘度。

9.一种显示器用玻璃基板的制造方法，包括：

成形步骤，使从在下部具有尖端的剖面楔状的成形体的上部溢流的熔融玻璃沿两侧面流下之后，在所述成形体的下方使熔融玻璃合流而成形玻璃板；

冷却步骤，在通过设置在所述成形体的下方的间隔板而与进行所述成形步骤的空间隔开的空间，将所成形的玻璃板一面向下方搬送一面冷却；及

检测步骤，检测在已冷却的玻璃板的表面上产生的凹部及凸部的玻璃板宽度方向位置，并且检测由所述凹部及凸部所致的玻璃板的板厚偏差；且

在所述板厚偏差高于基准值的情况下，通过以如下方式进行调整以使所述凹部及凸部的板厚偏差成为所述基准值以下，即

在所述成形步骤中，通过促进检测出所述凹部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而提高粘度，并且

在所述冷却步骤中，通过抑制检测出所述凸部的宽度方向位置上的玻璃板的冷却而降低粘度。