CN105409106A - 高电压电源装置及利用该装置的质量分析装置 - Google Patents

Abstract

在求出基于对高电压的输出电压Vout进行分压而得到的电压与从外部设定的控制电压Vcont之差的指示电压Vf，并反馈控制于正电压产生部(2)及负电压产生部(4)的驱动电路(3、5)中的循环中，连接有以基于控制电压Vcont的电压值来对指示电压Vf进行钳位的过大过冲防止部(16)。在极性切换时，电压产生部(2、4)中产生的过冲主要取决于电路常数，过冲量在额定输出时即使为最适，在小电压输出时也会为过大。对此，在该装置中，指示电压Vf的过冲被过大过冲防止部抑制，因此在小电压输出时也能够迅速地静定于目标电压。

Description

高电压电源装置及利用该装置的质量分析装置

技术领域

本发明涉及可切换输出电压的正负极性的高电压电源装置、以及利用该电源装置的质量分析装置。

背景技术

质量分析装置中，为了以高灵敏度检测离子，常常利用将转换倍增电极(Conversiondynode)与二次电子倍增管组合而成的离子检测器。这样的检测器中，为了选择性地检测正离子与负离子，需要对转换倍增电极施加与作为分析对象的离子相反极性的高电压(例如±几[kV]～±10[kV]左右)。又，液体色谱质量分析装置中，为了一边使液体试样汽化一边进行离子化，使用例如基于电喷射离子化(ESI)的离子源，但在这样的离子源中，需要将与作为分析对象的离子相同极性的高电压(例如±几[kV]左右)施加到喷洒液体试样的喷嘴的顶端。

这些用途中，需要改变根据作为分析对象的离子的极性而施加的高电压的极性，使用可切换一系统的输出电压的极性的高电压电源装置。在这样的高电压电源装置中，为了切换极性不同的高电压，过去，已知有利用了高耐压的磁簧继电器的装置(例如参照专利文献1等)。

这样的利用了磁簧继电器的构成的高电压电源装置中，切换输出电压的极性时，为了避免尖峰状的放电产生而破环继电器，需要采取如下的步骤：首先使一方的极性的输出电压降低，在其变为足够小的阶段使继电器动作并切换接点，其后使另一方的极性的输出电压上升。因此，极性的切换上会花费时间，例如在质量分析装置中每短时间交互地切换并进行正离子与负离子的检测的情况下，存在离子非检测期间变长，对准确的分析造成阻碍的问题。

对于这样的问题，专利文献2中，公开了能够以高速进行输出电压的极性切换的高电压电源装置。图5是该高电压电源装置的主要部分的电路构成图，图6是示出该高电压电源装置中的极性切换时的电压变化的波形图。通过图5及图6，概略地说明该高电压电源装置的构成及动作。

图5中示出的高电压电源装置中，正电压产生部2包含：升压变压器T1；对升压变压器T1的一次绕组进行驱动的驱动电路3；以及与升压变压器T1的二次绕组连接的、基于由四个电容器C1～C4及四个二极管D1～D4组成的Cockcroft-Walton电路而成的整流电路。负电压产生部4除了Cockcroft-Walton电路中的各二极管D5～D8的朝向与正电压产生部2相反这点以外，基本构成与正电压产生部2相同。

正电压产生部2的输出端P2与负电压产生部4的输出端Q1连接，负电压产生部4的另一输出端Q2接地。在正电压产生部2的输出端P1、P2间并联有电阻器6，在负电压产生部4的输出端Q1、Q2间并联有另一电阻器7，从正电压产生部2的输出端P1输出极性已被切换的高电压Vout。在该高电压输出端与地之间串联有电阻器8及电阻器9，电压信号从电阻器8、9的连接点被反馈到控制部1。

驱动电路3、5分别包含与升压变压器T1的一次绕组串联的直流电压源及开关元件，从其直流电压源向一次绕组施加的电压(或供给的电流)根据开关元件而时断时续。对该开关元件进行开/关驱动的方波信号的脉冲宽度基于由控制部1给予的信号而被调整，由此，供给到升压变压器T1的一次绕组的实效的功率产生变化，与之相伴，正电压产生部2及负电压产生部4的输出电压产生变化。

在输出正极性的高电压+HV时，基于未图示的极性切换指示信号，仅正电压产生部2侧的驱动电路3进行动作，负电压产生部4的驱动电路5停止。这时，在高电压输出端出现的电压+HV所对应的电压值被返回到控制部1，因此控制部1中，以将该电压值与目标的控制电压进行比较而使其误差变小的方式调整供给到驱动电路3的信号。由此，将输出电压+HV准确地设定为任意的目标电压。相反地，在输出负极性的高电压时，仅负电压产生部4的驱动电路5进行动作，正电压产生部2的驱动电路3停止。

在从正极性的高电压+HV被输出的状态将其极性切换为负的过渡状态时，控制部1以如下方式控制各驱动电路3、5(参照图6的(A)的(a)、(b))：正电压产生部2的输出从电压+HV变化为零，同时，负电压产生部4的输出从零开始变化并过冲，收敛于电压－HV。像这样，通过使从零开始其绝对值升高的一侧的电压故意地过冲，返回为零的另一方的电压的下降的延迟被补偿，能够使输出电压Vout迅速地到达目标电压。由此，输出电压Vout得以在短时间进行切换。

利用了上述故意的过冲的极性切换时间的缩短在如图6的(A)所示的那样地输出被规定为额定输出的电压时(该例中额定输出电压为±10[kV]，输出电压Vout＝±10[kV]时)非常有效，输出电压Vout平滑地进行切换。可是，由于过冲电压相对于额定输出成为最适当的状态，因此在实际的输出电压小于额定输出电压的情况下，过冲会过大，其结果，输出电压Vout稳定所需要的时间反而会变长。

图6的(B)是额定输出为±10[kV]，输出电压Vout＝±5[kV]的例子，在极性切换时，正输出电压或负输出电压会较大的产生过冲，因此其影响表现于输出电压Vout，极性切换时间与额定输出时相比大幅延长。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第6002600号说明书(参照图1C)

专利文献2：日本专利第4687716号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明是为了解决上述技术问题而做出的，其目的在于，提供一种即使在实际的输出电压与额定输出电压相比较小的情况下，也与额定输出时同样地能够高速地进行输出电压的极性切换的高电压电源装置、及利用了该电源装置的质量分析装置。

用于解决技术问题的手段

为了解决上述技术问题而做出的本发明是一种高电压电源装置，该高电压电源装置为了选择性地输出正负两极性的高电压，具备：产生正的高电压的正电压产生部；产生负的高电压的负电压产生部；被连接于所述正电压产生部的一对输出端之间的第一负载部；以及被连接于所述负电压产生部的一对输出端之间的第二负载部，该高电压电源装置通过将所述正电压产生部的一对输出端的一方与所述负电压产生部的一对输出端的一方连接来串联连接两电压产生部，以所述正电压产生部的一对输出端的另一方与所述负电压产生部的一对输出端的另一方中的任一个为基准侧，从该另一方取出极性被切换后的高电压输出，所述高电压电源装置的特征在于，包括：

a)控制部，其根据基于检测电压的反馈控制，分别控制所述正电压产生部及所述负电压产生部中产生的电压，其中，所述检测电压是通过对所述高电压输出进行分压而得到的电压，并且，所述控制部在对所述高电压输出的正负极性进行切换时，将指示电压以如下方式发送到各电压产生部：所述正电压产生部与所述负电压产生部的一方的输出电压从第一规定电压开始变化并变为0，同时，另一方的输出电压从0开始变化产生过冲并收敛于第二规定电压；以及

b)电压限制部，其被设置于所述控制部与所述正电压产生部及所述负电压产生部之间，为了抑制所述过冲而限制所述指示电压的值。

在此，第一负载部及第二负载部具有将正电压产生部的输出电压与负电压产生部的输出电压在实质上相加的功能，例如，专利文献2所记载的高电压电源装置中，使用单纯的电阻器作为这些负载部。又，本申请的申请人已经申请的国际专利申请(国际申请号码：PCT/JP2012/078595)所记载的高电压电源装置中，例如包含一个或多个的FET而构成的阻抗可变电路、能够供给可变电流的电流源相当于上述负载部。

本发明所涉及的高电压电源装置中，控制部在将高电压输出的极性例如从正极性切换为负极性时，以如下方式输出指示电压：正电压产生部的输出电压从第一规定电压开始变化并变为0，同时负电压产生部的输出电压从0开始变化并过冲，收敛于第二规定电压。正电压产生部的输出电压从第一规定电压开始没有马上变为0，其电压值徐徐下降，至实际上变为0为止需要花费一些时间。另一方面，负电压产生部的输出电压从0开始其绝对值急速地上升并过冲。因此，负电压产生部侧的过冲补偿正电压产生部侧的电压下降的缓慢，通过第一负载部及第二负载部相加的高电压输出急速地变化。

过冲量主要取决于构成电压产生部的电路的常数而确定，因此如果以额定电压输出时成为最适当的过冲量的方式来调整电路常数等的话，在高电压输出低于额定电压时，过冲量相对地会过大。对此，本发明所涉及的高电压电源装置中，在反馈控制的循环中，通过电压限制部来进行电压限制，因此能够回避过冲量变得过大的情况。由此，通过第一负载部及第二负载部而相加的高电压输出中，过大的过冲的影响得以减轻，迅速地静定为所希望的电压。

作为本发明所涉及的高电压电源装置的一方式，可以构成为：

所述控制部包含误差放大器，所述误差放大器为了对想要取出的高电压输出的电压值进行设定而求出从外部指示的控制电压与所述检测电压的差，

所述电压限制部利用与所述误差放大器的输出连接的齐纳二极管，对该输出的电压进行钳位。

更具体来说，设为如下构成即可：电压限制部还包含将所述控制电压与基准电压进行比较的比较器，在所述控制电压低于基准电压时，将基于齐纳二极管的齐纳效应的钳位动作设为有效。

由此，能够以简单的构成，也就是说以低廉的成本，抑制过大的过冲，在高电压输出的极性切换时使电压迅速地静定。

又，本发明所涉及的高电压电源装置中，优选地，设为如下构成即可：

所述电压限制部包含：多个齐纳二极管，其被连接到所述误差放大器的输出，并且该多个齐纳二极管的齐纳电压不同；以及多个比较器，其与各齐纳二极管对应地设置，将所述控制电压与各个不同的基准电压进行比较，

根据所述控制电压的值，改变使钳位动作成为有效的齐纳二极管，由此变更钳位电压。

基于该构成，根据从本装置输出的高电压的值，能够极微细地调整过冲，因此，对于任意的输出电压，在极性切换时可使电压迅速地静定。

上述的本发明所涉及的高电压电源装置虽然可利用于需要将正极性的高电压与负极性的高电压二者择一的各种用途、装置，但特别适合于质量分析装置。

具体来说，在质量分析装置中，在需要根据作为分析对象的离子的极性来切换施加的高电压的极性的离子源、离子检测部等中利用即可。如上所述，本发明所涉及的高电压电源装置中，可高速进行输出电压的极性切换，因此在每个短期间交互地实行正离子检测与负离子检测的情况下，能够缩短正或负的离子都不能检测的非检测期间，从而减轻离子的检测遗漏。

发明效果

根据本发明所涉及的高电压电源装置，即使在实际的输出电压相对于额定输出电压较小的情况下，即，能够不取决于输出电压的值(绝对值)地，高速地进行输出电压的正负极性的切换。由此，例如在利用了本发明所涉及的高电压电源装置的质量分析装置中，缩短正离子检测与负离子检测的交互的切换循环时间，对于正负离子，都能够减少离子的漏过。

附图说明

图1是本发明的一实施例的高电压电源装置的主要部分的概略构成图。

图2是用于说明本实施例的高电压电源装置中的输出电压的极性切换时的动作的波形图。

图3是基于本实施例的高电压电源装置与现有的高电压电源装置中的输出电压的极性切换时的实测而生成的波形图。

图4是利用了本实施例的高电压电源装置的质量分析装置的概略构成图。

图5是现有的高电压电源装置的主要部分的构成图。

图6是用于说明现有的高电压电源装置中的输出电压极性切换时的动作的波形图。

具体实施方式

下面，参照附图，对本发明所涉及的高电压电源装置的一实施例进行说明。图1是本实施例的高电压电源装置的主要部分的概略构成图。图1中，对与图5所示的现有的高电压电源装置同一的或相当的构成要素赋予同一的符号。

本实施例的高电压电源装置中，分别包含驱动电路3、5的正电压产生部2和负电压产生部4、电阻器6、7的串联电路、以及电阻器8、9的串联电路与现有的高电压电源装置完全相同。

如图1所示，接受来自电阻器8、9的连接点的电压信号并对驱动电路3、4进行反馈控制的控制部1包含：含有电阻器10、12、二极管13及运算增幅器11而构成的监视电压检测放大器14；和误差放大器15。

本高电压电源装置的输出电压Vout通过电阻器8、9被分压，并输入到监视电压检测放大器14。例如决定基于电阻器8、9的分压比，从而使输出电压Vout的1/1000的电压被输入到监视电压检测放大器14。因而，例如输出电压Vout为+10[kV]时，+10{V}的电压被输入到监视电压检测放大器14。监视电压检测放大器14中的二极管13仅在运算增幅器11的输出为正时导通，在运算增幅器11的输出为负时该运算增幅器11在实质上没有发挥作用，因此该监视电压检测放大器14输出作为正负极性的输入电压Vmon的绝对值。因而，例如输出电压Vout为±10[kV]时，监视电压检测放大器14的输入电压Vmon为±10[V]，则监视电压检测放大器14的输出电压为+10[V]。

误差放大器15将监视电压检测放大器14的输出电压与从外部指示的控制电压Vcont进行比较并输出基于其差的电压Vf。在此，控制电压Vcont被设定在0～+10[V]的范围内，例如在将输出电压设定为+10[kV]的情况下，控制电压被设定为+10[V]。此外，该实施例的装置的构成中，不取决于输出电压Vout的正负极性的误差放大器15的输出电压Vf被输入到驱动电路3、5，输出电压Vout的极性经由其他的信号线被分别指示到驱动电路3、5，但也可以构成为控制部1中，根据极性切换指示，生成发送到各驱动电路3、5的指示电压。

此外，以上的构成与图5所示的现有的高电压电源装置中的构成基本上相同。因而，如果不设置后述的过大过冲防止部16，则在输出电压Vout与额定输出的±10[kV]相比更低(绝对值更小)的情况下，可产生如图6的(B)所示那样的现象

对此，本实施例的高电压电源装置中，作为特征构成，在误差放大器15的输出端与驱动电路3、5之间连接有过大过冲防止部16。过大过冲防止部16包括：电阻器R0、R1、R2、R3、R4、R5，其分割基准电源电压Vc；比较器COMP1、COMP2、COMP3、COMP4、COMP5，其将基于这些电阻器R0～R5的分压分别作为一方的输入(负输入端子侧输入)，并将控制电压Vcont作为另一方的输入(正输入端子侧输入)；齐纳二极管ZD1、ZD2、ZD3、ZD4、ZD5，其分别连接于这些比较器COMP1～COMP5的输出端与误差放大器15的输出端之间；以及齐纳二极管ZD0，其进而连接于地与误差放大器15的输出端之间。此外，该例中，开路集电极输出型的比较器被使用于比较器COMP1～COMP5。

在此，基准电源电压Vc是+10[V]，各电阻器R0～R5的电阻值以比较器COMP1、COMP2、COMP3、COMP4、COMP5的各负输入端子上的基准电压U1、U2、U3、U4及U5分别为+9.2[V]、+8.2[V]、+7.2[V]、+6.2[V]及+5.2[V]的方式被决定。又，作为齐纳二极管ZD0、ZD1、ZD2、ZD3、ZD4及ZD5，分别使用齐纳电压为22[V]、20[V]、18[V]、16[V]、14[V]及12[V]的齐纳二极管。

参照图2所示的波形图，对主要通过过大过冲防止部16的动作被实现的、本实施例的高电压电源装置中的输出电压切换时的特征动作进行说明。

现在，作为一例，为了将输出电压Vout设为+9[kV]，将控制电压Vcont设定为+9[V]。控制电压Vcont为9[V]时，其低于被给予到比较器COMP1的负输入端子的基准电压U1＝9.2[V]，因此比较器COMP1的输出为“L”电平(约0[V])。这时，被给予到其他的比较器COMP2～COMP5的负输入端子的基准电压U2～U5都低于控制电压Vcont，因此，这些比较器COMP2～COMP5的输出都成为高阻抗。众所周知，齐纳二极管具有如果施加超过齐纳电压的逆电压，则大的电流向逆方向(即从阴极到阳极)流动的特性。因而，比较器COMP1的输出约为0[V]时，如果误差放大器15的输出电压Vf超过齐纳二极管ZD1的齐纳电压即约20[V]的话，则齐纳二极管ZD1降服，电流向逆方向流动，输出电压Vf被钳位于约20[V]。

齐纳二极管ZD2～ZD5的齐纳电压(12～18[V])低于齐纳二极管ZD1的齐纳电压(20[V])，但这些齐纳二极管ZD2～ZD5的阳极成为高阻抗，这些齐纳二极管ZD2～ZD5不进行动作。又，阳极电位为0[V]的齐纳二极管ZD0的齐纳电压是22[V]。因而，这时，成为齐纳二极管ZD1以最低电压降服的情况。也就是说，仅齐纳二极管ZD1实质上对钳位动作有贡献，将其他的齐纳二极管ZD0、ZD2～ZD5视为不存在。

该高电压电源装置中，驱动电路3、5的输入电压与输出电压Vout的绝对值大致有比例关系。因此，误差放大器15的输出电压Vf为20[V]时，设为以输出电压Vout为10[kV]的方式来构成正电压产生部2、负电压产生部4等，则输出电压Vout为+9[kV]时的误差放大器15的稳定的输出电压Vf约为18[V]。如上所述，通过齐纳二极管ZD1的降服效应，误差放大器15的输出电压Vf以约20[V]被钳位，因此20-18＝2[V]的电压的余裕被确保，可以说容许该余裕部分的过冲。

即，未设置该过大过冲防止部16的现有的高电压电源装置中，对于误差放大器15的输出电压Vf的过冲实质上没有限制，与此相对，本实施例的高电压电源装置中，如果误差放大器15的输出电压Vf的过冲超过约2[V]，则齐纳二极管ZD1进行动作，因此过冲的最大值被限制为2[V]。像这样，输入到驱动电路3、5的电压的过冲被限制，因此不管是在输出电压Vout的极性从正切换到负时，还是相反地在从负切换到正时，各电压产生部2、4的输出电压的如图2的(a)、(b)所示那样的过冲被抑制。其结果，输出电压Vout中的过大过冲的影响消失，迅速地静定为所希望的电压。

同样地，如果为了将输出电压Vout设为8[kV]而控制电压Vcont被设定为8[V]的话，则控制电压Vcont低于被给予到比较器COMP2的负输入端子的基准电压U2＝8.2[V]，因此比较器COMP1、COMP2的输出都成为约0[V]。与齐纳二极管ZD1相比，齐纳二极管ZD2的齐纳电压更低，因此齐纳二极管ZD2对误差放大器15的输出电压Vf进行钳位。也就是说，误差放大器15的稳定的输出电压为16[V]，而以18[V]钳位其输出电压，在这种情况下，过冲的最大值也被限制为2[V]。输出电压Vout为7[kV]、6[kV]的情况也相同，过冲的最大值被限制为2[V]。

像这样，在本实施例的高电压电源装置中，即使在输出电压Vout低于额定输出电压的情况下，通过以稳定的输出电压+α(该例中α＝约2[V])对输出控制时的误差放大器15的输出电压进行钳位，在极性切换时也能够防止过大过冲的产生。然后，通过将极性切换时产生的过冲电压设为适当的状态，在极性切换时能够使输出电压Vout迅速地静定。

图3的(a)是现有的高电压电源装置中的极性切换时的实测的输出电压波形，图3的(b)是本实施例的高电压电源装置中的极性切换时的实测的输出电压波形。在该例中，额定输出电压为±10[kV]，输出电压Vout设定为±6[kV]。如图3的(a)所示，现有装置中极性切换时的电压稳定时间为6.2[ms]，与此相对，本实施例的装置中极性切换时的电压稳定时间为3.3[ms]，缩短大约一半左右。由此，能够确认：本实施例的高电压电源装置中，即使在使输出电压Vout低于额定输出电压的情况下，也可以高速地切换电压的极性。

此外，上述实施例的高电压电源装置中，使用开路集电极输出型的比较器作为比较器COMP1～COMP5，但即使以这以外的输出形式(例如图腾柱型的推挽输出)，适当变更过大过冲防止部16的电路构成来实现同样的动作也是理所当然的。

图4是利用了本实施例的高电压电源装置的质量分析装置的概略构成的一例。该质量分析装置例如是根据液体色谱对洗提的试样液进行分析的装置，通过在大致大气压氛围中从电喷射用的喷嘴31喷洒试样液，对该试样液所包含的试样原子、分子进行离子化。这时，根据产生的离子的极性，需要将不同极性的高电压(通常几[kV]左右)施加于喷嘴31的顶端，而作为该电压源，使用如上述那样的极性切换式的高电压电源装置37。

通过上述离子化产生的离子通过脱溶剂管32被送往后段，用未图示的电压源所驱动的离子透镜33收敛并导入到四极过滤器34的长轴方向的空间。从未图示的电压源将高频电压与直流电压重叠而成的电压施加到四极过滤器34，通过该电压所形成的电场，仅规定质量数的离子通过四极过滤器34。通过上述那样的极性切换式的高电压电源装置38向其后段的转换倍增电极35施加将与作为分析对象的离子相反极性的高电压(通常10[kV]左右)，被引诱到基于该电压的电场的离子与转换倍增电极35接触并撞出二次电子。放出的二次电子向下方前进并到达二次电子倍增管36。然后，在二次电子倍增管36的内部被放大，与最初飞入的二次电子的数量相应的、也就是说与到达转换倍增电极35的离子的数量相应的检测信号被取出。

即，上述构成的质量分析装置中，根据作为分析对象的离子的极性，控制部39将切换用的控制信号分别发送到高电压电源装置37、38。如上所述，高电压电源装置37、38中的输出电压的极性切换可迅速地进行，因此，例如即使在每个短时间想要交互重复进行正离子检测与负离子检测的情况下，离子无法检测的期间变短，也能够制作良好的质量色谱图、总离子色谱图。

图4是简略化的构成的一例，即使在上面记述的以外的部分，明显也可使用上述的极性切换式的高电压电源装置。

此外，上述实施例所记载的高电压电源装置的构成只不过是本发明的一例，在本发明的主旨的范围内即使适当地进行变形、追加、修正，也当然是被包含于本申请权利要求书的范围内。又，本发明所涉及的高电压电源装置不仅可适用于质量分析装置，明显还可利用于需要高速切换±几[kV]左右的高电压的各种各样的用途、装置。

符号说明

1…控制部

10、12…电阻器

11…运算增幅器

14…监视电压检测放大器

15…误差放大器

2…正电压产生部

4…负电压产生部

3、5…驱动电路

T1、T2…升压变压器

D1～D8…二极管

C1～C8…电容器

6、7、8、9…电阻器

16…过大过冲防止部

COMP1～COMP5…比较器

ZD0～ZD5…齐纳二极管

R0～R5…电阻器

31…喷嘴

32…脱溶剂管

33…离子透镜

34…四极过滤器

35…转换倍增电极

36…二次电子倍增管

37…高电压电源装置

38…高电压电源装置

39…控制部。

Claims (5)

1.一种高电压电源装置，该高电压电源装置为了选择性地输出正负两极性的高电压，具备：产生正的高电压的正电压产生部；产生负的高电压的负电压产生部；被连接于所述正电压产生部的一对输出端之间的第一负载部；以及被连接于所述负电压产生部的一对输出端之间的第二负载部，该高电压电源装置通过将所述正电压产生部的一对输出端的一方与所述负电压产生部的一对输出端的一方连接来串联连接两电压产生部，以所述正电压产生部的一对输出端的另一方与所述负电压产生部的一对输出端的另一方中的任一个为基准侧，从该另一方取出极性被切换后的高电压输出，所述高电压电源装置的特征在于，包括：

a)控制部，其根据基于检测电压的反馈控制，分别控制所述正电压产生部及所述负电压产生部中产生的电压，其中，所述检测电压是通过对所述高电压输出进行分压而得到的电压，并且，所述控制部在对所述高电压输出的正负极性进行切换时，将指示电压以如下方式发送到各电压产生部：所述正电压产生部与所述负电压产生部的一方的输出电压从第一规定电压开始变化并变为0，同时，另一方的输出电压从0开始变化产生过冲并收敛于第二规定电压；以及

b)电压限制部，其被设置于所述控制部与所述正电压产生部及所述负电压产生部之间，为了抑制所述过冲而限制所述指示电压的值。

2.如权利要求1所述的高电压电源装置，其特征在于，

所述控制部包含误差放大器，所述误差放大器为了对想要取出的高电压输出的电压值进行设定而求出从外部指示的控制电压与所述检测电压的差，

所述电压限制部利用与所述误差放大器的输出连接的齐纳二极管，对该输出的电压进行钳位。

3.如权利要求2所述高电压电源装置，其特征在于，

所述电压限制部还包含将所述控制电压与基准电压进行比较的比较器，在所述控制电压低于基准电压时，将基于所述齐纳二极管的齐纳效应的钳位动作设为有效。

4.如权利要求3所述高电压电源装置，其特征在于，

所述电压限制部包含：多个齐纳二极管，其被连接到所述误差放大器的输出，并且该多个齐纳二极管的齐纳电压不同；以及多个比较器，其与各齐纳二极管对应地设置，将所述控制电压与各个不同的基准电压进行比较，

根据所述控制电压的值，改变使钳位动作成为有效的齐纳二极管，由此变更钳位电压。

5.一种质量分析装置，其特征在于，

所述质量分析装置在离子源及/或离子检测部中利用了基于权利要求1-4中的任一项所述的高电压电源装置的高电压输出，

所述质量分析装置根据分析对象的离子的极性，对基于所述高电压电源装置的高电压输出的极性进行切换。