CN105405798B - 一种刻蚀设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种刻蚀设备，涉及显示装置的制造领域。其中，刻蚀设备包括：用于使用刻蚀液对基板进行刻蚀的刻蚀室，所述刻蚀室包括侧板和盖板组成；加热机构，用于至少对所述刻蚀室的盖板进行加热，阻止刻蚀过程中挥发的刻蚀液蒸汽在所述盖板上冷凝。本发明的方案通过对刻蚀室盖板进行加热，可以防止刻蚀液蒸汽在盖板冷凝形成滴液，减少液滴滴落在基板上而产生的刻蚀不均现象，从而改善了刻蚀效果。
Description
技术领域
本发明涉及显示器的制造领域，特别是一种刻蚀设备。
背景技术
阵列基板制造过程，主要分为清洗、成膜、曝光显影、刻蚀、剥离五大工艺。其中刻蚀工艺分为干法刻蚀和湿法刻蚀，湿法刻蚀被广泛用于金属薄膜及氧化物薄膜的刻蚀。湿法刻蚀工艺主要是指采用化学药液对刻蚀物进行去除的一种技术。对待刻蚀的基板进行湿法刻蚀时，通过化学药液与刻蚀物发生化学反应，把未被光刻胶覆盖的薄膜进行去除，从而实现电极图案化。
湿法刻蚀设备通常是利用酸性刻蚀液体通过喷嘴把刻蚀液喷淋到待刻蚀基板表面，与基板表面的膜层发生化学反应，从而达到刻蚀的目的。然而，实际生产过程当中，喷淋和挥发出的刻蚀液液滴会附着在刻蚀设备的盖板上，附着在刻蚀设备盖板上的刻蚀液液滴逐渐累积，形成越来越大的刻蚀液液滴，最终滴落在待刻蚀基板上，导致刻蚀不均，严重影响产品的良率。
发明内容
本发明的目的是解决刻蚀液蒸汽在刻蚀室盖板上冷凝成液滴，并低落至基板。
为实现上述目的，本发明提供一种刻蚀设备，包括用于使用刻蚀液对基板进行刻蚀的刻蚀室，所述刻蚀室包括侧板和盖板组成，其中所述刻蚀设备还包括：
加热机构，用于至少对所述刻蚀室的盖板进行加热，阻止刻蚀过程中挥发的刻蚀液蒸汽在所述盖板上冷凝。
可选地，所述盖板包括一腔体；
所述加热机构包括：
储存箱，用于存放加热液；
加热器，用于对所述储存箱中的加热液进行加热；
输送管路，连接所述储存箱的输出端以及所述腔体的输入端；
控制器，用于将所述储存箱中的加热液通过所述输送管路输入至所述腔体。
可选地，所述加热机构还包括：
回收管路，连接所述腔体的输出端以及所述储存箱的输入端；
所述控制器还将所述腔体的加热液回收至所述储存箱。
可选地，所述输送管路和所述回收管路均包括由所述控制器控制的液泵以及阀门。
可选地，所述加热机构还包括：
温度传感器，用于检测所述腔体内的加热液的温度；
所述控制器还用于，根据检测到的腔体内的加热液的温度，控制所述加热器对所述储存箱中的加热液进行加热。
可选地，所述腔壁加热后的温度大于或等于一预设温度。
可选地，所述预设温度为刻蚀液进行刻蚀时的温度。
可选地，所述加热机构还包括：
流量传感器，用于检测所述输送管路或所述回收管路中的加热液流量；
所述控制器还用于，根据检测到的所述输送管路或所述回收管路中的加热液流量，控制所述储存箱对所述腔体输送、回收的加热液。
可选地，所述刻蚀设备还包括：
设置在所述刻蚀室的侧板和/或盖板上的通风口，用于排出所述刻蚀室的刻蚀液蒸汽。
可选地，所述刻蚀设备还包括：
回收装置，用于回收由所述通风口排出的刻蚀液蒸汽。
本发明的上述技术方案的有益效果如下：
本发明的方案通过对刻蚀室盖板进行加热，可以防止刻蚀液蒸汽在盖板冷凝形成滴液，减少液滴滴落在基板上而产生的刻蚀不均现象，从而改善了刻蚀效果。
附图说明
图1为本发明的刻蚀装置的示意图；
图2为本发明的刻蚀装置的详细结构图。
附图标记:
1-盖板，2-侧板，3加热机构，31-储存箱，32-加热器，33-输送管路，34-控制器，35-回收管路，36-液泵，37-阀门，38-温度传感器，39-流量传感器，4-基板，5-刻蚀液喷淋装置。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
针对现有技术中，基板刻蚀过程产生的刻蚀液蒸汽挥发到刻蚀室墙壁凝结成液滴，最终滴落回基板导致刻蚀不均匀的问题本发明提供一解决方案。
如图1所示，本发明的实施例提供一种刻蚀设备，包括：
用于使用刻蚀液对基板4进行刻蚀的刻蚀室，该刻蚀室包括侧板2和盖板1；
加热机构3，用于至少对刻蚀室的盖板1进行加热，阻止刻蚀过程中挥发的刻蚀液蒸汽在所述盖板1上冷凝。
本发明的实施例通过对刻蚀室盖板进行加热，可以防止刻蚀液蒸汽在盖板冷凝形成滴液，减少液滴滴落在基板上而产生的刻蚀不均现象，从而改善了刻蚀效果。
下面对本实施例的刻蚀设备进行详细介绍。
如图2所示，本发明的刻蚀室内包括刻蚀液喷淋装置5，可对下方的基板4进行刻蚀作业。
其中，可刻蚀室的盖板1包括一腔体11。对应的加热机构包括：
储存箱31，用于存放加热液；
加热器32，用于对储存箱31中的加热液进行加热；
输送管路33，连接储存箱31的输出端以及腔体的输入端；
控制器34，用于将储存箱31中的加热液通过输送管路33输入至盖板1的腔体11。
本实施例通过向盖板内的腔体输送加热液，使盖板的整体温度得到升高。当然，作为其他可行方案，本发明的加热组件也可以是设置在盖板1内表面的加热板或者加热管，可从外部对盖板1进行加热；或者通过向顶盖1发射微波、红外线的方式进行加热，可以省去液体加热所需要的传输管路。
进一步地，作为优选方式，本实施例可以对加热液进行重复利用，即本实施例的加热机构还包括：
回收管路35，连接腔体11的输出端以及储存箱31的输入端；
其中控制器34通过控制回收管路35，将腔体11内部的加热液回收至储存箱31。
作为具体的控制方案，本实施例的输送管路33和回收管路35上设置有与控制器34连接的液泵35以及阀门36。以向腔体11输送加热液为例，控制器34可以开启输送管路33的阀门37，之后控制输送管路33的液泵35将储存箱31中加热液抽到盖板1上的腔体11内。在实际应用中，本实施例的控制器34可以通过无线方式或者有线方式向液泵35、阀门37发送控制信号，驱动液泵35、阀门37进行工作。
此外，作为优选方案，本实施例的加热机构还可以进一步包括：
温度传感器38，用于检测腔体11内的加热液的温度；
控制器4能够根据检测到的腔体内11的加热液的温度，控制加热器32对储存箱31中的加热液进行加热。
在涉及到具体的实际应用中，控制器34需要保证加热液能够维持盖板1的温度大于或等于一预设温度，该预设温度是指能够阻止刻蚀液蒸汽冷凝的温度。一般情况下，本实施例可以将刻蚀液进行刻蚀时的温度作为预设温度。当然为保证效果，作为优选方案，预设温度最好设定为稍微大于刻蚀液进行刻蚀时的温度，例如大于5℃为宜。
在阵列基板制作过程中，需要进行多次刻蚀作业，不同的刻蚀作业对应有不同的刻蚀液温度，本实施例的控制器34可以根据刻蚀作业对刻蚀液的温度需求，适应性调整加热器32进行工作。
进一步地，参考图2，本发明的加热机构还可以包括：
流量传感器39，用于检测输送管路33或回收管路35中的加热液流量；
在本实施例中，控制器34可以根据检测到的输送管路33或回收管路35中的加热液流量，控制储存箱对腔体11输送、回收的加热液，从而实现腔体11内部的加热液动态平衡。
作为示例性介绍，为保证腔体11能够均匀受热。参考图2，控制器34通过控制输送管路33或回收管路35的加热液流量，保证腔体11内的加热液的平均高度h为2～5mm为宜。
此外，为了进一步防止刻蚀液蒸汽挥发到盖板上，本实施例的刻蚀室的侧板和/或盖板上还还设置有通风口(未画出)，通过该通风口可以排出刻蚀室内的刻蚀液蒸汽。
在上述基础之上，本发明的刻蚀设备也可以包括一个回收装置(未画出)，该回收装可以对通风口排出刻蚀液蒸汽进行回收，从而实现刻蚀液的重复利用。
由此可见，正是因为本发明的刻蚀装置能够防止刻蚀液蒸汽冷凝，因此在刻蚀过程中，绝大部分使用后的刻蚀液以蒸汽形式保留在刻蚀室内，从而能够通过刻蚀室内的排出口排出，进而使回收装置对刻蚀液的回收效果更加明显。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。例如本发明的刻蚀设备中，除了盖板外，侧板也可以设置容纳加热的腔体，从而防止刻蚀液蒸汽在侧板上冷凝，形成滴液。
Claims (6)
1.一种刻蚀设备，包括用于使用刻蚀液对基板进行刻蚀的刻蚀室，所述刻蚀室包括侧板和盖板组成，其特征在于，所述刻蚀设备还包括：
加热机构，用于至少对所述刻蚀室的盖板进行加热，阻止刻蚀过程中挥发的刻蚀液蒸汽在所述盖板上冷凝；
所述盖板包括一腔体；
所述加热机构包括：
储存箱，用于存放加热液；
加热器，用于对所述储存箱中的加热液进行加热；
输送管路，连接所述储存箱的输出端以及所述腔体的输入端；控制器，用于将所述储存箱中的加热液通过所述输送管路输入至所述腔体；
回收管路，连接所述腔体的输出端以及所述储存箱的输入端；所述输送管路和所述回收管路均包括由所述控制器控制的液泵以及阀门；
流量传感器，用于检测所述输送管路或所述回收管路中的加热液流量；
所述控制器还用于，根据检测到的所述输送管路或所述回收管路中的加热液流量，控制所述储存箱对所述腔体输送、回收的加热液，使得所述腔体内的加热液的平均高度为2～5mm。
2.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，
所述加热机构还包括：
温度传感器，用于检测所述腔体内的加热液的温度；
所述控制器还用于，根据检测到的腔体内的加热液的温度，控制所述加热器对所述储存箱中的加热液进行加热。
3.根据权利要求2所述的刻蚀设备，其特征在于，
所述盖板加热后的温度大于或等于一预设温度。
4.根据权利要求3所述的刻蚀设备，其特征在于，
所述预设温度为刻蚀液进行刻蚀时的温度。
5.根据权利要求1所述的刻蚀设备，其特征在于，还包括：
设置在所述刻蚀室的侧板和/或盖板上的通风口，用于排出所述刻蚀室的刻蚀液蒸汽。
6.根据权利要求5所述的刻蚀设备，其特征在于，还包括：
回收装置，用于回收由所述通风口排出的刻蚀液蒸汽。
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