CN204857676U - 一种防滴液刻蚀槽盖板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种防滴液刻蚀槽盖板，包括中空的盖板、加热器，盖板内被导热板分割成上下两层，盖板底层设有加热器，盖板底层填充导热硅脂，导热板顶面设有隔板，隔板将盖板顶层分隔成多个相通的型腔，隔板一端设有进口，隔板另一端设有出口，出口与刻蚀槽连通，出口设有进气温度传感器，盖板底面为拱形，盖板底面设有盖板传感器。本实用新型在盖板底部设置加热器，利于保持盖板较高温度，防止水汽在盖板底部凝结；盖板内设置导热板和隔板便于将水汽中热量交换给盖板，节约能源，导热硅脂便于将热量更好的传递到盖板底部；盖板传感器和进气传感器进行竖直比对，便于控制加热器工作，节约能源且有效防止水滴凝结，拱形盖板便于引流水滴。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片刻蚀设备技术领域，特别涉及一种防滴液刻蚀槽盖板。
背景技术
太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，“是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏，简称光伏，其核心部件是太阳能电池片，其制造过程分为制绒-扩散-刻蚀-PECVD镀膜-丝网印刷-测试分选。其中，刻蚀工序的作用去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。目前，RENAin-line式结构的设备是一种常用的湿法刻蚀设备。他是在HF/HNO3体系中，利用表面张力和毛吸作用力去除边缘和背面的PN结，正面未粘液，而使电池正面和背面绝缘。这种设备基本结构为：刻蚀槽-水喷淋槽-碱槽-水喷淋槽-去PSG槽-水喷淋槽-吹干。该设备在使用过程中表现出许多优异的性能。然而，目前RENA刻蚀设备在生产应用中，常会出现刻蚀槽盖板出现水汽凝结的现象。凝结的液滴会滴落在正在生产流通的硅片表面上，液滴滴落后在硅片上，发生腐蚀反应，导致硅片的外观不良甚至片子的PN结被破坏，片子必须返工造成产量下降和成本浪费。刻蚀盖板上凝结的水汽主要来源于刻蚀槽后的水喷淋槽。水在喷淋过程中会形成大量的水汽，尤其是在气温较高的夏季，水的温度要远远高于生产车间的温度，水的蒸汽分压也较大，大量的水蒸汽会进入到刻蚀槽中。而槽体盖板的温度是受车间的温度控制的，会低于进入槽体内的水蒸气的温度，当水蒸气遇到温度较低的盖板时就发生凝结。因此，盖板容易发生水蒸气凝结，这一问题一直困扰着相关工艺人员。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种防滴液刻蚀槽盖板。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种防滴液刻蚀槽盖板，包括中空的盖板、设置在所述盖板内的加热器，所述盖板内被导热板分割成上下两层，所述盖板底层设有加热器，所述盖板底层填充有导热硅脂，所述导热板顶面设有竖直的隔板，所述隔板将所述盖板顶层分隔成多个相通的型腔，所述隔板一端设有与所述型腔连通的进口，所述隔板另一端设有与所述型腔连通的出口，所述出口与刻蚀槽连通，所述出口设有进气温度传感器，所述盖板底面为拱形，所述盖板底面设有盖板传感器。
上述设计中在盖板底部设置加热器，利于保持盖板较高温度，防止水汽在盖板底部凝结；所述盖板内设置导热板和隔板便于将水汽中热量交换给盖板，节约能源，所述导热硅脂便于将热量更好的传递到盖板底部；所述盖板传感器和进气传感器进行竖直比对，便于控制加热器工作，节约能源且有效防止水滴凝结，所述拱形的盖板底面便于将凝结的水滴引流到盖板边缘，防止水滴滴落到硅片上。
作为本设计的进一步改进，所述盖板传感器至少两个且均匀分布在所述盖板底面，温度检测更加精准。
作为本设计的进一步改进，所述隔板为传热材质，便于换热。
作为本设计的进一步改进，所述盖板底层密闭，有效防止导热硅脂以及加热器腐蚀。
作为本设计的进一步改进，所述盖板顶层的顶面设有保温棉，防止热量散失，节约能源。
作为本设计的进一步改进，所述盖板底面边缘设有与刻蚀槽贴合的贴合面，所述贴合面内侧设有沿刻蚀槽内壁延伸的引流板，所述引流板便于将凝结的水滴引流进刻蚀槽。
作为本设计的进一步改进，所述盖板上设有贯穿所述盖板的观察窗，所述观察窗底部为球面，所述观察窗为实体透明材质，便于观察刻蚀槽内硅片刻蚀情况，不需要打开盖板观察。
本实用新型的有益效果是：本实用新型在盖板底部设置加热器，利于保持盖板较高温度，防止水汽在盖板底部凝结；所述盖板内设置导热板和隔板便于将水汽中热量交换给盖板，节约能源，所述导热硅脂便于将热量更好的传递到盖板底部；所述盖板传感器和进气传感器进行竖直比对，便于控制加热器工作，节约能源且有效防止水滴凝结，所述拱形的盖板底面便于将凝结的水滴引流到盖板边缘，防止水滴滴落到硅片上。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的整体结构示意图。
图2是本实用新型的局部结构示意图。
在图中1.盖板，2.导热板，3.加热器，4.出口，5.观察窗，6.盖板传感器，7.保温棉，8.隔板，9.导热硅脂，10.进口，11.型腔，12.进气温度传感器，13.贴合面，14.引流板。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
实施例：一种防滴液刻蚀槽盖板1，包括中空的盖板1、设置在所述盖板1内的加热器3，所述盖板1内被导热板2分割成上下两层，所述盖板1底层设有加热器3，所述盖板1底层填充有导热硅脂9，所述导热板2顶面设有竖直的隔板8，所述隔板8将所述盖板1顶层分隔成多个相通的型腔11，所述隔板8一端设有与所述型腔11连通的进口10，所述隔板8另一端设有与所述型腔11连通的出口4，所述出口4与刻蚀槽连通，所述出口4设有进气温度传感器12，所述盖板1底面为拱形，所述盖板1底面设有盖板传感器6。
上述设计中在盖板1底部设置加热器3，利于保持盖板1较高温度，防止水汽在盖板1底部凝结；所述盖板1内设置导热板2和隔板8便于将水汽中热量交换给盖板1，节约能源，所述导热硅脂9便于将热量更好的传递到盖板1底部；所述盖板传感器6和进气传感器进行竖直比对，便于控制加热器3工作，节约能源且有效防止水滴凝结，所述拱形的盖板1底面便于将凝结的水滴引流到盖板1边缘，防止水滴滴落到硅片上。
作为本设计的进一步改进，所述盖板传感器6至少两个且均匀分布在所述盖板1底面，温度检测更加精准。
作为本设计的进一步改进，所述隔板8为传热材质，便于换热。
作为本设计的进一步改进，所述盖板1底层密闭，有效防止导热硅脂9以及加热器3腐蚀。
作为本设计的进一步改进，所述盖板1顶层的顶面设有保温棉7，防止热量散失，节约能源。
作为本设计的进一步改进，所述盖板1底面边缘设有与刻蚀槽贴合的贴合面13，所述贴合面13内侧设有沿刻蚀槽内壁延伸的引流板14，所述引流板14便于将凝结的水滴引流进刻蚀槽。
作为本设计的进一步改进，所述盖板1上设有贯穿所述盖板1的观察窗5，所述观察窗5底部为球面，所述观察窗5为实体透明材质，便于观察刻蚀槽内硅片刻蚀情况，不需要打开盖板1观察。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (7)
1.一种防滴液刻蚀槽盖板，包括中空的盖板、设置在所述盖板内的加热器，其特征在于，所述盖板内被导热板分割成上下两层，所述盖板底层设有加热器，所述盖板底层填充有导热硅脂，所述导热板顶面设有竖直的隔板，所述隔板将所述盖板顶层分隔成多个相通的型腔，所述隔板一端设有与所述型腔连通的进口，所述隔板另一端设有与所述型腔连通的出口，所述出口与刻蚀槽连通，所述出口设有进气温度传感器，所述盖板底面为拱形，所述盖板底面设有盖板传感器。
2.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板传感器至少两个且均匀分布在所述盖板底面。
3.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述隔板为传热材质。
4.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板底层密闭。
5.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板顶层的顶面设有保温棉。
6.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板底面边缘设有与刻蚀槽贴合的贴合面，所述贴合面内侧设有沿刻蚀槽内壁延伸的引流板。
7.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板上设有贯穿所述盖板的观察窗，所述观察窗底部为球面，所述观察窗为实体透明材质。
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|---|---|---|---|---|
| CN105405798A (zh) * | 2016-01-04 | 2016-03-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种刻蚀设备 |
| CN109244009A (zh) * | 2018-09-03 | 2019-01-18 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 湿法刻蚀装置 |
| CN111146125A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-05-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种温度控制装置及刻蚀设备 |
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