CN105397505A - 一种六自由度调节装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及微调装置领域，公开一种六自由度调节装置，该六自由度调节装置包括：第一调节座；可绕第一转轴旋转地安装于第一调节座的第二调节座；可绕第二转轴旋转地安装于第二调节座的第三调节座；可绕第三转轴旋转地安装于第三调节座的第四调节座；可沿第一方向滑动地安装于第四调节座的第五调节座；可沿第二方向滑动地安装于第五调节座的第六调节座；可沿第三方向滑动地安装于第六调节座的第七调节座；第一转轴与第二转轴垂直，第三转轴与第一转轴垂直、且与第二转轴垂直；第一方向与第二方向垂直，第三方向与第一方向垂直、且与第二方向垂直。该六自由度调节装置能够实现物体沿三个相互正交方向的移动调节以及绕三个正交轴线的旋转调节。

Description

一种六自由度调节装置

技术领域

本发明涉及微调装置技术领域，特别涉及一种六自由度调节装置。

背景技术

在现代自动化行业中，为了提高精密加工、测量等工作的效率，微动工作台应运而生，现有的微动工作台一般可以实现物体在三个正交方向上的位移调节，以满足对物体的定位需求。然而在现代制造技术领域中，对于加工物体，往往不仅需要对其进行定位，还需要将其进行旋转，以实现对加工物体的多个自由度调节，进而使多个加工物体能够实现共线、共面。因此，目前亟需一种可以使物体能够在三个相互正交方向上进行移动调节、以及绕三个正交轴线进行旋转调节的微调装置。

发明内容

本发明提供了一种六自由度调节装置，该六自由度调节装置能够实现物体沿三个相互正交方向的移动调节、以及绕三个正交轴线的旋转调节。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种六自由度调节装置，包括：

第一调节座；

可绕第一转轴旋转地安装于所述第一调节座的第二调节座；

可绕第二转轴旋转地安装于所述第二调节座的第三调节座；

可绕第三转轴旋转地安装于所述第三调节座的第四调节座；

可沿第一方向滑动地安装于所述第四调节座的第五调节座；

可沿第二方向滑动地安装于所述第五调节座的第六调节座；

可沿第三方向滑动地安装于所述第六调节座的第七调节座；其中，

所述第一转轴与所述第二转轴垂直，所述第三转轴与所述第一转轴垂直、且与所述第二转轴垂直；所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第三方向与所述第一方向垂直、且与所述第二方向垂直。

上述六自由度调节装置中，第一调节座、第二调节座、第三调节座、第四调节座、第五调节座、第六调节座和第七调节座顺序相连，第一调节座或者第七调节座中任意一端都可以作为该六自由度调节装置的调节输出端，用以放置或连接需要进行自由度调整的物体，当选择一端为调节输出端，另一端则作为固定端被固定；上述六自由度调节装置中，当固定端固定时，可以通过调节第二调节座相对于第一调节座运动以使输出端的物体绕第一转轴旋转，可以通过调节第三调节座相对于第二调节座运动以使输出端的物体绕第二转轴旋转，可以通过调节第四调节座相对于第三调节座运动以使输出端的物体绕第三转轴旋转；且第一转轴与第二转轴垂直、第三转轴与第一转轴垂直且与第二转轴垂直，即第一转轴、第二转轴和第三转轴相互正交，因此，该六自由度调节装置能够实现物体绕三个正交轴线的旋转调节；并且，当固定端固定时，上述六自由度调节装置中，可以通过调节第五调节座相对于第四调节座滑动以使输出端的物体沿第一方向移动，可以通过调节第六调节座相对于第五调节座滑动以使输出端的物体沿第二方向移动，可以通过调节第七调节座相对于第六调节座滑动以使输出端的物体沿第三方向移动；且第一方向与第二方向垂直、第三方向与第一方向垂直且与第二方向垂直，即第一方向、第二方向和第三方向相互正交，因此，该六自由度调节装置能够实现物体沿三个相互正交方向的移动调节；综上所述，上述六自由度调节装置能够实现物体沿三个相互正交方向的移动调节、以及绕三个正交轴线的旋转调节，从而实现物体在六个自由度方向上的自由调节，进而可以满足加工、测量等工作过程中对于物体多个自由度的调整的需求。

优选地，所述第一调节座、第二调节座、第三调节座和第四调节座中，每相邻的两个调节座组成一个旋转调节单元，每一个旋转调节单元中，一个调节座为旋转底座，另一个调节座为旋转座，所述旋转底座与所述旋转座可绕所述旋转调节单元的转轴相对旋转地配合连接。

优选地，所述六自由度调节装置还包括与所述旋转调节单元一一对应的三个偏心调节元件，每一个偏心调节元件用于驱动与其对应的旋转调节单元中的旋转底座与旋转座之间相对旋转运动。

优选地，每一个旋转调节单元中：旋转底座设有轴心线与所述转轴重合的固定螺钉、以及沿所述转轴的旋转半径方向延伸的腰形槽；旋转座与所述固定螺钉间隙配合；与所述旋转调节单元对应的偏心调节元件包括：与所述旋转底座的腰形槽滑动配合的偏心轮和与所述旋转座间隙配合的调节柱；所述调节柱与所述偏心轮固定连接，且所述调节柱的轴心线与所述偏心轮的轴心线平行且不重合，所述调节柱的直径小于所述偏心轮的直径；当旋转所述偏心调节元件的调节柱时，所述偏心轮在所述调节柱的带动下相对于所述腰形槽滑动并带动所述旋转底座相对于所述旋转座绕所述固定螺钉旋转，以实现所述旋转底座和所述旋转座之间相对旋转运动。

优选地，每一个旋转调节单元中：所述旋转座设有轴心线与所述转轴重合的固定螺钉、以及沿所述转轴的旋转半径方向延伸的腰形槽；所述旋转底座与所述固定螺钉间隙配合；与所述旋转调节单元对应的偏心调节元件包括：与所述旋转座的腰形槽滑动配合的偏心轮和与所述旋转底座间隙配合的调节柱，所述调节柱与所述偏心轮固定连接，且所述调节柱的轴心线与所述偏心轮的轴心线平行且不重合，所述调节柱的直径小于所述偏心轮的直径；当旋转所述偏心调节元件的调节柱时，所述偏心轮在所述调节柱的带动下相对于所述腰形槽滑动并带动所述旋转座相对于所述旋转底座绕所述固定螺钉旋转，以实现所述旋转底座和所述旋转座之间的相对旋转运动。

优选地，所述第四调节座、第五调节座、第六调节座和第七调节座中，每相邻的两个调节座组成一个移动调节单元，每一个移动调节单元中，一个调节座为移动底座，另一个调节座为移动座，所述移动底座与所述移动座可沿相对滑动方向相对运动地配合连接。

优选地，所述六自由度调节装置还包括与所述移动调节单元一一对应的三个螺纹传动元件，每一个螺纹传动元件用于驱动与其对应的移动调节单元中的移动底座与移动座之间相对运动。

优选地，每一个移动调节单元中：移动底座设有轴心线与所述相对滑动方向平行的螺纹孔；移动座设有轴心线与所述螺纹孔的轴心线重合的通孔；与所述移动调节单元对应的螺纹传动元件包括：与所述移动底座螺纹配合、且与所述移动座间隙配合的调节螺栓，以及固定安装于所述调节螺栓、用于对所述移动座进行限位的定位轴肩；当旋转所述调节螺栓时，所述调节螺栓相对于所述移动底座沿所述螺纹孔的轴心线方向移动并带动所述移动座运动，以实现所述移动底座与所述移动座之间相对运动。

优选地，每一个移动调节单元中：移动座设有轴心线与所述相对滑动方向平行的螺纹孔；移动底座设有轴心线与所述螺纹孔的轴心线重合的通孔；与所述移动调节单元对应的螺纹传动元件包括：与所述移动座螺纹配合、且与所述移动底座间隙配合的调节螺栓，以及固定安装于所述调节螺栓、用于对所述移动底座进行限位的定位轴肩；当旋转所述调节螺栓时，所述调节螺栓相对于所述移动座沿所述螺纹孔的轴心线方向移动并带动所述移动底座运动，以实现所述移动底座与所述移动座之间相对运动。

优选地，所述六自由度调节装置还包括用于将所述六自由度调节装置固定的固定部，所述第一调节座固定安装于所述固定部；或者，所述第七调节座固定安装于所述固定结构部。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种六自由度调节装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种六自由度调节装置中偏心调节元件的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种六自由度调节装置中旋转调节单元在一种驱动状态下的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种六自由度调节装置中旋转调节单元在另一种驱动状态下的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1～图4。

如图1所示，本发明实施例提供的一种六自由度调节装置，包括：

第一调节座11；

可绕第一转轴a旋转地安装于第一调节座11的第二调节座12；

可绕第二转轴b旋转地安装于第二调节座12的第三调节座13；

可绕第三转轴旋转地安装于第三调节座13的第四调节座14；

可沿第一方向x滑动地安装于第四调节座14的第五调节座15；

可沿第二方向滑动地安装于第五调节座15的第六调节座16；

可沿第三方向y滑动地安装于第六调节座16的第七调节座17；其中，

第一转轴a与第二转轴b垂直，第三转轴与第一转轴a垂直、且与第二转轴b垂直；第一方向x与第二方向y垂直，第三方向与第一方向x垂直、且与第二方向y垂直。

上述六自由度调节装置中，第一调节座11、第二调节座12、第三调节座13、第四调节座14、第五调节座15、第六调节座16和第七调节座17顺序相连，第一调节座11或者第七调节座17中任意一端都可以作为该六自由度调节装置的调节输出端，用以放置或连接需要进行自由度调整的物体，且当选定一端为调节输出端，另一端则作为固定端被固定住；上述六自由度调节装置中，当固定端被固定时，可以通过调节第二调节座12相对于第一调节座11运动以使输出端的物体绕第一转轴a旋转，可以通过调节第三调节座13相对于第二调节座12运动以使输出端的物体绕第二转轴b旋转，可以通过调节第四调节座14相对于第三调节座13运动以使输出端的物体绕第三转轴旋转；且第一转轴a与第二转轴b垂直、第三转轴与第一转轴a垂直且与第二转轴b垂直，即第一转轴a、第二转轴b和第三转轴相互正交，因此，该六自由度调节装置能够实现物体绕三个正交轴线的旋转调节；并且，当固定端固定时，上述六自由度调节装置中，可以通过调节第五调节座15相对于第四调节座14滑动以使输出端的物体沿第一方向x移动，可以通过调节第六调节座16相对于第五调节座15滑动以使输出端的物体沿第二方向移动，可以通过调节第七调节座17相对于第六调节座16滑动以使输出端的物体沿第三方向y移动；且第一方向x与第二方向垂直、第三方向y与第一方向x垂直且与第二方向垂直，即第一方向x、第二方向和第三方向y相互正交，因此，该六自由度调节装置能够实现物体沿三个相互正交方向的移动调节；综上，上述六自由度调节装置能够实现物体沿三个相互正交方向的移动调节、以及绕三个正交轴线的旋转调节，从而实现物体在六个自由度方向上的自由调节，进而可以满足加工、测量等工作过程中对于物体多个自由度的调整的需求。

如图1所示，一种具体的实施例中，第一调节座11、第二调节座12、第三调节座13和第四调节座14中，每相邻的两个调节座可以组成一个旋转调节单元，每一个旋转调节单元中，一个调节座为旋转底座，另一个调节座为旋转座，旋转底座与旋转座可绕该旋转调节单元的转轴相对旋转地配合连接；优选地，

第一调节座11和第二调节座12组成的旋转调节单元中，第一调节座11可以为旋转底座，第二调节座12可以为旋转座，第一转轴a则为该旋转调节单元的转轴；

第二调节座12和第三调节座13组成的旋转调节单元中，第二调节座12可以为旋转底座，第三调节座13可以为旋转座，第二转轴b则为该旋转调节单元的转轴；

第三调节座13和第四调节座14组成的旋转调节单元中，第三调节座13可以为旋转底座，第四调节座14可以为旋转座，第三转轴则为该旋转调节单元的转轴。

如图1所示，在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，本发明的六自由度调节装置中，第一调节座11和第二调节座12组成的旋转调节单元的旋转底座与旋转座可以通过偏心调节元件4的传动实现相对旋转运动；和/或，第二调节座11和第三调节座12组成的旋转调节单元的旋转底座与旋转座可以通过偏心调节元件4的传动实现相对旋转运动；和/或，第三调节座13和第四调节座14组成的旋转调节单元的旋转底座与旋转座可以通过偏心调节元件4的传动实现相对旋转运动。

在上述实施例的基础上，一种具体的实施例中，如图2所示，上述偏心调节元件4可以包括调节柱41和安装于调节柱41一端的偏心轮42，调节柱41的轴心线o₁与偏心轮42的轴心线o₂平行且不重合，调节柱41的直径小于偏心轮的直径。优选地，调节柱41的另一端可以设有方便驱动调节柱41旋转的六角面结构43。

具体地，旋转调节单元的旋转底座和旋转座之间通过偏心调节元件4的传动实现相对旋转运动，可以包括以下两种实施方式：

方式一，如图3所示，

旋转调节单元中：

旋转底座2可以设有轴心线与该旋转调节单元的转轴o重合的固定螺钉5、以及沿该旋转调节单元的转轴o的旋转半径方向延伸的腰形槽6；

旋转座3可以设有轴心线与固定螺钉5的轴心线重合的通孔，且旋转座3与固定螺钉5间隙配合、并通过E型卡簧进行固定；

与该旋转调节单元传动配合的偏心调节元件4中：偏心轮42与该旋转调节单元中旋转底座2的腰形槽6滑动配合；调节柱41与该旋转调节单元的旋转座3间隙配合；

如图4所示，当旋转偏心调节元件4的调节柱41时，偏心轮42和调节柱41一起旋转运动，由于偏心轮42和调节柱41的轴心线不重合，因此，偏心轮42和调节柱41分别与旋转底座2和旋转座3之间产生相互作用力，由于偏心轮42对旋转底座2的作用力方向和调节柱41对旋转座3的作用力方向相反、并且，由于旋转底座2与旋转座3之间通过固定螺钉5相连，因此，旋转底座2与旋转座3之间将产生绕固定螺钉5的相对旋转运动，因此，通过偏心调节元件4的驱动可以实现旋转底座2与旋转座3绕转轴o相对旋转，即可以实现旋转底座2相对于旋转座3绕转轴o旋转，或者说实现旋转座3相对于旋转底座2绕转轴o旋转。

方式二，

旋转调节单元中：

旋转座可以设有轴心线与转轴重合的固定螺钉、以及沿转轴的旋转半径方向延伸的腰形槽；

旋转底座可以可以设有轴心线与固定螺钉的轴心线重合的通孔，且旋转底座与固定螺钉间隙配合、并通过E型卡簧进行固定；

与旋转调节单元对应的偏心调节元件4中：偏心轮42与旋转调节单元的旋转座的腰形槽滑动配合；调节柱41与旋转调节单元的旋转底座间隙配合；

当旋转偏心调节元件4的调节柱41时，偏心轮42和调节柱41一起旋转运动，由于偏心轮42和调节柱41的轴心线不重合，因此，偏心轮42和调节柱41分别与旋转座和旋转底座之间产生相互作用力，由于偏心轮42对旋转座的作用力方向和调节柱41对旋转底座的作用力方向相反、并且，由于旋转座与旋转底座之间通过固定螺钉相连，因此，旋转座与旋转底座之间将产生绕固定螺钉的相对旋转运动，因此，通过偏心调节元件4的驱动可以实现旋转座与旋转底座绕转轴o相对旋转，即可以实现旋转座相对于旋转底座绕转轴o旋转，或者说实现旋转底座相对于旋转座绕转轴o旋转。

如图1所示，在上述各实施例的基础上，一种具体的实施例中，第四调节座14、第五调节座15、第六调节座16和第七调节座17中，每相邻的两个调节座可以组成一个移动调节单元，每一个移动调节单元中，一个调节座为移动底座，另一个调节座为移动座，移动底座与移动座可沿其相对滑动方向相对运动地配合连接；优选地，

第四调节座14和第五调节座15组成的移动调节单元中，第四调节座14可以为移动底座，第五调节座15可以为移动座，第一方向x为第四调节座14和第五调节座15的相对滑动方向；

第五调节座15和第六调节座16组成的移动调节单元中，第五调节座15可以为移动底座，第六调节座16可以为移动座，第二方向为第五调节座15和第六调节座16的相对滑动方向；

第六调节座16和第七调节座17组成的移动调节单元中，第六调节座16可以为移动底座，第七调节座17可以为移动座，第三方向y为第六调节座16和第七调节座17的相对滑动方向。

如图1所示，在上述实施例的基础上，

一种具体的实施例中，第四调节座14和第五调节座15组成的移动调节单元中，移动底座与移动座可以通过螺纹传动元件7的传动实现相对运动；和/或，第五调节座15和第六调节座16组成的移动调节单元中，移动底座与移动座可以通过螺纹传动元件7的传动实现相对运动；和/或，第六调节座16和第七调节座17组成的移动调节单元中，移动底座与移动座可以通过螺纹传动元件7的传动实现相对运动。

如图1所示，在上述实施例的基础上，一种优选的实施例中，移动调节单元中，移动底座与移动座通过螺纹传动元件7的传动实现相对运动，可以包括以下两种实施方式：

方式一，

移动调节单元中，移动底座设有轴心线与该移动调节单元的相对滑动方向平行的螺纹孔；移动座设有轴心线与螺纹孔的轴心线重合的通孔；

与上述移动调节单元对应的螺纹传动元件7包括：与移动底座螺纹配合、且与移动座的通孔间隙配合的调节螺栓71，以及固定安装于调节螺栓71、用于在沿调节螺栓71的延伸方向对移动座进行限位的定位轴肩72；优选地，移动座设有的通孔为u形通孔；调节螺栓71通过u形通孔的开口处插入通孔内。

当旋转调节螺栓71时，调节螺栓71相对于移动底座沿螺纹孔的轴心线方向移动并带动移动座运动，以实现移动底座与移动座之间相对运动。

方式二，

移动调节单元中，移动座设有轴心线与该移动调节单元的相对滑动方向平行的螺纹孔；移动底座设有轴心线与螺纹孔的轴心线重合的通孔；

与上述移动调节单元对应的螺纹传动元件7包括：与移动座螺纹配合、且与移动底座的通孔间隙配合的调节螺栓71，以及固定安装于调节螺栓71、用于在沿调节螺栓71的延伸方向对移动底座进行限位的定位轴肩72；优选地，移动底座设有的通孔为u形通孔；调节螺栓71通过u形通孔的开口处插入通孔内。

当旋转调节螺栓71时，调节螺栓71相对于移动座沿螺纹孔的轴心线方向移动并带动移动底座运动，以实现移动底座与移动座之间相对运动。

另一种具体的实施例中，第四调节座14和第五调节座15组成的移动调节单元中，移动底座与移动座可以通过齿轮传动元件的传动实现相对运动；和/或，第五调节座15和第六调节座16组成的移动调节单元中，移动底座与移动座可以通过齿轮传动元件的传动实现相对运动；和/或，第六调节座16和第七调节座17组成的移动调节单元中，移动底座与移动座可以通过齿轮传动元件的传动实现相对运动。

当然，上述各调节座之间移动调节的传动方式并不限于螺纹传动和齿轮传动，也可以为其它传动方式；并且，如图1所示，本发明的六自由度调节装置中还可以设有对移动底座和移动座的相对运动方向进行限位的限位销81，以及对移动底座和移动座的相对运动距离进行限位的限位销82。

在上述各实施例的基础上，一种具体的实施例中，本发明的六自由度调节装置还可以包括固定部，该固定部可以固定于工作台等固定物体上，且六自由度调节装置中作为固定端的调节座固定安装于固定座上从而被固定，即第一调节座11或者第七调节座17可以固定安装于固定座；当第一调节座11作为固定端被固定安装于固定座上时，第七调节座17为输出端，此时，可以通过分别调节第二调节座12、第三调节座13、第四调节座14、第五调节座15、第六调节座16和第七调节座17运动以实现输出端的六个自由度的调节；当第七调节座17作为固定端被固定安装于固定座上时，第一调节座11为输出端，此时，可以通过分别调节第六调节座16、第五调节座15、第四调节座14、第三调节座13、第二调节座12和第一调节座11以实现输出端的六个自由度的调节。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种六自由度调节装置，其特征在于，包括：

第一调节座；

可绕第一转轴旋转地安装于所述第一调节座的第二调节座；

可绕第二转轴旋转地安装于所述第二调节座的第三调节座；

可绕第三转轴旋转地安装于所述第三调节座的第四调节座；

可沿第一方向滑动地安装于所述第四调节座的第五调节座；

可沿第二方向滑动地安装于所述第五调节座的第六调节座；

可沿第三方向滑动地安装于所述第六调节座的第七调节座；其中，

所述第一转轴与所述第二转轴垂直，所述第三转轴与所述第一转轴垂直、且与所述第二转轴垂直；

所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第三方向与所述第一方向垂直、且与所述第二方向垂直。

2.根据权利要求1所述的六自由度调节装置，其特征在于，所述第一调节座、第二调节座、第三调节座和第四调节座中，每相邻的两个调节座组成一个旋转调节单元，每一个旋转调节单元中，一个调节座为旋转底座，另一个调节座为旋转座，所述旋转底座与所述旋转座可绕所述旋转调节单元的转轴相对旋转地配合连接。

3.根据权利要求2所述的六自由度调节装置，其特征在于，还包括与所述旋转调节单元一一对应的三个偏心调节元件，每一个偏心调节元件用于驱动与其对应的旋转调节单元中的旋转底座与旋转座之间相对旋转运动。

4.根据权利要求3所述的六自由度调节装置，其特征在于，

每一个旋转调节单元中：

旋转底座设有轴心线与所述转轴重合的固定螺钉、以及沿所述转轴的旋转半径方向延伸的腰形槽；

旋转座与所述固定螺钉间隙配合；

与所述旋转调节单元对应的偏心调节元件包括：与所述旋转底座的腰形槽滑动配合的偏心轮和与所述旋转座间隙配合的调节柱；所述调节柱与所述偏心轮固定连接，且所述调节柱的轴心线与所述偏心轮的轴心线平行且不重合，所述调节柱的直径小于所述偏心轮的直径；

当旋转所述偏心调节元件的调节柱时，所述偏心轮在所述调节柱的带动下相对于所述腰形槽滑动并带动所述旋转底座相对于所述旋转座绕所述固定螺钉旋转，以实现所述旋转底座和所述旋转座之间相对旋转运动。

5.根据权利要求3所述的六自由度调节装置，其特征在于，

每一个旋转调节单元中：

所述旋转座设有轴心线与所述转轴重合的固定螺钉、以及沿所述转轴的旋转半径方向延伸的腰形槽；

所述旋转底座与所述固定螺钉间隙配合；

与所述旋转调节单元对应的偏心调节元件包括：与所述旋转座的腰形槽滑动配合的偏心轮和与所述旋转底座间隙配合的调节柱，所述调节柱与所述偏心轮固定连接，且所述调节柱的轴心线与所述偏心轮的轴心线平行且不重合，所述调节柱的直径小于所述偏心轮的直径；

当旋转所述偏心调节元件的调节柱时，所述偏心轮在所述调节柱的带动下相对于所述腰形槽滑动并带动所述旋转座相对于所述旋转底座绕所述固定螺钉旋转，以实现所述旋转底座和所述旋转座之间的相对旋转运动。

6.根据权利要求1～5任一项所述的六自由度调节装置，其特征在于，所述第四调节座、第五调节座、第六调节座和第七调节座中，每相邻的两个调节座组成一个移动调节单元，每一个移动调节单元中，一个调节座为移动底座，另一个调节座为移动座，所述移动底座与所述移动座可沿相对滑动方向相对运动地配合连接。

7.根据权利要求6所述的六自由度调节装置，其特征在于，还包括与所述移动调节单元一一对应的三个螺纹传动元件，每一个螺纹传动元件用于驱动与其对应的移动调节单元中的移动底座与移动座之间相对运动。

8.根据权利要求7所述的六自由度调节装置，其特征在于，

每一个移动调节单元中：

移动底座设有轴心线与所述相对滑动方向平行的螺纹孔；

移动座设有轴心线与所述螺纹孔的轴心线重合的通孔；

与所述移动调节单元对应的螺纹传动元件包括：与所述移动底座螺纹配合、且与所述移动座间隙配合的调节螺栓，以及固定安装于所述调节螺栓、用于对所述移动座进行限位的定位轴肩；

当旋转所述调节螺栓时，所述调节螺栓相对于所述移动底座沿所述螺纹孔的轴心线方向移动并带动所述移动座运动，以实现所述移动底座与所述移动座之间相对运动。

9.根据权利要求7所述的六自由度调节装置，其特征在于，

每一个移动调节单元中：

移动座设有轴心线与所述相对滑动方向平行的螺纹孔；

移动底座设有轴心线与所述螺纹孔的轴心线重合的通孔；

与所述移动调节单元对应的螺纹传动元件包括：与所述移动座螺纹配合、且与所述移动底座间隙配合的调节螺栓，以及固定安装于所述调节螺栓、用于对所述移动底座进行限位的定位轴肩；

当旋转所述调节螺栓时，所述调节螺栓相对于所述移动座沿所述螺纹孔的轴心线方向移动并带动所述移动底座运动，以实现所述移动底座与所述移动座之间相对运动。

10.根据权利要求6所述的六自由度调节装置，其特征在于，还包括用于将所述六自由度调节装置固定的固定部，所述第一调节座固定安装于所述固定部；或者，所述第七调节座固定安装于所述固定部。