CN105388034A - 基板颗粒物的取样装置和玻璃基板颗粒物的取样方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基板颗粒物的取样装置和玻璃基板颗粒物的取样方法，其中，该取样装置包括筒体(1)，该筒体(1)的上端口由透明的盖(2)密封，所述筒体(1)的下端口设置有沿该下端口的整个边缘延伸的黏性物质(3)。该基板颗粒物的取样装置能够使待检测颗粒物不受外界的污染，且方便操作。
Description
技术领域
本发明涉及颗粒物的取样装置和取样方法，具体地，涉及一种基板颗粒物的取样装置和玻璃基板颗粒物的取样方法。
背景技术
在洁净度要求非常高的玻璃基板生产线中，某些微小颗粒(例如粒径在1～20um之间的颗粒)异物的存在会影响玻璃基板的产品品质，要解决异物的危害就需要对这些微小颗粒异物经行取样，然后经行形貌和成分分析，从根源上解决微小颗粒异物对生产的危害。现有技术中通常使用两种方式来对玻璃基板微小颗粒进行取样：第一种，采用微粒胶带将玻璃基板微小颗粒粘取出来分析，第二种，直接将玻璃大块进行切割，然后再分析玻璃上的微小颗粒。
但是上述现有技术中的取样方式存在如下缺陷：
第一种，将微小颗粒粘取出来本身在操作上不太方便，而且有的微小颗粒异物易碎，或不能将玻璃内部及粘附在玻璃表面的颗粒物取出，第二种，切成大块的样品，不宜在显微镜查看，而且易受玻璃粉尘的污染。
综合以上情况，导致许多玻璃基板上的微小颗粒物引发的问题无法找到根源，影响生产。
发明内容
本发明的一个目的是提供一种基板颗粒物的取样装置，该基板颗粒物的取样装置能够使待检测颗粒物(例如玻璃基板表面或内部的微小颗粒物)不受外界的污染(例如玻璃粉尘的污染)，且方便操作。
本发明的另一个目的是提供一种玻璃基板颗粒物的取样方法，该玻璃基板颗粒物的取样方法使用本发明提供的基板颗粒物的取样装置，因此能够保证待检测颗粒物(例如玻璃基板表面或内部的微小颗粒物)不受玻璃粉尘的污染，方便玻璃基板颗粒物的取样和转移。
为了实现上述一个目的，本发明提供一种基板颗粒物的取样装置，其中，该取样装置包括筒体，该筒体的上端口由透明的盖密封，所述筒体的下端口设置有沿该下端口的整个边缘延伸的黏性物质。
优选地，所述筒体的内部还形成有沿所述筒体的高度方向与所述盖间隔设置的透明的间隔部，所述间隔部、筒体和所述盖三者围成封闭空间。
优选地，所述间隔部形成为所述筒体的底部封端。
优选地，所述筒体的上端部通过胶黏物质与所述盖密封连接。
优选地，所述筒体的横截面为多变形或圆形。
优选地，所述筒体的横截面为圆形，所述黏性物质在所述筒体的下端口的边缘形成为黏性物质环。
优选地，所述盖为圆盖，所述盖的直径小于所述筒体的外径并且大于所述筒体的内径，或者所述盖的直径大于所述筒体的外径。
优选地，所述筒体和盖由防静电材料制成。
优选地，所述黏性物质为环氧树脂或聚丙烯塑胶或乙烯醋酸-乙烯酯，以及/或所述胶黏物质为环氧树脂或聚丙烯塑胶或乙烯醋酸-乙烯酯。
优选地，所述筒体的外周表面设置有防滑结构，以及/或所述盖的侧外周表面设置有防滑结构。
优选地，所述基板颗粒物的取样装置为玻璃基板颗粒物的取样装置。
为了实现上述另一个目的，本发明还提供一种玻璃基板颗粒物的取样方法，其中，该取样方法使用上述技术方案所述的基板颗粒物的取样装置，且所述取样方法包括：
步骤a，确定玻璃基板上待测颗粒物的位置，并通过所述黏性物质将所述筒体粘接至所述位置，以使得所述位置的颗粒物被封闭在所述玻璃基板、黏性物质和筒体围成的空间内；步骤b，沿着所述筒体的侧周向切割所述玻璃基板，以切割出被取样玻璃基板。
优选地，在所述步骤a中，使用两个所述基板颗粒物的取样装置从所述玻璃基板的两侧粘接在所述位置。
通过上述技术方案，由于本发明提供的基板颗粒物的取样装置包括筒体，且筒体的上端口由透明的盖密封，所述筒体的下端口设置有沿该下端口的整个边缘延伸的黏性物质，所以可以通过黏性物质将筒体粘接玻璃基板的需要检测颗粒物的位置，以使得所述位置的颗粒物被封闭在所述玻璃基板、黏性物质和筒体围成的空间内，防止颗粒物受到外界污染，以保证能够对这些颗粒物进行准确的分析，而且这种装置不需要取走玻璃基板上的颗粒物，而透过透明的盖就可以对玻璃基板颗粒物进行观测(通常通过显微镜观测)，因此操作很方便。此外，本发明提供的玻璃基板颗粒物的取样方法不仅同样地具备上述优势，由于沿着筒体的侧周向切割玻璃基板，以切割出取样玻璃基板，所以很方便玻璃基板颗粒物的取样和转移。
本发明的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是根据本发明的实施方式的基板颗粒物的取样装置的正面剖视图。
图2是根据本发明的实施方式的基板颗粒物的取样装置的仰视图。
附图标记说明
1筒体2盖
3黏性物质4胶黏物质
11间隔部
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
参见图1和图2，根据本发明的一个方面，提供一种基板颗粒物的取样装置，其中，该取样装置包括筒体1，该筒体1的上端口由透明的盖2密封，筒体1的下端口设置有沿该下端口的整个边缘延伸的黏性物质3。该基板颗粒物的取样装置优选为玻璃基板颗粒物的取样装置，但是，并不代表该基板颗粒物的取样装置只能用于玻璃基板颗粒物取样，如果其他非玻璃基板也需要进行颗粒物检测，在能够操作的情况下，该基板颗粒物的取样装置也能够对非玻璃基板进行颗粒物取样。
由于本发明提供的基板颗粒物的取样装置包括筒体1，且筒体1的上端口由透明的盖2密封，筒体1的下端口设置有沿该下端口的整个边缘延伸的黏性物质3，所以可以通过黏性物质3将筒体1粘接玻璃基板的需要检测颗粒物的位置，以使得所述位置的颗粒物被封闭在玻璃基板、黏性物质3和筒体1围成的空间内，防止待检测颗粒物受到外界污染，以保证能够对这些颗粒物进行准确的分析，而且这种装置不需要取走玻璃基板上的颗粒物，而透过透明的盖2就可以对玻璃基板颗粒物进行观测(通常通过显微镜观测)，因此操作很方便。
根据本发明的优选实施方式，筒体1的内部还形成有沿筒体1的高度方向与盖2间隔设置的透明的间隔部11，间隔部11、筒体1和盖2三者围成封闭空间。这样的设置，使得玻璃基板上的颗粒物经过了两层密封(一层为盖2，第二层为该间隔部11)，这样能够更好地防止玻璃基板上的待检测颗粒物受到外界污染。
从图1中可以看出，间隔部11可以形成为筒体1的底部封端。当然，间隔部11形成在筒体1的底部只是一种优选的实施方式，本发明并不限于此，间隔部11形成在筒体1的上部、中部、下部部位也是可以的，这些方案都将落入本发明的保护范围。
此外，筒体1的上端部可以通过胶黏物质4与盖2密封连接。
以上提到的黏性物质3可以为环氧树脂或聚丙烯塑胶或乙烯醋酸-乙烯酯，胶黏物质4也可以为环氧树脂或聚丙烯塑胶或乙烯醋酸-乙烯酯，但是，黏性物质3和胶黏物质4显然不限于这些具体的物质，其他具备相同性质的物质也是可以作为黏性物质3和胶黏物质4，此处不再一一列举。
此外，筒体1的横截面可以为多变形(例如四边形或五边形等等)或圆形。
参见图1，尤其是参见图2，筒体1的横截面优选为圆形，黏性物质3在筒体1的下端口的边缘形成为黏性物质环。当然，盖2也可以适应性地为圆盖，盖2的直径可以小于筒体1的外径并且大于筒体1的内径(这样方便使用者握住筒体1)，当然，盖2的直径大于筒体1的外径也是可以的。
需要理解的是，本发明提供的基板颗粒物的取样装置的尺寸(包括筒体1的高度、外径、内径，盖2的直径等等)并不受特别地限制，可以根据实际需要进行设计。
此外，筒体1和盖2可以由防静电材料制成。
当然，筒体1的外周表面可以设置有防滑结构(例如锯齿结构，但本发明不限于此)，以及/或盖2的侧外周表面设置有防滑结构(例如锯齿结构，但本发明不限于此)。
根据本发明的另一个方面，还提供一种玻璃基板颗粒物的取样方法，其中，该取样方法使用根据上述技术方案所述的基板颗粒物的取样装置，且该取样方法包括：步骤a，确定(例如通过颗粒机检测来确定)玻璃基板上待测颗粒物的位置，并通过黏性物质3将筒体粘接至所述位置，以使得所述位置的颗粒物被封闭在玻璃基板、黏性物质3和筒体1围成的空间内；步骤b，沿着筒体1的侧周向切割玻璃基板，以切割出被取样玻璃基板。
取样后，则可以在显微镜下透过透明的盖2对玻璃基板上的被取样颗粒物进行检测。
本发明提供的玻璃基板颗粒物的取样方法不仅同样地具备上述技术方案所述的基板颗粒物的取样装置优势，由于沿着筒体的侧周向切割玻璃基板，以形成取样玻璃基板，所以很方便玻璃基板颗粒物的取样和转移。
当然，优选地，在步骤a中，可以使用两个基板颗粒物的取样装置从玻璃基板的两侧粘接在位置。从两个面对玻璃基板进行密封，取样效果会更好，因为操作人员有时候不确定颗粒在玻璃基板的哪个面上，而在玻璃基板的两侧都粘接基板颗粒物的取样装置可以保证玻璃基板的两个面都不被污染。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
Claims (13)
1.一种基板颗粒物的取样装置，其特征在于，该取样装置包括筒体(1)，该筒体(1)的上端口由透明的盖(2)密封，所述筒体(1)的下端口设置有沿该下端口的整个边缘延伸的黏性物质(3)。
2.根据权利要求1所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述筒体(1)的内部还形成有沿所述筒体(1)的高度方向与所述盖(2)间隔设置的透明的间隔部(11)，所述间隔部(11)、筒体(1)和所述盖(2)三者围成封闭空间。
3.根据权利要求2所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述间隔部(11)形成为所述筒体(1)的底部封端。
4.根据权利要求1所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述筒体(1)的上端部通过胶黏物质(4)与所述盖(2)密封连接。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述筒体(1)的横截面为多变形或圆形。
6.根据权利要求5所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述筒体(1)的横截面为圆形，所述黏性物质(3)在所述筒体(1)的下端口的边缘形成为黏性物质环。
7.根据权利要求6所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述盖(2)为圆盖，所述盖(2)的直径小于所述筒体(1)的外径并且大于所述筒体(1)的内径，或者所述盖(2)的直径大于所述筒体(1)的外径。
8.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述筒体(1)和盖(2)由防静电材料制成。
9.根据权利要求4所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述黏性物质(3)为环氧树脂或聚丙烯塑胶或乙烯醋酸-乙烯酯，以及/或所述胶黏物质(4)为环氧树脂或聚丙烯塑胶或乙烯醋酸-乙烯酯。
10.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述筒体(1)的外周表面设置有防滑结构，以及/或所述盖(2)的侧外周表面设置有防滑结构。
11.根据权利要求1至4中任意一项所述的基板颗粒物的取样装置，其特征在于，所述基板颗粒物的取样装置为玻璃基板颗粒物的取样装置。
12.一种玻璃基板颗粒物的取样方法，其特征在于，该取样方法使用根据权利要求1至10中任意一项所述的基板颗粒物的取样装置，且所述取样方法包括：
步骤a，确定玻璃基板上待测颗粒物的位置，并通过所述黏性物质(3)将所述筒体粘接至所述位置，以使得所述位置的颗粒物被封闭在所述玻璃基板、黏性物质(3)和筒体(1)围成的空间内；
步骤b，沿着所述筒体(1)的侧周向切割所述玻璃基板，以切割出被取样玻璃基板。
13.根据权利要求12所述的玻璃基板颗粒物的取样方法，其特征在于，在所述步骤a中，使用两个所述基板颗粒物的取样装置从所述玻璃基板的两侧粘接在所述位置。
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| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20200804 Granted publication date: 20180608 |
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| PD01 | Discharge of preservation of patent | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20200918 Address after: 050035 No. 9, the Yellow River Avenue, hi tech Zone, Hebei, Shijiazhuang Patentee after: DONGXU OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: The 100075 Beijing Seahawks Fengtai District Science City Road No. 9 Building No. 2 room 266 (Park) Patentee before: TUNGHSU TECHNOLOGY GROUP Co.,Ltd. Patentee before: TUNGHSU GROUP Co.,Ltd. |
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| TR01 | Transfer of patent right | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Application publication date: 20160309 Assignee: Hunan Xinghuai New Material Technology Co.,Ltd. Assignor: DONGXU OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. Contract record no.: X2022110000065 Denomination of invention: Sampling device for substrate particulate matter and sampling method for glass substrate particulate matter Granted publication date: 20180608 License type: Common License Record date: 20221101 |
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| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |