CN105369337A - 多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备，搭配电性连接于基板一边的阴极连接件使用，多阳极控制装置包括：一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数阳极网；以及分别电性连接于各阳极网的一供电控制模块，用以对各阳极网分别供电并分别产生所需的电流密度。以此，以使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所获得的阴极电彼此互补。

Description

多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备

技术领域

本发明关于一种电镀用阳极网，特别是指一种多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备。

背景技术

关于基板的电镀，主要将阴极电经由夹具电性连接于基板的一侧边，再于基板的正面和背面分别配设有阳极网，以利用带有阳极电的阳极网对已带有阴极电的基板进行电镀。

惟，由于阴极电仅电性连接于基板的一侧边，导致基板愈远离夹具所夹的位置，所获得的阴极电愈小。因此而在电镀时，让基板的电镀厚度不均匀，也就是：基板愈远离夹具所夹位置的电镀厚度愈薄，影响基板的导电性，早为人所垢病已久。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备，能使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，从而对基板进行均匀电镀。

为了达到上述目的，本发明提供了一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，该多阳极控制装置包括：

一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及

一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。

2、如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。

进一步地，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。

进一步地，其中该间距为直线、斜线、锯齿弯折线、圆弧弯折线或圆弧线。

进一步地，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔。

进一步地，其中各该阳极网具有彼此相同的面积。

进一步地，其中该供电控制模块为一整流器，该整流器具有多数个电力输出部，各该电力输出部分别电性连接于各该阳极网。

进一步地，其中该供电控制模块具有多数个整流器，各该整流器分别电性连接于各该阳极网。

进一步地，进一步包括一绝缘架体，该阳极模块配设于该绝缘架体。

进一步地，其中该绝缘架体包含一框架和跨接于该框架内的多数个肋条，该阳极模块架设于该框架内，各该肋条对应任相邻二个该阳极网之间的该间距位置固定该阳极模块。

进一步地，进一步包括一电镀液输送结构，该电镀液输送结构包含一分流管和多数个输送管，该分流管连接于该绝缘架体，该分流管具有一入口和多数个出口，各该输送管则分别连接于各该出口与该绝缘架体之间，各该输送管还具有多数个电镀液输出部，各该电镀液输出部伸出于该阳极模块。

进一步地，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔，该电镀液输送结构的各该电镀液输出部分别对应该阳极模块的各该电镀液输出孔伸出。

本发明还提供一种具有多阳极控制装置的电镀设备，用以电镀基板，该电镀设备包括：

一本体，定义有用以输送所述基板的一第二方向；

一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间沿该第二方向输送；

一阴极连接组，配设于该本体，该阴极连接组具有多数个阴极连接件，各该阴极连接件电性连接于所述基板的一边；以及

一对多阳极控制装置，于该本体呈上下相对配设，各该多阳极控制装置通过各该输送滚轮组分别面向所述基板的两面，各该多阳极控制装置包含：一阳极模块和一供电控制模块；

该阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；

该供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。

进一步地，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。

进一步地，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。

进一步地，其中该阳极模块中的任相邻二个该阳极网之间的该间距对应该阳极模块所呈现的线形形状，与该第二方向之间形成有一夹角。

进一步地，其中该夹角的角度为大于15度且小于75度。

相较于先前技术，本发明具有以下功效：能使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所分别获得的阴极电彼此互补，从而对基板进行均匀电镀。

附图说明

图1为本发明中的阳极模块第一实施例的立体图。

图2为本发明中的阳极模块第二实施例的俯视图。

图3为本发明中的阳极模块第三实施例的俯视图。

图4为本发明中的阳极模块第四实施例的俯视图。

图5为本发明多阳极控制装置的部分立体图(不含电镀液输送结构)。

图6为本发明多阳极控制装置的部分立体图(包含电镀液输送结构)。

图7为本发明多阳极控制装置中的供电控制模块的供电方式示意图。

图8为本发明电镀设备的剖视图。

图9至图21分别为本发明中的阳极模块第五至十七实施例的俯视图。

图中，100…多阳极控制装置

1…阳极模块

1a…第一边

1b…第二边

11…阳极网

111…电镀液输出孔

2…供电控制模块

21…电力输出部

22…整流器

3…绝缘架体

31…框架

311…定位肋

32…肋条

4…电镀液输送结构

41…分流管

411…入口

412…出口

42…输送管

421…电镀液输出部

500…基板

600…本体

700…输送滚轮组

800…阴极连接组

8…阴极连接件

A…夹角

D1…第一方向

D2…第二方向

S1、S2、S3、S4、S5…间距。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。

有关本发明的详细说明和技术内容，配合图式说明如下，然而所附图式仅提供参考与说明用，非用以限制本发明。

本发明提供一种具有多阳极控制装置的电镀设备，如图8所示，电镀设备用以对一基板500进行电镀，电镀设备包括一阴极连接组800以及一对多阳极控制装置100。阴极连接组800具有用以电性连接于基板500一边的多数阴极连接件8。多阳极控制装置100则包括有一阳极模块1以及一供电控制模块2。

如图1所示，为阳极模块1第一实施例的立体图。阳极模块1具有对应于阴极连接件8(参图8)的一第一边1a以及相对于第一边1a的一第二边1b。从阳极模块1的第一边1a到第二边1b定义为一第一方向D1。阳极模块1则包含有依第一方向D1间隔并排且分别开设有多数电镀液输出孔111的多数阳极网11。各阳极网11之间相隔有一间距，各间距可为如图1所示的斜线形状的间距S1(阳极模块1的第一实施例)、如图2所示的直线形状的间距S2(阳极模块1的第二实施例)、如图3所示的圆弧线形状的间距S3(阳极模块1的第三实施例)或如图4所示的锯齿弯折线形状的间距S4(阳极模块1的第四实施例)，本发明并未限定。

电镀设备用以输送基板500的方向定义为一第二方向D2(参考图2和图8所示)。

前述第二实施例的各阳极网11之间呈直线形状的间距S2若与第二方向D2平行(图中未示)，将会在基板500上形成一条未电镀的线；为了避免此等情况发生，如图2所示，因此必须斜置第二实施例的阳极模块1，使阳极模块1中的任相邻二阳极网11之间的间距S2，对应阳极模块1所呈现的线形形状与第二方向D2之间形成一夹角A，夹角A的角度为大于15度且小于75度，本发明并未限制，如此一来就能避免在基板500上形成未电镀的线。

至于如图1所示的斜线形状的间距S1(阳极模块1的第一实施例)、如图3所示的圆弧线形状的间距S3(阳极模块1的第三实施例)和如图4所示的锯齿弯折线形状的间距S4(阳极模块1的第四实施例)，由于各间距S1、S3、S4皆未与第二方向D2平行，因此不会在基板500上形成未电镀的线，换言之，也就不须斜置第一、第三和第四实施例的阳极模块1。

供电控制模块2分别电性连接于各阳极网11，以让供电控制模块2分别供电给各阳极网11，从而在各阳极网11分别产生所需的电流密度(未标示符号)。由于阳极网11的边际效应，使得阳极网11边际的电流密度反而会增加，因此，实际上仍需视情况利用供电控制模块2分别调整提供给各阳极网11的电流；所述情况有多种，于本实施例中将以其中一种下述的情况为例进行说明，但不限于此：

若阳极网11距离第一边1a愈远，则阳极网11所需的电流密度愈大，也就是：各电流密度的大小与各阳极网11距离第一边1a的长度成正比。据此，经由供电控制模块2的分别微调控制，使距离第一边1a愈远的阳极网11，所产生的电流密度愈大。如此一来，刚好与阴极连接件8带给基板500的电流密度大小彼此互补，从而能在基板500上进行均匀电镀。当然，在实施上，各阳极网11的面积以彼此相同为佳，以使供电控制模块2的微调控制趋于简单。

如图7所示，供电控制模块2可为具有多数整流器22的实施方式。因此，各整流器22的阳极将分别经由各电力输出部21电性连接于各阳极网11，各整流器22的阴极则经由阴极连接件8(参图8所示)而电性连接于基板500的一面和另一面。基板500的一面和另一面彼此相对。以此，以让供电控制模块2经由各整流器22对各阳极网11分别输出所需大小的阳极电。

当然，供电控制模块2还可为单一颗整流器(图中未示)，且供电控制模块2具有多数电力输出部21。各电力输出部21分别电性连接于各阳极网11。以此，以让供电控制模块2经由各电力输出部21对各阳极网11分别输出所需大小的阳极电。

如图5和图6所示，本发明多阳极控制装置100还包括一绝缘架体3和一电镀液输送结构4。前述阳极模块1则配设于绝缘架体3，阳极模块1配设于绝缘架体3的方式将说明如下，但不限于如下说明的方式。

绝缘架体3包含一框架31和跨接于框架31内的多数肋条32。阳极模块1架设于框架31内，并使各肋条32对应任相邻二阳极网1之间的间距S1(或其它间距S2~S4)位置固定阳极模块1，从而让阳极模块1定位于框架31内。

当然，为了能够稳固地将阳极模块1定位于框架31内，框架31对应于第一边1a和第二边1b位置分别设置有一定位肋311，以让阳极模块1的第一边1a和第二边1b分别定位于框架31的二定位肋311上。

电镀液输送结构4包含一分流管41和多数输送管42。分流管41连接于框架31且具有一入口411和多数出口412。各输送管42分别连接于各出口412与框架31之间，各输送管42具有多数电镀液输出部421。各电镀液输出部421则经由各电镀液输出孔111伸出于阳极模块1。因此，电镀液经由入口411输入分流管41内，再经由各出口412将电镀液输出到各输送管42，最后则经由各电镀液输出部421喷出电镀液。

必须说明的是，本发明多阳极控制装置100虽然能以具有绝缘架体3的方式来实施，但实际上也能以不具有绝缘架体3的方式来实施。前者可通过绝缘架体3而能模块化地组卸于一电镀设备，后者则能让结构趋于简单，本发明并未限定。

如图8所示，为本发明具有多阳极控制装置100的电镀设备的剖视图。电镀设备用以对一基板500电镀，电镀设备包括：一本体600、一对输送滚轮组700、前述的阴极连接组800以及前述的一对多阳极控制装置100。

本体600定义有用以输送基板500的前述第二方向D2(参考图1或图2)。二输送滚轮组700则于本体600呈上下相对配设，使基板500能在二输送滚轮组700之间沿第二方向D2输送。阴极连接组800配设于本体600，阴极连接组800的各阴极连接件8则位于二阳极模块1的第一边1a之间。

二多阳极控制装置100并在本体600呈上下相对配设，各多阳极控制装置100则通过各输送滚轮组700分别面向基板500的一面和另一面。

各多阳极控制装置100则包含前述的阳极模块1和供电控制模块2(如图7所示)。

参考图1所示，各阳极模块1中的任相邻二阳极网11之间的间距S，对应阳极模块1所呈现的线形形状与第二方向D2之间形成有一夹角A。夹角A的角度为大于15度且小于75度，本发明并未限制。

据此，基板500经由二输送滚轮组700的输送而朝第二方向D2前进。各阴极连接件8电性连接于基板500的一边而提供阴极电，使基板500愈远离阴极连接件8的位置，所获得的阴极电愈小。此时，各多阳极控制装置100将通过各供电控制模块2的控制，使愈远离阴极连接件8位置的阳极网11，所获得的电流密度愈大，如此彼此互补，使能对基板500的一面和另一面进行均匀电镀。

此外，如图9至图21所示，分别为前述阳极模块1的第五至十七实施例。其中，如图9至图16所示的阳极模块1皆包含三片阳极网11，各阳极网11之间相隔有一间距；如图17至图21所示的阳极模块1则皆包含四片阳极网11，各阳极网11之间亦相隔有一间距。

图9中呈斜线形状的各间距S1为彼此平行(阳极模块1的第五实施例)，图10中亦呈斜线形状的各间距S1则彼此对称(阳极模块1的第六实施例)。

图11中呈圆弧线形状的各间距S3为彼此平行(阳极模块1的第七实施例)，图12中亦呈圆弧线形状的间距S3则彼此对称(阳极模块1的第八实施例)。

图13中呈锯齿弯折线形状的各间距S4为彼此平行(阳极模块1的第九实施例)，图14中亦呈锯齿弯折线形状的间距S4则彼此对称(阳极模块1的第十实施例)。

图15中呈圆弧弯折线形状的各间距S5为彼此平行(阳极模块1的第十一实施例)，图16中亦呈圆弧弯折线形状的间距S5则彼此对称(阳极模块1的第十二实施例)。

图17中呈斜线形状的任相邻二间距S1之间为彼此对称(阳极模块1的第十三实施例)，至于亦呈斜线形状的各间距S1为彼此平行的实施例，则见于图1(阳极模块1的第一实施例)。

图18中呈圆弧线形状的任相邻二间距S3之间为彼此对称(阳极模块1的第十四实施例)，至于亦呈圆弧线形状的各间距S3为彼此平行的实施例，则见于图3(阳极模块1的第三实施例)。

图19中呈圆弧弯折线形状的各间距S5为彼此平行(阳极模块1的第十五实施例)，图20中亦呈圆弧弯折线形状的任相邻二间距S5则彼此对称(阳极模块1的第十六实施例)。

图21中呈锯齿弯折线形状的任相邻二间距S4之间为彼此对称(阳极模块1的第十七实施例)，至于亦呈锯齿弯折线形状的各间距S4为彼此平行的实施例，则见于图4(阳极模块1的第四实施例)。

值得注意的是，前述阳极模块1任一实施例(包含第一至十七实施例)中的每一片阳极网11的面积皆相同，以使供电控制模块2的微调控制趋于简单。

综上所述，本发明相较于先前技术具有以下功效：通过供电控制模块2能对阳极模块1的各阳极网11进行微调控制，使愈远离阴极连接件8位置的阳极网11，所获得的电流密度愈大，以与基板500愈远离阴极连接件8所获得阴极电愈小的位置彼此互补，从而能对基板500进行均匀电镀。

此外，本发明还具有其它功效：通过多阳极控制装置100还能因为绝缘架体3而能模块化地组卸于电镀设备，使组卸多阳极控制装置100变得简便且容易。

以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。

Claims (17)

1.一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，其特征在于，该多阳极控制装置包括：

一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及

一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。

2.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。

3.如权利要求2所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。

4.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该间距为直线、斜线、锯齿弯折线、圆弧弯折线或圆弧线。

5.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔。

6.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网具有彼此相同的面积。

7.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该供电控制模块为一整流器，该整流器具有多数个电力输出部，各该电力输出部分别电性连接于各该阳极网。

8.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该供电控制模块具有多数个整流器，各该整流器分别电性连接于各该阳极网。

9.如权利要求1所述的多阳极控制装置，其特征在于，进一步包括一绝缘架体，该阳极模块配设于该绝缘架体。

10.如权利要求9所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中该绝缘架体包含一框架和跨接于该框架内的多数个肋条，该阳极模块架设于该框架内，各该肋条对应任相邻二个该阳极网之间的该间距位置固定该阳极模块。

11.如权利要求9所述的多阳极控制装置，其特征在于，进一步包括一电镀液输送结构，该电镀液输送结构包含一分流管和多数个输送管，该分流管连接于该绝缘架体，该分流管具有一入口和多数个出口，各该输送管则分别连接于各该出口与该绝缘架体之间，各该输送管还具有多数个电镀液输出部，各该电镀液输出部伸出于该阳极模块。

12.如权利要求11所述的多阳极控制装置，其特征在于，其中各该阳极网开设有多数个电镀液输出孔，该电镀液输送结构的各该电镀液输出部分别对应该阳极模块的各该电镀液输出孔伸出。

13.一种具有多阳极控制装置的电镀设备，用以电镀基板，其特征在于，该电镀设备包括：

一本体，定义有用以输送所述基板的一第二方向；

一对输送滚轮组，于该本体呈上下相对配设，所述基板则于一对该输送滚轮组之间沿该第二方向输送；

一阴极连接组，配设于该本体，该阴极连接组具有多数个阴极连接件，各该阴极连接件电性连接于所述基板的一边；以及

一对多阳极控制装置，于该本体呈上下相对配设，各该多阳极控制装置通过各该输送滚轮组分别面向所述基板的两面，各该多阳极控制装置包含：一阳极模块和一供电控制模块；

该阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；

该供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。

14.如权利要求13所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该阳极模块具有对应于所述阴极连接件的一第一边和相对于该第一边的一第二边，该阳极模块从该第一边到该第二边定义为一第一方向，各该阳极网依该第一方向彼此间隔并排。

15.如权利要求14所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中各该阳极网所产生的该电流密度的大小与各该阳极网距离该第一边的长度成正比。

16.如权利要求13所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该阳极模块中的任相邻二个该阳极网之间的该间距对应该阳极模块所呈现的线形形状，与该第二方向之间形成有一夹角。

17.如权利要求16所述的具有多阳极控制装置的电镀设备，其特征在于，其中该夹角的角度为大于15度且小于75度。