CN105365343B - 剥膜机及其辗压装置 - Google Patents

Abstract

一种剥膜机及该剥膜机的辗压装置，该剥膜机包含一输送装置、一辗压装置及一剥离装置，输送装置可沿输送方向输送板件，辗压装置包括一驱动机构及一旋转辗压件，驱动机构可带动旋转辗压件沿辗压方向移动以经由板件的前端缘辗压至外表面上，使薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏薄膜与光阻层间的黏着力，当旋转辗压件移离薄膜时，薄膜与光阻层间形成气室，气室的开口形成于前端缘与光阻层间，剥离装置包括一夹持吹气机构及一剥离机构，夹持吹气机构用以夹持前凸出部并可对开口吹气以使薄膜邻近前端缘的部位剥离光阻层，剥离机构用以衔接薄膜邻近前端缘的部位以将薄膜剥离光阻层。本发明的剥膜机及其辗压装置，剥膜方便快速，能降低光阻层及基板的受损。

Description

剥膜机及其辗压装置

技术领域

本发明涉及一种剥膜机，特别是涉及一种用以将印刷电路板上的薄膜剥离光阻层的剥膜机及其辗压装置。

背景技术

印刷电路板在制造过程中，基板表面通常形成有干膜，基板在实施曝光步骤前，干膜具有一光阻层及一黏附于光阻层的薄膜，薄膜为一迈拉(Mylar)。当基板实施曝光步骤后，需将薄膜剥离光阻层，使光阻层外露，以便对基板实施后续的显影及蚀刻步骤。

现有用以剥离薄膜的剥膜机大都是借由压花轮在薄膜表面上滚压，使薄膜形成皱折。随后，借由黏轮黏着薄膜并将其剥离光阻层，以使薄膜与光阻层分离。

薄膜与光阻层间是呈真空的黏着状态，因此，压花轮需施加一预定的压力于薄膜上，才能使薄膜形成皱折。由于光阻层及薄膜的厚度很薄，因此，压花轮施力滚压于薄膜的过程中，很容易因施力滚压的力道过大进而造成光阻层及基板的受损。所以，现有剥膜机的剥膜方式仍有进一步改善的空间。

发明内容

本发明的一目的，在于提供一种剥膜机，通过辗压装置的旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕的辗压方式，能降低旋转辗压件辗压薄膜的过程中造成光阻层及基板的受损。

本发明的另一目的，在于提供一种剥膜机，当旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕并且移离薄膜后，薄膜与光阻层间会形成具有开口的气室，借此，能有效地破坏薄膜与光阻层间的密合性，以便能快速地将薄膜剥离光阻层。

本发明的目的及解决背景技术问题是采用于下技术方案来实现的，依据本发明提出的剥膜机，适于将一板件的一薄膜由一光阻层上剥离，该薄膜具有一前端缘、一结合于该光阻层的结合面，及一相反于该结合面的外表面，该板件具有一结合于该光阻层相反于该薄膜一侧的基板，该基板具有一凸伸出该前端缘的前凸出部。

该剥膜机包含一输送装置、一辗压装置，及一剥离装置，该输送装置可沿一由后朝前的输送方向输送该板件，该辗压装置位于该输送装置中段处，该辗压装置包括一固定框架、一设置于该固定框架的驱动机构，及一设置于该驱动机构的旋转辗压件，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿一辗压方向移动以经由该前端缘辗压至该外表面上，使该薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏该薄膜与该光阻层间的黏着力，当该旋转辗压件移离该薄膜时，该薄膜与该光阻层间形成一气室，该气室的一开口形成于该前端缘与该光阻层间，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿该辗压方向在一位于该前凸出部与该前端缘间且对齐于该前端缘前方的初始位置，及一辗压于该外表面且间隔位于该前端缘后方的终止位置间移动，该旋转辗压件包含一呈圆盘状的辗压刀，该辗压刀包括一用以辗压该薄膜的刀尖，该剥离装置位于该辗压装置前侧，该剥离装置包括一夹持吹气机构，及一剥离机构，该夹持吹气机构用以夹持该前凸出部并可对该气室的该开口吹气以使该薄膜邻近该前端缘的部位剥离该光阻层，该剥离机构用以衔接该薄膜邻近该前端缘的部位以将该薄膜剥离该光阻层。

该刀尖呈倒圆角状。

该驱动机构包含一用以供该旋转辗压件枢接的壳件、一设置于该壳件内的偏压弹簧，及一用以抵压于该偏压弹簧一端使其对该壳件朝下偏压的压力调整杆。

该驱动机构还包含一第一承载架、一第二承载架、一第三承载架、一第一气缸、一第二气缸，及一第三气缸，该第一气缸设置于该固定框架上用以驱使该第一承载架沿一平行于该前端缘的平移方向移动，该第二气缸设置于该第一承载架上用以驱使该第二承载架沿一上下方向移动，该第三气缸设置于该第二承载架上用以驱使该第三承载架沿该辗压方向移动，该壳件可沿该上下方向移动地连接于该第三承载架上。

该辗压方向是倾斜于该前端缘。

该夹持吹气机构包含两个用以夹持该前凸出部的夹爪，及一设置于对应的该夹爪并可对该开口吹气的喷嘴，该剥离机构包含一挡止件、一回收滚筒、一卷绕于该回收滚筒上并可被该回收滚筒卷收的承接膜，及一接合模块，该承接膜部分贴靠于该挡止件上，该薄膜邻近该前端缘的部位会被该喷嘴吹至贴靠于该挡止件并重叠于该承接膜的位置，该接合模块用以将该薄膜与该承接膜重叠的部位接合在一起。

本发明的又一目的，在于提供一种剥膜机的辗压装置，通过辗压装置的旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕的辗压方式，能降低旋转辗压件辗压薄膜的过程中造成光阻层及基板的受损。

本发明的再一目的，在于提供一种剥膜机的辗压装置，当旋转辗压件辗压薄膜使其凹陷变形形成压痕并且移离薄膜后，薄膜与光阻层间会形成具有开口的气室，借此，能有效地破坏薄膜与光阻层间的密合性。

本发明的目的及解决背景技术问题是采用于下技术方案来实现的，依据本发明提出的剥膜机的辗压装置，适于辗压一板件的一薄膜，该板件具有一光阻层，该薄膜具有一前端缘、一结合于该光阻层的结合面，及一相反于该结合面的外表面。

该辗压装置包括一固定框架、一驱动机构，及一旋转辗压件，该驱动机构设置于该固定框架上，该旋转辗压件设置于该驱动机构，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿一辗压方向移动以经由该前端缘辗压至该外表面上，使该薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏该薄膜与该光阻层间的黏着力，当该旋转辗压件移离该薄膜时，该薄膜与该光阻层间形成一气室，该气室的一开口形成于该前端缘与该光阻层间，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿该辗压方向在一对齐于该前端缘前方的初始位置，及一辗压于该外表面且间隔位于该前端缘后方的终止位置间移动，该旋转辗压件包含一呈圆盘状的辗压刀，该辗压刀包括一用以辗压该薄膜的刀尖。

该刀尖呈倒圆角状。

该驱动机构包含一用以供该旋转辗压件枢接的壳件、一设置于该壳件内的偏压弹簧，及一用以抵压于该偏压弹簧一端使其对该壳件朝下偏压的压力调整杆。

该驱动机构还包含一第一承载架、一第二承载架、一第三承载架、一第一气缸、一第二气缸，及一第三气缸，该第一气缸设置于该固定框架上用以驱使该第一承载架沿一平行于该前端缘的平移方向移动，该第二气缸设置于该第一承载架上用以驱使该第二承载架沿一上下方向移动，该第三气缸设置于该第二承载架上用以驱使该第三承载架沿该辗压方向移动，该壳件可沿该上下方向移动地连接于该第三承载架上。

该辗压方向是倾斜于该前端缘。

本发明的有益效果在于：通过辗压装置的旋转辗压件辗压薄膜，使薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏薄膜与光阻层间的黏着力及密合性，借此，能降低旋转辗压件辗压薄膜的过程中造成光阻层及基板的受损。当旋转辗压件移离薄膜后，薄膜与光阻层间形成具有开口的气室，借此，使得剥离装置能方便且可快速地将薄膜剥离光阻层。

附图说明

图1是本发明发剥膜机的一实施例的立体图，说明机座、输送装置、辗压装置及剥离装置间的组装关系；

图2是本发明剥膜机的一实施例的侧视图；

图3是本发明剥膜机的一实施例所欲加工的板件的侧视图；

图4是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的立体图；

图5是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的后视图；

图6是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的局部立体图，说明固定框架、驱动机构与旋转辗压件间的组装关系；

图7是本发明剥膜机的一实施例的辗压装置的局部后视图；

图8是本发明剥膜机的一实施例的旋转辗压件的侧视图；

图9是本发明剥膜机的一实施例的局部侧视图，说明夹持吹气机构与剥离机构的细部构造；

图10是本发明剥膜机的一实施例的夹持吹气机构的立体图；

图11是本发明剥膜机的一实施例的挡止件的前视图；

图12是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明旋转辗压件位于初始位置；

图13是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明旋转辗压件位于初始位置；

图14是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明旋转辗压件位于终止位置；

图15是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明旋转辗压件的辗压刀辗压薄膜使其凹陷变形而形成压痕；

图16是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明旋转辗压件复位至初始位置；

图17是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明旋转辗压件移离薄膜时，薄膜与光阻层间形成具有开口的气室；

图18是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明夹爪夹持基板的前凸出部；

图19是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明喷嘴对气室的开口吹气以使薄膜邻近前端缘的部位剥离光阻层并重叠于承接膜上；

图20是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明接合模块移动至接合位置以将薄膜与承接膜重叠的部位接合在一起；及

图21是本发明剥膜机的一实施例的作动示意图，说明回收滚筒卷收承接膜并拉动薄膜使其移动到承接位置。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

参阅图1、图2及图3，是本发明剥膜机的一实施例，剥膜机200是适用于印刷电路板的制程中，用以将一板件1的薄膜12由光阻层11上剥离。在本实施例中，板件1具有一基板10、两分别形成于基板10正反面的光阻层11，及两分别形成于两光阻层11的薄膜12。各薄膜12是以迈拉(Mylar)为例，各薄膜12用以保护对应的光阻层11并具有一前端缘121、一后端缘122、一黏着于对应的光阻层11的结合面123，及一相反于结合面123的外表面124。基板10则具有一凸伸出各薄膜12的前端缘121的前凸出部101。

参阅图1、图3、图4及图5，剥膜机200包含一机座2、一输送装置3、一辗压装置4，及一剥离装置5。输送装置3设置于机座2上并包括一后入料端31、一前出料端32，及多个位于后入料端31与前出料端32间的输送滚轮33，所述输送滚轮33可沿一由后朝前的输送方向I输送板件1。辗压装置4位于输送装置3的中段处，辗压装置4包括一固设于机座2的固定框架41、两个上下颠倒地设置于固定框架41的驱动机构42，及两个分别设置于两驱动机构42的旋转辗压件44。

参阅图1、图4、图6及图7，由于两个驱动机构42的结构相同，且两个旋转辗压件44的结构相同，因此，在以下说明书内容中将以位在上方的一组驱动机构42及旋转辗压件44为例作说明。驱动机构42包含一第一承载架421、一第二承载架422、一第三承载架423、一第一气缸424、两个第二气缸425，及一第三气缸426。第一承载架421可滑动地连接于固定框架41的一呈横向延伸的横导轨411，第一气缸424固定地设置于固定框架41并与第一承载架421相连接，第一气缸424用以驱使第一承载架421沿一平移方向H移动，其中，平移方向H平行于薄膜12的前端缘121并且垂直于输送方向I。两第二气缸425固定地设置于第一承载架421上且分别邻近于第一承载架421左右两端，各第二气缸425连接于第二承载架422顶端并且用以驱使第二承载架422沿一上下方向V移动，其中，上下方向V垂直于平移方向H。第三承载架423可滑动地连接于第二承载架422的一呈斜向延伸的斜导轨427，第三气缸426固定地设置于第二承载架422上并与第三承载架423相连接，第三气缸426用以驱使第三承载架423沿一辗压方向D移动。本实施例的辗压方向D是倾斜于薄膜12的前端缘121。

驱动机构42还包含一壳件428、一偏压弹簧429，及一压力调整杆430。壳件428可沿上下方向V移动地连接于第三承载架423上，壳件428形成有一用以供偏压弹簧429容置的容置槽431。各旋转辗压件44可转动地枢接于对应驱动机构42的壳件428上。本实施例的压力调整杆430是以一螺接于第三承载架423的螺杆为例作说明，压力调整杆430穿伸至容置槽431内用以抵压于偏压弹簧429顶端，使得偏压弹簧429能对壳件428朝下偏压，并且能借由旋转压力调整杆430来调整偏压弹簧429施加于壳件428上的压力。借此，能调整旋转辗压件44辗压于薄膜12的外表面124(如图3所示)时的力道。

参阅图3、图6及图8，旋转辗压件44包含一呈圆盘状的辗压刀441，辗压刀441包括一用以辗压薄膜12的刀尖442，本实施例的刀尖442呈倒圆角状。借由辗压刀441的刀尖442呈倒圆角状的设计，能防止辗压刀441在辗压薄膜12的过程中切断薄膜12。驱动机构42可带动旋转辗压件44沿一辗压方向D移动以经由薄膜12的前端缘121辗压至外表面124上，使薄膜12凹陷变形形成一压痕13(参阅图17)，以破坏薄膜12与光阻层11间的黏着力及密合性。当旋转辗压件44移离薄膜12时，薄膜12与光阻层11间形成一气室14(如图17所示)，气室14的一开口141(如图17所示)形成于前端缘121与光阻层11间。

参阅图3、图9及图10，剥离装置5设置于机座2上且位于辗压装置4前侧，剥离装置5包括一夹持吹气机构51，及一剥离机构52。夹持吹气机构51包括两个夹爪511，及两个分别设置于两夹爪511上的喷嘴512，两夹爪511用以夹持板件1的基板10的前凸出部101，各喷嘴512用以对对应气室14的开口141(如图17所示)吹气，以使薄膜12邻近前端缘121的部位剥离光阻层11。

参阅图9及图11，剥离机构52用以衔接薄膜12邻近前端缘121的部位以将薄膜12剥离光阻层11。剥离机构52包含两个上下相间隔的挡止件521、两个上下相间隔的回收滚筒522、两分别卷绕于两回收滚筒522上并可被回收滚筒522卷收的承接膜523，及两个接合模块524。各挡止件521具有一挡板部525，及一位于挡板部525邻近回收滚筒522一端的吸盘部526。本实施例的各承接膜523是以迈拉(Mylar)为例，各承接膜523的一部分卷绕于对应的回收滚筒522上，而另一部分则贴靠于对应挡止件521的吸盘部526上，吸盘部526可通过吸力吸附承接膜523，借此，使得承接膜523的另一部分能平整地贴靠在吸盘部526上。

各薄膜12邻近前端缘121的部位会被对应的喷嘴512吹至贴靠于对应的挡止件521上，并且重叠在对应的承接膜523贴靠于吸盘部526的部位。借由对应的接合模块524将薄膜12与承接膜523重叠的部位接合在一起，使得薄膜12能与承接膜523连接在一起。借此，当各回收滚筒522卷收承接膜523时能同时拉动与承接膜523连接在一起的薄膜12，借此，能将薄膜12完整地剥离光阻层11。

以下将针对剥膜机200的作动方式进行详细说明：

参阅图1及图12，首先，将板件1由后入料端31放置于输送装置3的输送滚轮33上，输送滚轮33会沿输送方向I输送板件1移动。当板件1移动到邻近于辗压装置4后侧的一预定位置时，输送滚轮33会停止输送板件1移动。

参阅图6、图12及图13，位于上方的一组驱动机构42的第二气缸425会驱使第二、第三承载架422、423及旋转辗压件44沿上下方向V向下移动，而位于下方的另一组驱动机构42的第二气缸425则会驱使第二、第三承载架422、423及旋转辗压件44沿上下方向V向上移动，使得两旋转辗压件44能分别移动至一初始位置(如图13所示)，当各旋转辗压件44在初始位置时，各旋转辗压件44位于基板10的前凸出部101与对应薄膜12的前端缘121间，且各旋转辗压件44对齐于对应薄膜12的前端缘121前方。

参阅图6、图14及图15，随后，各驱动机构42的第三气缸426会驱使第三承载架423及旋转辗压件44沿辗压方向D移动，以使旋转辗压件44的辗压刀441经由薄膜12的前端缘121辗压至外表面124上，辗压刀441辗压的过程中其刀尖442会将薄膜12朝光阻层11方向挤压，使薄膜12及光阻层11分别如图15所示地凹陷变形，并且在薄膜12的外表面124上形成压痕13，以破坏薄膜12与光阻层11间的黏着力及密合性。当第三气缸426驱使旋转辗压件44移动至一间隔位于前端缘121后方的终止位置(如图14所示)时，第三气缸426即停止驱使旋转辗压件44移动。

参阅图6、图16及图17，之后，第三气缸426会驱使旋转辗压件44由终止位置移动复位至初始位置(如图16所示)。当旋转辗压件44的辗压刀441与薄膜12的外表面124分离时，薄膜12的结合面123与光阻层11间形成一气室14，气室14的一开口141形成于前端缘121与光阻层11间。借由第三气缸426驱使旋转辗压件44在初始位置与终止位置间进行多次的往复移动，便能重复地对薄膜12进行辗压的动作，借此，能更为有效地破坏薄膜12与光阻层11间的黏着力及密合性，以增加薄膜12与光阻层11分离的效果，使气室14及其开口141的形成能更为显著。

需说明的是，借由第一气缸424能驱使第一、第二、第三承载架421、422、423及旋转辗压件44沿平移方向H移动，使得旋转辗压件44可在薄膜12的前端缘121不同位置进行辗压的动作，以在薄膜12的外表面124上辗压出多条彼此相间隔的压痕13。借此，可在薄膜12与光阻层11间形成多个气室14，能更为有效地破坏薄膜12与光阻层11间的黏着力及密合性。

参阅图9、图18及图19，当薄膜12的辗压作业完成后，输送滚轮33会沿输送方向I输送板件1移动。当板件1移动到前凸出部101位于两夹爪511间的一待夹持位置(如图18所示)时，两夹爪511会相互靠近并夹持住前凸出部101，使板件1定位在气室14的开口141(如图17所示)与喷嘴512对齐的位置。随后，各喷嘴512会对气室14的开口141吹气，以使各薄膜12邻近前端缘121的部位剥离光阻层11。各薄膜12邻近前端缘121的部位会被对应的喷嘴512吹至贴靠于对应挡止件521上，并且重叠在对应的承接膜523贴靠于吸盘部526的部位。

参阅图9及图20，接着，各接合模块524会由一初始位置(如图9所示)移动至一抵接于薄膜12与承接膜523重叠部位的接合位置(如图20所示)，以将两者重叠的部位接合在一起，使薄膜12与承接膜523相连接。随后，各接合模块524会复位至初始位置，此时，各回收滚筒522便能卷收承接膜523以同时拉动与承接膜523相连接在一起的薄膜12，借此，能将薄膜12完全地剥离光阻层11。在本实施例中，接合模块524可通过例如为热融接或黏接或其它的接合方式将薄膜12与承接膜523重叠部位接合在一起。

参阅图20及图21，接着，两夹爪511会释放前凸出部101，使输送滚轮33沿输送方向I输送板件1移动至前出料端32(如图1所示)，以便对板件1实施后续的显影及蚀刻步骤。另一方面，各回收滚筒522卷收承接膜523后会拉动薄膜12使其移动至图21所示的一承接位置，此时的薄膜12便充当为一承接膜使用。借此，当下一片板件1的薄膜12邻近前端缘121的部位剥离后便能与前述充当承接膜的薄膜12相连接，以再次地进行薄膜12的剥离及回收的作业。

可以理解的是，本发明的剥膜机也适用于对只包含一个光阻层、一个薄膜，及一个基板的板件进行剥离。对应地，本发明的剥膜机的辗压装置也可以只包含一个固定框架、一个驱动机构，及一个旋转辗压件。该剥膜机的剥离装置的夹持吹气机构也可以包括两个夹爪，及一个设置于两夹爪其中之一上的喷嘴。

归纳上述，本实施例的剥膜机200，通过辗压装置4的旋转辗压件44辗压薄膜12，使薄膜12凹陷变形形成压痕13，以破坏薄膜12与光阻层11间的黏着力及密合性，借此，能降低旋转辗压件44辗压薄膜12的过程中造成光阻层11及基板10的受损。当旋转辗压件44移离薄膜12后，薄膜12与光阻层11间形成具有开口141的气室14，借此，使得剥离装置5能方便且可快速地将薄膜12剥离光阻层11，确实能达到本发明所诉求的目的。

Claims (11)

1.一种剥膜机，适于将一板件的一薄膜由一光阻层上剥离，该薄膜具有一前端缘、一结合于该光阻层的结合面，及一相反于该结合面的外表面，该板件具有一结合于该光阻层相反于该薄膜一侧的基板，该基板具有一凸伸出该前端缘的前凸出部；其特征在于：

该剥膜机包含一输送装置、一辗压装置，及一剥离装置，该输送装置可沿一由后朝前的输送方向输送该板件，该辗压装置位于该输送装置中段处，该辗压装置包括一固定框架、一设置于该固定框架的驱动机构，及一设置于该驱动机构的旋转辗压件，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿一辗压方向移动以经由该前端缘辗压至该外表面上，使该薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏该薄膜与该光阻层间的黏着力，当该旋转辗压件移离该薄膜时，该薄膜与该光阻层间形成一气室，该气室的一开口形成于该前端缘与该光阻层间，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿该辗压方向在一位于该前凸出部与该前端缘间且对齐于该前端缘前方的初始位置，及一辗压于该外表面且间隔位于该前端缘后方的终止位置间移动，该旋转辗压件包含一呈圆盘状的辗压刀，该辗压刀包括一用以辗压该薄膜的刀尖，该剥离装置位于该辗压装置前侧，该剥离装置包括一夹持吹气机构，及一剥离机构，该夹持吹气机构用以夹持该前凸出部并可对该气室的该开口吹气以使该薄膜邻近该前端缘的部位剥离该光阻层，该剥离机构用以衔接该薄膜邻近该前端缘的部位以将该薄膜剥离该光阻层。

2.根据权利要求1所述的剥膜机，其特征在于：该刀尖呈倒圆角状。

3.根据权利要求2所述的剥膜机，其特征在于：该驱动机构包含一用以供该旋转辗压件枢接的壳件、一设置于该壳件内的偏压弹簧，及一用以抵压于该偏压弹簧一端使其对该壳件朝下偏压的压力调整杆。

4.根据权利要求3所述的剥膜机，其特征在于：该驱动机构还包含一第一承载架、一第二承载架、一第三承载架、一第一气缸、一第二气缸，及一第三气缸，该第一气缸设置于该固定框架上用以驱使该第一承载架沿一平行于该前端缘的平移方向移动，该第二气缸设置于该第一承载架上用以驱使该第二承载架沿一上下方向移动，该第三气缸设置于该第二承载架上用以驱使该第三承载架沿该辗压方向移动，该壳件可沿该上下方向移动地连接于该第三承载架上。

5.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的剥膜机，其特征在于：该辗压方向是倾斜于该前端缘。

6.根据权利要求1至4中任一权利要求所述的剥膜机，其特征在于：该夹持吹气机构包含两个用以夹持该前凸出部的夹爪，及一设置于对应的该夹爪并可对该开口吹气的喷嘴，该剥离机构包含一挡止件、一回收滚筒、一卷绕于该回收滚筒上并可被该回收滚筒卷收的承接膜，及一接合模块，该承接膜部分贴靠于该挡止件上，该薄膜邻近该前端缘的部位会被该喷嘴吹至贴靠于该挡止件并重叠于该承接膜的位置，该接合模块用以将该薄膜与该承接膜重叠的部位接合在一起。

7.一种剥膜机的辗压装置，适于辗压一板件的一薄膜，该板件具有一光阻层，该薄膜具有一前端缘、一结合于该光阻层的结合面，及一相反于该结合面的外表面；其特征在于：

该辗压装置包括一固定框架、一驱动机构，及一旋转辗压件，该驱动机构设置于该固定框架上，该旋转辗压件设置于该驱动机构，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿一辗压方向移动以经由该前端缘辗压至该外表面上，使该薄膜凹陷变形形成压痕，以破坏该薄膜与该光阻层间的黏着力，当该旋转辗压件移离该薄膜时，该薄膜与该光阻层间形成一气室，该气室的一开口形成于该前端缘与该光阻层间，该驱动机构可带动该旋转辗压件沿该辗压方向在一对齐于该前端缘前方的初始位置，及一辗压于该外表面且间隔位于该前端缘后方的终止位置间移动，该旋转辗压件包含一呈圆盘状的辗压刀，该辗压刀包括一用以辗压该薄膜的刀尖。

8.根据权利要求7所述的剥膜机的辗压装置，其特征在于：该刀尖呈倒圆角状。

9.根据权利要求8所述的剥膜机的辗压装置，其特征在于：该驱动机构包含一用以供该旋转辗压件枢接的壳件、一设置于该壳件内的偏压弹簧，及一用以抵压于该偏压弹簧一端使其对该壳件朝下偏压的压力调整杆。

10.根据权利要求9所述的剥膜机的辗压装置，其特征在于：该驱动机构还包含一第一承载架、一第二承载架、一第三承载架、一第一气缸、一第二气缸，及一第三气缸，该第一气缸设置于该固定框架上用以驱使该第一承载架沿一平行于该前端缘的平移方向移动，该第二气缸设置于该第一承载架上用以驱使该第二承载架沿一上下方向移动，该第三气缸设置于该第二承载架上用以驱使该第三承载架沿该辗压方向移动，该壳件可沿该上下方向移动地连接于该第三承载架上。

11.根据权利要求7至10中任一权利要求所述的剥膜机的辗压装置，其特征在于：该辗压方向是倾斜于该前端缘。