CN105310682A - 盖、气室、气室的密封方法、盖的制造方法及盖阵列基板 - Google Patents

Abstract

本发明涉及盖、气室、气室的密封方法、盖的制造方法以及盖阵列基板。本发明为了减少密封气室的工序中的盖的位置偏移。气室的密封方法具备：在作为用于密封气室的盖的基板上接合突起部的接合工序；将与基板接合的突起部放入设置于气室主体的开口部中，进行基板相对于气室主体的定位的定位工序；在进行了定位的状态下利用密封材料将基板和气室主体接合，并对气室主体进行密封的密封工序。

Description

盖、气室、气室的密封方法、盖的制造方法及盖阵列基板

技术领域

本发明涉及盖、盖阵列基板、盖的制造方法、具有盖的气室以及利用盖进行密封的气室的密封方法。

背景技术

以往，作为用作检测从生物体的心脏等发出的磁场的生物体磁测定装置等的器件，已知有光泵浦式的磁传感器。在该磁传感器中使用封入了碱金属气体的气室。为了在气室中封入碱金属气体，例如，需要在从设置于气室的规定的开口部填充了碱金属气体后对开口部进行密封。密封有各种方法，在专利文献1中记载有如下的方法，即、在由玻璃构成的圆柱状孔中穿过玻璃管，并在圆柱状孔的端部以环状涂敷了液态的玻璃料密封材料后进行熔融密封。在专利文献2中记载有如下的方法，即、在由玻璃构成的细管中穿过了电流供给体的状态下，使固体的环状玻璃料密封材料与细管端部接触，并使环状玻璃料密封材料加热熔融，由此使其浸入至细管与电流供给体的间隙。另外，在专利文献3中记载有用于在使用密封材料来密封气室的工序中，减少由密封材料的收缩引起的裂缝的产生的方法。

专利文献1：日本特开2000－203891号公报

专利文献2：日本特开2007－329140号公报

专利文献3：日本特开2013－172811号公报

然而，上述方法均是具有多个工序的方法，寻求一种更简单的方法。例如，作为气室的密封方法，有用盖来密封设置于气室的孔的方法。在密封该气室的工序中，存在产生盖相对于气室主体的位置偏移的情况。在专利文献1至3所记载的技术中，虽然裂缝的产生得到减少，但不能够减少盖的位置偏移的产生。

发明内容

本发明是为了解决上述的问题等的至少一个而完成的，例如能够采取以下的应用例。

应用例1

本发明所涉及的一个盖的特征在于，包括盖基板和突起部，上述突起部被配置于上述盖基板的第一面，在从上述突起部侧俯视上述第一面时，在上述第一面的上述突起部的外侧的区域设置有第一密封材料。

根据该结构，在堵塞具有规定的开口部的构造物的该开口部的情况下，通过将突起部插入至该规定的开口部来进行定位，并使用第一密封材料与该构造物接合，从而能够将盖相对于该构造物放置在准确的位置，能够可靠地堵塞该规定的开口部。

应用例2

优选在上述的一个盖中，上述突起部通过第二密封材料与上述第一面接合。

根据该结构，将突起部通过第二密封材料与第一面接合，从而能够在分别准备了盖基板和突起部之后接合而构成。由此，能够使突起部的形状相对于使用该突起部的构造物的开口部适当，或使用不同的材质而构成。

应用例3

优选在上述的一个盖中，在从上述突起部侧俯视上述第一面时，上述第一密封材料以包围上述突起部的形状被连续地设置。

根据该结构，在俯视时第一密封材料被连续地设置于突起部的周围，从而能够更加可靠地堵塞开口部。

应用例4

优选在上述的一个盖中，上述第一密封材料是玻璃料。

根据该结构，通过使用玻璃料，能够使盖基板的制造变得容易。另外，也容易使玻璃料的材质与突起部的材质等匹配。

应用例5

优选在上述的一个盖中，上述第一面的设置上述第一密封材料的区域是梨皮面。

根据该结构，通过设为梨皮面，能够使使用玻璃料的接合更加稳固。

应用例6

优选在上述的一个盖中，上述第二密封材料是玻璃料。

根据该结构，通过使用玻璃料，能够使盖基板的制造变得容易。另外，也容易使玻璃料的材质与具有规定的开口部的构造体的材质等匹配。

应用例7

优选在上述的一个盖中，上述第一面的设置上述第二密封材料的区域是梨皮面。

根据该结构，通过设为梨皮面，能够使使用玻璃料的接合更加稳固。

应用例8

优选在上述的一个盖中，在从上述突起部侧俯视上述第一面时，由与上述第一面和上述突起部的切面平行的面截取的上述突起部的剖面积在上述突起部的上述第一面的相反的一侧的前端以外的部分为最大。

根据该构造，突起部的剖面积在前端部分以外的部分为最大，从而容易地将突起部的前端插入至构造物的规定的开口部。另外，能够使前端部以外的突起部的剖面积为最大的位置任意，从而能够将突起部的形状设为适合于构造物的形状的形状。

应用例9

优选在上述的一个盖中，上述突起部是球体。

根据该结构，由于突起部为球体，由此在将突起部与第一面接合时无需考虑突起部的方向，容易处理。

应用例10

本发明所涉及的一个气室的特征在于，该气室是开口部被密封的气室，上述开口部被上述的一个盖密封，上述突起部进入上述开口部内，并通过上述第一密封材料将上述盖基板固定于上述气室。

根据该构造，能够以适当的形式堵塞气室的开口部。

应用例11

本发明所涉及的一个气室的密封方法的特征在于，气室具有开口部，通过将上述的一个盖基板的上述突起部插入至上述开口部的内部来进行固定上述盖的定位。

根据该方法，能够使用该盖适当地密封气室的开口部。

应用例12

本发明所涉及的一个盖的制造方法的特征在于，该盖的制造方法是密封规定的开口部的盖的制造方法，包括：在一个基板的多个区域的每一个与上述规定的开口部匹配地设置第一密封材料的第一密封材料设置工序；使用第二密封材料使突起部与上述多个区域的每一个接合的突起部接合工序；以及对上述基板分别分割上述多个区域的每一个的切割工序，在俯视上述多个区域的每一个时，设置上述第一密封材料的区域是在接合了上述突起部时与上述突起物重叠的区域的外侧的区域。

根据该方法，能够容易地制造具有突起部的多个盖。

应用例13

优选在上述的一个盖的制造方法中，上述第一密封材料以及上述第二密封材料分别是玻璃料。

根据该方法，能够容易地构成第一密封材料以及第二密封材料。

应用例14

优选在上述的一个盖的制造方法中，还包括：将上述第一基板的表面的设置上述第一密封材料的区域加工成梨皮面的工序；以及将上述第一基板的表面的设置上述第二密封材料的区域加工成梨皮面的工序。

根据该方法，能够使使用第一密封材料以及第二密封材料的针对规定的构造物的密封更加可靠。

应用例15

优选在上述的一个盖的制造方法中，上述突起部是球体。

根据该方法，由于突起部是球体，所以在制造工序中无需考虑突起部的方向，所以制造变得容易。

应用例16

优选在上述的一个盖的制造方法中，在上述突起部接合工序之后进行上述切割工序。

根据该方法，能够容易地进行多个突起部的设置。

应用例17

本发明所涉及的一个盖阵列基板的特征在于，该盖阵列基板是在上述的一个盖的制造方法中在上述突起部接合工序之后的上述一个基板。

根据该结构，能够在突起部接合工序之后，成为具有突起部的功能的盖阵列基板。

附图说明

图1是表示磁测定装置的结构的框图。

图2是气室阵列的外观图。

图3是气室的剖视图。

图4是表示气室的制造工序的流程图。

图5是玻璃球的定位夹具的俯视图。

图6是固定有玻璃球的盖阵列基板的侧视图。

图7是固定有玻璃球的盖阵列基板的立体图。

图8是固定有玻璃球的盖阵列基板的俯视图。

图9是切割后的盖基板的外观图。

图10是表示通过玻璃球微调盖的位置的状态的图。

具体实施方式

以下，使用附图对本发明所涉及的实施方式进行说明。另外，说明中所使用的图是便于说明的图，例如图中所记载的构成物的各个构成要素的大小的比率并不限于图中所示的比率。

(第一实施方式)

本实施方式是将本发明所涉及的盖用于磁测定装置的密封的例子。

1.磁测定装置的结构

图1是表示磁测定装置1的结构的简要框图。磁测定装置1是测定从心脏产生的磁场(心磁)或者从脑产生的磁场(脑磁)等从生物体产生的磁场来作为生物体的状态的指标的生物体状态测定装置。磁测定装置1具有气室阵列10、泵浦光照射单元20、探测光照射单元30、以及检测单元40。

气室阵列10由多个气室构成。在多个气室的各气室内例如封入有碱金属气体(例如铯(Cs))。

泵浦光照射单元20输出与碱金属原子相互作用的泵浦光(例如与铯的D1线相当的波长894nm的光)。泵浦光具有圆偏振光成分。若照射泵浦光，则碱金属原子的最外层电子被激发，产生自旋极化。自旋极化后的碱金属原子通过被测定物所产生的磁场B进行岁差运动。一个碱金属原子的自旋极化随着时间的经过变得缓和，但由于泵浦光是CW(ContinuousWave：连续波)光，所以自旋极化的形成和缓和同时平行并且连续地重复。其结果，从原子的集团整体来看，形成稳定的自旋极化。

探测光照射单元30输出具有直线偏振光成分的探测光。在透过气室的前后，探测光的偏振光面通过法拉第效应而旋转。偏振光面的旋转角是磁场B的函数。

检测单元40检测探测光的旋转角。检测单元40具有：光检测器，其输出与入射的光的光量相应的信号；处理器，其对信号进行处理；以及存储器，其存储数据。处理器使用从光检测器输出的信号来计算磁场B的大小。另外，处理器将表示计算出的结果的数据写入存储器。这样，用户能够得到从被测定物产生的磁场B的信息。

图2是气室阵列10的外观图。在该例中，气室阵列10由在xy平面上被二维配置的多个(2×2个)气室11构成。

图3是构成气室阵列10的气室11的III－III剖视图。该剖面与xz平面平行。气室11是在内部封入碱金属气体的长方体的室(箱)。气室11使用石英玻璃或者硼硅玻璃等具有透光性的材料来形成。气室11例如通过玻璃成型来制造。此外，气室11也可以通过玻璃加工来形成。

气室11具有封入碱金属气体的主室111。主室111通过排气管112朝向外部开口。排气管112呈管状的形状。排气管112的一端与真空泵(省略图示)连接，排气或者根据需要封入碱金属气体。排气管112的开口部由盖113来密封。

盖113的基板113a(盖基板的一个例子)和玻璃球113b通过密封材料而被接合。基板113a用与气室11的主体相同的材料(例如，石英玻璃)来制造。玻璃球113b是突起部的一个例子。在该例中，玻璃球113b是球形状。因此，玻璃球113b的前端部分的与盖113和排气管112的接合面平行的剖面比玻璃球113b的中央部分的与上述接合面平行的剖面小。另外，玻璃球113b的与接合面平行的剖面的最大的部分的大小比气室11的开口部的大小小。盖113和排气管112以盖113的玻璃球113b进入排气管112的开口部中的方式被接合。

在盖113的包围气室11的排气管112的开口部的位置涂敷有密封材料，盖113和气室11主体通过该密封材料而被接合。为了提高与密封材料的接合强度，优选盖113的与排气管112的接合面的表面是粗糙的所谓的梨皮面。在该例中，密封材料使用熔点比气室11主体的材料的玻璃低的低熔点玻璃玻璃料。

2.气室的制造方法

图4是表示气室11的制造工序的流程图。在该例中，在进行气室11的密封之前，通过步骤S10至步骤S30的工序来制造盖113。

首先，在步骤S10(涂敷工序)，使用分配器在基板113a上以环状涂敷用于接合基板113a和气室11主体的密封材料。此时，作为用于将玻璃球113b固定于基板113a的密封材料，也在环的中心附近涂敷密封材料。基板113a是一个基板被分割成多个后的一个，在该例中，针对被分割之前的一个盖阵列基板114以阵列状涂敷密封材料。通过像这样在一个盖阵列基板114上以阵列状涂敷密封材料，多个基板113a的制作变得容易。

在步骤S20(接合工序)，在盖阵列基板114接合玻璃球113b。在该例中，使用用于进行玻璃球的定位的定位夹具2，在一个盖阵列基板114上接合多个玻璃球113b。

图5是玻璃球113b的定位夹具2的俯视图。在定位夹具2设置有用于对玻璃球113b进行定位的多个孔21。将定位夹具2放置在涂敷有密封材料的盖阵列基板114上，配置玻璃球113b。在该例中，实施预烧使密封材料融合，并将玻璃球113b固定于盖阵列基板114。定位夹具2具有用于将盖阵列基板114对位的引导件(突起)22。

图6是通过定位夹具2固定了玻璃球113b的盖阵列基板114的侧视图。另外，图7是图6所示的盖阵列基板114的一部分的立体图。此外，在图6以及图7中，为了使发明容易理解，图示将定位夹具2从盖阵列基板114抬高的状态，但实际上定位夹具2以与盖阵列基板114重叠的方式来使用。如图示那样，通过步骤S10的工序，在基板113a的配置玻璃球113b的位置处涂敷有密封材料31，并且在密封材料31的周围以圆周状(环状)涂敷有密封材料32。通过密封材料31将玻璃球113b固定于盖阵列基板114。

若玻璃球113b过小则产生间隙，定位的精度恶化，存在在密封时产生盖113的位置偏移的情况。例如，在将气室11的开口部的孔径设为φ1.2mm的情况下，优选玻璃球113b的直径为φ1.05～1.15mm左右。此外，在该例中，基板113a的厚度是2.7mm左右。

图8是配置了玻璃球113b的盖阵列基板114的俯视图。通过步骤S20的工序，在盖阵列基板114上固定多个玻璃球113b。

再次参照图4。在步骤S30(切割工序)中，对盖阵列基板114进行切割。

图9是切割后的盖基板的外观图。通过切割盖阵列基板114来完成多个盖113。

再次参照图4。在步骤S40(涂敷工序)，在气室11的内壁形成涂敷层。涂敷层例如使用石蜡。涂敷层通过干法工艺或者湿法工艺来涂敷。在步骤S50(安瓿收纳工序)，在气室11内收纳安瓿。在安瓿的内部封入有碱金属固体。

在步骤S60(定位工序)，进行通过步骤S10至S30的工序制造的盖113相对于气室11的主体的定位。在该例中，将与基板113a接合的玻璃球113b放入气室11的开口部中，进行盖113相对于气室11主体的定位。在该例中，将盖113配置在密封装置(省略图示)的工作台上，使气室11的排气管112的开口部接近。此时，盖113的玻璃球113b起到作为定位的引导件的作用。

图10是表示通过玻璃球113b微调盖113的位置的状态的图。通过使排气管112向箭头D1方向移动而使玻璃球113b进入排气管112的开口部，例如，来在箭头D2方向上微调盖113的位置并确定。由此，即使在排气管112的中心与盖113的中心偏离的状态下也能够进行适当的微调，将盖113相对于排气管112设置在最佳的位置。

再次参照图4。在步骤S70(密封工序)，对气室11进行密封。气室11的密封在真空状态下进行。在该例中，在真空加热的环境下，在进行了盖113的定位的状态下使密封材料32融合，进一步实施加重来按压密封材料。由此，基板113a和气室11的主体通过密封材料32接合，气室11被盖113密封。

在步骤S80(安瓿破坏工序)，破坏安瓿。具体而言，向安瓿照射将焦点与安瓿对准的激光，对安瓿开孔。在步骤S90中(气化工序)，将安瓿内的碱金属固体气化。具体而言，通过加热气室11来加热碱金属固体，使其气化。在步骤S100中(扩散工序)，使碱金属气体扩散。具体而言，通过以某一温度(优选比室温高的温度)保持一定时间，来使碱金属气体扩散。

然而，在以往的技术中，存在密封气室的开口部时，由于覆盖开口部的盖的位置偏移，气室与盖的通过密封材料接合的接合面积变小的情况。有在密封材料和盖基板中由热引起的膨胀不同的情况，为了防止玻璃料破裂，极力减少玻璃料量。具体而言，涂敷成环状的玻璃料的环的宽度狭窄并且环的直径相对于开口部的直径也不那么大。因此，必须高精度地对将盖放置于密封装置的工作台的位置进行微调并且实施密封。若放置盖的位置稍微偏移，则气室与盖的接合面积变狭窄。另外，考虑设置用于盖的定位的对准机构，但为了在真空加热环境下使其动作需要大规模，不能够避免成本提高。因此，在不能够进行高精度的调整的情况下，对其进行预测，增大玻璃料涂敷区域，但如上述那样，相应地，玻璃料破裂的风险升高。

相对于此，在本实施方式中，在盖113设置突起部(玻璃球113b)，该突起部在密封工序中起到定位的引导件的作用。由此，不使用高精度的对准机构，就能够提高密封工序中的盖113的定位的精度。

另外，由于定位的精度提高，所以通过密封材料接合的接合面积不变窄。另外，由于能够在基板113a中减小涂敷密封材料的面积，所以能够减少涂敷的密封材料的量。其结果，能够防止由热引起的膨胀的不同成为原因的密封材料的破裂等，并能够提高气室11的密封的可靠性。另外，由于能够减少密封材料的量，所以能够抑制外部气体的产生，能够使气室11的可靠性提高。

另外，在本实施方式中，通过使用定位夹具2等，能够在一块盖阵列基板114上以阵列状一次配置多个玻璃球113b，所以能够容易地形成具有突起部的多个盖。另外，由于在步骤S20的接合工序中接合的玻璃球113b是球状，没有方向的差异，所以配置很容易。

(第二实施方式)

本发明并不限于上述的实施方式，能够实施各种变形。以下，包括本实施方式，对一些变形例进行说明。另外，也可以对以下的变形例中的两个以上方式进行组合来使用。另外，在包括本实施方式及以下的实施方式中，存在对于采取与第一实施方式相同的结构的构成要素标注相同的编号，并省略其说明的情况。

在上述的实施方式中，盖113的玻璃球113b是球形状，但设置于盖的突起部的形状并不限于此。突起部的形状例如也可以是半球、圆锥、三角锥等。另外，在上述的实施方式中，将玻璃球113b的前端部分的与盖113和排气管112的接合面平行的剖面比玻璃球113b的中央部分的与接合面平行的剖面小的形状的玻璃球113b作为突起部来使用，但突起部的形状并不限于此。突起部的形状例如也可以是圆筒形状、长方体形状。

(第三实施方式)

突起部的材料并不限于玻璃。例如，突起部也可以是由陶瓷等材料构成的部件。此外，优选突起部的材料的热膨胀系数与基板113a接近。

(第四实施方式)

在第一实施方式中，使用具有主室111和排气管112的气室11，但气室11的形状并不限于上述的形状。例如，也可以使用不具有排气管112的气室。在该情况下，在封入碱金属气体的主室设置开口部，只要利用具有突起部的盖密封该开口部即可。

(第五实施方式)

在第一实施方式中，在基板113a上以环状配置密封材料32，但密封材料32的配置形状并不限于此。例如也可以以矩形的外框的形状来配置密封材料。另外，在上述的实施方式中，在盖113涂敷有密封材料32，但也可以将密封材料32涂敷在气室主体侧。

(第六实施方式)

在第一实施方式中，使多个玻璃球113b一并与盖阵列基板114接合，通过对接合了多个玻璃球113b的盖阵列基板114进行切割来制造多个盖113。盖113的制造方法并不限于此。也可以通过在一个基板113a上接合一个玻璃球113b，来制造盖113。

(第七实施方式)

气室的制造方法并不限于图4中所例示的方式。也可以对图4所示的工序添加其它的工序。或者，也可以更换工序的顺序，也可以省略工序中的一部分。例如，也可以省略涂敷工序。

(第八实施方式)

气室的形状并不限于实施方式中说明的形状。在实施方式中，对气室的形状是长方体的例子进行了说明，但气室的形状也可以是长方体以外的多面体，或者是圆柱等一部分具有曲面的形状。例如，气室也可以具有在温度降低到碱金属原子凝固的温度以下时用于积存碱金属固体的容器(金属积存处)。此外，碱金属至少在测定时气体化即可，无需一直是气体状态。

(第九实施方式)

安瓿破坏工序的具体的内容并不限于在实施方式中说明的内容。安瓿也可以具有热膨胀系数不同的2个材料粘在一起的部分。在该情况下，在安瓿破坏工序中，代替激光照射，对安瓿(被收纳的气室整体)加热。在加热时，根据热膨胀系数的差异施加安瓿破坏的程度的热。另外，也可以通过给予力学性的冲击、振动，使安瓿与主室111的内壁碰撞，来破坏安瓿。

在其它的例子中，密封工序也可以向气室内施加碱金属气体，在封入有稀有气体等惰性气体(缓冲气体)的状态下进行。即，气室11的密封也可以在惰性气体环境中进行。

(第十实施方式)

在上述的实施方式以及变形例中，对在向气室导入碱金属原子时以固体状态导入的例子进行了说明。但是，向气室导入碱金属原子时的状态并不限于固体。碱金属原子可以以固体、液体、或者气体中的任意状态导入气室。另外，也可以代替安瓿使用胶囊。

另外，在涂敷工序中，将涂敷材料内置于安瓿等，将其在密封前预先放入气室内，在密封后，通过激光照射等破坏安瓿，也可以通过气相成膜进行涂敷。

(第十一实施方式)

气室11的用途并不限于磁传感器。例如，气室11也可以用于原子振荡器。

本发明能够在不脱离本发明的主旨的范围内广泛应用。

附图符号说明：

1…磁测定装置，10…气室阵列，11…气室，20…泵浦光照射单元，30…探测光照射单元，40…检测单元，111…主室，112…排气管，113…盖，113a…基板，113b…玻璃球。

Claims (17)

1.一种盖，其特征在于，包括：

盖基板；以及

突起部，

所述突起部被配置于所述盖基板的第一面，

在从所述突起部侧俯视所述第一面时，在所述第一面的所述突起部的外侧的区域设置有第一密封材料。

2.根据权利要求1所述的盖，其特征在于，

所述突起部通过第二密封材料与所述第一面接合。

3.根据权利要求1或者2所述的盖，其特征在于，

在从所述突起部侧俯视所述第一面时，所述第一密封材料以包围所述突起部的形状被连续地设置。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的盖，其特征在于，

所述第一密封材料是玻璃料。

5.根据权利要求4所述的盖，其特征在于，

所述第一面的设置所述第一密封材料的区域是梨皮面。

6.根据权利要求2所述的盖，其特征在于，

所述第二密封材料是玻璃料。

7.根据权利要求6所述的盖，其特征在于，

所述第一面的设置所述第二密封材料的区域是梨皮面。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的盖，其特征在于，

在从所述突起部侧俯视所述第一面时，由与所述第一面和所述突起部的接合面平行的面截取的所述突起部的剖面积在所述突起部的所述第一面的相反的一侧的前端以外的部分最大。

9.根据权利要求1～8中任意一项所述的盖，其特征在于，

所述突起部是球体。

10.一种气室，其特征在于，

该气室是开口部被密封的气室，

所述开口部被权利要求1～9中任意一项所述的所述盖密封，

所述突起部进入所述开口部内，通过所述第一密封材料将所述盖固定于所述气室。

11.一种气室的密封方法，其特征在于，

该气室的密封方法是具有开口部的气室的所述开口部的密封方法，

通过将权利要求1～9中任意一项所述的所述盖的所述突起部插入至所述开口部的内部来进行固定所述盖的定位。

12.一种盖的制造方法，其特征在于，

该盖的制造方法是密封规定的开口部的盖的制造方法，包括：

在一个基板的多个区域的每一个与所述规定的开口部匹配地设置第一密封材料的第一密封材料设置工序；

使用第二密封材料使突起部与所述多个区域的每一个接合的突起部接合工序；以及

对所述基板分别分割所述多个区域的每一个的切割工序，

在俯视所述多个区域的每一个时，设置所述第一密封材料的区域是接合了所述突起部时与所述突起物重叠的区域的外侧的区域。

13.根据权利要求12所述的盖的制造方法，其特征在于，

所述第一密封材料以及所述第二密封材料分别是玻璃料。

14.根据权利要求12或者13所述的盖的制造方法，其特征在于，还包括：

将所述第一基板的表面的设置所述第一密封材料的区域加工成梨皮面的工序；以及

将所述第一基板的表面的设置所述第二密封材料的区域加工成梨皮面的工序。

15.根据权利要求12～14中任意一项所述的盖的制造方法，其特征在于，

所述突起部是球体。

16.根据权利要求12～14中任意一项所述的盖的制造方法，其特征在于，

在所述突起部接合工序之后进行所述切割工序。

17.一种盖阵列基板，其特征在于，

该盖阵列基板是权利要求16所述的盖制造方法中的所述突起部接合工序后的所述一个基板。