CN105304546A - 晶圆固持装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种晶圆固持装置，包括：主底板；垂直支撑梁，所述垂直支撑梁采用线接触的方式支撑所述主底板的背面，所述垂直支撑梁在第一平面内延伸；对准器，安装在所述主底板的正面上，所述对准器确定第二平面，该第二平面与所述第一平面垂直。本发明有利于减少占用的空间，使得机台更加紧凑。

Description

晶圆固持装置

技术领域

本发明涉及一种晶圆固持装置。

背景技术

在半导体加工设备中，往往需要设置用于承载晶圆的晶圆固持装置。为了减小整个设备的体积，晶圆固持装置的紧凑性非常重要。

参考图1和图2，现有技术中的晶圆固持装置主要包括固定板100，该固定板100具有安装平面，多个对准器(aligner)101设置在固定板100的安装平面上。多个对准器101确定一平面，该平面即是晶圆102所处的平面。现有技术中，固定板100的安装平面与对准器101确定的平面平行，这种方式会占用较多的机台空间，导致机台不紧凑。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种晶圆固持装置，有利于减少占用的空间，使得机台更加紧凑。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆固持装置，包括：

主底板；

垂直支撑梁，所述垂直支撑梁采用线接触的方式支撑所述主底板的背面，所述垂直支撑梁在第一平面内延伸；

对准器，安装在所述主底板的正面上，所述对准器确定第二平面，该第二平面与所述第一平面垂直。

根据本发明的一个实施例，该装置还包括：侧边支撑板，其具有相互垂直的第一边和第二边，其中，该第一边与所述垂直支撑梁固定连接，该第二边支撑所述主底板的背面。

根据本发明的一个实施例，该装置还包括：

一个或多个支撑柱，所述支撑柱一端固定在所述主底板的正面上；

晶圆固持板，所述晶圆固持板由所述一个或多个支撑柱的另一端支撑，该晶圆固持板在第三平面内延伸，该第三平面与第二平面平行，该晶圆固持板用于承载晶圆。

根据本发明的一个实施例，所述晶圆固持板为环状，其中心具有开孔，所述开孔内设置有真空卡盘。

根据本发明的一个实施例，所述真空卡盘由滚珠花键副支撑。

根据本发明的一个实施例，所述晶圆固持板上具有一个或多个与晶圆接触的晶圆接触垫。

根据本发明的一个实施例，所述晶圆固持板上具有一个或多个8英寸晶圆导向钉和8英寸晶圆钉。

根据本发明的一个实施例，所述垂直支撑梁的两侧端部具有用于调节水平的水平调节件。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明实施例的晶圆固持装置中，垂直支撑梁采用线接触的方式支撑主底板的背面，对准器安装在主底板的正面，垂直支撑梁所处的平面与对准器确定的平面垂直，从而能大大减小晶圆固持装置占用的空间。

附图说明

图1是现有技术中一种晶圆固持装置的立体结构示意图；

图2是图1所示晶圆固持装置在承载晶圆时的立体结构示意图；

图3是本发明实施例的晶圆固持装置的立体结构示意图；

图4是本发明实施例的晶圆固持装置在另一视角下的立体结构示意图；

图5是本发明实施例的晶圆固持装置在又一视角下的立体结构示意图；

图6是本发明实施例的晶圆固持装置的主视图；

图7是本发明实施例的晶圆固持装置的侧视图；

图8是本发明实施例的晶圆固持装置的仰视图；

图9是本发明实施例的晶圆固持装置中垂直支撑梁和侧边支撑板的立体结构示意图；

图10是本发明实施例的晶圆固持装置中垂直支撑梁和侧边支撑板的主视图；

图11是本发明实施例的晶圆固持装置中垂直支撑梁和侧边支撑板的俯视图；

图12是本发明实施例的晶圆固持装置中垂直支撑梁和侧边支撑板的侧视图。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。

参考图3至图8，本实施例的晶圆固持装置包括：主底板1、垂直支撑梁2、侧边支撑板3、水平调节件4、电机连接板5、晶圆固持板6、传感器固持件7、支撑柱8、汽缸连接件9、传感器立柱10、传感器梁11、传感器调节件12、晶圆接触垫(padforwafer)13、8英寸晶圆导向钉14、8英寸晶圆钉15、真空卡盘(chuck)16、滚珠花键17、滚珠花键18、传感器控制器28以及对准器(aligner)33。

其中，垂直支撑梁2用于支撑主底板1的背面，垂直支撑梁2与主底板1之间为线接触，垂直支撑梁1在第一平面(例如竖直面)内延伸。

垂直支撑梁2的两侧端部可以安装有水平调节件4，该水平调节件4用于调节垂直支撑梁2的水平。

对准器33安装在主底板1的正面上，对准器33确定第二平面，该第二平面(例如水平面)与该第一平面垂直。

同时结合图3以及图9至图12，主底板1和垂直支撑梁2是大致垂直的，侧边支撑板3用于辅助支撑主底板1。如图9至图12所示，侧边支撑板3具有相互垂直的第一边和第二边，例如，侧边支撑板3的形状可以是直角三角形。其中，第一边与垂直支撑梁2固定连接，第二边用于支撑主底板的背面，第二边与主底板之间可以采用固定连接，也可以采用可拆卸连接。

仍然参考图3至图8，支撑柱8的一端固定在主底板1的正面上，晶圆固持板6由一个或多个支撑柱8的另一端支撑。该晶圆固持板6在第三平面内延伸，第三平面与第二平面平行。该晶圆固持板6用于承载晶圆。

作为一个优选的实施例，晶圆固持板6为环状，其中心具有开孔，该开孔内设置有真空卡盘16。真空卡盘16可以采用真空的方式使得晶圆牢固地附着在晶圆固持板6上。真空卡盘16可以由滚珠花键17和滚珠花键18组成的滚珠花键副支撑。

可选地，晶圆固持板6上可以设置有一个或多个与晶圆接触的晶圆接触垫13。晶圆固持板6上还可以设置有一个或多个8英寸晶圆导向钉14和8英寸晶圆钉15

电机连接板5可以固定在主底板1上，用于连接电机。传感器固持件12可以固定在晶圆固持板6的边缘，用于固持传感器。汽缸连接件9可以安装在主底板1的背面，用于连接汽缸。

传感器立柱10固定在主底板1的正面上，例如垂直固定在主底板1的正面上。传感器梁11固定在传感器立柱10上并延伸至晶圆固持板6的上方。传感器梁11上可以设置有传感器，该传感器可以由传感器控制器28控制。

本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改，因此本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种晶圆固持装置，其特征在于，包括：

主底板；

垂直支撑梁，所述垂直支撑梁采用线接触的方式支撑所述主底板的背面，所述垂直支撑梁在第一平面内延伸；

对准器，安装在所述主底板的正面上，所述对准器确定第二平面，该第二平面与所述第一平面垂直。

2.根据权利要求1所述的晶圆固持装置，其特征在于，还包括：

侧边支撑板，其具有相互垂直的第一边和第二边，其中，该第一边与所述垂直支撑梁固定连接，该第二边支撑所述主底板的背面。

3.根据权利要求1所述的晶圆固持装置，其特征在于，还包括：

一个或多个支撑柱，所述支撑柱一端固定在所述主底板的正面上；

晶圆固持板，所述晶圆固持板由所述一个或多个支撑柱的另一端支撑，该晶圆固持板在第三平面内延伸，该第三平面与第二平面平行，该晶圆固持板用于承载晶圆。

4.根据权利要求3所述的晶圆固持装置，其特征在于，所述晶圆固持板为环状，其中心具有开孔，所述开孔内设置有真空卡盘。

5.根据权利要求4所述的晶圆固持装置，其特征在于，所述真空卡盘由滚珠花键副支撑。

6.根据权利要求3所述的晶圆固持装置，其特征在于，所述晶圆固持板上具有一个或多个与晶圆接触的晶圆接触垫。

7.根据权利要求3所述的晶圆固持装置，其特征在于，所述晶圆固持板上具有一个或多个8英寸晶圆导向钉和8英寸晶圆钉。

8.根据权利要求3所述的晶圆固持装置，其特征在于，所述垂直支撑梁的两侧端部具有用于调节水平的水平调节件。