CN105241849A - 分光瞳激光差动共焦libs、拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置，属于共焦显微成像、光谱成像和质谱成像技术领域。本发明将分光瞳差动共焦成像与光谱、质谱探测技术结合，利用经超分辨技术处理的分光瞳差动共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用质谱探测系统对样品微区带电分子、原子等进行质谱探测，利用光谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑激发光谱(拉曼光谱、诱导击穿光谱)进行微区光谱探测，利用激光多谱探测的优势互补和结构融合实现样品微区完整组分信息与形态参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。本发明可为生物、材料等领域物质组分及形态成像探测提供一条全新的技术途径。
Description
技术领域
本发明属于共焦显微成像技术、光谱成像技术和质谱成像技术领域，将分光瞳差动共焦显微成像技术、激光诱导击穿光谱成像技术、拉曼光谱成像技术与质谱成像技术相结合，涉及一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置，在生物、材料、矿产、微纳制造等领域有广泛的应用前景。
技术背景
质谱仪(MassSpectrometry)是将样品中的组分发生电离，使生成的不同荷质比的带电原子、分子或分子碎片在电场和磁场的作用下分别聚焦而得到按质荷比大小顺序排列的图谱仪器。质谱成像是对样品二维区域内多个微小区域分别进行质谱分析来检测特定质荷比(m/z)物质的分布。
自上世纪80年代中期基质辅助激光解吸电离这种高灵敏度和高质量检测范围生物质谱成像技术的出现，开拓了质谱学一个崭新的领域—生物质谱，促使质谱技术应用范围扩展到生命科学研究的众多领域，特别是质谱在蛋白质、核酸、糖蛋白分析等方面的应用，不仅为生命科学研究提供了新手段，而且也促进了质谱技术自身的发展。
但现有基质辅助激光解吸电离质谱仪存在以下突出问题：
1)由于利用简单的激光聚焦来解吸电离样品，因而其仍存在激光聚焦光斑大、质谱探测空间分辨力不高等问题；
2)无法对中性原子、分子、中离子及基团等进行探测，其结果制约了样品组分信息的准确完整获取；
3)质谱成像所需时间长，激光质谱仪聚焦光斑轴向位置相对被测样品常发生漂移问题。
而矿产、空间物质以及生物样品的“微区”形貌和完整组分信息的准确获取对于科学研究和生产检测都具有极其重要的意义。事实上，如何高灵敏地探测微区成分信息是目前矿产分析、生化检测等领域亟待研究的重要技术问题。
激光诱导击穿光谱的强脉冲激光聚焦到样品表面会使样品离子化，可激发样品产生等离子体，通过探测等离子体能量衰退辐射出的光谱可获取样品的原子及小分子元素组成信息；利用激光拉曼光谱技术可测量样品的分子激发光谱，获得样品中的化学键和分子结构信息。将激光拉曼光谱技术、激光诱导击穿光谱(LIBS)技术相结合与质谱探测技术结合可以实现优势互补和结构功能融合，利用激光多谱(质谱、拉曼光谱和激光诱导击穿光谱)融合技术实现样品完整组分信息探测。
分光瞳激光差动共焦技术利用照明与探测光路非共路结构进行探测，不仅显著提高了光路的轴向分辨力和定焦精度，实现样品形貌的高分辨成像探测，而且可以有效抑制背向散射干扰，提高光谱探测信噪比。
基于此，本发明提出一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置，其创新在于：首次将具有高空间分辨能力的分光瞳差动共焦显微技术与激光拉曼光谱技术、激光诱导击穿光谱(LIBS)技术和质谱探测技术相融合，可实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的成像与探测。
本发明一种高空间分辨激光共焦诱导击穿、拉曼光谱与质谱显微成像方法与装置可为生物、材料、物理化学、微纳制造等领域的形貌组分成像探测提供一个全新的有效技术途径。
发明内容
本发明的目的是为了提高质谱成像的空间分辨能力、抑制成像过程中聚焦光斑相对样品的漂移，提出一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置，以期同时获得被测对象微区形貌信息和组分信息。本发明将激光分光瞳差动共焦显微镜聚焦光斑的探测功能与激光聚焦解吸电离功能相融合，利用经超分辨技术处理的分光瞳差动共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像，利用拉曼光谱探测系统对分光瞳共焦显微系统聚焦光斑激发样品产生的拉曼光谱进行探测，利用质谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的带电分子、原子等进行微区质谱成像，利用激光诱导击穿光谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的等离子体发射光谱信息进行激光诱导击穿光谱成像，然后再通过探测数据信息的融合与比对获得完成的样品成分信息，继而实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的成像与探测。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的。
本发明的分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法，利用高空间分辨分光瞳差动共焦显微系统的聚焦光斑对样品进行轴向定焦与成像，利用拉曼光谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑激发样品产生的拉曼光谱进行探测，利用质谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的带电分子、原子等进行微区质谱成像，利用激光诱导击穿光谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的等离子体发射光谱进行探测，然后再通过探测数据信息的融合与比对分析继而实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的成像与探测，包括以下步骤：
步骤一、使平行光束通过沿入射光轴方向放置的压缩聚焦光斑系统、D型照明收集镜中的D型照明光瞳聚焦到被测样品上；
步骤二、使计算机控制三维工作台带动被测样品沿测量面法线方向在D型照明收集镜焦点附近上下移动，利用沿采集光轴方向放置的D型收集光瞳、分光器、分光器反射方向的二向色分光器和位于二向色分光器反射方向的采集透镜、中继放大透镜和位于中继放大透镜焦面并关于采集光轴对称放置的第一光强点探测器和第二光强点探测器对放大艾里进行分割探测，得到艾里斑第一微区和艾里斑第二微区的强度特性曲线分别为第一离轴共焦轴向强度曲线和第二离轴共焦轴向强度曲线；
步骤三、将第一离轴共焦轴向强度曲线和第二离轴共焦轴向强度曲线相减处理得到分光瞳差动共焦轴向强度曲线,利用分光瞳差动共焦轴向强度曲线可以精确定位被测样品该点轴向高度信息；
步骤四、计算机依据分光瞳差动共焦轴向强度曲线的零点位置zA值控制三维工作台带动被测样品沿测量面法线方向运动，使D型照明收集镜的聚焦光斑聚焦到被测样品上；
步骤五、利用拉曼光谱探测系统对经分光器反射、二向色分光器透射和光谱收集透镜收集的拉曼光谱进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品化学键及分子结构信息；
步骤六、改变平行光束照明模式，激发被测样品的微区解吸电离产生等离子体羽；
步骤七、利用电离样品吸管将聚焦光斑解吸电离被测样品产生的等离子体羽中的分子、原子和离子吸入质谱探测系统中进行质谱成像，测得对应聚焦光斑区域的质谱信息；
步骤八、利用激光诱导击穿光谱探测系统对经分光器透射和激光诱导击穿光谱收集透镜收集的激光诱导击穿光谱进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品元素组成信息；
步骤九、计算机将激光分光瞳差动共焦探测系统测得的激光聚焦光斑位置样品高度信息、激光拉曼光谱探测系统探测的激光聚焦微区的拉曼光谱信息、激光诱导击穿光谱探测系统探测的激光聚焦微区的激光诱导击穿光谱信息、质谱探测系统测得的激光聚焦微区的质谱信息进行融合处理，继而得到聚焦光斑微区的高度、光谱和质谱信息；
步骤十、计算机控制三维工作台使D型照明收集镜焦点对准被测样品的下一个待测区域，然后按步骤二～步骤九进行操作，得到下一个待测聚焦区域的高度、光谱和质谱信息；
步骤十一、重复步骤十直到被测样品上的所有待测点均被测到，然后利用计算机进行处理即可得到被测样品形态信息和完整组分信息。
本发明的方法包括可为使平行光束通过沿入射光轴方向放置的矢量光束发生系统、光瞳滤波器后整形为环形光束，该环形光束再经圆形照明收集镜聚焦到被测样品上解吸电离产生等离子体羽。
本发明的方法包括D型照明收集镜中D型照明光瞳和D型收集光瞳的照明收集功能可以通过圆形照明收集镜中圆形照明光瞳和圆形收集光瞳来完成。
本发明的高空间分辨激光分光瞳差动共焦诱导击穿、拉曼光谱-光谱-质谱显微成像装置，包括点光源、沿入射光轴方向放置的准直透镜、压缩聚焦光斑系统和聚焦光斑到被测样品的D型照明收集镜的D型照明光瞳，包括沿采集光轴方向放置的D型照明收集镜的D型收集光瞳、分光器和位于分光器反射方向的二向色分光器、位于二向色分光器反射方向的采集透镜、中继放大透镜和位于中继放大透镜焦面并关于光轴对称放置的第一光强点探测器和第二光强点探测器，还包括位于二向色分光器透射方向用于探测拉曼光谱的拉曼收集透镜和位于拉曼收集透镜焦点的拉曼光谱探测系统；位于分光器透射方向用于探测激光诱导击穿光谱的激光诱导击穿光谱收集透镜和激光诱导击穿光谱探测系统，以及用于D型照明收集镜聚焦光斑解析电离的离子体羽组分的电离样品吸管和质谱探测系统，入射光轴和采集光轴之间的夹角为2α，并关于测量面法线对称。
本发明装置包括压缩聚焦光斑系统可以用沿入射光轴方向放置的产生矢量光束的矢量光束发生系统和光瞳滤波器替代。
本发明装置包括D型照明收集镜可替换为圆形照明收集镜。
本发明装置包括第一光强点探测器和第二光强点探测器可以用一个CCD探测器替代。
有益效果
本发明对比已有技术，具有以下优点：
1)将具有高空间分辨能力的分光瞳差动共焦显微技术与质谱探测技术相融合，使分光瞳差动共焦显微成像系统的光斑实现聚焦探测和样品解析电离双重功能，可实现样品微区质谱的高空间质谱显微成像；
2)结合拉曼光谱和激光诱导击穿光谱的探测，克服了现有激光质谱仪无法对中性原子、分子、中离子及基团等进行探测的不足，实现激光多谱(质谱、拉曼光谱和激光诱导击穿光谱)组分成像探测的优势互补和结构功能融合，可以获得更为全面的微区组分信息；
3)利用分光瞳差动共焦曲线的过零点进行样品预先定焦，使最小聚焦光斑聚焦到样品表面，可实现样品微区高空间分辨质谱探测和微区显微成像，有效地发挥分光瞳差动共焦系统高空间分辨的潜能；
4)利用分光瞳差动共焦曲线过零点进行样品预先定焦处理，可抑制现有质谱仪因长时间质谱成像中聚焦光斑相对被测样品的漂移问题；
5)利用压缩聚焦光斑技术，提高了激光质谱仪的空间分辨能力；
6)利用分光瞳结构光束斜入射探测，克服了现有共焦显微成像技术无法抑制焦面杂散光干扰的缺陷，抗杂散光能力强。
附图说明
图1为分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法示意图；
图2为实施例1的分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置图；
图3为实施例2的分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置图；
其中：1-点光源、2-准直透镜、3-平行光束、4-压缩聚焦光斑系统、5-D型照明收集镜、6-D型照明光瞳、7-D型收集光瞳、8-入射光轴、9-被测样品、10-测量面法线、11-等离子体羽、12-采集光轴、13-采集透镜、14-中继放大透镜、15-焦面、16-放大艾里斑、17-第一光强点探测器、18-第二光强点探测器、19-艾里斑第一微区、20-艾里斑第二微区、21-第一离轴共焦轴向强度曲线、22-第二离轴共焦轴向强度曲线、23-差动共焦轴向强度曲线、24-计算机、25-三维工作台、26-电离样品吸管、27-质谱探测系统、28-分光器、29-激光诱导击穿光谱收集透镜、30-激光诱导击穿光谱探测系统、31-矢量光束发生系统、32-光瞳滤波器、33-圆形照明收集镜、34-圆形照明光瞳、35-圆形收集光瞳、36-CCD探测器、37-出射光束衰减器、38-探测光束衰减器、39-脉冲激光器、40-聚光透镜、41-传光光纤、42-激光诱导击穿光谱、43-二向色分光器、44-拉曼光谱、45-拉曼光谱收集透镜、46-拉曼光谱探测系统。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
本发明的核心方法如图1所示，其中，由压缩聚焦光斑系统4和D型照明收集镜5的D型照明光瞳6构成的环形光横向超分辨系统，用于压缩聚焦光斑横向尺寸。
以下实施例均是在图1基础上实现的。
实施例1
如图2所示的分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像装置中，压缩聚焦光斑系统4由矢量光束发生系统31、光瞳滤波器32替代，D型照明收集镜5可由圆形照明收集镜33替代，第一强度点探测器17和第二强度点探测器18由CCD探测器36替代。
如图2所示的分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像装置包括点光源1、沿入射光轴8方向放置的准直透镜2、矢量光束发生系统31、光瞳滤波器32和聚焦光斑到被测样品9的圆形照明收集镜33的圆形照明光瞳34，还包括圆形照明收集镜33的圆形收集光瞳35、位于采集光轴12方向的分光器28、位于分光器28反射方向的二向色分光器43和位于二向色分光器43反射方向的采集透镜13、中继放大透镜14和位于中继放大透镜14焦面15上的CCD探测器36，以及用于圆形照明收集镜33聚焦光斑解析电离的离子体羽11组分的电离样品吸管26和质谱探测系统27，入射光轴8和采集光轴12之间的夹角为2α，并关于测量面法线10对称。
主要构成的功能如下：
由点光源1、沿入射光轴8放置的准直透镜2、矢量光束发生系统31、光瞳滤波器32、聚焦光斑到被测样品9的圆形照明收集镜33的圆形照明光瞳34构成的激光聚焦系统用于产生超过衍射极限的微小聚焦光斑，该超衍射微小尺寸光斑具有测量样品表面和产生表面等离子体的双重功能。
由沿采集光轴12方向的圆形照明收集镜33的圆形收集光瞳35、分光器28、位于分光器28反射方向的二向色分光器43和位于二向色分光器43反射方向的采集透镜13、中继放大透镜14、位于中继放大透镜14焦面15上的CCD探测器36构成的激光分光瞳差动共焦探测系统对被测样品9进行精密定焦，并对圆形照明收集镜33聚焦到被测样品9的光斑位置进行轴向定位，测得对应聚焦光斑位置的样品高度；
由沿采集光轴12方向的圆形照明收集镜33的圆形收集光瞳35、分光器28、位于分光器28反射光方向的二向色分光器43和拉曼收集透镜45和位于拉曼光谱收集透镜45焦点处的拉曼光谱探测系统46构成的拉曼光谱探测系统，用于对被测样品9的拉曼光谱44进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品分子结构和化学键信息；
由电离样品吸管26和质谱探测系统27构成的质谱探测系统基于飞行时间法(TOF)探测等离子体羽11中的带电原子、分子等，来进行飞行时间质谱探测。
由沿采集光轴12放置的采集透镜13、分光器28、位于分光器28透射光方向的激光诱导击穿光谱收集透镜29和位于激光诱导击穿光谱收集透镜29焦点处的光谱探测系统30构成的激光诱导击穿光谱探测系统，用于对被测样品9的激光诱导击穿光谱42进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品元素组成信息；
由矢量光束发生系统31、光瞳滤波器32和圆形照明收集镜33的圆形照明光瞳34构成的径向偏振光纵向场紧聚焦系统用于压缩聚焦光斑横向尺寸。
由计算机24、三维工作台25构成的三维运动系统可对被测样品9进行轴向定焦定位和三维扫描。
对被测样品进行高分辨质谱成像的过程主要包括以下步骤：
步骤一、点光源1出射的光束经准直透镜2后准直为平行光束3，该平行光束3经矢量光束发生系统31、光瞳滤波器32生成环形光束，该环形光束再经圆形照明收集镜33的圆形照明光瞳34聚焦为超过衍射极限的微小光斑照射在被测样品9上；
步骤二、利用计算机24控制三维工作台25使由圆形收集光瞳35、中继放大透镜14和位于中继放大透镜14焦面15上的CCD探测器36构成的激光分光瞳差动共焦探测系统对被测样品9进行轴向扫描，对放大艾里斑16进行分割探测，得到艾里斑第一微区19和艾里斑第二微区20的强度特性曲线分别为第一离轴共焦轴向强度曲线21和第二离轴共焦轴向强度曲线22；
步骤三、将第一离轴共焦轴向强度曲线21和第二离轴共焦轴向强度曲线22相减处理得到分光瞳差动共焦轴向强度曲线23，利用分光瞳差动共焦轴向强度曲线23可以精确定位被测样品9该点轴向高度信息；
步骤四、计算机24依据分光瞳差动共焦轴向强度曲线23的零点位置zA值控制三维工作台25带动被测样品9沿测量面法线10方向运动，使圆形照明收集镜33的聚焦光斑聚焦到被测样品9上，实现对被测样品9的初始定焦；
步骤五、利用拉曼光谱探测系统46对经分光器28反射、二向色分光器43透射和拉曼光谱收集透镜45收集的拉曼光谱44进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品化学键及分子结构信息；
步骤六、改变点光源1工作模式，提高照明强度，激发被测样品9的微区解吸电离产生等离子体羽11；
步骤七、利用电离样品吸管26将聚焦光斑解吸电离被测样品9产生的等离子体羽11中的分子、原子和离子吸入质谱探测系统27中进行质谱成像，测得对应聚焦光斑区域的质谱信息；
步骤八、利用激光诱导击穿光谱探测系统30对经分光器28透射和激光诱导击穿光谱收集透镜29收集的激光诱导击穿光谱42进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品元素组成信息；
步骤九、计算机24将激光分光瞳共焦探测系统测得的激光聚焦微区形态信息、拉曼光谱探测系统46探测的激光聚焦微区的拉曼光谱44、激光诱导击穿光谱探测系统30探测激光聚焦微区的激光诱导击穿光谱信息、质谱探测系统27测得的激光聚焦微区的质谱信息进行融合处理，得到聚焦光斑微区的高度、光谱和质谱信息；
步骤十、计算机24控制三维工作台24使圆形照明收集镜33对准被测样品的下一个待测区域，然后按步骤二～步骤九进行操作，得到下一个待测聚焦区域的高度、光谱和质谱信息；
步骤十一、重复步骤十直到被测样品9上的所有待测点均被测到，然后利用计算机18进行数据融合和图像重构处理，即可得到被测样品形态信息和完整组分信息。
实施例2
如图3所示的分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像装置中，点光源1由脉冲激光器39、聚光透镜40、聚光透镜40焦点处的传光光纤41替代，D型照明收集镜5由圆形照明收集镜33替代，第一强度点探测器17和第二强度点探测器18由CCD探测器36替代。同时，在激光聚焦系统中引入出射光束衰减器37，在激光分光瞳差动共焦探测系统中引入探测光束衰减器38。
由出射光束衰减器37和探测光束衰减器38构成光强调节系统，用于衰减聚焦光斑和CCD探测器36探测的光斑强度，以适应样品表面定位时的光强强度需求。
对被测样品进行高分辨质谱成像的过程主要包括以下步骤：
实施例1中的步骤二、利用计算机24控制三维工作台25使由圆形收集光瞳35、中继放大透镜14和位于中继放大透镜14焦面15上的CCD探测器36构成的激光分光瞳差动共焦探测系统对被测样品9进行轴向扫描，对放大艾里斑16进行分割探测，得到艾里斑第一微区19和艾里斑第二微区20的强度特性曲线分别为第一离轴共焦轴向强度曲线21和第二离轴共焦轴向强度曲线22，调节探测光束衰减器38，用于衰减光强以避免CCD探测器36过饱和探测；
步骤六为改变脉冲激光器39工作模式，调节出射光束衰减器37来增强圆形照明收集镜33的聚焦光斑强度，激发被测样品9的微区解吸电离产生等离子体羽11；
其余成像方法与过程与实施例1相同。
以上结合附图对本发明的具体实施方式作了说明，但这些说明不能被理解为限制了本发明的范围。
本发明的保护范围由随附的权利要求书限定，任何在本发明权利要求基础上的改动都是本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法，其特征在于：利用高空间分辨分光瞳差动共焦显微系统的聚焦光斑对样品进行轴向定焦与成像，利用拉曼光谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑激发样品产生的拉曼光谱进行探测，利用质谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的带电分子、原子等进行微区质谱成像，利用激光诱导击穿光谱探测系统对分光瞳差动共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的等离子体发射光谱进行探测，然后再通过探测数据信息的融合与比对分析继而实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的成像与探测，包括以下步骤：
步骤一、使平行光束(3)通过沿入射光轴(8)方向放置的压缩聚焦光斑系统(4)、D型照明收集镜(5)中的D型照明光瞳(6)聚焦到被测样品(9)上；
步骤二、使计算机(24)控制三维工作台(25)带动被测样品(9)沿测量面法线(10)方向在D型照明收集镜(5)焦点附近上下移动，利用沿采集光轴(12)方向放置的D型收集光瞳(7)、分光器(28)、分光器(28)反射方向的二向色分光器(43)和位于二向色分光器(43)反射方向的采集透镜(13)、中继放大透镜(14)和位于中继放大透镜(14)焦面(15)并关于采集光轴(12)对称放置的第一光强点探测器(17)和第二光强点探测器(18)对放大艾里(16)进行分割探测，得到艾里斑第一微区(19)和艾里斑第二微区(20)的强度特性曲线分别为第一离轴共焦轴向强度曲线(21)和第二离轴共焦轴向强度曲线(22)；
步骤三、将第一离轴共焦轴向强度曲线(21)和第二离轴共焦轴向强度曲线(22)相减处理得到分光瞳差动共焦轴向强度曲线(23)，利用分光瞳差动共焦轴向强度曲线(23)可以精确定位被测样品(8)该点轴向高度信息；
步骤四、计算机(24)依据分光瞳差动共焦轴向强度曲线(23)的零点位置zA值控制三维工作台(25)带动被测样品(9)沿测量面法线(10)方向运动，使D型照明收集镜(5)的聚焦光斑聚焦到被测样品(9)上；
步骤五、利用拉曼光谱探测系统(46)对经分光器(28)反射、二向色分光器(43)透射和光谱收集透镜(45)收集的拉曼光谱(44)进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品化学键及分子结构信息；
步骤六、改变平行光束(3)照明模式，激发被测样品(8)的微区解吸电离产生等离子体羽(9)；
步骤七、利用电离样品吸管(26)将聚焦光斑解吸电离被测样品(9)产生的等离子体羽(11)中的分子、原子和离子吸入质谱探测系统(27)中进行质谱成像，测得对应聚焦光斑区域的质谱信息；
步骤八、利用激光诱导击穿光谱探测系统(30)对经分光器(28)透射和激光诱导击穿光谱收集透镜(29)收集的激光诱导击穿光谱(42)进行探测，测得对应聚焦光斑区域的样品元素组成信息；
步骤九、计算机(24)将激光分光瞳差动共焦探测系统测得的激光聚焦光斑位置样品高度信息、激光拉曼光谱探测系统(39)探测的激光聚焦微区的拉曼光谱(37)、激光诱导击穿光谱探测系统(30)探测的激光聚焦微区的激光诱导击穿光谱(42)、质谱探测系统(27)测得的激光聚焦微区的质谱信息进行融合处理，继而得到聚焦光斑微区的高度和质谱信息；
步骤十、计算机(24)控制三维工作台(25)使D型照明收集镜(5)焦点对准被测样品(9)的下一个待测区域，然后按步骤二～步骤九进行操作，得到下一个待测聚焦区域的高度、光谱和质谱信息；
步骤十一、重复步骤十直到被测样品(9)上的所有待测点均被测到，然后利用计算机(24)进行处理即可得到被测样品形态信息和完整组分信息。
2.根据权利要求1所述的一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法，其特征在于：包括步骤一可为使平行光束(3)通过沿入射光轴(8)方向放置的矢量光束发生系统(31)、光瞳滤波器(32)后整形为环形光束，该环形光束再经圆形照明收集镜(33)聚焦到被测样品(9)上解吸电离产生等离子体羽(11)。
3.根据权利要求1所述的一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像方法，其特征在于：包括D型照明收集镜(5)中D型照明光瞳(6)和D型收集光瞳(7)的照明收集功能可以通过圆形照明收集镜(33)中圆形照明光瞳(34)和圆形收集光瞳(35)来完成。
4.一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像装置，其特征在于：包括点光源(1)、沿入射光轴(8)方向放置的准直透镜(2)、压缩聚焦光斑系统(4)和聚焦光斑到被测样品(9)的D型照明收集镜(5)的D型照明光瞳(6)，包括沿采集光轴(12)方向放置的D型照明收集镜(5)的D型收集光瞳(7)、分光器(28)和位于分光器(28)反射方向的二向色分光器(43)、位于二向色分光器(43)反射方向的采集透镜(13)、中继放大透镜(14)和位于中继放大透镜(14)焦面(15)并关于光轴对称放置的第一光强点探测器(17)和第二光强点探测器(18)，还包括位于二向色分光器(43)透射方向用于探测拉曼光谱(44)的拉曼收集透镜(45)和位于拉曼收集透镜(45)焦点的拉曼光谱探测系统(46)；位于分光器(28)透射方向用于探测激光诱导击穿光谱(42)的激光诱导击穿光谱收集透镜(29)和激光诱导击穿光谱探测系统(30)，以及用于D型照明收集镜(5)聚焦光斑解析电离的离子体羽(11)组分的电离样品吸管(26)和质谱探测系统(27)，入射光轴(8)和采集光轴(12)之间的夹角为2α，并关于测量面法线(10)对称。
5.根据权利要求4所述的一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像装置，其特征在于：包括压缩聚焦光斑系统(4)可以用沿入射光轴(8)方向放置的产生矢量光束的矢量光束发生系统(31)和光瞳滤波器(32)替代。
6.根据权利要求4所述的一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像装置，其特征在于：包括D型照明收集镜(5)可替换为圆形照明收集镜(33)。
7.根据权利要求4所述的一种分光瞳激光差动共焦LIBS、拉曼光谱-质谱显微成像装置，其特征在于：包括第一光强点探测器(17)和第二光强点探测器(18)可以用一个CCD探测器(36)替代。
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Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107167455A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-09-15 | 北京理工大学 | 分光瞳激光差动共焦cars显微光谱测试方法及装置 |
| CN107192702A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-09-22 | 北京理工大学 | 分光瞳激光共焦cars显微光谱测试方法及装置 |
| WO2018059657A1 (de) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Operationsmikroskop mit einem infrarotspektrometer und verfahren zur feststellung pathologischer implikationen damit |
| CN108413867A (zh) * | 2017-04-18 | 2018-08-17 | 北京理工大学 | 激光微纳加工分光瞳差动共焦在线监测一体化方法与装置 |
| CN109187728A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 分光瞳共焦Raman-LIBS-质谱探测的飞秒激光加工监测方法与装置 |
| CN109187494A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 飞秒激光加工参数差动共焦拉曼光谱原位监测方法与装置 |
| CN109187503A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 后置分光瞳激光共焦拉曼、libs光谱显微成像方法与装置 |
| CN109187718A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 后置分光瞳差动共焦libs光谱-质谱显微成像方法与装置 |
| CN109187723A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 后置分光瞳差动共焦拉曼光谱-质谱显微成像方法与装置 |
| CN109187720A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 后置分光瞳激光差动共焦质谱显微成像方法与装置 |
| CN109187491A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 后置分光瞳差动共焦拉曼、libs光谱显微成像方法与装置 |
| CN109187501A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 后置分光瞳激光差动共焦libs光谱显微成像方法与装置 |
| CN109187495A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 飞秒激光加工参数分光瞳差动共焦Raman光谱监测方法与装置 |
| CN109211847A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-01-15 | 西北大学 | 一种用于单个悬浮颗粒的化学成分分析的装置及方法 |
| CN109211873A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-15 | 北京理工大学 | 后置分光瞳激光差动共焦拉曼光谱测试方法及装置 |
| CN109254072A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-22 | 北京理工大学 | 一种激光差动共焦Raman-LIBS-质谱联用显微成像方法与装置 |
| CN109444109A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-03-08 | 北京理工大学 | 共焦Raman-LIBS光谱探测的飞秒激光加工监测融合方法与装置 |
| CN109520973A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-03-26 | 北京理工大学 | 后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法及装置 |
| CN110196246A (zh) * | 2018-02-26 | 2019-09-03 | 成都艾立本科技有限公司 | 一种激光诱导击穿-拉曼光谱联用系统 |
| CN113126061A (zh) * | 2020-01-16 | 2021-07-16 | 上海耕岩智能科技有限公司 | 一种激光雷达及其扫描方法 |
| US11145497B2 (en) | 2016-06-07 | 2021-10-12 | Micromass Uk Limited | Combined optical and mass spectral tissue identification probe |
| WO2024021149A1 (zh) * | 2022-07-29 | 2024-02-01 | 西安交通大学 | 一种融合应力波冲击波诊断的libs优化系统及方法 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160209330A1 (en) * | 2015-01-21 | 2016-07-21 | Protrustech Co., Ltd | Integrated raman spectrometer and modularized laser module |
| CN107219214B (zh) * | 2017-07-26 | 2023-10-27 | 大连理工大学 | 一种光谱结合质谱的未知样品中元素的定量分析装置 |
| CN107658205A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-02-02 | 珠海美华医疗科技有限公司 | 一种maldi用光路及高压电场施加装置及质谱仪 |
| CN107941761B (zh) * | 2017-10-13 | 2023-07-04 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 基于行星车舱复合探测系统的微区物质分析方法 |
| CN107727635B (zh) * | 2017-10-13 | 2023-09-12 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种深空微区自适应激光光谱及成像探测系统 |
| CN109916875B (zh) * | 2017-12-13 | 2023-07-25 | 安菲克斯(北京)仪器有限公司 | 一种激光共焦拉曼光谱仪及其光路处理方法 |
| CN109959349B (zh) * | 2019-03-08 | 2020-07-10 | 北京理工大学 | 激光差动共焦核聚变靶丸几何参数综合测量方法与装置 |
| CN114402182A (zh) * | 2019-03-25 | 2022-04-26 | Mks技术(贸易用名雪域仪器) | 多色散光谱仪 |
| CN109883357B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-08-11 | 北京理工大学 | 横向相减差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法 |
| CN110044414B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-12-11 | 北京理工大学 | 横向相减差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置 |
| CN109883356B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-12-11 | 北京理工大学 | 双边错位差动共焦抛物面顶点曲率半径测量方法 |
| CN109945804B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-12-15 | 北京理工大学 | 横向相减差动共焦超大曲率半径测量方法 |
| CN110044415B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-12-11 | 北京理工大学 | 错位差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置 |
| CN109990710B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-08-11 | 北京理工大学 | 双边错位差动共焦聚变靶丸几何参数综合测量方法与装置 |
| CN109990732B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-12-11 | 北京理工大学 | 横向相减差动共焦曲率半径测量方法 |
| CN109945803B (zh) * | 2019-04-19 | 2021-03-09 | 北京理工大学 | 横向相减激光差动共焦柱面曲率半径测量方法 |
| CN113390855A (zh) * | 2021-06-22 | 2021-09-14 | 天津大学 | 基于暗视野显微和激光诱导击穿光谱的单细菌检测系统 |
| CN114235696A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-03-25 | 清华大学 | 材料微区光学性质测量装置 |
| CN115452804B (zh) * | 2022-11-10 | 2023-01-31 | 泉州师范学院 | 一种体液的拉曼光谱检测装置及检测方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103091299A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-05-08 | 北京理工大学 | 激光差动共焦图谱显微成像方法与装置 |
| CN103743718A (zh) * | 2013-12-11 | 2014-04-23 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 共聚焦显微拉曼和激光诱导击穿光谱联用激光光谱分析仪 |
| CN103884703A (zh) * | 2014-03-10 | 2014-06-25 | 北京理工大学 | 分光瞳激光差动共焦布里渊-拉曼光谱测量方法及装置 |
| CN104677864A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-06-03 | 北京理工大学 | 高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法与装置 |
| CN104698066A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-06-10 | 北京理工大学 | 高空间分辨激光分光瞳差动共焦光谱-质谱显微成像方法与装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873419B2 (en) * | 2001-11-16 | 2005-03-29 | National Research Council Of Canada | Method and apparatus for three-dimensional compositional mapping of heterogeneous materials |
| CN102147240B (zh) * | 2010-12-24 | 2012-08-22 | 北京理工大学 | 差动共焦干涉元件多参数测量方法与装置 |
-
2015
- 2015-07-17 CN CN201510423422.4A patent/CN105241849A/zh active Pending
-
2016
- 2016-07-13 US US15/208,633 patent/US20170018415A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103091299A (zh) * | 2013-01-21 | 2013-05-08 | 北京理工大学 | 激光差动共焦图谱显微成像方法与装置 |
| CN103743718A (zh) * | 2013-12-11 | 2014-04-23 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 共聚焦显微拉曼和激光诱导击穿光谱联用激光光谱分析仪 |
| CN103884703A (zh) * | 2014-03-10 | 2014-06-25 | 北京理工大学 | 分光瞳激光差动共焦布里渊-拉曼光谱测量方法及装置 |
| CN104677864A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-06-03 | 北京理工大学 | 高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法与装置 |
| CN104698066A (zh) * | 2015-03-17 | 2015-06-10 | 北京理工大学 | 高空间分辨激光分光瞳差动共焦光谱-质谱显微成像方法与装置 |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11145497B2 (en) | 2016-06-07 | 2021-10-12 | Micromass Uk Limited | Combined optical and mass spectral tissue identification probe |
| WO2018059657A1 (de) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Operationsmikroskop mit einem infrarotspektrometer und verfahren zur feststellung pathologischer implikationen damit |
| CN108413867A (zh) * | 2017-04-18 | 2018-08-17 | 北京理工大学 | 激光微纳加工分光瞳差动共焦在线监测一体化方法与装置 |
| CN107167455A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-09-15 | 北京理工大学 | 分光瞳激光差动共焦cars显微光谱测试方法及装置 |
| CN107192702A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-09-22 | 北京理工大学 | 分光瞳激光共焦cars显微光谱测试方法及装置 |
| CN110196246B (zh) * | 2018-02-26 | 2022-02-22 | 成都艾立本科技有限公司 | 一种激光诱导击穿-拉曼光谱联用系统 |
| CN110196246A (zh) * | 2018-02-26 | 2019-09-03 | 成都艾立本科技有限公司 | 一种激光诱导击穿-拉曼光谱联用系统 |
| CN109211847A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-01-15 | 西北大学 | 一种用于单个悬浮颗粒的化学成分分析的装置及方法 |
| CN109187491A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-11 | 北京理工大学 | 后置分光瞳差动共焦拉曼、libs光谱显微成像方法与装置 |
| CN109254072A (zh) * | 2018-11-13 | 2019-01-22 | 北京理工大学 | 一种激光差动共焦Raman-LIBS-质谱联用显微成像方法与装置 |
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