CN104677864A - 高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法与装置 - Google Patents
高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法与装置 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法与装置,属于共焦显微成像技术、光谱成像技术和质谱成像技术领域。本发明将分光瞳共焦成像技术、质谱成像技术和光谱探测技术相结合,利用经超分辨技术处理的分光瞳共焦系统的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像,利用质谱探测系统对分光瞳共焦系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的带电分子、原子等进行微区质谱成像,利用光谱探测系统对分光瞳共焦系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的等离子体发射光谱信息进行光谱成像,然后再通过探测数据信息的融合与比对实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的成像与探测。本发明可为生物质谱高分辨成像提供一个全新的有效技术途径。
Description
技术领域
本发明属于共焦显微成像技术、光谱成像技术和质谱成像技术领域,将分光瞳共焦显微成像技术、质谱成像技术和光谱探测技术相结合,涉及一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法与装置,可用于生物质谱的高分辨成像。
技术背景
质谱仪(Mass Spectrometry)是将样品中的组分发生电离,使生成的不同荷质比的带电原子、分子或分子碎片在电场和磁场的作用下分别聚焦而得到按质荷比大小顺序排列的图谱仪器。质谱成像是对样品二维区域内多个微小区域分别进行质谱分析来检测特定质荷比(m/z)物质的分布。
自上世纪80年代中期基质辅助激光解吸电离这种高灵敏度和高质量检测范围生物质谱成像技术的出现,开拓了质谱学一个崭新的领域—生物质谱,促使质谱技术应用范围扩展到生命科学研究的众多领域,特别是质谱在蛋白质、核酸、糖蛋白分析等方面的应用,不仅为生命科学研究提供了新手段,而且也促进了质谱技术自身的发展。
但现有基质辅助激光解吸电离质谱仪存在以下突出问题:
1)由于利用简单的激光聚焦来解吸电离样品,因而其仍存在激光聚焦光斑大、质谱探测空间分辨力不高等问题;
2)无法对中性原子、分子、中离子及基团等进行探测,其结果制约了样品质谱成分的准确完整获取;
3)质谱成像所需时间长,激光质谱仪聚焦光斑轴向位置相对被测样品常发生漂移问题。
而生物样品“微区”完整组分信息的准确获取对于生命科学研究具有极其重要的意义。事实上,如何高灵敏地探测微区质谱信息是目前生物质谱领域亟待研究的重要技术问题。
事实上,强脉冲激光聚焦到样品表面会使样品离子化,可激发出带电的原子、分子、分子碎片和中性的原子、分子、中离子等。如何能够完整地获取带电的原子、分子、分子碎片和中性的原子、分子、中离子的信息,对于高精度分析样品的组分具有重要意义。
利用激光诱导击穿光谱(LIBS)技术可测量等离子体发射光谱信息,获得样品中元素成分。将激光诱导击穿光谱(LIBS)技术与质谱探测技术相结合,可用来弥补激光质谱成像技术中无法获得中性原子、分子和中离子信息的不足。
激光共焦显微镜“点照明”和“点探测”的成像探测机制,不仅使其横向分辨力较同等参数的光学显微镜改善1.4倍,而且还使共焦显微镜极便于与超分辨光瞳滤波技术、径向偏振光紧聚焦技术等结合来压缩聚焦光斑,进一步实现高空间分辨显微成像。
基于此,本发明提出一种高空间分辨力的激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法与装置,其创新在于:首次将具有高空间分辨能力分光瞳共焦显微技术与激光诱导击穿光谱(LIBS)技术和质谱探测技术相融合,可实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的成像与探测。
本发明一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法与装置可为生物质谱高分辨成像提供一个全新的有效技术途径。
发明内容
本发明的目的是质谱成像的空间分辨能力、抑制成像过程中聚焦光斑相对样品的漂移,提出一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法与装置,以期同时获得被测对象成份空间信息和功能信息。本发明将激光分光瞳共焦显微镜聚焦光斑的探测功能与激光聚焦解吸电离功能相融合,利用经超分辨技术处理的分光瞳共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像,利用质谱探测系统对分光瞳共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的带电分子、原子等进行微区质谱成像,利用光谱探测系统对分光瞳共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的等离子体发射光谱信息进行光谱成像,然后再通过探测数据信息的融合与比对获得完成的样品成分信息,继而实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的成像与探测。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的。
本发明的一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法,其利用高空间分辨分光瞳共焦显微系统的聚焦光斑对样品进行轴向定焦与成像,利用质谱探测系统对分光瞳共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的带电分子、原子等进行微区质谱成像,利用光谱探测系统对分光瞳共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的等离子体发射光谱进行探测,然后再通过探测数据信息的融合与比对分析继而实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的同时成像与探测,包括以下步骤:
步骤一、使平行光束通过沿入射光轴方向放置的压缩聚焦光斑系统、D型照明收集镜中的D型照明光瞳聚焦到被测样品上解吸电离产生等离子体羽;
步骤二、使计算机控制三维工作台带动被测样品沿测量面法线方向在D型照明收集镜焦点附近上下移动,利用沿采集光轴方向放置的D型收集光瞳、采集透镜和位于采集透镜焦点的光强点探测器对被测样品反射的测量光束进行聚焦探测得到分光瞳共焦轴向强度曲线;
步骤三、将分光瞳共焦轴向强度曲线沿z向平移s后得到移位分光瞳共焦轴向强度曲线,然后将移位分光瞳共焦轴向强度曲线与分光瞳共焦轴向强度曲线相减处理得到错位相减分光瞳共焦轴向强度曲线;
步骤四、将错位相减分光瞳共焦轴向强度曲线的零点位置zA减去平移值s/2得(zA-s/2),计算机依据(zA-s/2)值控制三维工作台带动被测样品沿测量面法线方向运动使D型照明收集镜的聚焦光斑聚焦到被测样品上;
步骤五、利用电离样品吸管将聚焦光斑解吸电离被测样品产生的等离子体羽中的分子、原子和离子吸入质谱探测系统中进行质谱成像,测得对应聚焦光斑区域的质谱信息;
步骤六、利用由D型照明收集镜、D型收集光瞳、采集透镜、光强点探测器和三维工作台构成的激光分光瞳共焦探测系统对聚焦到被测样品(9)的微区进行成像,测得对应聚焦光斑区域的形态信息;
步骤七、利用光谱探测系统对经分色器反射和光谱收集透镜收集的激光诱导击穿光谱进行探测,测得对应聚焦光斑区域的光谱信息;
步骤八、计算机将激光分光瞳共焦探测系统测得的激光聚焦微区形态信息、光谱探测系统同时探测激光聚焦微区的激光诱导击穿光谱信息、质谱探测系统同时测得的激光聚焦微区的质谱信息进行融合处理,继而得到聚焦光斑微区的形态、光谱和质谱信息;
步骤九、计算机控制三维工作台使D型照明收集镜焦点对准被测对象的下一个待测区域,然后按步骤二~步骤八进行操作,得到下一个待测聚焦区域的形态、光谱和质谱信息;
步骤十、重复步骤九直到被测样品上的所有待测点均被测到,然后利用计算机进行处理即可得到被测样品形态信息、光谱信息和质谱信息。
本发明高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法中,包括步骤一可为使平行光束通过沿入射光轴方向放置的矢量光束发生系统、光瞳滤波器后整形为环形光束,该环形光束再经圆形照明收集镜聚焦到被测样品上解吸电离产生等离子体羽。
本发明高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法中,包括步骤四可以为计算机依据分光瞳共焦轴向强度曲线最大值M对应的位置zB值来控制三维工作台带动被测样品沿测量面法线方向运动,使D型照明收集镜的聚焦光斑聚焦到被测样品上。
本发明高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像方法中,包括D型照明收集镜中D型照明光瞳和D型收集光瞳的照明收集功能可以通过圆形照明收集镜中圆形照明光瞳和圆形收集光瞳来完成。
本发明的一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像装置,包括点光源、沿入射光轴方向放置的准直透镜、压缩聚焦光斑系统和聚焦光斑到被测样品的D型照明收集镜的D型照明光瞳,包括沿采集光轴方向放置的D型照明收集镜的D型收集光瞳、采集透镜和位于采集透镜焦点的光强点探测器,还包括探测激光诱导击穿光谱的分色镜、光谱收集透镜和光谱探测系统,以及用于D型照明收集镜聚焦光斑解吸电离的离子体羽组分的电离样品吸管和质谱探测系统,入射光轴和采集光轴之间的夹角为2α,并关于测量面法线对称。
本发明的一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像装置中,包括压缩聚焦光斑系统可用沿入射光轴方向放置的产生矢量光束的矢量光束发生系统和光瞳滤波器替代。
本发明的一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像装置中,包括D型照明收集镜可替换为圆形照明收集镜。
有益效果
本发明对比已有技术,具有以下优点:
1)将具有高空间分辨能力的分光瞳共焦显微技术与质谱探测技术相融合,使分光瞳共焦显微成像系统的光斑实现聚焦探测和样品解吸电离双重功能,可实现样品微区质谱的高空间质谱显微成像;
2)激光诱导击穿光谱的同时探测,克服了现有激光质谱仪无法对中性原子、分子、中离子及基团等进行探测的不足,可以获得更为全面的微区组分信息;
3)利用错位相减分光瞳共焦轴向强度曲线的过零点进行样品预先定焦,使最小聚焦光斑聚焦到样品表面,可实现样品微区高空间分辨质谱探测和微区显微成像,有效地发挥分光瞳共焦系统高空间分辨的潜能;
4)利用错位相减分光瞳共焦轴向强度曲线过零点进行样品预先定焦处理,可抑制现有质谱仪因长时间质谱成像中聚焦光斑相对被测样品的漂移问题;
5)利用压缩聚焦光斑技术,提高了激光质谱仪的空间分辨能力;
6)利用双轴结构光束斜入射探测,克服了现有共焦显微成像技术无法抑制焦面杂散光干扰的缺陷,抗杂散光能力强。
附图说明
图1为高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法示意图;
图2为实施例1的高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法装置图;
图3为实施例2的高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法与装置图。
其中:1-点光源,2-准直透镜、3-平行光束、4-压缩聚焦光斑系统、5-D型照明收集镜、6-D型照明光瞳、7-D型收集光瞳、8-入射光轴、9-被测样品、10-测量面法线、11-等离子体羽、12-采集光轴、13-采集透镜、14-光强点探测器、15-共焦轴向强度曲线、16-移位共焦轴向强度曲线、17-错位相减共焦轴向强度曲线、18-计算机、19-三维工作台、20-分色器、21-光谱收集透镜、22-光谱探测系统、23-电离样品吸管、24-质谱探测系统、25-矢量光束发生系统、26-光瞳滤波器、27-圆形照明收集镜、28-圆形照明光瞳、29-圆形收集光瞳、30-出射光束衰减器、31-探测光束衰减器、32-脉冲激光器、33-聚光透镜、34-传光光纤、35-激光诱导击穿光谱。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
本发明的核心方法如图1所示,其中由压缩聚焦光斑系统4和D型照明收集镜5的D型照明光瞳6构成的环形光横向超分辨系统,用于压缩聚焦光斑横向尺寸。
以下实施例均是在图1基础上实现的。
实施例1
如图2所示的高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像装置中,压缩聚焦光斑系统4由矢量光束发生系统25、光瞳滤波器26替代。D型照明收集镜5可由圆形照明收集镜27替代。
如图2所示的高空间分辨激光分光瞳共焦光谱-质谱显微成像装置包括点光源1、沿入射光轴8方向放置的准直透镜2、矢量光束发生系统25、光瞳滤波器26和聚焦光斑到被测样品9的圆形照明收集镜27的圆形照明光瞳28,还包括圆形照明收集镜27的圆形收集光瞳29、位于采集光轴12方向的采集透镜13和位于采集透镜13焦点的光强点探测器14,以及圆形照明收集镜27聚焦光斑解析电离的离子体羽11组分的电离样品吸管23和质谱探测系统24,入射光轴8和采集光轴12之间的夹角为2α,并关于测量面法线10对称。
主要构成的功能如下:
由点光源1、沿入射光轴8放置的准直透镜2、矢量光束发生系统25、光瞳滤波器26、聚焦光斑到被测样品9的圆形照明收集镜27的圆形照明光瞳28构成的激光聚焦系统用于产生超过衍射极限的微小聚焦光斑,该超衍射微小尺寸光斑具有测量样品表面和产生表面等离子体的双重功能。
由沿采集光轴12方向的圆形照明收集镜27的圆形收集光瞳29、采集透镜13、位于采集透镜13焦点处的光强点探测器14构成的激光分光瞳共焦探测系统对被测样品9进行精密定焦,并对圆形照明收集镜27聚焦到被测样品9的微区进行成像,测得对应聚焦光斑区域的形态信息;
由电离样品吸管23和质谱探测系统24构成的质谱探测系统基于飞行时间法(TOF)探测等离子体羽11中的带电原子、分子等,来进行飞行时间质谱探测。
由采集透镜13、分色镜20、位于分色镜20反射光方向的光谱收集透镜21和位于光谱收集透镜21焦点处的光谱探测系统22构成的光谱探测系统,用于对被测样品9的激光诱导击穿光谱35进行探测,测得对应聚焦光斑区域的组分信息;
由计算机18、三维工作台19构成的三维运动系统可对被测样品9进行轴向定焦定位和三维扫描。
由矢量光束发生系统25、光瞳滤波器26和圆形照明收集镜27的圆形照明光瞳28构成的径向偏振光纵向场紧聚焦系统用于压缩聚焦光斑横向尺寸。
对被测样品进行高分辨质谱成像的过程主要包括以下步骤:
步骤一、点光源1出射的光束经准直透镜2后准直为平行光束3,该平行光束3经矢量光束发生系统25、光瞳滤波器26生成环形光束,该环形光束再经圆形照明收集镜27聚焦为超过衍射极限的微小光斑照射在被测样品9上;
步骤二、利用计算机18控制三维工作台19使由圆形收集光瞳29、采集透镜13和位于采集透镜13焦点的光强点探测器14构成的激光分光瞳共焦探测系统对被测样品9进行轴向扫描,测得分光瞳共焦轴向强度曲线15;
步骤三、将分光瞳共焦轴向强度曲线15沿z向平移s后得到移位分光瞳共焦轴向强度曲线16,然后将移位分光瞳共焦轴向强度曲线16与分光瞳共焦轴向强度曲线15相减处理得到错位相减分光瞳共焦轴向强度曲线17;
步骤四、计算机18依据错位相减分光瞳共焦轴向强度曲线17的零点位置zA减去平移s/2的(zA-s/2)值来控制三维工作台19,使圆形照明收集镜27的聚焦光斑聚焦到被测样品9上,实现对被测样品9的初始定焦;
步骤五、利用电离样品吸管23将聚焦光斑解吸电离被测样品9产生的等离子体羽11中的分子、原子和离子吸入质谱探测系统24中进行质谱成像,测得对应聚焦光斑区域的质谱信息;
步骤六、利用由沿采集光轴12方向的圆形收集光瞳29、采集透镜13、采集透镜13焦点处的光强点探测器14构成的激光分光瞳共焦探测系统同时对被测样品9表面等离子体羽11对应的微区形态进行成像,测得区域形态信息;
步骤七、利用光谱探测系统22对经分色器20反射和光谱收集透镜21收集的激光诱导击穿光谱35进行探测,测得对应聚焦光斑区域的光谱信息;
步骤八、计算机18将激光分光瞳共焦探测系统测得的激光聚焦微区形态信息、光谱探测系统22同时探测激光聚焦微区的激光诱导击穿光谱信息、质谱探测系统24同时测得的激光聚焦微区的质谱信息进行融合处理,得到聚焦光斑微区的形态、光谱和质谱信息;
步骤九、计算机18控制三维工作台19使圆形照明收集镜27对准被测样品的下一个待测区域,然后按步骤二~步骤七进行操作,得到下一个待测聚焦区域的形态和质谱信息;
步骤十、重复步骤八直到被测样品9上的所有待测点均被测到,然后利用计算机18进行数据融合和图像重构处理,即可得到被测样品形态信息和质谱信息。
实施例2
如图3所示的高空间分辨激光分光瞳共焦质谱显微成像装置中,点光源1由脉冲激光器32、聚光透镜33、聚光透镜30焦点处的传光光纤34替代,压缩聚焦光斑系统4由矢量光束发生系统25、光瞳滤波器26替代。D型照明收集镜5由圆形照明收集镜27替代。同时,在激光聚焦系统中引入出射光束衰减器30,在激光分光瞳共焦探测系统中引入探测光束衰减器31。
由矢量光束发生系统25、光瞳滤波器26和圆形照明收集镜27的圆形照明光瞳28构成的径向偏振光纵向场紧聚焦系统用于压缩聚焦光斑横向尺寸。
由出射光束衰减器30和探测光束衰减器31构成光强调节系统,用于衰减聚焦光斑和光强点探测器14探测的光斑强度,以适应样品表面定位时的光强强度需求。
对被测样品进行高分辨质谱成像的过程主要包括以下步骤:
实施例1中的步骤五为、调节出射光束衰减器30来增强圆形照明收集镜27的聚焦光斑强度使被测样品9表面产生等离子体,利用电离样品吸管23将聚焦光斑解吸电离被测样品9产生的等离子体羽11中的分子、原子和离子吸入质谱探测系统24中进行质谱成像,测得对应聚焦光斑区域的质谱信息;
步骤六、利用由沿采集光轴12方向的圆形收集光瞳29、探测光束衰减器31、采集透镜13、采集透镜13焦点处的光强点探测器14构成的激光分光瞳共焦探测系统同时对被测样品9表面等离子体羽11对应的微区形态进行成像,测得区域形态信息;调节探测光束衰减器31,用于衰减光强以避免光强点探测器14过饱和探测;
其余成像方法与过程与实施例1相同。
以上结合附图对本发明的具体实施方式作了说明,但这些说明不能被理解为限制了本发明的范围。
本发明的保护范围由随附的权利要求书限定,任何在本发明权利要求基础上的改动都是本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种高空间分辨激光分光瞳共焦光谱—质谱显微成像方法,其特征在于:利用高空间分辨分光瞳共焦显微系统的聚焦光斑对样品进行轴向定焦与成像,利用质谱探测系统对分光瞳共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的带电分子、原子等进行微区质谱成像,利用光谱探测系统对分光瞳共焦显微系统聚焦光斑解吸电离样品而产生的等离子体发射光谱进行探测,然后再通过探测数据信息的融合与比对分析继而实现被测样品微区高空间分辨和高灵敏形态与组分的同时成像与探测,包括以下步骤:
步骤一、使平行光束(3)通过沿入射光轴(8)方向放置的压缩聚焦光斑系统(4)、D型照明收集镜(5)中的D型照明光瞳(6)聚焦到被测样品(9)上解吸电离产生等离子体羽(11);
步骤二、使计算机(18)控制三维工作台(19)带动被测样品(9)沿测量面法线(10)方向在D型照明收集镜(5)焦点附近上下移动,利用沿采集光轴(12)方向放置的D型收集光瞳(7)、采集透镜(13)和位于采集透镜(13)焦点的光强点探测器(14)对被测样品(9)反射的测量光束进行聚焦探测得到分光瞳共焦轴向强度曲线(15);
步骤三、将分光瞳共焦轴向强度曲线(15)沿z向平移s后得到移位分光瞳共焦轴向强度曲线(16),然后将移位分光瞳共焦轴向强度曲线(16)与分光瞳共焦轴向强度曲线(15)相减处理得到错位分光瞳共焦轴向强度曲线(17);
步骤四、将错位分光瞳共焦轴向强度曲线(17)的零点位置zA减去平移值s/2得(zA-s/2),计算机(18)依据(zA-s/2)值控制三维工作台(19)带动被测样品(9)沿测量面法线(10)方向运动使D型照明收集镜(5)的聚焦光斑聚焦到被测样品(9)上;
步骤五、利用电离样品吸管(23)将聚焦光斑解吸电离被测样品(9)产生的等离子体羽(11)中的分子、原子和离子吸入质谱探测系统(24)中进行质谱成像,测得对应聚焦光斑区域的质谱信息;
步骤六、利用由D型照明收集镜(5)、D型收集光瞳(7)、采集透镜(13)、光强点探测器(14)和三维工作台(19)构成的激光分光瞳共焦探测系统对聚焦到被测样品(9)的微区进行成像,测得对应聚焦光斑区域的形态信息;
步骤七、利用光谱探测系统(22)对经分色器(20)反射和光谱收集透镜(21)收集的激光诱导击穿光谱(35)进行探测,测得对应聚焦光斑区域的光谱信息;
步骤八、计算机(18)将激光分光瞳共焦探测系统测得的激光聚焦微区形态信息、光谱探测系统(22)同时探测激光聚焦微区的激光诱导击穿光谱信息、质谱探测系统(24)同时测得的激光聚焦微区的质谱信息进行融合处理,继而得到聚焦光斑微区的形态、光谱和质谱信息;
步骤九、计算机(18)控制三维工作台(19)使D型照明收集镜(5)焦点对准被测对象(9)的下一个待测区域,然后按步骤二~步骤八进行操作,得到下一个待测聚焦区域的形态、光谱和质谱信息;
步骤十、重复步骤九直到被测样品(9)上的所有待测点均被测到,然后利用计算机(18)进行处理即可得到被测样品形态信息、光谱信息和质谱信息。
2.根据权利要求1所述的一种高空间分辨激光分光瞳共焦质谱显微成像方法,其特征在于:包括步骤一可为使平行光束(3)通过沿入射光轴(8)方向放置的矢量光束发生系统(25)、光瞳滤波器(26)后整形为环形光束,该环形光束再经圆形照明收集镜(27)聚焦到被测样品(9)上解吸电离产生等离子体羽(11)。
3.根据权利要求1所述的一种高空间分辨激光分光瞳共焦质谱显微成像方法,其特征在于:包括步骤四可为计算机(18)依据分光瞳共焦轴向强度曲线(15)最大值M对应的位置zB值来控制三维工作台(19)带动被测样品(9)沿测量面法线(10)方向运动,使D型照明收集镜(5)的聚焦光斑聚焦到被测样品(9)上。
4.根据权利要求1所述的一种高空间分辨激光分光瞳共焦质谱显微成像方法,其特征在于:D型照明收集镜(5)中D型照明光瞳(6)和D型收集光瞳(7)的照明收集功能可以通过圆形照明收集镜(27)中圆形照明光瞳(28)和圆形收集光瞳(29)来完成。
5.一种高空间分辨激光分光瞳共焦质谱显微成像装置,其特征在于:包括点光源(1)、沿入射光轴(8)方向放置的准直透镜(2)、压缩聚焦光斑系统(4)和聚焦光斑到被测样品(9)的D型照明收集镜(5)的D型照明光瞳(6),包括沿采集光轴(12)方向放置的D型照明收集镜(5)的D型收集光瞳(7)、采集透镜(13)和位于采集透镜(13)焦点的光强点探测器(14),还包括探测激光诱导击穿光谱(35)的分色镜(20)、光谱收集透镜(21)和光谱探测系统(22),以及用于D型照明收集镜(5)聚焦光斑解吸电离的离子体羽(11)组分的电离样品吸管(23)和质谱探测系统(24),入射光轴(8)和采集光轴(12)之间的夹角为2α,并关于测量面法线(10)对称。
6.根据权利要求5所述的一种高空间分辨激光分光瞳共焦质谱显微成像装置,其特征在于:包括压缩聚焦光斑系统(4)可以用沿入射光轴(8)方向放置的产生矢量光束的矢量光束发生系统(25)和光瞳滤波器(26)替代。
7.根据权利要求5所述的一种高空间分辨激光分光瞳共焦质谱显微成像装置,其特征在于:包括D型照明收集镜(5)可替换为圆形照明收集镜(27)。
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