CN105223914A - 管控机台生产数据的系统及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种管控机台生产数据的系统和方法，所述的系统包括测试数据库、数据处理单元、校验单元、机台监控系统服务器和调整用户端等；所述的方法步骤包括：采集生产数据参数，储存于测试数据库中；将上述采集的数据进行运算处理，得到制程参数范围；采用调整用户端以及根据历史数据对数据参数进行调整，得到所需的制程参数范围。本发明所述的系统和方法可以计算出所有参数在所有条件下的制程参数范围的参考值，经过经验与计算结果进行判断，实现对制程参数范围的前瞻判定，减少错误操作以及对实时生产系统的影响，从而提高制程参数范围的有效性和准确性。

Description

管控机台生产数据的系统及其方法

技术领域

本发明涉及一种半导体制造业中数据管理技术，尤其涉及一种关于半导体数据收集、处理、管理的系统及其方法。

背景技术

半导体机台的制程参数是指在半导体制程中表征生产设备性能的数据的集合，包括温度、压力、电流、浓度、时间等。这些参数的准确和稳定与否决定了每道工序的质量，如果在晶圆加工过程中某些参数出现异常，就有可能会影响到晶圆的最终良率。现有的技术，是通过给工程师提供所有参数数据，从而根据工程师的经验设定在半导体制程中的制程参数范围。参考得到的参数数据的制程参数范围，在试剂操作中，一旦发生数据异常即可迅速采取预先设定好的动作，进行HOLDLOT/HOLD机台/发邮件或电话提醒等，及时通知相关工程师进行处理。

但是由于在晶圆加工过程中每片晶圆都要经过上百个加工工序，每道工序中都会有成百上千个机台制程参数的数据被实时收集到生产系统数据库中，如果认为对数据库中海量的参数进行判断和筛选，从而得到工程师认为重要的参数并进行预估可控的参数范围。

但是在实际操作过程中，由于数据量过大，并且不同产品不同条件下，这些重要参数及其可控范围都会随之不同，例如，为了查清某道工序中的所有机台制程参数所造成的影响，工程师需要将机台参数和与晶圆产品批次的其他测试所得的数据(如CP测试，WAT测试，MET测试，Defect测试等等)进行分析，以便于找到可能对晶圆产品批次(LOT)造成影响的机台参数，仅靠人力完成数据的分析和筛选，使数据分析受到诸多限制，且得到的数据分析的结果误差较大。现有的生产数据处理的方法总体来说存在以下问题：

参数的筛选及参数数值的制程参数范围设定受工程师经验限制；

参数的筛选及参数数值的制程参数范围设定工作量巨大，需要很多人力分多次完成；

制程参数范围的合理性无法事先判断其准确性，往往需要经过产品出现问题之后事后调整,也容易存在因制程参数范围设置不合理而导致错误的警报；

无法迅速在为数众多的参数中找到关键的影响参数，参数范围缺少有效性与准确性；

由于以上问题的存在，导致整个半导体机台制程参数管理系统发挥的实际效果大大低于预期，所以需要一种系统的方式完成这些参数的筛选及参数数值的可控范围的确定这些工作。

发明内容

本发明提供一种管控机台生产数据的系统及其方法，用以筛选、运算和管理机台中相关的参数数据，实现数据制程参数范围的前瞻判定，尽可能地减少错误操作，从而提高数据目标可信区间范围的有效性和准确性。

本发明的第一方面具体提供了一种管控机台生产数据的系统，所述的系统包括：

若干机台、测试数据库、数据处理单元、校验单元、机台监控系统服务器和调整用户端；

所述的机台监控系统服务器获取当前机台的历史生产数据，并将该历史生产数据存储至所述测试数据库；

所述数据处理单元调取并根据所述历史生产数据得出所述机台的第一制程参数范围，并将所述第一制程参数范围存储至所述测试数据库中；

所述调整用户端调取并优化所述测试数据库中存储的第一制程参数范围，以获取第二制程参数范围，且该调整用户端还将所述第二制程参数范围更新至所述测试数据库中；

所述校验单元根据所述历史生产数据对所述测试数据库中存储的第二制程参数范围进行验证和优化后，得到第三制程参数范围，且该调整用户端还将所述的第三制程参数范围更新至所述测试数据库中；

所述机台监控系统服务器调取所述第三制程参数范围，以对所述机台进行生产。

本发明一个较为优选的实施例中，所述的系统还包括生产数据库，所述的机台监控系统服务器获取当前机台的历史生产数据先储存于生产数据库后，周期更新至测试数据库中。

本发明一个较为优选的实施例中，所述的机台监控单元优选为智能机台监控系统服务器(intelligentEquipmentMonitorSystem，iEMS)用于采集机台的实时生产系统数据，并对数据进行整合。

本发明一个较为优选的实施例中，所述的调整用户端包括机台监控系统图形界面(IntelligentEquipmentMonitorSystemGUI，i-EMSGUI)、与用户端口。用于调取、优化测试数据库中的数据或制程参数范围。

优选地，上述的校验单元根据所述历史生产数据对所述测试数据库中存储的第二制程参数范围进行验证时，若该第二制程参数范围符合工艺需求，则将该第二制程参数范围赋值于所述第三制程参数范围；

否则，则采用所述调整用户端对所述第二制程参数范围进行调整，并继续利用所述校验单元对调整后的第二制程参数范围进行验证，依次循环，直至调整后的第二制程参数范围符合工艺需求，并将该符合工艺需求的调整后的第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的实时生产系统的数据参数的生成由机台装置中产生的数据参数还可以经过设备自动化系统(EquipmentAutomationProgramming，EAP)进行收集后，再经过所述的机台监控系统服务器传递至生产数据库中，即机台经过设备自动化系统(EquipmentAutomationProgramming，EAP)进行控制，并对各个机台装置设备的实时生产系统参数数据进行整合，经过所述的机台监控系统服务器，储存于生产数据库中。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的管控机台生产数据的系统还包括授权系统，其中，所述的授权系统用于对所述的第三制程参数范围进行授权。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的数据处理单元为统计分析系统，具体可选自SAS系统、SPSS系统、Excel系统、S-plus系统、Minitab系统等中的一种，其中，优选为SAS系统，更优选为在SAS系统中；具体地，可使用SCQ(SASCalculationQueue)计算数列对测试数据库中的数据进行运算处理。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的系统中还包括通信系统、制造执行系统，由所述的机台监控系统服务器控制通信系统与制造执行系统。

其中，优选地，所述的通信系统(CT2System)可以通过电子邮件(E-mail)和/或短信和/或电话传递相关信息至相关的工程师，使工程师能在第一时间获得机台的最新参数动态、以及与制程参数范围对比的异常程度等，从而迅速做出判断；

优选地，所述的制造执行系统(ManufacturingExecutionSystem，MES)由所述的机台监控系统服务器中获取准确的数据参数和/或制程参数范围后，可进一步对生产过程进行控制与优化处理，从而提高生产回报率。

本发明的第二个方面提供了一种管控机台生产数据的方法，所述的方法步骤如下：

步骤S10，采集实时历史生产数据储存于生产数据库中，并周期更新至测试数据库中；

步骤S20，对测试数据库中的数据进行运算处理，得到第一制程参数范围；

步骤S30，将所述的制程参数范围转存于测试数据库中；

步骤S40，利用调整用户端对第一制程参数范围进行判断：若合理，将该第一制程参数范围赋值于第二制程参数范围；若不合理，则采用调整用户端对所述第一制程参数范围进行优化，并将优化后的第一制程参数范围赋值于第二制程参数范围；

所述调整用户端还将所述测试数据库中的第一制程参数范围更新为第二制程参数范围；

步骤S50，利用校验单元根据所述历史生产数据对所述测试数据库中存储的第二制程参数范围进行验证：若合理，则将所述第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围；若不合理，则采用调整用户端对所述第二制程参数范围进行优化，并采用所述校验单元再次对优化后的第二制程参数范围进行验证，依此循环，直至得到合理的优化后的第二制程参数范围，并将该优化后的第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围；继续将所述第三制程参数范围存储至所述测试数据库中；

步骤S60，采用所述机台监控系统服务器调取所述第三制程参数范围，以对所述机台进行生产。

其中，优选地，上述的方法中，所述的步骤S50完成后，还包括步骤S70将所得的制程参数范围输出，方便工程师调取和查询分析。

本发明一个较为优选的实施例中，所述的第一制程参数范围优选为对历史生产数据进行运算处理后的制程参数范围。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的步骤S60中包括采用授权系统对上述步骤S50中得到的制程参数范围进行判断，若为关键制程参数范围，则采用授权系统进行授权后，再应用于生产中；若为非关键制程参数范围，则直接应用于生产中。

上述的关键参数范围，可以为在半导体制程中表征生产设备性能的关键数据，即为影响半导体生产制程中的决定每道工序质量的数据，也可为涉及到生产环境中的可信的制程参数范围的变动需要经过授权。所述的关键参数范围具体可以为温度、压力、电流、气体流量、浓度、时间等参数的范围。

本发明一个较为优选的实施例中，所述的步骤S60中对第三制程参数范围进行授权后，还包括监测实时生产数据是否符合制程参数范围要求，若符合，则保持生产操作；若不符合，则启用通讯系统进行预警和/或由制造执行系统控制生产进程。

针对上述的步骤S10-S60中，所述测试数据库(TestDatabase，即Off-lineDatabase)是基于生产数据库(ProductionDatabase)的基础上创建而生成的数据库；

在所述的步骤S10中，通过设备自动化系统(EquipmentAutomationProgramming，EAP)采集机台中实时的生产数据参数，并更新到所述的生产数据库，对所采集的数据进行整合，并每隔一定周期将数据更新到测试数据库(TestDatabase，即Off-lineDatabase)中，以便于后续对数据储存单元中的所有数据参数进行运算处理；

进一步优选地，上述的生产数据库(ProductionDatabase)中的历史生产数据每隔3-8min更新一次至测试数据库(TestDatabase,Off-lineDatabase)中，数据更新的时间更优选为4-6min，最优选为5min。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的步骤S20中，所述的对采集的数据运算处理采用任务队列程序化计算方式；

具体地，对数据库中的数据进行计算任务，建立好的计算任务会被储存到计算任务列表中，以等待SAS系统对相应的数据参数执行计算任务，从而实现任务队列程序化计算，以提高得到的制程参数范围的准确性和有效性。

在进行统计分析运算处理过程中，还可以通过得出的第三制程参数范围作为可信的制程参数范围，从而找到影响制程参数范围异常的关键影响参数。由于对测试数据库中的数据通过统计分析系统计算得到制程参数范围，将工程师经验数据录入调整用户端中，采用调整用户端对所得的制程参数范围进行微调后，所得的制程参数范围的可行度更高，再调用历史数据对制程参数范围进行验证后，可以得到高可信度的制程参数范围，从而可以充分利用历史数据以及经验数据与智能计算所得的结果综合评估所得制程参数范围的可靠性，从而大大提高了制程参数范围的有效性。

本发明中所述的对制程参数范围的优化包括对制程参数范围中数值的调整或修改。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的第一制程参数范围可与第二制程参数范围相同。

在本发明一个较为优选的实施例中，所述的第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围后，并继续将所述的第三制程参数范围储存至所述的测试数据库中，其中，所述的第二制程参数范围可被第三制程参数范围覆盖，也可与第三制程参数范围同时储存于测试数据库中。

在本发明一个较为优选的实施例中，还可以根据所述的制程参数范围与实时生产数据对比后，得到生产数据的异常率，从而实现对可信的制造参数范围的前瞻判定。

本发明所述的管控机台生产数据的系统和方法，还具有以下的优点或有益效果：

本发明所述的系统和方法可以扩大运算所参考的数据参数范围，本发明所述的系统和方法可以将所有参数在所有条件下运算得到的制程参数范围与实时生产数据进行对比，无需工程师对繁琐巨量的原始数据进行筛选和比对分析；

本发明所述的系统和方法兼顾历史数据、经验调整以及智能计算优势，通过SAS系统程序化计算出来的制程参数范围，进行两次调整验证之后得到可行度较高的制程参数范围；

本发明所述的系统和方法提供可信的制程参数范围合理性的前瞻判定，工程师在任何时候都可以将本发明所述系统中所得到的制程参数范围，结合历史数据进行计算后得到制程参数范围异常率，并对制程参数范围异常率进行判断，从而实现对该制程参数范围的前瞻判定，从而尽可能的减少误操作；

本发明所述的系统和方法可以有效的提高工作效率，减少生产损失，大大减少了需要进行数据分析的提取、整理和分析数据时间，从而缩短了问题发现、反馈、以及处理的时间，有效减少生产损失；

本发明所述的系统和方法可以减少对实时生产系统的影响，在实时系统进行大量数据的查询，会加重生产系统的负担影响到系统在生产中的响应时间及性能等，在本发明所述的系统和方法中，通过将数据脚本同步生产环境数据到测试数据库中，并用来进行系统预算及评估调整使用。

本发明所述的系统和方法还采用任务队列方式，对参数进行调用，依次进行队列中的运算任务，使计算结果更加准确。

附图说明

图1为本发明实施例中所述的系统架构示意图；

图2为本发明实施例的管控机台生产数据的方法简化流程图；

图3为本发明实施例的管控机台生产数据的方法具体流程图。

具体实施例

本发明所述的系统和方法中还涉及到实际生产环境中制程参数范围的变动需经过授权后方可用于实际生产中，以及这些数据参数变动的范围内是否属于可控和超出可控范围，得到制程参数范围异常率，并针对不同的异常率时采取合适的措施都需要经过签核，以形成系统化生产管理。

下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步说明，但不作为本发明的限定。

图1是表示应用于本发明实施例的管控半导体机台生产数据的系统的架构图。本发明实施例中的所述的系统首先包括若干机台(如图1中的机台10)、测试数据库40、数据处理单元50、校验单元70、机台监控系统服务器20和调整用户端60：

所述的机台监控系统服务器20获取当前机台的历史生产数据，并将该历史生产数据存储至所述测试数据库40中；

所述数据处理单元50调取并根据所述历史生产数据得出所述机台的第一制程参数范围，并将所述第一制程参数范围存储至所述测试数据库40中；

所述调整用户端60调取并优化所述测试数据库40中存储的第一制程参数范围，以获取更加符合工艺需求的第二制程参数范围，且该调整用户端60还将所述第二制程参数范围更新至所述测试数据库40中；

所述校验单元70根据所述历史生产数据对所述测试数据库40中存储的第二制程参数范围进行验证后，得到第三制程参数范围，且该调整用户端60还将所述的第三制程参数范围更新至所述测试数据库40中；

所述机台监控系统服务器20调取所述第三制程参数范围，以对所述机台10进行生产监测。

其中所述的对机台10进行生产监测为由所述的机台监控系统服务器20调取测试数据库40的制程参数范围后，对生产进行监测，如出现异常，则启动通信系统21与制造执行系统22，对生产进行进一步的管控。

上述的测试数据库40基于所述的生产数据库30生成，所述的生产数据库30中的实时生产系统数据每隔3-8min更新至测试数据库40中，数据更新的时间具体可以是3min、5min、6min、7.5min以及8min等等。

其中，所述的机台监控系统服务器20用以采集至少一个机台10的生产数据参数；另外，采用调整用户端60可以对测试数据库40、以及生产数据库30中的参数和/或运算所得的制程参数范围进行优化调整，以获得更符合历史数据以及经验数据的制程参数范围。

所述的调整用户端60包括若干个机台监控系统图形界面61与用户端口62，其中，所述的机台监控系统图形界面61与用户端口62连接为一组，调整用户端60中含有若干组机台监控系统图形界面61与用户端口62的组合。

所述的调整用户端60可以是将相关工程师根据工作经验得出的可行的制程参数范围的数据库，由数据处理单元50中计算得到的数据转存于测试数据库40中，将测试数据库40中所得的制程参数范围与调整用户端60中的可行的制程参数范围进行对比，并基于调整用户端60对测试数据库40中的制程参数范围进行微调，从而得到符合实际生产经验的制程参数范围数据库，以提高最终所得制程参数范围的准确性。

所述校验单元70根据所述历史生产数据对所述测试数据库40中存储的第二制程参数范围进行验证时，若该第二制程参数范围符合工艺需求，则将该第二制程参数范围赋值于所述第三制程参数范围；

否则，则采用所述调整用户端60对所述第二制程参数范围进行调整，并继续利用所述校验单元70对调整后的第二制程参数范围进行验证，依次循环，直至优化后的第二制程参数范围符合工艺需求，并将该符合工艺需求的优化后的第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围。

所述的系统中还包括生产数据库30，所述的机台监控系统服务器获取当前机台的历史生产数据现储存于生产数据库30后，周期更新至测试数据库40中。

上述的授权系统主要针对生产系统影响较大的制程参数范围进行授权，以减少工作量，提高工作效率。

所述的数据处理单元50包括SAS系统、以及用于SAS系统中的计算数列，数据处理单元50对测试数据库40中的生产数据进行运算处理、统计分析，具体地，其中所使用的统计分析工具还可以为SPSS系统、Excel系统、S-plus系统、Minitab系统等中的一种。如SAS系统，还可为在SAS系统中，使用SCQ(SASCalculationQueue)计算数列对测试数据库中的数据进行运算处理。

所述的对机台进行生产监测包括对由机台监控系统服务器20控制通信系统21以及制造执行系统22。其中，所述的通信系统21包括E-mail发送器211以及电话拨出器212；所述的制造执行系统22在收到相关指令后，可以通过HOLDLOT或HOLD机台的方式，控制生产制程。

机台监控系统服务器20与机台10的设备自动化系统11之间，以及测试数据库、生产数据库、授权系统与调整用户端之间，均可采用各样的逻辑连接方式连接在一个网络环境下运作，该网络连接4可通过各式各样的中继装置在不同的网络环境下进行通讯，如路由器、网关、无限接取点、基地台系统等等。

图2为本发明实施例中所述的管控半导体机台生产数据的方法流程示意图，如图2中所示，本发明实施例所述的方法具有以下三个步骤：

步骤S10，采集实时历史生产数据储存于生产数据库中，并周期更新至测试数据库中；

步骤S20，对测试数据库中的数据进行运算处理，得到第一制程参数范围；

步骤S30，将所述的制程参数范围转存于测试数据库中；

步骤S40，利用调整用户端对第一制程参数范围进行判断：若合理，则将该第一制程参数范围赋值于第二制程参数范围；若不合理，则采用调整用户端对所述第一制程参数范围进行优化，并将优化后的第一制程参数范围赋值于第二制程参数范围；

所述调整用户端还将所述测试数据库中的第一制程参数范围更新为第二制程参数范围；

步骤S50，利用校验单元根据所述历史生产数据对所述测试数据库中存储的第二制程参数范围进行验证：若合理，则将所述第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围；若不合理，则采用调整用户端对所述第二制程参数范围进行优化，并采用所述校验单元再次对优化后的第二制程参数范围进行验证，依此循环，直至得到合理的优化后的第二制程参数范围，并该优化后的第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围；继续将所述第三制程参数范围存储至所述测试数据库中；

步骤S60，采用所述机台监控系统服务器调取所述第三制程参数范围，以对所述机台进行生产。

其中，如图2所示，步骤S10包括步骤S11与步骤S12，步骤S40包括步骤S401-S403，步骤S50包括步骤S501-S503，具体含义如下：

步骤S101为实时生产数据储存于生产数据库中，实时生产数据储存于生产数据库后即为历史生产数据。生产数据通过机台监控系统服务器从与各个机台连接的设备自动化系统中采集得到。

步骤S102为将生产数据库中的生产数据周期更新至测试数据库中，以备后续统计分析使用。

步骤S401表示采用调整用户端对制程参数范围进行判断。

步骤S402为当上述步骤S401判断为不合理时，采用调整用户端对第一制程参数范围进行优化，第一制程参数范围赋值于第二制程参数范围。

步骤S403为当上述步骤S401判断为合理时，将所得制程参数范围储存于测试数据库中。

步骤S501为调用历史数据模拟验证第二制程参数范围是否合理。

步骤S502为当上述步骤S501中验证判断为合理时，直接将第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围，并储存于测试数据库中。

步骤S503为当上述步骤S501中验证判断为不合理时，则采用调整用户端优化第二制程参数范围。

上述的步骤中，各步骤顺序为步骤S101-步骤S102-步骤S20-步骤S30-步骤S401-(由步骤S402至步骤S403)或步骤S403-步骤S501-步骤S502或(由步骤S503至步骤S403)。

在上述步骤S10-S60中所述的内容的基础上，进行进一步的细化，具体如图3中所示，本实施例所述的方法中，S60可以细分为以下的步骤：

步骤S601，采用调整用户端判断制程参数范围是否为关键参数

步骤S602，采用授权系统对上述所得的制程参数范围进行授权

步骤S603，机台监控系统服务器调用制程参数范围，对实时生产数据进行监测；

步骤S604，对实时生产数据是否在制程参数范围内进行判断，是否在制程参数范围内。

步骤S605，若在实时生产数据在制程参数范围内，则保持生产操作；

若实时生产数据不在制程参数范围内，则需分两步进行：

步骤S606启用通讯系统，通知相应工程师进行处理；

步骤S607通过制造执行系统HOLDLOT/HOLD机台。

其中，上述步骤S601中所述的关键参数范围，可以为在半导体制程中表征生产设备性能的关键数据，即为影响半导体生产制程中的决定每道工序质量的数据。可以为温度、压力、电流、气体流量、浓度、时间等参数的范围。

上述的步骤S606、S607中，当实时生产数据不在制程参数范围内时，根据实时生产数据与制程参数范围的对比的异常率决定采用步骤S606或步骤S607或步骤S606与步骤S607。

如图2中所示，所述的流程图中还包括步骤S70将所得的制程参数范围输出，方便工程师调取和查询分析。

另外，在得到制程参数范围应用于实际生产前，还需要对实时生产数据不在上述所得的制程参数范围内的处理方案，从而可以更快速的进行处理。

具体地，若所得的实时生产数据不在制程参数范围内，会将相关的信息通过通讯系统，如电话、E-mail、短信等通讯方式通知相关的工程师，另外，还可以将相关的信息反馈至制造执行系统中，就发生异常的具体数据迅速采取预先设定好的操作，进行HOLDLOT、或HOLD机台等，以减少生产损失。

在本发明实施例中，结合上述管控机台生产数据的系统和方法，具体地，还可以细分为以下几个步骤：

机台的实时生产数据通过EAP(EquipmentAutomationProgramming)系统收集，相关的数据经过机台监控系统服务器后，储存在生产数据库(即历史生产数据库)中；

创建测试数据库(TestDatabase，即off-lineDatabase)，每个一个周期从各个实时生产系统中把所需要的数据参数更新到所述的测试数据库中，以便进行后续的运算；

建立好的任务被存储在任务队列中，优选SAS系统执行计算任务；

系统计算出运算结果后(即得到第一制程参数范围)，储存于测试数据库中，调整用户端从测试数据库中调取相关的制程参数范围进行判断、或优化后，赋值于第二制程参数范围。

所述的校验单元根据历史数据和上述所得的第二制程参数范围进行验证、或优化后，赋值于第三制程参数范围；

还可以通过SAS系统(即返回数据处理单元)计算所述的制程参数范围的数据异常率；

可通过调整用户端进行优化调整，选择可以目标的异常率进行再次调整，从而得到所需的制程参数范围的最终值；

上述所得的制程参数范围，经过授权系统授权，可应用于实际生产系统当中，从而实时监测机台参数的数值变化，实现当前系统中的各项功能。

本发明实施例中所述的系统和方法具有以下的创新点：

可以利用历史数据快速得到可信的制程参数范围：

在现有的智能机台参数系统中，通过实时系统已经收集到大量的参数数据，利用这些现有的数据，结合SAS系统，用任务序列程序化的方法计算出基于历史数据的可信的制程参数范围。创建测试数据库，同步更新实时生产系统数据。可以有效减少由于计算本身需要消耗大量数据库资源，严重影响实时系统性能和生产的问题。当工程师选择程序化计算时，系统调用测试数据库中的相关数据进行计算，最终得到所需的制程参数范围。

将程序自动化和数据调整优化结合：

本发明所述的系统中，还提供修改程序化的可信的制程参数范围的微调端口，从而有效提高所得的制程参数范围的准确性。

利用历史数据预估可信的制程参数范围的准确性：

程序化系统计算出来的制程参数范围，经调整以及验证后，可以得到根据历史数据验证所得的制程参数范围的异常率，对制程参数范围进行快速有效的判断，用于在实际生产验证前预先判定。也可以利用程序化计算预先设定超出比例，再次计算得到可信度较高的制程参数范围。

可以扩大统计分析的参数范围：

本系统之前，由于工程师精力和经验有限，只能筛选出部分认为重要的条件下的部分参数来设定可信度较高的制程参数范围。而本系统通过程序化计算，可以帮助工程师计算出所有参数在所有条件下的制程参数范围的参考值。

以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。

Claims (12)

1.一种管控机台生产数据的系统，其特征在于，所述系统包括若干机台、测试数据库、数据处理单元、校验单元、机台监控系统服务器和调整用户端：

所述的机台监控系统服务器获取当前机台的历史生产数据，并将该历史生产数据存储至所述测试数据库；

所述数据处理单元调取并根据所述历史生产数据得出所述机台的第一制程参数范围，并将所述第一制程参数范围存储至所述测试数据库中；

所述调整用户端调取并优化所述测试数据库中存储的第一制程参数范围，以获取第二制程参数范围，且该调整用户端还将所述第二制程参数范围更新至所述测试数据库中；

所述校验单元根据所述历史生产数据对所述测试数据库中存储的第二制程参数范围进行验证后，得到第三制程参数范围，且该调整用户端还将所述的第三制程参数范围更新至所述测试数据库中；

所述机台监控系统服务器调取所述第三制程参数范围，以对所述机台进行生产。

2.根据权利要求1中所述的系统，其特征在于，还包括生产数据库，所述的机台监控系统服务器获取当前机台的历史生产数据先储存于生产数据库后，周期更新至测试数据库中。

3.根据权利要求2中所述的系统，其特征在于，还包括授权系统，其中，所述的授权系统用于对所述的第三制程参数范围进行授权。

4.根据权利要求1中所述的系统，其特征在于，所述校验单元根据所述历史生产数据对所述测试数据库中存储的第二制程参数范围进行验证时，若该第二制程参数范围符合工艺需求，则将该第二制程参数范围赋值于所述第三制程参数范围；

否则，则采用所述调整用户端对所述第二制程参数范围进行调整，并继续利用所述校验单元对调整后的第二制程参数范围进行验证，依次循环，直至优化后的第二制程参数范围符合工艺需求，并将该符合工艺需求的优化后的第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述的数据处理单元包括SAS系统。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述的机台监控系统服务器获取当前机台的历史生产数据时，经设备自动化系统连接所述的机台。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括通信系统、制造执行系统，由所述的机台监控系统服务器控制通信系统与制造执行系统。

8.一种采用如权利要求1所述的系统管控机台生产数据的方法，其特征在于，包括以下的步骤：

步骤S10，采集实时历史生产数据储存于生产数据库中，并周期更新至测试数据库中；

步骤S20，对测试数据库中的数据进行运算处理，得到第一制程参数范围；

步骤S30，将所述的制程参数范围转存于测试数据库中；

步骤S40，利用调整用户端对第一制程参数范围进行判断：若合理，则将该第一制程参数范围赋值于第二制程参数范围；若不合理，则采用调整用户端对所述第一制程参数范围进行优化，并将优化后的第一制程参数范围赋值于第二制程参数范围；

所述调整用户端还将所述测试数据库中的第一制程参数范围更新为第二制程参数范围；

步骤S50，利用校验单元根据所述历史生产数据对所述测试数据库中存储的第二制程参数范围进行验证：若合理，则将所述第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围；若不合理，则采用调整用户端对所述第二制程参数范围进行优化，并采用所述校验单元再次对优化后的第二制程参数范围进行验证，依此循环，直至得到合理的优化后的第二制程参数范围，并将该优化后的第二制程参数范围赋值于第三制程参数范围；继续将所述第三制程参数范围存储至所述测试数据库中；

步骤S60，采用所述机台监控系统服务器调取所述第三制程参数范围，以对所述机台进行生产。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，步骤S20中所述的对采集的数据运算处理采用任务队列程序化计算方式。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述的步骤S50后包括输出所得的制程参数范围。

11.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述的步骤S60中包括采用授权系统对上述步骤S50中得到的制程参数范围进行判断，若为关键制程参数范围，则采用授权系统进行授权后，再应用于生产中；若为非关键制程参数范围，则直接应用于生产中。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述的步骤S60中还包括根据制程参数范围对比实时生产数据，以判断实时生产数据是否符合工艺需求，若符合，则保持生产操作；若不符合，则启用通信系统进行预警和/或由制造执行系统控制生产进程。