CN105216455B - 一种激光打标装置及打标方法、打标系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种激光打标装置及打标方法、打标系统，用于改善激光打标过程中的激光畸变，以提高曝光精度。所述激光打标装置包括机身本体和工作头，所述工作头包括至少一个扫描结构，所述扫描结构中的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头。

Description

一种激光打标装置及打标方法、打标系统

技术领域

本发明涉及激光打标技术领域，尤其涉及一种激光打标装置及打标方法、打标系统。

背景技术

现有TFT-LCD阵列工艺中，金属电极与金属电极间需要进行绝缘过孔的曝光工艺，经过刻蚀形成接触孔，再后续金属镀膜时，通过接触孔将金属层之间连通，从而实现TFT功能。常见绝缘层接触孔工艺连接的信号线包括栅极和源极，栅极和像素电极,源极和像素电极以及外围电路不同金属的导通等。

接触孔的常规做法是在需要连接的两层金属层中间覆盖一层绝缘膜，然后在绝缘膜表面涂覆感光材料(光致抗蚀剂膜)通过Mask曝光工艺形成接触孔图案之后进行显影，然后通过刻蚀工艺(通常采用干法等离子体刻蚀)对绝缘膜进行刻蚀，然后再将感光材料去除。从图1所示的制备阵列基板的流程示意图中可以看出，通常需要2-3张接触孔掩膜板，而接触孔掩膜板的制作工艺复杂，制作周期相对较长，从设计制图至到厂上机完成接触孔掩膜板制作通常需要半个月的时间，并且一张掩膜板需要20-30万人民币，成本高而且只能用于特定产品而不能所有产品共用，当该特定产品停产时掩膜板即收起不再使用，造成资产的闲置浪费。

要实现产品的高像素要求和窄边框设计，要求信号线、扫描线、接触孔的尺寸实际要更精细。虽然现有技术如wing pattern曝光技术可以使信号线和扫描线等线宽设计超越设备曝光极限而不需改造设备，但对于接触孔的曝光在不进行设备改造的情况下却很难实现。使接触孔尺寸设计因曝光机分辨率原因而受到限制。由于更换曝光机的光学系统非常繁杂，相当于对设备进行重新组装，不仅耗费时间长，而且花费资金不菲。对于正常运行的生产线来说，设备停机重新进行组装，无疑会增大生产成本。

而使用激光打标方式则可以解决上述曝光工艺中所产生的问题，激光打标机在TFT基板制作中，通过激光对涂布感光性薄膜之后的基板特定区域进行光照，在特定位置形成特定标识(或特定图案)，出现起初在激光打标机主机内设定的字样或图案，不需要掩膜板配合使用。其工作原理是将需要激光打标的信息通过打标软件输入计算机，打标软件按照打标要求将信息通过打标卡转换为信号控制激光器和X-Y扫描系统，使经过扩束准直后的激光由F-Theta场镜(物镜)聚焦后输出在被加工表面上扫描运动，形成激光标记。但由于F-Theta场镜激光存在畸变，不能满足如接触孔这样百纳米级的曝光精度要求。

发明内容

本发明实施例提供了一种激光打标装置及打标方法、打标系统，用于改善激光打标过程中的激光畸变，以提高曝光精度。

本发明实施例提供了一种激光打标装置，包括机身本体和工作头，所述工作头包括至少一个扫描结构，所述扫描结构中的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头。

本发明实施例提供的激光打标装置中，包括机身本体和工作头，所述工作头包括至少一个扫描结构，所述扫描结构中的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头，由于所述远心镜头和双远心镜头具有高分辨率、超宽景深、超低畸变以及独有的平行光设计等优点，使得相对现有技术中的F-Theta场镜可以很好的改善激光畸变，提高激光打标精度，实现更小尺寸的曝光精度要求。

较佳的，所述工作头还包括用于固定所述扫描结构、并改变所述扫描结构与待打标元件的相对位置的支撑结构。

通过所述支撑结构固定并改变所述扫描结构与待打标元件的相对位置，可实现对所述待打标元件的不同位置进行标记。

较佳的，所述支撑结构包括第一支撑架和设置在所述第一支撑架一侧的第二支撑架，所述第二支撑架在所述第一支撑架上是可滑动的；所述扫描结构连接在所述第二支撑架的下方，并通过所述第二支撑架改变所述扫描结构与所述第一支撑架的相对位置。

通过所述第一支撑架和第二支撑架，使得所述扫描单元可沿不同的方向改变与所述待打标元件的相对位置，以实现对待打标元件任意位置处进行标记。

较佳的，所述第一支撑架表面设置有第一驱动结构，通过所述第一驱动结构驱动所述第一支撑架沿第一方向移动；以及，

所述第二支撑架的表面设置有第二驱动结构，通过所述第二驱动结构驱动所述第二支撑架沿第二方向移动。

较佳的，所述工作头还包括至少一个连接结构，通过每一所述连接结构改变一与之匹配的扫描结构和所述第二支撑架的相对位置。

较佳的，所述机身本体包括控制结构和激光器，所述激光器包括光源、第一反射镜、分光器、第二反射镜和透镜棱镜，所述装置还包括用于增强激光光束的强度的激光中继器；所述激光中继器位于所述第二反射镜和所述透镜棱镜之间，或者所述激光中继器位于所述透镜棱镜与所述光纤之间。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种激光打标系统，所述激光打标系统包括如上所述的激光打标装置。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种使用激光打标装置进行打标的方法，激光打标装置包括机身本体和工作头；其中，所述工作头包括至少一个其物镜采用远心镜头和/或双远心镜头的扫描结构，以及用于固定所述扫描结构、并改变所述扫描结构与待打标元件的相对位置的支撑结构；所述打标方法包括：

将待标记对象放置在承载台上；

通过移动所述支撑结构，使得所述扫描结构对准待标记对象需要打标的位置，利用从所述扫描结构中出射的激光对所述待标记对象进行打标，形成标记。

本发明实施例所提供的打标方法，通过移动所述支撑结构，使得所述扫描结构对准待标记对象需要打标的位置，利用从所述扫描结构中出射的激光对所述待标记对象进行打标，形成标记。由于所使用的打标装置中至少一个扫描结构的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头,而所述远心镜头和双远心镜头具有高分辨率、超宽景深、超低畸变以及独有的平行光设计等优点，使得相对现有技术中的F-Theta场镜可以很好的改善激光畸变，提高激光打标精度，实现更小尺寸的曝光精度要求。

较佳的，所述支撑结构包括第一支撑架和设置在所述第一支撑架一侧的第二支撑架，所述第二支撑架在所述第一支撑架上是可滑动的；所述扫描结构连接在所述第二支撑架的下方；所述通过移动所述支撑结构，使得所述扫描结构对准待标记对象需要打标的位置，包括：

控制所述第一支撑架沿第一方向移动，改变所述扫描结构与待打标对象在第一方向上的相对位置，使得所述扫描结构与待打标对象在第一方向上的坐标相同；

控制所述第二支撑架沿第二方向移动，改变所述扫描结构与待打标对象在第二方向上的相对位置，使得所述扫描结构与待打标对象在第二方向上的坐标相同。

较佳的，所述机身本体包括控制结构，所述第一支撑架表面设置有第一驱动结构，所述控制所述第一支撑架沿第一方向移动，包括：

所述控制结构，根据所述扫描结构当前在第一方向上的坐标和待标记对象上需打标位置处在第一方向上的坐标生成第一指令，并发送给所述第一驱动结构；其中，所述第一指令包括所述第一支撑架需沿第一方向移动的第一距离，所述第一距离为所述扫描结构当前在第一方向上的坐标与待标记对象上需打标位置在第一方向上的坐标之间的距离；

所述第一驱动结构，根据所述第一指令驱动所述第一支撑架沿第一方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象上需要打标位置在第一方向上的坐标相同。

较佳的，所述第二支撑架的表面设置有第二驱动结构，所述控制所述第二支撑架沿第二方向移动，包括：

所述控制结构，根据所述扫描结构当前在第二方向上的坐标和待标记对象需打标位置处在第二方向上的坐标生成第二指令，并发送给所述第二驱动结构；其中，所述第二指令包括所述第二支撑架需沿第二方向移动的第二距离，所述第二距离为所述扫描结构当前在第二方向上的坐标与待标记对象需打标位置在第二方向上的坐标之间的距离；

所述第二驱动结构，根据所述第二指令驱动所述第二支撑架沿第二方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象需要打标位置在第二方向上的坐标相同。

附图说明

图1为现有技术中阵列基板的制作流程图；

图2为本发明实施例一提供的激光打标装置的结构示意图；

图3为使用现有技术中的激光打标装置和利用本发明实施例提供的激光打标装置形成的过孔的大小示意图；

图4为本发明实施例二提供的激光打标装置的结构示意图；

图5a为本发明实施例提供的一种光路示意图；

图5b为本发明实施例提供的另一种光路示意图；

图6为本发明实施例三提供的使用激光打标装置进行打标的方法流程示意图；

图7为本发明实施例提供中需要形成的标记的基板的示意图；

图8为本发明实施例提供的另一种使用激光打标装置进行打标的方法流程示意图。

附图标记：

21-机身本体；211-控制结构；212-激光器；2121-光源；2122-第一反射镜；2123-分光器；2124第二反射镜；2125-透镜棱镜；2126-激光中继器；22-工作头；221-扫描结构；222-支撑结构；23-光纤；41-第一支撑架；42-第二支撑架；43-第一驱动结构；44-第二驱动结构；45-连接结构。

具体实施方式

本发明实施例提供了一种激光打标装置及打标方法、打标系统，用于改善激光打标过程中的激光畸变，以提高曝光精度。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

本发明实施例提供了一种激光打标装置，参见图2；从图2中可以看出，所述激光打标装置包括机身本体21和工作头22，所述机身本体21和工作头22由光纤23连接；所述工作头22包括至少一个扫描结构221，所述扫描结构221中的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头。当所述激光打标装置开始工作时，通过操作人员或机械手将待打标元件放置在所述扫描结构的下方，并使得所述扫描结构对准要进行激光打标的位置。

本发明实施例提供的激光打标装置中，包括机身本体和工作头，所述机身本体和工作头由光纤连接，所述工作头包括至少一个扫描结构，所述扫描结构中的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头，由于所述远心镜头和双远心镜头具有高分辨率、超宽景深、超低畸变以及独有的平行光设计等优点，使得相对现有技术中的F-Theta场镜可以很好的改善激光畸变，提高激光打标精度，实现更小尺寸的曝光精度要求。图3为使用现有技术中的激光打标装置和利用本发明实施例提供的激光打标装置形成的过孔的大小示意图，从图3中可以看出，利用本发明实施例中所提供的激光打标装置形成过孔，其孔径更小，能够满足小尺寸的曝光精度要求。

进一步的，从图2中还可以看出，所述工作头22还包括用于固定所述扫描结构221、并改变所述扫描结构221与待打标元件的相对位置的支撑结构222。通过所述支撑结构222，使得所述扫描结构悬挂在所述待打标元件的上方，进而实现对待打标元件进行打标。

为了方便在待打标元件的不同位置处或不同的待打标元件实现标记，本发明实施例二提供了一种激光打标装置，参见图4；从图4中可以看出，本发明实施例二提供的激光打标装置与实施例一提供的激光打标装置结构相似，二者不同之处在于，本发明实施例二中所述支撑结构222包括第一支撑架41和设置在所述第一支撑架41一侧的第二支撑架42，所述第二支撑架42在所述第一支撑架41上是可滑动的；所述扫描结构221连接在所述第二支撑架42的下方，并通过所述第二支撑架42改变所述扫描结构与所述第一支撑架的相对位置。

通过所述第一支撑架41以及第二支撑架42，分别改变扫描结构221沿第一方向和第二方向的坐标，从而改变所述扫描结构221与所述待打标元件的相对位置，实现对待打标元件不同位置或不同的待打标元件进行标记。

进一步的，为了使所述第一支撑架和第二支撑架分别沿第一方向和第二方向移动，所述第一支撑架41表面设置有第一驱动结构43，通过所述第一驱动结构43驱动所述第一支撑架41沿第一方向移动；所述第二支撑架42的表面设置有第二驱动结构44，通过所述第二驱动结构44驱动所述第二支撑架42沿第二方向移动。

当所述工作头包括多个扫描结构时，所述工作头还包括多个连接结构45，所述多个扫描结构221与所述多个连接结构45一一对应，通过每一所述连接结构45改变一与之匹配的扫描结构221和所述第二支撑架42的相对位置。

通过所述连接结构，使得与之对应的扫描结构可以改变与所述第二支撑架的相对位置，使得扫描单元可以与需要打标的位置精确对准，进一步提高打标的精确度。

进一步的，所述机身本体21包括控制结构211和用于提供激光光束的激光器212。其中，所述控制结构211用于根据所述扫描结构当前在第一方向上的坐标和待标记对象上需打标位置处在第一方向上的坐标生成第一指令，并发送给所述第一驱动结构；其中，所述第一指令包括所述第一支撑架需沿第一方向移动的第一距离，所述第一距离为所述扫描结构当前在第一方向上的坐标与待标记对象上需打标位置在第一方向上的坐标之间的距离；以及，所述控制结构211根据所述扫描结构当前在第二方向上的坐标和待标记对象需打标位置处在第二方向上的坐标生成第二指令，并发送给所述第二驱动结构；其中，所述第二指令包括所述第二支撑架需沿第二方向移动的第二距离，所述第二距离为所述扫描结构当前在第二方向上的坐标与待标记对象需打标位置在第二方向上的坐标之间的距离。所述激光器212包括光源2121、第一反射镜2122、分光器2123、第二反射镜2124和透镜棱镜2125，当激光在光路中经过一系列的反射后，从扫描单元中出射的激光光束的强度。针对此问题，本发明实施提供的激光打标装置还包括用于增强激光光束的强度的激光中继器2126；所述激光中继器2126位于所述第二反射镜2124和所述透镜棱镜2125之间(参见图5a)，或者所述激光中继器2126位于所述透镜棱镜2125与所述光纤23之间(参见图5b)。

基于同一发明构思，本发明实施例三还提供了一种使用激光打标装置进行打标的方法，激光打标装置包括机身本体和工作头，所述机身本体和工作头由光纤连接；其中，所述工作头包括至少一个其物镜采用远心镜头和/或双远心镜头的扫描结构，以及用于固定所述扫描结构、并改变所述扫描结构与待打标元件的相对位置的支撑结构；所述打标方法包括：

将待标记对象放置在承载台上；

通过移动所述支撑结构，使得所述扫描结构对准待标记对象需要打标的位置，利用从所述扫描结构中出射的激光对所述待标记对象进行打标，形成标记。

进一步的，所述支撑结构包括第一支撑架和设置在所述第一支撑架一侧的第二支撑架，所述第二支撑架在所述第一支撑架上是可滑动的；所述扫描结构连接在所述第二支撑架的下方；所述通过移动所述支撑结构，使得所述扫描结构对准待标记对象需要打标的位置，包括：

控制所述第一支撑架沿第一方向移动，改变所述扫描结构与待打标对象在第一方向上的相对位置，使得所述扫描结构与待打标对象在第一方向上的坐标相同；

控制所述第二支撑架沿第二方向移动，改变所述扫描结构与待打标对象在第二方向上的相对位置，使得所述扫描结构与待打标对象在第二方向上的坐标相同。

进一步的，所述机身本体包括控制结构，所述第一支撑架表面设置有第一驱动结构，所述控制所述第一支撑架沿第一方向移动，包括：

所述控制结构，根据所述扫描结构当前在第一方向上的坐标和待标记对象上需打标位置处在第一方向上的坐标生成第一指令，并发送给所述第一驱动结构；其中，所述第一指令包括所述第一支撑架需沿第一方向移动的第一距离，所述第一距离为所述扫描结构当前在第一方向上的坐标与待标记对象上需打标位置在第一方向上的坐标之间的距离；

所述第一驱动结构，根据所述第一指令驱动所述第一支撑架沿第一方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象上需要打标位置在第一方向上的坐标相同。

进一步的，所述第二支撑架的表面设置有第二驱动结构，所述控制所述第二支撑架沿第二方向移动，包括：

所述控制结构，根据所述扫描结构当前在第二方向上的坐标和待标记对象需打标位置处在第二方向上的坐标生成第二指令，并发送给所述第二驱动结构；其中，所述第二指令包括所述第二支撑架需沿第二方向移动的第二距离，所述第二距离为所述扫描结构当前在第二方向上的坐标与待标记对象需打标位置在第二方向上的坐标之间的距离；

所述第二驱动结构，根据所述第二指令驱动所述第二支撑架沿第二方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象需要打标位置在第二方向上的坐标相同。

以本发明实施例二提供的激光打标装置为例，下面具体介绍一下利用激光打标装置进行打标的方法，参见图6，详细步骤包括：

步骤601，将待标记对象放置在承载台上。

步骤602，所述控制结构根据所述扫描结构当前在第一方向上的坐标和待标记对象上需打标位置处在第一方向上的坐标生成第一指令，并发送给所述第一驱动结构；其中，所述第一指令包括所述第一支撑架需沿第一方向移动的第一距离，所述第一距离为所述扫描结构当前在第一方向上的坐标与待标记对象上需打标位置在第一方向上的坐标之间的距离。

步骤603，所述第一驱动结构根据所述第一指令驱动所述第一支撑架沿第一方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象上需要打标位置在第一方向上的坐标相同。

步骤604，所述控制结构根据所述扫描结构当前在第二方向上的坐标和待标记对象需打标位置处在第二方向上的坐标生成第二指令，并发送给所述第二驱动结构；其中，所述第二指令包括所述第二支撑架需沿第二方向移动的第二距离，所述第二距离为所述扫描结构当前在第二方向上的坐标与待标记对象需打标位置在第二方向上的坐标之间的距离。

步骤605，所述第二驱动结构根据所述第二指令驱动所述第二支撑架沿第二方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象需要打标位置在第二方向上的坐标相同。

步骤606，开启激光器，利用从所述扫描结构中出射的激光对所述待标记对象进行打标，形成标记。

以形成图7所示的第一类过孔A和第二类过孔B的基板为例，相邻两行之间的第一类过孔的间距等于相邻两行之间的第二类过孔的间距，制作步骤具体包括(参见图8)：

步骤801，将待标记基板放置在承载台上。

步骤802，通过连接结构调整扫描结构之间的间距，并使扫描结构之间的间距等于相邻的两行第一类过孔之间的间距。

步骤803，所述控制结构根据所述扫描结构当前在第一方向上的坐标和需形成第一类过孔位置处在第一方向上的坐标生成第一指令，并发送给所述第一驱动结构；其中，所述第一指令包括所述第一支撑架需沿第一方向移动的第一距离，所述第一距离为所述扫描结构当前在第一方向上的坐标与需形成第一类过孔位置在第一方向上的坐标之间的距离。

步骤804，所述第一驱动结构根据所述第一指令驱动所述第一支撑架沿第一方向移动，使得所述扫描结构与需形成第一类过孔位置在第一方向上的坐标相同。

步骤805，所述控制结构根据所述扫描结构当前在第二方向上的坐标和需形成第一类过孔位置处在第二方向上的坐标生成第二指令，并发送给所述第二驱动结构；其中，所述第二指令包括所述第二支撑架需沿第二方向移动的第二距离，所述第二距离为所述扫描结构当前在第二方向上的坐标与需形成第一类过孔位置在第二方向上的坐标之间的距离。

步骤806，所述第二驱动结构根据所述第二指令驱动所述第二支撑架沿第二方向移动，使得所述扫描结构与需形成第一类过孔位置在第二方向上的坐标相同。

步骤807，利用从所述扫描结构中出射的激光对所述待标记对象进行打标，沿第一方向(X)形成呈行排列的第一类过孔A。

步骤808，重复上述步骤803～807，形成呈行排列的第二类过孔B。

因此，利用本发明实施例提供激光打标装置，不仅可以很好的改善激光畸变，提高激光打标精度，实现更小尺寸的曝光精度要求；而且还可以仅通过两次扫描即可完成区域内打标作业，提高工作效率，缩短制备周期。

基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种激光打标系统，所述激光打标系统包括如上所述的激光打标装置。

综上所述，本发明实施例一种激光打标装置及打标方法、打标系统。所述激光打标装置中，其工作头包括至少一个扫描结构，所述扫描结构中的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头，由于所述远心镜头和双远心镜头具有高分辨率、超宽景深、超低畸变以及独有的平行光设计等优点，使得相对现有技术中的F-Theta场镜可以很好的改善激光畸变，提高激光打标精度，实现更小尺寸的曝光精度要求。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种激光打标装置，包括机身本体和工作头，所述机身本体包括控制结构和激光器，所述激光器包括光源、第一反射镜、分光器、第二反射镜和透镜棱镜，其特征在于，所述机身本体和所述工作头由光纤连接，所述工作头包括至少一个扫描结构，所述扫描结构中的物镜采用远心镜头和/或双远心镜头；

其中，所述扫描结构中出射的激光能够对待标记对象直接进行打标，形成起初在激光打标装置内预设形状的标记；

所述装置还包括用于增强激光光束的强度的激光中继器；所述激光中继器位于所述第二反射镜和所述透镜棱镜之间，或者所述激光中继器位于所述透镜棱镜与所述光纤之间。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述工作头还包括用于固定所述扫描结构、并改变所述扫描结构与待标记对象的相对位置的支撑结构。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述支撑结构包括第一支撑架和设置在所述第一支撑架一侧的第二支撑架，所述第二支撑架在所述第一支撑架上是可滑动的；所述扫描结构连接在所述第二支撑架的下方，并通过所述第二支撑架改变所述扫描结构与所述第一支撑架的相对位置。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一支撑架表面设置有第一驱动结构，通过所述第一驱动结构驱动所述第一支撑架沿第一方向移动；以及，

所述第二支撑架的表面设置有第二驱动结构，通过所述第二驱动结构驱动所述第二支撑架沿第二方向移动。

5.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述工作头还包括至少一个连接结构，通过每一所述连接结构改变一与之匹配的扫描结构和所述第二支撑架的相对位置。

6.一种激光打标系统，其特征在于，所述激光打标系统包括如权利要求1～5任一权项所述的激光打标装置。

7.一种使用激光打标装置进行打标的方法，其特征在于，激光打标装置包括机身本体和工作头；所述机身本体包括控制结构、激光器、以及用于增强激光光束的强度的激光中继器；所述激光器包括光源、第一反射镜、分光器、第二反射镜和透镜棱镜；所述机身本体和所述工作头由光纤连接，所述工作头包括至少一个其物镜采用远心镜头和/或双远心镜头的扫描结构，以及用于固定所述扫描结构、并改变所述扫描结构与待标记对象的相对位置的支撑结构；其中，所述激光中继器位于所述第二反射镜和所述透镜棱镜之间，或者所述激光中继器位于所述透镜棱镜与所述光纤之间；所述打标方法包括：

将待标记对象放置在承载台上；

通过移动所述支撑结构，使得所述扫描结构对准待标记对象需要打标的位置，利用从所述扫描结构中出射的激光对所述待标记对象直接进行打标，形成起初在激光打标装置内预设形状的标记。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述支撑结构包括第一支撑架和设置在所述第一支撑架一侧的第二支撑架，所述第二支撑架在所述第一支撑架上是可滑动的；所述扫描结构连接在所述第二支撑架的下方；所述通过移动所述支撑结构，使得所述扫描结构对准待标记对象需要打标的位置，包括：

控制所述第一支撑架沿第一方向移动，改变所述扫描结构与待打标对象在第一方向上的相对位置，使得所述扫描结构与待打标对象在第一方向上的坐标相同；

控制所述第二支撑架沿第二方向移动，改变所述扫描结构与待打标对象在第二方向上的相对位置，使得所述扫描结构与待打标对象在第二方向上的坐标相同。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述机身本体包括控制结构，所述第一支撑架表面设置有第一驱动结构，所述控制所述第一支撑架沿第一方向移动，包括：

所述控制结构，根据所述扫描结构当前在第一方向上的坐标和待标记对象上需打标位置处在第一方向上的坐标生成第一指令，并发送给所述第一驱动结构；其中，所述第一指令包括所述第一支撑架需沿第一方向移动的第一距离，所述第一距离为所述扫描结构当前在第一方向上的坐标与待标记对象上需打标位置在第一方向上的坐标之间的距离；

所述第一驱动结构，根据所述第一指令驱动所述第一支撑架沿第一方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象上需要打标位置在第一方向上的坐标相同。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第二支撑架的表面设置有第二驱动结构，所述控制所述第二支撑架沿第二方向移动，包括：

所述控制结构，根据所述扫描结构当前在第二方向上的坐标和待标记对象需打标位置处在第二方向上的坐标生成第二指令，并发送给所述第二驱动结构；其中，所述第二指令包括所述第二支撑架需沿第二方向移动的第二距离，所述第二距离为所述扫描结构当前在第二方向上的坐标与待标记对象需打标位置在第二方向上的坐标之间的距离；

所述第二驱动结构，根据所述第二指令驱动所述第二支撑架沿第二方向移动，使得所述扫描结构与待标记对象需要打标位置在第二方向上的坐标相同。