CN105209568A - 由多个薄膜形成的防指纹层的组合物及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
为了提高防水防油涂敷膜的耐久性而进行蒸镀的防水防油涂敷膜的基膜涂敷用组合物的特征在于，上述组合物为包含氧化硅(SiOx)、钛(Ti)化合物、铝(Al)化合物、锆(Zr)化合物中的至少一种的混合物。能够执行如下步骤：准备玻璃或高分子基板的步骤；在上述基板上借助刻蚀来形成在上述基板中所要蒸镀防指纹层的部分的步骤；在包括所要蒸镀上述防水防油涂敷膜的部分的上述基板的表面蒸镀由上述组合物形成的基膜的步骤；在所蒸镀的上述基膜上形成防水防油涂敷膜的步骤；以及清除形成有上述防水防油涂敷膜的上述基板的步骤。与以往的蒸镀相比，具有优秀的耐磨、耐盐水、耐药品、耐化妆品性的效果。
Description
技术领域
本发明涉及包含金属化合物的蒸镀物质组合物及制备方法。
更详细地，本发明涉及在玻璃、塑料的表面进行防水防油的耐指纹蒸镀时进行线蒸镀的涂敷层的组合物及制备方法，本发明具有优秀的耐磨、耐盐水、耐药品和耐化妆品性。
背景技术
防指纹涂敷作为对玻璃等基材的表面进行特殊处理，来防止指纹之类的污染物质的附着，并且即使附着有污染物质，也可以容易滴去除的技术，是一种在表面赋予薄膜的防水防油功能的表面处理技术。
在诸多家电中，对于裸露于外观的部分，即，手机、DVD等家电产品的视窗或壳体而言，存在裸露于人的手部的部分，并且很容易在洁净的表面留有指印(Fingerprint)。
尤其，在智能手机及平板电脑的情况下，由于将视窗用作输入单元，因此，视窗表面的耐指纹性的必不可少的。
在玻璃或塑料的表面进行用于防止指纹的涂敷的情况下，根据其应用领域，正在开发利用真空涂敷、浸涂(Dipcoating)、喷涂(Spraycoating)等技术的涂敷方法，而在韩国国内，主要用于在大部分的镜片中涂敷基因物质的利用电子束(Electronbeam)的真空蒸镀技术已比较发达。
在真空蒸镀技术的情况下，作为使氟类化合物在真空条件下得到气化，并以薄膜方式涂敷于玻璃或塑料的表面的技术，虽然由污染物质引起的表面不合格率低，单由间歇工序(Batchprocess)引起的低的生产率成为问题，而虽然不断开发用于解除这些问题的大型装备，但由于高的设备投资费用而成为问题。
在浸涂(Dipcoating)、喷涂(Spraycoating)等液相涂敷的情况下，虽然呈现出由连续工序引起的高的生产率，但与真空涂敷相比，呈现出不合格率高，且性能不佳的问题。
并且，以往的耐指纹蒸镀为在SiO2上蒸镀用于降低表面能的氟类化合物的技术。
这是因为，如果在玻璃或塑料上直接蒸镀防水防油物质，则会导致耐久性的降低，因此，为了弥补这种问题，在蒸镀SiO2之后，蒸镀防水防油物质。
(现有技术文献)
公开专利第10-2011-0138541号涉及耐久性优秀的耐指纹薄膜结构物及其形成方法，耐指纹薄膜结构物包括：基板、纹理薄膜层及耐指纹涂敷层，上述纹理薄膜层以二维平面状形成于上述基板上，并包括多个纹理和多个纹理边界，上述耐指纹涂敷层借助耐指纹涂敷物质来形成于上述纹理薄膜层的上部，而为了提高耐指纹特性的耐久性，使上述耐指纹涂敷物质向上述多个纹理边界渗透，并且为了提高上述纹理薄膜层的粘结力，还包括形成于上述基板和上述纹理薄膜层之间的基底层，从而提高耐指纹涂敷层的表面光照度，由此防止耐指纹涂敷层因磨损而容易消失，最终能够提高对耐指纹特性的耐久性。但仍旧存在由高的设备投资费用引起的问题和与真空涂敷相比，不合格率高且性能不佳的问题。
发明内容
技术问题
本发明所要实现的技术问题在于，提供与以往的蒸镀相比，可以具有优秀的耐磨、耐盐水、耐药品、耐化妆品性的蒸镀物质组合物及其蒸镀方法。
解决问题的手段
为了提高防水防油涂敷膜的耐久性而进行蒸镀的防水防油涂敷膜的底物(Primer)膜涂敷用组合物包含氧化硅(SiOx)、钛(Ti)化合物、铝(Al)化合物、锆(Zr)化合物中的至少一种。
本发明可以包括：准备玻璃或高分子基板的步骤；在上述基板上借助刻蚀(Etching)来形成在上述基板中所要蒸镀防指纹层的部分的步骤；在包括所要蒸镀上述防水防油涂敷膜的部分的上述基板的表面蒸镀由上述组合物形成的底物(Primer)膜的步骤；在所蒸镀的上述基膜上形成防水防油涂敷膜的步骤；以及清除(Purging)形成有上述防水防油涂敷膜的上述基板的步骤。
发明效果
与以往的产品相比，通过本发明来蒸镀的防指纹层具有耐磨、耐盐水、耐药品、耐化妆品性等优秀的第一效果。
并且，具有不仅可以利用以往为了弥补耐指纹的耐久性的降低而进行蒸镀的SiO2，而且可以利用多种化合物来使用作为防水防油涂敷膜的耐指纹膜的基膜的第二效果。
与此同时，在本发明的基膜上蒸镀防水防油涂敷膜来形成的防指纹层的上述基膜在低于以往的真空度的真空度中实现蒸镀，从而具有可以缩短蒸镀时间的第三效果。
由此，具有可以节约时间费用，并提高生产率，来减少整个工序的粘性时间(tacktime)，最终可以提高生产效率的第四效果。
附图说明
图1表示本发明实施例的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法。
图2表示本发明实施例的由多个薄膜形成的防指纹层的剖视图。
图3表示本发明实施例的用于电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)的装置的结构图。
图4表示本发明实施例的用于电阻加热式真空蒸镀法的装置的结构图。
标号说明
100：基板
200：基膜
300：防油防水涂敷膜
400：防指纹层
510：电子束蒸镀源(Source)
520：电子束
530：电子束蒸镀法基板
540：电子束蒸镀分子(EvaporationMolecule)
550：钨枪(W-Gun)
560：磁铁(Magnet)
610：电阻加热式真空蒸镀源(Source)
620：钨容器(W-Boat)
630：电阻加热式真空蒸镀法基板
640：电阻加热式真空蒸镀分子(EvaporationMolecule)
具体实施方式
在基于本发明的由多个薄膜形成的防指纹层400中，可以包括：玻璃或高分子基板100；根据权利要求所述的基膜200，形成于上述基板100上；以及防油防水涂敷膜300，形成于上述基膜200上。
为了提高上述防水防油涂敷膜300的耐久性而进行蒸镀的防水防油涂敷膜的基膜200涂敷用组合物可以包含含有氧化硅(SiOx)、钛(Ti)化合物、铝(Al)化合物，锆(Zr)化合物中的至少一种的混合物中的至少一种。
或者，为了提高上述防水防油涂敷膜300的耐久性而进行蒸镀的防水防油涂敷膜的基膜200涂敷用组合物可以包含钛(Ti)化合物、铝(Al)化合物、锆(Zr)化合物中的一种或两种以上的组合。
更详细地，上述混合物优选包含二氧化钛(TiO2)、氧化铝(Al2O3)、二氧化锆(ZrO2)、硅酸铝(Al2(SiO4)O)、高岭土(Al2Si2O5(OH)4)中的至少一种。
上述氧化硅(SiOx)可以为石英(Quartz)、方石英(Cristobalite)、鳞石英(Tridymite)、非晶质(Amorphous)中的至少一种。
并且，优选地，对包含氟(F)、硅(Si)中的至少一种的化合物进行蒸镀来制备上述防水防油涂敷膜300。
图1表示本发明实施例的由多个薄膜形成的防指纹层400的制备方法。
本发明可以包括：准备玻璃或高分子基板100的步骤；在上述基板100上借助刻蚀(Etching)来形成在上述基板中所要蒸镀防指纹层400的部分的步骤；在包括所要蒸镀上述防水防油涂敷膜300的部分的上述基板100的表面蒸镀由上述组合物形成的基膜200的步骤；在所蒸镀的上述基膜200上形成防水防油涂敷膜300的步骤；以及清除形成有上述防水防油涂敷膜300的上述基板100的步骤。
并且，在准备上述基板100的步骤中，还可以包括利用湿式清洗剂的清洗工序。
在上述刻蚀步骤中，上述刻蚀可以通过离子刻蚀、射频(RF)等离子刻蚀中的至少一种方法来进行刻蚀。
优选地，在上述刻蚀步骤中利用离子刻蚀的情况下，在真空度为7×10-2Torr至2×10-7Torr时，使氧、氩或使氧和氩的气体离子化，并使离子化的气体离子与原材料的表面相碰撞来对原材料的表面进行刻蚀。
最优选地，在真空度为6×10-4Torr时进行刻蚀，但并不局限于此。
并且，在上述刻蚀步骤中利用射频等离子刻蚀的情况下，所利用的气体包含氧(O2)、氩(Ar)或氧(O2)和氩(Ar)的气体。
上述基膜200的蒸镀步骤可以利用电阻加热式蒸镀法(Thermalevaporation)、电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)、电子束离子镀(ElectronBeamIonplating)、溅射(Sputering)、溅射离子镀系统(SputeringIonplatingSystem)、激光分子束外延法(LaserMolecularBeamEpitaxy)、脉冲激光沉积法(PulsedLaserDeposition)、化学气相蒸镀法(ChemicalVaporDeposition)、离子辅助沉积法(Ion-AssistDeposition)中的至少一种方法来进行蒸镀。
在图3中可确认，图3表示本发明实施例的用于电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)的装置的结构图。
上述电子束蒸镀法通过磁铁(Magnet)560的磁力来从钨枪(W-Gun)550中照射电子束520，并由上述电子束蒸镀源510以电子束蒸镀分子(EvaporationMolecule)540的形态蒸镀于电子束蒸镀法基板530。
从图4中可确认，图4表示本发明实施例的用于电阻加热式真空蒸镀法的装置的结构图。
上述电阻加热式真空蒸镀法对位于钨容器(W-Boat)620的电阻加热式真空蒸镀源610进行加热，使得上述电阻加热式真空蒸镀源610以电阻加热式真空蒸镀分子(EvaporationMolecule)640的形态蒸镀于电阻加热式真空蒸镀法基板630。
优选地，在通过上述电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)来蒸镀上述基膜的情况下，在真空度为7×10-2Torr至2×10-7Torr且温度为20至180℃时进行蒸镀。
最优选的电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)为在1.6×10-4Torr的真空度、20至150℃的温度下进行蒸镀，但并不局限于此。
更优选地，上述基膜200的蒸镀步骤利用上述电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)，并同时进行利用离子束蒸镀法(IonBeamEvaporation)的离子辅助蒸镀。
优选地，使用于上述离子辅助蒸镀的离子束优选为氧(O2)、氩(Ar)或氧(O2)和氩(Ar)的气体，当进行上述离子辅助蒸镀时，以1×1013个/cm2至5×1017个/cm2的数量照射离子束。
优选地，在形成上述防水防油涂敷膜300的步骤中，通过对包含氟(F)、硅(Si)中的至少一种的化合物进行蒸镀来制备上述防水防油涂敷膜300。
并且，上述防水防油涂敷膜300可以利用电阻加热式蒸镀法(Thermalevaporation)、电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)、电子束离子镀(ElectronBeamIonplating)、溅射(Sputering)、溅射离子镀系统(SputeringIonplatingSystem)、激光分子束外延法(LaserMolecularBeamEpitaxy)、脉冲激光沉积法(PulsedLaserDeposition)、化学气相蒸镀法(ChemicalVaporDeposition)、离子辅助沉积法(Ion-AssistDeposition)中的至少一种方法来进行蒸镀。
最优选地，利用电阻加热式蒸镀法(Thermalevaporation)来对上述防水防油涂敷膜300进行蒸镀，但并不局限于此。
优选地，在利用电阻加热式蒸镀法(Thermalevaporation)来蒸镀上述防水防油涂敷膜300的情况下，在真空度为7×10-2Torr至2×10-7Torr、温度为20至180℃时进行蒸镀。
最优选地，在真空度为1.6×10-5Torr、温度为20至150℃时进行蒸镀，但并不局限于此。
根据本发明来进行的具有防水防油性的耐指纹蒸镀，因在低于以往的高真空度的真空度条件下进行蒸镀，因而可以缩短蒸镀时间。
这具有提高生产率来减少总的粘性时间，并提高生产效率，节约时间费用的效果。
并且，本发明与以往的蒸镀相比，具有耐磨、耐盐水、耐药品、耐化妆品性优秀的效果。
本发明的为了提高防水防油涂敷膜300的耐久性而进行蒸镀的防水防油涂敷膜的基膜200利用电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)来对本发明的上述组合物进行蒸镀，或者利用同时进行电子束蒸镀法(Electronbeamevaporation)和离子束蒸镀法(IonBeamEvaporation)的离子辅助沉积法(Ion-AssistDeposition)来对本发明的上述组合物进行蒸镀。
图2表示本发明实施例的由多个薄膜形成的防指纹层400的剖视图。
由多个薄膜形成的防指纹层400可以包括玻璃或高分子基板、形成于上述基板100上的本发明的基膜200及形成于上述基膜200上的防油防水涂敷膜300。
上述本发明的由多个薄膜形成的防指纹层400可以使用于电子设备。上述电子设备包括手机、平板电脑等，在手机的情况下，可以使用于视窗(Window)中，而在平板电脑的情况下，可以使用于最外围层。
实施例1
在混合由粉末形成的90重量百分比的SiO2、6重量百分比的Al2O3、2重量百分比的ZrO2、2重量百分比的TiO2后，以5:2:3的比率混合聚乙烯醇(PVA)、聚乙二醇(PEG)及油酸作为粘结剂，之后追加总粉末的1.2重量百分比来进行了喷雾干燥。以600kg/cm2的压力对喷雾干燥后的粉末进行冲压后，在1150℃温度下进行6小时的烧结。
使钢化玻璃位于可以进行真空减压的腔室内后，使烧结后的底物位于进行电子束蒸镀的地方，并使耐指纹药品位于进行电阻加热式蒸镀的地方，之后使用真空泵来进行真空减压，直到1.8×10-4Torr为止，之后利用氩气对基材进行刻蚀。在基材得到刻蚀之后，将腔室调整为1.5×10-4Torr、80℃，并利用电子束方式实施底物蒸镀。
接着，利用电阻加热方式来实施防水防油蒸镀，并在结束作业之后，去除真空，结束蒸镀。确认到以这种方式获得的基膜的厚度为防水防油涂敷膜的厚度为且以这种方式蒸镀的钢化玻璃的接触角、附着、耐磨、耐盐水及耐药品性。
实施例2
在混合由粉末形成的90重量百分比的SiO2、8重量百分比的Al2O3、2重量百分比的ZrO2后，以5:2:3的比率混合聚乙烯醇、聚乙二醇及油酸作为粘结剂，之后追加总粉末的1.5重量百分比来进行了喷雾干燥。以600kg/cm2的压力对喷雾干燥后的粉末进行冲压后，在1150℃温度下进行6小时的烧结。
以550kg/cm2的压力对喷雾干燥后的粉末进行冲压后，在1200℃温度下进行8小时的烧结。
使钢化玻璃位于可以进行真空减压的腔室内后，使烧结后的底物位于进行电子束蒸镀的地方，并使耐指纹药品位于进行电阻加热式蒸镀的地方，之后使用真空泵来进行真空减压，直到1.8×10-4Torr为止，之后利用氩气对基材进行刻蚀。在基材得到刻蚀之后，将腔室调整为1.5×10-4Torr、80℃，并利用电子束方式实施底物蒸镀。
接着，利用电阻加热方式来实施防水防油蒸镀，并在结束作业之后，去除真空，结束蒸镀。确认到以这种方式获得的基膜的厚度为防水防油涂敷膜的厚度为且以这种方式蒸镀的钢化玻璃的接触角、附着、耐磨、耐盐水及耐药品性。
实施例3
在混合由粉末形成的90重量百分比的SiO2、6重量百分比的Al2O3、4重量百分比的TiO2后，以5:2:3的比率混合聚乙烯醇、聚乙二醇及油酸作为粘结剂，之后追加总粉末的1.5重量百分比来进行了喷雾干燥。以550kg/cm2的压力对喷雾干燥后的粉末进行冲压后，在1100℃温度下进行10小时的烧结。
使钢化玻璃位于可以进行真空减压的腔室内后，使烧结后的底物位于进行电子束蒸镀的地方，并使耐指纹药品位于进行电阻加热式蒸镀的地方，之后使用真空泵来进行真空减压，直到1.8×10-4Torr为止，之后利用氩气对基材进行刻蚀。在基材得到刻蚀之后，将腔室调整为1.5×10-4Torr、80℃，并利用电子束方式实施底物蒸镀。
接着，利用电阻加热方式来实施防水防油蒸镀，并在结束作业之后，去除真空，结束蒸镀。确认到以这种方式获得的基膜的厚度为防水防油涂敷膜的厚度为且以这种方式蒸镀的钢化玻璃的接触角、附着、耐磨、耐盐水及耐药品性。
实施例4
在混合由粉末形成的95重量百分比的Al2O3、5重量百分比的ZrO2后，以5:2:3的比率混合聚乙烯醇、聚乙二醇及油酸作为粘结剂，之后追加总粉末的1.0重量百分比来进行了喷雾干燥。以600kg/cm2的压力对喷雾干燥后的粉末进行冲压后，在1650℃温度下进行8小时的烧结。
使钢化玻璃位于可以进行真空减压的腔室内后，使烧结后的底物位于进行电子束蒸镀的地方，并使耐指纹药品位于进行电阻加热式蒸镀的地方，之后使用真空泵来进行真空减压，直到1.8×10-4Torr为止，之后利用氩气对基材进行刻蚀。在基材得到刻蚀之后，将腔室调整为1.5×10-4Torr、80℃，并利用电子束方式实施底物蒸镀。
之后，利用电阻加热方式来实施防水防油蒸镀，并在结束作业之后，去除真空，结束蒸镀。确认到以这种方式获得的基膜的厚度为防水防油涂敷膜的厚度为且以这种方式蒸镀的钢化玻璃的接触角、附着、耐磨、耐盐水及耐药品性。
比较例1
使钢化玻璃位于可以进行真空减压的腔室内后，使SiO2位于进行电子束蒸镀的地方，并使耐指纹药品位于进行电阻加热式蒸镀的地方，之后使用真空泵来进行真空减压，直到3.5×10-5Torr为止，之后利用氩气对基材进行刻蚀。在基材得到刻蚀之后，将腔室调整为2.5×10-5Torr、80℃，并利用电子束方式实施SiO2蒸镀。
接着，利用电阻加热方式来实施防水防油蒸镀，并在结束作业之后，去除真空，结束蒸镀。确认到以这种方式获得的SiO2涂敷膜的厚度为防水防油涂敷膜的厚度为且以这种方式蒸镀的钢化玻璃的接触角、附着、耐磨、耐盐水及耐药品性。
表1：初始接触角
接触角试验法
在接触角测定仪中利用蒸馏水来以3μl的大小将液体体积(liquidvolume)以600μl/Min滴入试料中间。在加药(Dosing)后的3秒钟(sec)后，测定接触角。
表2：附着
| 项目 | 附着 |
| 实施例1 | ◎ |
| 实施例2 | ◎ |
| 实施例3 | ◎ |
| 实施例4 | ◎ |
| 比较例1 | ◎ |
◎：非常优秀，○：优秀，△：一般，X：差
附着试验法
在试料中以1mm的间隔划线来制成围棋状。利用胶带进行粘结，并以强有力的方式向垂直方向拉动，这种方式实施3次，来在胶带的粘贴和脱离过程中判断加工面是否被剥离。
表3：铅笔硬度
| 项目 | 铅笔硬度 |
| 实施例1 | 9H |
| 实施例2 | 9H |
| 实施例3 | 9H |
| 实施例4 | 9H |
| 比较例1 | 9H |
铅笔硬度试验法
在削去铅笔的木质部分，使铅笔芯以圆柱状裸露3mm的状态下，在放置于扁平的面中的抛光纸中以直角方式放置铅笔芯，来画出圆，并进行抛光，使得铅笔芯的末端成为扁平且角度锋利，从而使铅笔芯以45度角、1kg的荷重与试料的段面相接触，并以均匀的速度移动10mm。变更试料的位置并实施5次。
表4：耐磨
耐磨试验法
在向橡皮擦施加500g的荷重之后，将橡皮擦放置于试料的段面，并进行往复(40次往复/分钟)
与初始接触角相比，变化量为±15°以内，且判断外观上的涂敷是否存在脱离。
表5：耐药品
耐药品试验法
在向橡皮擦施加500g的荷重之后，将橡皮擦放置于试料的段面，以防止甲醇干掉的条件继续投入并进行往复(40次往复/分钟)
与初始接触角相比，变化量为±10°以内，且判断外观上的涂敷是否存在脱离。
表6：耐盐水
耐盐水试验法
在35度条件下，向试料喷雾5％的NaCl后，去除水洗后的水分，并在常温下放置4小时，来判断与初始接触角相比，变化量为±10°以内，且外观上的涂敷是否存在脱离。
虽然与附图一同说明了本发明，但这仅为包括本发明的要旨的多种实施方式中的一种实施例，但明确的是，本发明的目的在于，使本发明所属技术领域的普通技术人员能够容易地实施，本发明并不局限于以上所述的实施例。因此，本发明的保护范围应通过发明的保护范围来解释，在没有脱离本发明的要旨的范围内通过变更、取代、替代等来处于等同范围内的所有技术思想均包含于本发明的保护范围。并且，需要明的是，附图的一部分结构仅用于更加明确地说明结构，有可能以夸张或缩小的方式提供。
产业上的可利用性
与以往的产品相比，通过本发明来蒸镀的防指纹层具有优秀的耐磨、耐盐水、耐药品、耐化妆品性等，并且不仅可以利用以往为了弥补耐指纹的耐久性的降低而进行蒸镀的SiO2，而且可以利用多种化合物来使用作为防水防油涂敷膜的耐指纹膜的基膜。并且，可以在基膜上蒸镀防水防油涂敷膜来形成的防指纹层的上述基膜在低于以往的真空度的真空度中实现蒸镀，从而防油可以缩短蒸镀时间，由此可以节约每时间费用，提高生产率来减少整个工序的粘性时间，最终具有可以提高生产效率的产业上的可利用性。
Claims (23)
1.一种组合物，用于涂敷防水防油涂敷膜的基膜，上述组合物的特征在于，上述组合物为包含氧化硅、钛化合物、铝化合物、锆化合物中的至少一种的混合物，用于提高上述防水防油涂敷膜的耐久性。
2.一种组合物，用于涂敷防水防油涂敷膜的基膜，上述组合物的特征在于，上述组合物包含钛化合物、铝化合物、锆化合物中的一种或两种以上的组合物，用于提高上述防水防油涂敷膜的耐久性。
3.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，上述混合物包含二氧化钛、氧化铝、二氧化锆、硅酸铝、高岭土中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，上述氧化硅为石英、方石英、鳞石英、非晶质中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，对包含氟、硅中的至少一种的化合物进行蒸镀来制备防水防油涂敷膜。
6.一种由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，包括：
步骤(i)，准备玻璃或高分子基板；
步骤(ii)，在上述基板上借助刻蚀来形成上述基板中所要蒸镀防指纹层的部分；
步骤(iii)，在包括所要蒸镀上述防水防油涂敷膜的部分的上述基板的表面蒸镀由权利要求1至5所述的组合物形成的基膜；
步骤(iv)，在所蒸镀的上述基膜上形成防水防油涂敷膜；以及
步骤(v)，清除形成有上述防水防油涂敷膜的上述基板。
7.根据权利要求6所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，
在上述步骤(i)和步骤(ii)之间还包括利用湿式清洗剂的清洗工序。
8.根据权利要求6所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(ii)中，上述刻蚀通过离子刻蚀法、射频等离子刻蚀法中的至少一种方法来进行刻蚀。
9.根据权利要求8所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(ii)中，利用离子刻蚀的情况下，在真空度为7×10-2Torr至2×10-7Torr时，使氧、氩或使氧和氩的气体离子化，并使离子化的气体离子与原材料的表面相碰撞来对原材料的表面进行刻蚀。
10.根据权利要求8所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(ii)中，利用射频等离子刻蚀的情况下，所利用的气体包含氧、氩或包含氧和氩的气体。
11.根据权利要求6所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iii)中，上述混合物包含氧化硅、二氧化钛、氧化铝、二氧化锆、硅酸铝、高岭土中的至少一种。
12.根据权利要求11所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，上述氧化硅为石英、方石英、鳞石英、非晶质中的至少一种。
13.根据权利要求6所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iii)中，上述基膜的蒸镀利用电阻加热式蒸镀法、电子束蒸镀法、电子束离子镀、溅射、溅射离子镀系统、激光分子束外延法、脉冲激光沉积法、化学气相蒸镀法、离子辅助沉积法中的至少一种方法来进行蒸镀。
14.根据权利要求13所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在通过上述电子束蒸镀法来对上述基膜进行蒸镀的情况下，在真空度为7×10-2Torr至2×10-7Torr且温度为20至180℃时进行蒸镀。
15.根据权利要求13所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，上述离子辅助沉积法同时进行电子束蒸镀法和离子束蒸镀法。
16.根据权利要求15所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iii)中，使用于上述离子束蒸镀法的离子束为氧、氩或氧和氩的气体。
17.根据权利要求15所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iii)中，当利用上述离子束蒸镀法来进行蒸镀时，以1×1013个/cm2至5×1017个/cm2的数量照射离子束。
18.根据权利要求6所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iv)中，对包含氟、硅中的至少一种的化合物进行蒸镀来制备上述防水防油涂敷膜。
19.根据权利要求6所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在上述步骤(iv)中，利用电阻加热式蒸镀法、电子束蒸镀法、电子束离子镀、溅射、溅射离子镀系统、激光分子束外延法、脉冲激光沉积法、化学气相蒸镀法、离子辅助沉积法中的至少一种方法来对上述防水防油涂敷膜进行蒸镀。
20.根据权利要求19所述的由多个薄膜形成的防指纹层的制备方法，其特征在于，在利用电阻加热式蒸镀法来对上述防水防油涂敷膜进行蒸镀的情况下，在真空度为7×10-2Torr至2×10-7Torr且温度为20至180℃时进行蒸镀。
21.一种防水防油涂敷膜的基膜，其特征在于，利用电子束蒸镀法来对上述权利要求1至5所述的组合物进行蒸镀，或者利用同时进行电子束蒸镀法和离子束蒸镀法的离子辅助沉积法来对上述权利要求1至5所述的组合物进行蒸镀。
22.一种由多个薄膜形成的防指纹层，其特征在于，包括：
玻璃或高分子基板；
权利要求21所述的基膜，形成于上述基板上；以及
防油防水涂敷膜，形成于上述基膜上。
23.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求22所述的由多个薄膜形成的防指纹层。
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