CN105190231A - 具有缺陷检测系统的坐标测量机 - Google Patents

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Abstract

一种缺陷检测系统包括：坐标测量机，该坐标测量机具有基座、一个或多个传送构件、将所述一个或多个传送构件连接至所述基座的一个或多个铰接构件、以及位于远端的缺陷检测传感器，所述坐标测量机被配置为测量所述缺陷检测传感器的位置；以及处理器，该处理器被配置为将由所述坐标测量机测量到的所述缺陷检测传感器的位置与由所述缺陷检测传感器检测到的数据关联起来。

Description

具有缺陷检测系统的坐标测量机
技术领域
本发明涉及铰接臂和坐标测量，更具体地涉及包含超声波缺陷检测的坐标测量机。
背景技术
直线式测量系统—也称为坐标测量机(CMM)和铰接臂测量机—用来产生非常准确的几何信息。通常，这些仪器捕获物体的结构特征，以用在质量控制、电子再现和/或复制中。用于坐标数据获取的传统设备的一个实施例为便携式坐标测量机(PCMM)，这是一种便携式装置，该便携式装置能够在该装置的测量球体内进行非常准确的测量。这类装置经常包括安装在臂的端部上的探针，所述臂包括通过接头连接在一起的多个传送构件。臂的与探针相对的端部通常连接至可移动基座。通常，接头分成各个旋转自由度，每个旋转自由度都使用专用的旋转换能器进行测量。在测量过程中，臂的探针由操作员手动移动到测量球体内的各个点。在每个点处，必须在给定的瞬间及时确定每个接头的位置。因此，每个换能器输出电信号，该电信号根据接头在那个自由度中的移动而变化。通常，探针也产生信号。这些位置信号以及探针信号通过臂传送到记录仪/分析仪。然后位置信号用来确定探针在测量球体内的位置。例如，参见美国专利第5,829,148号和第7,174,651号，这些美国专利通过引用全文纳入本文。
通常，需要具有高准确性、高可靠性和耐用性、非常易于使用、低成本、超声波缺陷检测能力以及其他优点的坐标测量机。文中的公开内容对这些特性中的至少一些提供改进。
发明内容
在一个实施方式中，一种铰接臂坐标测量机包括能够检测所选物体的表面下面的缺陷的超声波缺陷检测系统。
在另一个实施方式中，一种铰接臂坐标测量机包括包含特征包的超声波缺陷检测系统，该特征包提供所述超声波缺陷检测系统的一部分功能性。
在另一个实施方式中，一种铰接臂坐标测量机包括超声波缺陷检测系统，该超声波缺陷检测系统提供将缺陷与坐标测量数据叠加在显示器上的能力。
在另一个实施方式中，一种铰接臂坐标测量机包括超声波缺陷检测系统，该超声波缺陷检测系统提供将缺陷包含进所选物体的三维模型中的能力。
在另一个实施方式中，一种缺陷检测系统包括：坐标测量机，该坐标测量机具有基座、一个或多个传送构件、将所述一个或多个传送构件连接至所述基座的一个或多个铰接构件、以及位于远端的缺陷检测传感器，所述坐标测量机被配置为测量所述缺陷检测传感器的位置；以及处理器，该处理器被配置为将由所述坐标测量机测量的所述缺陷检测传感器的位置与由所述缺陷检测传感器检测的数据关联起来。
在另一个实施方式中，一种感测物体中的缺陷的方法包括：将位于坐标测量机上的缺陷传感器抵靠物体定位；用所述缺陷传感器感测所述物体的特征；用所述坐标测量机测量所述缺陷传感器的位置；以及将所述缺陷传感器的位置与所述物体的感测到的特征关联起来。
在另一个实施方式中，一种感测物体中的缺陷的方法包括：在多个位置处将位于坐标测量机上的缺陷传感器抵靠所述物体定位；在所述多个位置中每个位置处用所述缺陷传感器感测所述物体的特征；用所述坐标测量机测量所述缺陷传感器在所述多个位置处的位置，在所述多个位置，所述缺陷传感器的特征正在被感测；以及将所述缺陷传感器的位置与在所述多个位置处感测的特征关联起来。
在另一个实施方式中，一种用坐标测量机测量数据的方法包括：将所述坐标测量机的探针移动到第一探针位置；用探针测量物体上的表面位置；以及用所述坐标测量机测量所述表面位置下方的缺陷点。
在另一个实施方式中，一种用坐标测量机测量数据的方法包括：将所述坐标测量机的探针移动到物体上的多个表面位置；测量所述多个表面位置；以及用所述坐标测量机测量所述多个表面位置中的每个表面位置下方的缺陷点。
在另一个实施方式中，一种用坐标测量机测量数据的方法，该方法包括：将所述坐标测量机的探针移动到物体上的多个表面位置；测量所述多个表面位置；以及在第一探针位置用所述坐标测量机的探针测量所述物体的所述多个表面位置中每个表面位置下方的缺陷起始点、缺陷终止点和后表面。
在另一个实施方式中，一种用坐标测量机测量数据的方法包括：将所述坐标测量机的非接触式激光扫描仪移动到第一探针位置；用所述非接触式激光扫描仪测量物体上的表面位置；以及用所述坐标测量机测量所述表面位置下方的缺陷点。
附图说明
从下面结合附图进行的详细描述中将明了本发明的其他目的、特征和优点，所述附图示出了本发明的示例性实施方式，其中：
图1是铰接臂的立体图；
图1A是图1的铰接臂的分解图；
图2是图1的铰接臂的传送构件的立体图，所述传送构件具有关联的铰接构件；
图2A是图2的传送构件的立体图，其中去除了盖部分；
图2B是图2A的传送构件的放大立体图；
图2C是图2的铰接构件的放大横截面图；
图2D是图2B的传送构件的放大横截面图；
图2E是图2的传送构件和铰接构件的局部分解侧视图；
图3是图1的铰接臂的手柄的立体图；
图4是图1的铰接臂的基座和特征包的立体图；
图5是编码器的说明性实施方式的平面图；
图6是操作铰接臂的方法的流程图；
图7是包含超声波缺陷检测系统的便携式坐标测量机的一个实施方式的立体图；
图8是超声波缺陷检测系统的一个实施方式的立体图；以及
图9是包括缺陷的所选物体的横截面图。
具体实施方式
可以与本文描述的实施方式一起使用的坐标获取构件的某些实施方式的进一步描述，可以在申请日为2010年3月26日、发明名称为“具有模块功能性的坐标测量机”的美国专利第8,151,477号中找到，该美国专利通过引用全文纳入本文。
图1和图1A示出根据本发明的便携式坐标测量机(PCMM)的一个实施方式。在示出的实施方式中，PCMM1可以包括基座10、多个刚性传送构件20、坐标获取构件50以及多个铰接构件30-36，所述铰接构件形成将刚性传送构件20相互连接的“接头组件”。铰接构件30-36与传送构件20以及铰链(如下所述)一起被配置为提供一个或多个旋转和/角度自由度。通过各个铰接构件30-36和传送构件20，PCMM1可以沿各个空间取向对准，由此允许将坐标获取构件50精确地定位和定向在三维空间中。
可以使用手动、自动、半自动和/或任何其他调节方法来调节刚性传送构件20和坐标获取构件50的位置。在一个实施方式中，PCMM1通过各个铰接构件30-36设有七个旋转运动轴线。然而，应理解，对可以使用的运动轴线的数目没有严格限制，可以将更少或另外的运动轴线包含在PCMM设计中。
在图1示出的PCMM1的实施方式中，铰接构件30-36可以根据它们关联的运动构件的运行分成两个功能组，即：1)那些铰接构件30，32，34，36(以下称“旋转接头”)，它们与旋转运动关联，那些铰接构件与特定的和不同的传送构件关联；以及2)那些铰接构件31，33，35(以下称“铰链接头”或“铰链”)，它们允许在两个相邻构件之间或在坐标获取构件30及其相邻构件之间形成的相对角度发生改变。虽然示出的实施方式包括定位为产生七个运动轴线的四个旋转接头和三个铰链接头，但是可以想到在其他实施方式中，可以改变铰链接头和旋转接头的数目和位置，以在PCMM中获得不同的运动特性。如，具有六个运动轴线的基本类似装置可能仅缺少坐标获取构件50和相邻铰接构件20之间的旋转接头30。在另外其他实施方式中，旋转接头和铰链接头可以以不同组合进行组合和/或使用。
如在现有技术(例如参见美国专利第5,829,148号，该美国专利特此通过引用纳入本文)中已知以及在图2D中示出的，传送构件20可以包括一对同心双管结构，该同心双管结构具有通过第一轴承和第二轴承共轴地旋转安装在外管状套20b内的内管状轴20a，所述第一轴承靠近相邻构件的第一端安装，所述第二轴承位于该构件的相对端，所述同心双管结构可以定位在双轴线壳体100内。传送构件20操作为将运动从传送构件的一端传送到传送构件的另一端。传送构件20又与铰接构件30-36连接起来以形成接头组件。
铰链接头又部分地由从传送构件的一端延伸的轭28(见图1A)、延伸穿过铰接构件31，33，35的旋转轴以及铰接构件31，33，35本身的组合构成，铰接构件31，33，35围绕所述旋转轴旋转以形成铰链或铰链接头。
每个铰链或旋转接头具有自己的专用运动换能器，所述运动换能器的形式为可以在图2C中看到的编码器37。有利地，铰链和旋转运动换能器至少部分以及更优选地完全定位在双轴线壳体100内、位于各自的铰接构件30-36内。
在各个实施方式中，坐标获取构件50包括接触敏感构件55(在图1中示为硬探针)，接触敏感构件55被配置为接合所选物体的表面并且根据探针接触而产生坐标数据。在示出的实施方式中，坐标获取构件50还包括非接触式扫描和检测部件，所述非接触式扫描和检测部件不必需要与所选物体直接接触来获取几何数据。如图所示，所述非接触式扫描装置包括可以用来在不直接接触物体的情况下获得几何数据的非接触式坐标检测装置(示为激光坐标检测装置/激光扫描仪)。非接触扫描装置可以包括相机或其他光学装置70，相机或其他光学装置70与文中未示出的激光器结合起来起作用。应理解，多个坐标获取构件构造是可能的，包括：接触敏感探针、非接触式扫描装置、激光扫描装置、使用应变仪用于接触式检测的探针、使用压力传感器用于接触式检测的探针、使用红外光束进行定位的装置、以及被配置为静电响应的装置，可以用于坐标获取目的。另外，在一些实施方式中，坐标获取构件50可以包括一个、两个、三个或更多个坐标获取机构。
可以在申请日为2009年6月18日，名称为“具有激光扫描仪的铰接测量臂”的美国专利申请第12/487,535号中找到可以用于本文描述的实施方式的坐标获取构件的某些实施方式的进一步描述，该美国专利申请通过引用全文纳入本文。如在所述参考文献中示出的，坐标获取构件可以包括模块化激光扫描仪，该模块化激光扫描仪可以附接至坐标获取构件(该坐标获取构件还包括接触式探针)的主体。模块化特征可以允许多个其他坐标检测装置用于坐标获取构件。另外，可以使用其他坐标获取构件，如本领域技术人员众所周知的。
有利地，如图2至图2C所示，铰接构件30-36可以形成双轴线壳体100。双轴线壳体100可以为单个单块壳体或为包括接合起来(例如通过焊接、粘合剂等)的多个零件的壳体。如图所示，双轴线壳体100可以联接至传送构件20并且包括铰链和旋转接头中的对应于来自基座10的第二和第三旋转轴线的一部分。如上所述，不同功能的旋转编码器37以及用于测量传送构件以及铰链和旋转接头的位置的关联电子器件(如本领域技术人员众所周知的)可以定位在铰接构件34和35中(以及铰接构件30-33以及36，在其他图中示出的)。
为了便于组装双轴线组件，双轴线壳体100可以包括可拆卸的后盖102，在图2A中示出拆卸了后盖102。如图所示，可拆卸的后盖102可以覆盖壳体100中的开口，该开口与安装至所述壳体的相邻传送构件20大致轴向对齐。另外，在一些实施方式中，盖102可以被配置为不承受CMM1的任何大载荷。因此，可以期望的是，由也可以用作减振器的较软材料形成盖102。如图所示，盖102可以定位在臂1的“肘”位置。在一些活动过程中，“肘”位置可以更可能意外接触可能损坏臂1的外部硬表面。有利地，由减振材料形成的盖102可以包括臂1免受这种伤害。另外，在一些实施方式中，盖102的材料也可以用来促进与双轴线壳体100的材料形成更好的密封。双轴线壳体100可以包括硬材料，盖102可以包括更软材料，所述更软材料可以在将盖102安装至所述壳体时顺应所述壳体的边缘，从而形成更好的密封。
可拆卸的后盖102可以提供双轴线壳体100的内部与外部元件的大致密封，从而保护定位在壳体内的编码器37。当拆卸了盖102时，可以暴露与铰接构件34关联的单独编码器37，并且可以与示出的传送构件20大致轴向对齐地(如图2E所示)将编码器37插入旋转-接收部104或从双轴线壳体100拆卸下。在示出的实施方式中，与铰接构件34和35关联的编码器为与传送构件20分离的部件。即，编码器和传送构件为两个分离且不同的部件，所述部件连接在一起但可以彼此分离地旋转地运行。相同原理也可以应用于其他铰接构件30-33和36。换句话说，传送构件20可以与铰接构件30-36分离地运行，铰接构件30-36形成如上所述的接头或接头组件并且运行以测量旋转。
另外，在拆卸下盖102时(如图2B所示)，可以插入/拆卸另外的电子器件。如图所示，双轴线壳体100可以为印刷电路板38提供接收部，印刷电路板38可以支撑另外的电子器件。在一些实施方式中，另外的电子器件可以执行另外的信号处理，诸如使来自编码器的模拟信号数字化。在一些实施方式中，可以在将信号传递到滑动环或其他可旋转电子连接器之前进行这种数字化。另外，在其他实施方式中，另外的印刷电路板38可以促进在双轴线壳体100内的两个编码器之间形成物理电子连接。
另外，在示出的双轴线壳体100中，可以独立于后盖102而插入/拆卸与铰接构件35关联的分离的编码器37。为了促进这种插入/拆卸，双轴线壳体100可以具有铰链接受部106，铰链接受部106与壳体的主平面垂直取向。铰链接受部106可以具有：开口端108，编码器37可以进入开口端108；以及基本封闭端110，编码器可以紧靠基本封闭端110，以为编码器限定位置。一旦插入编码器37，然后就可以插入帽零件112以将编码器固定在铰链接收部106内。
如图2C所示，编码器37可以包括编码器盘38a和读头38b。编码器盘38a可以在其表面上具有可以由读头38b测量的图案。例如，在一些实施方式中，编码器盘38a可以具有光学图案，所述光学图案包括变化的颜色、透明和不透明部分、或者其他可见变化；读头38b可以包括诸如相机的光学测量装置。在一些实施方式中，盘38a可以在盘上具有限定的线条图案(类似于条形码)，以使得盘的由读头测量的图像可以限定绝对的旋转角，如下进一步讨论的。作为另一个实施例，编码器盘38a可以具有变化的磁部分，并且读头38b可以测量对应的磁场。编码器盘38a上的变化图案可以由读头38b测量以指示旋转位置或编码器盘相对于读头的旋转位置的变化。进而，如图所示，读头38b可以与壳体100一起旋转固定，编码器盘38a可以旋转固定至编码器轴39，编码器轴39以可旋转的方式安装在壳体内。因而，轴39相对于壳体100的旋转可以引起盘38a和读头38b之间的对应相对旋转，该旋转可以被测量。然而，从本文的描述可以清楚的是，该设备可以变化。例如，在一些实施方式中，读头38b可以以可旋转的方式安装至壳体100，并且编码器盘38a可以旋转固定。
在示出的实施方式中，与铰接构件35关联的编码器可以通过相邻传送构件(图2中未示出)上的叉形接头和编码器轴39与所述传送构件安装在一起。所述叉形接头可以类似于在示出的传送构件20的与双轴线壳体100相对的端部处示出的叉形接头，其中可以安装至编码器轴39的轭28以可旋转的方式安装在壳体100内。轭28的叉头可以围绕双轴线壳体100的端部以及壳体所容纳的编码器安装以形成铰链铰接构件35。因此，在双轴线壳体100中的两个编码器可以相互独立地插入单个壳体或从单个壳体拆卸下。明显地，在其他实施方式中，双轴线壳体100的形式可以改变。例如，在一些实施方式中，双轴线壳体100可以形成相对的两个旋转接收部104，或者相对的两个铰链接收部106。
将编码器37放置在单个壳体中，这可以相对于具有分离壳体的现有技术组件提供许多优点。例如，组合壳体可以减少所需零件和接头的数目，因此也可以降低成本和组装时间。另外，装置的准确性可以因消除了偏离、错位或其他与多个部件相关的问题而改善。另外，另外壳体的移除可以允许更紧凑的组合接头组件，从而允许更好地支撑臂并且允许臂具有更轻的重量。如图1A所示，下一个或接下来的传送构件20的轭28可以联接至延伸穿过双轴线壳体100的支撑轴以形成铰链接头。
虽然示为包围来自基座的第二和第三轴线，但是类似的双轴线壳体100可以用于铰接构件的其他组合，诸如第四和第五铰接构件32，33。另外，双轴线壳体可以提供另外的优点，这些优点未在文中进行详细讨论。然而，应注意，在本文描述的本发明的其他实施方式中，铰接构件30-36可能每个都具有单独的壳体。
应理解，上述的双轴线壳体或接头组件可以用在其他类型的CMM中并且不需要与下面描述的另外的实施方式结合使用。
图3示出改进的手柄40。手柄40可以包括一个或多个集成按钮41。该手柄可以用螺栓、按扣或夹子连接至轴线。另外，手柄40可以包括被包括在其内部中的电子器件44。有利地，在手柄41中包括电子器件41可以进一步将所述电子器件与在受热时可能失去准确性的旋转编码器和其他部件分离。在一些实施方式中，手柄40或者其内部的电子器件可以与臂的其余部件热隔离。另外，当手柄40是可拆卸的且包括电子器件44时，所述手柄可以形成类似于特征包的模块化部件(如下所述)。因而，使用者可以通过变换手柄40并因而也变换电子器件44以及控制电子器件的按钮41来变换功能性。因而可以在CMM系统中设置具有不同功能性的多个手柄40以给CMM提供模块化特征。此外，应注意，在文中描述的本发明的其他实施方式中，可以使用不同手柄，或者替代地，可以不存在别的手柄。另外，手柄可以包含电池以给臂、扫描器或二者供电。
应理解，上面描述的改进的手柄40可以用在其他类型的CMM中，不必与上面以及下面部分中描述的另外实施方式结合使用。
另外或替代地，在一些实施方式中，CMM臂1可以由臂自身的运动至少部分地控制，如图6所示。例如，虽然在一些实施方式中可以通过按压按钮、拉动杆、转动标度盘或者致动一些其他传统致动装置来触发一些命令或指令，但是在其他实施方式中，可以通过CMM臂1的具体运动或位置来触发相同或不同指令，该运动或位置可以由编码器37检测。作为更具体的实施例，在一些实施方式中，可以指令CMM臂1进入睡眠模式，此时臂处于大致折叠或缩回位置，诸如图1所示的位置。之后，CMM臂1可以执行该指令。类似的，可以通过快速移动或移动到更延伸的位置来重新唤醒CMM臂1。指令、运动和位置的其他组合是可能的。
例如，在一些实施方式中，CMM臂1可以根据其总的取向而进入不同数据获取模式。在CMM臂1经常测量需要沿产品的不同部位的不同数据获取模式的产品的情况下，根据位置来改变数据获取模式可能是有利的。
另外，在一些实施方式中，臂可以根据其移动速度而进入不同数据获取模式。例如，CMM的操作者可以慢慢移动CMM，此时将快速测量关键点。因而，当臂慢慢移动时，CMM可以增加其测量频率，准确性或其他性能。另外，CMM可以在臂用作计算机鼠标的模式和具有其中一个后轴线的快速移动的测量模式(下文进一步描述相关的计算机的实施方式)之间切换。
与前面的实施方式一样，应理解，与控制臂相关的这些特征可以用在其他类型的CMM中，不必与上面以及下面部分中描述的另外实施方式结合使用。
图4示出一组特征包90，所述特征包可以通过对接部12与基座10连接。对接部12可以在CMM臂1和特征包90之间形成电子连接。在一些实施方式中，对接部12可以为高速数据传输、电力传输、机械支撑等提供连接性。因此，当连接至对接部时，特征包90可以为CMM臂1提供模块化电子、机械或热部件，从而允许多个不同特征和功能性，例如增加的电池寿命、无线能力、数据存储、改进的数据处理、对扫描仪数据信号的处理、温度控制、机械支撑或平衡物、或者其他特征。在一些实施方式中，该模块化功能性可以补充或替换手柄40的一些模块化特征。模块化特征包可以包含连接器，所述连接器用于不能包含在基面产品上的增强功能性、电池、电子电路板、开关、按钮、灯、无线或有线通信电子器件、扬声器、麦克风或其他类型的扩展功能性。另外，在一些实施方式中，特征包90可以位于CMM臂1的不同位置，诸如沿传送构件、铰接构件，或者作为手柄40的附加装置。
例如，特征包90可以包括电池，诸如主电池或辅助电池。有利地，在特征包90为辅助电池的实施方式中，CMM可以包括内部的主电池，所述主电池可以在辅助电池缺失或正更换时维持CMM的运行。因而，通过循环辅助电池，可以在无直接电源连接的情况下无限期地维持CMM。
又例如，特征包90可以包括数据存储装置。在特征包90上能够进行的数据存储可以任意大，使得CMM可以测量和保留大量数据，而无需连接至更大的和/或不太方便的数据存储装置，诸如台式计算机。另外，在一些实施方式中，数据存储装置可以传送数据给臂，所述数据包括用于臂运行的指令(诸如机动臂的移动路径)、在按压具体按钮时或在臂的具体运动或位置时用于臂的新命令、或者其他可自定义的设置。
在特征包包括无线能力的特征的实施例中，类似的功能性可以设有数据存储装置。在具有无线能力的情况下，数据可以在CMM和外部装置(诸如台式计算机)之间在没有有线连接的情况下连续传送。在一些实施方式中，CMM可以从辅助装置连续接受命令。另外，在一些实施方式中，辅助装置可以连续显示来自臂的数据，诸如臂的位置，或已获得的数据点。在一些实施方式中，辅助装置可以为个人计算机(PC)，特征包可以将臂坐标数据和扫描仪数据无线传输到PC。所述特征包可以在无线传输之前将特征包中的臂数据和扫描仪数据进行组合，或者将这些数据作为独立数据流传输。
在另外的实施方式中，特征包可以还包括数据处理装置。这些装置可以有利地执行可以改进臂运行、数据存储或其他功能性的多个操作。例如，在一些实施方式中，可以通过特征包处理基于臂位置给臂的命令。在额外的实施方式中，特征包可以在存储或传输之前对来自臂的数据进行压缩。
在另一实施例中，特征包可以还给CMM提供机械支撑。例如，特征包可以连接至基座10并且具有大重量，从而稳定CMM。在其他实施方式中，特征包可以被提供用于CMM和支架(CMM安装在该支架上)之间的机械连接。
在又一个实施例中，特征包可以包括热功能性。例如，特征包可以包括散热器或冷却风扇等。对接部和特征包之间的连接也可以通过导热构件连接至基座10中的电子器件以及CMM的其他部件，从而允许在CMM臂和特征包之间进行大量热传递。
另外，如图1所示，在一些实施方式中，特征包90的尺寸和形状可以基本匹配特征包所连接至的基座10的侧面。因而，可以在没有实质性地增加CMM的尺寸、降低CMM可能的便携性、或者限制CMM相对于其他装置的位置的情况下使用特征包90。
再次，特征包90可以相互结合使用并且与文中描述的其他特征结合使用，和/或可以在其他类型的CMM中独立使用。
另外，在一些实施方式中，CMM臂1可以包括绝对值编码器盘95，图5中示出了示例性实施方式。绝对值编码器盘95可以包括大致圆形系列化图案，所述图案可以以反射材料和非反射材料、透明材料和不透明材料、或者交替磁性等来实现。系列化图案可以允许读头通过仅读取编码器的编码表面的有限部分来确定编码器上的唯一位置。在一些实施方式中，系列化图案可以类似于条形码，如图5所示。图案可以沿关联读头的查看范围是非重复的。因而，由读头从编码器盘95收集的图像或其他数据可以产生与编码器上的其他位置不同的图案，并且因此可以与唯一的角度位置相关联。每个编码器可以由单个系列化盘组成，所述盘由一个或多个读头(所述读头可以例如为CCD图像仪)读取。使用两个或优选地使用四个CCD图像仪可以通过测量轴线的偏心率并且从角度测量值中减去所述偏心率来提高编码器的准确性。另外，可以通过对多个CCD图像仪的测量值取平均来提高角度准确性。
在现有技术的编码器中经常使用增量和重复表面，其中，编码表面仅表示增量级别，而不是绝对位置。因此，增量式编码器会需要回到独特标识的原始位置，以重新标引和确定远离原始位置的增量位置。有利地，绝对值编码器盘95的一些实施方式可以消除回到原始位置的需要。CMM的这个特征也可以与文中描述的其他特征结合使用并且/或者可以在其他类型的CMM中独立使用。
有利地，绝对值编码器盘95可以提高进入睡眠模式的CMM臂1的功能性。进入睡眠模式可以减少CMM臂1的耗电量。然而，如果大量系统在睡眠模式期间关机，那么增量式编码器可能“忘记”它们的位置。因此，在退出睡眠模式时，增量式编码器可能需要在使用之前回到原始位置。替代地，增量式编码器可以在睡眠模式期间保持部分通电，以维持它们的增量位置。有利地，在绝对值编码器盘95的情况下，编码器可以在睡眠模式期间完全断电，并且在重新通电时立即输出它们的位置。在其他模式中，绝对值编码器可以以低频读取其位置，而不用担心该绝对值编码器可能错过增量移动并因而丢失其增量位置。因此，CMM臂1可以被通电或唤醒，并且可以从任何起始位置立刻开始数据获取，而不需要立即复位到“原始”位置。在一些实施方式中，绝对值编码器可以与CMM的每个测量的旋转轴线一起使用。CMM的这个特征也可以与文中描述的其他特征结合使用，和/或可以在其他类型的CMM中独立使用。例如，如上所述，该睡眠模式可以由进入具体位置的移动而引起。又例如，编码器38a可以为绝对值编码器盘95。
此外，在一些实施方式中，CMM臂1可以包括倾角传感器。在一些实施方式中，倾角传感器可以具有至少大约1弧度秒的准确性。倾角传感器可以被包含在基座10、特征包90或CMM臂1的其他零件中。当放置在基座10或特征包90中时，倾角传感器可以检测CMM臂的支撑结构的移动，所述支撑结构诸如为臂坐落于其上的工作台或三脚架。然后，可以将该数据传送到臂中某处的处理模块或传送到外部装置(诸如计算机)。CMM臂1或外部装置然后可以提醒使用者基座中的移动和/或尝试补偿该移动，例如当倾斜超过阈值变化时。为使用者提供提醒可以以多种形式进行，诸如声音、手柄40上或大概在臂1的端部附近的LED灯、或在连接至臂1的监视器上。替代地或者另外，当已发生倾斜时，提醒可以为在由臂1收集的数据上的标志的形式。在之后分析时，该数据然后可能被认为不太准确。当尝试补偿移动时，在一些实施方式中，倾斜及其对位置的影响可以被部分地测量并且在校正过程中被考虑。在另外的实施方式中，可以通过相应调节铰接构件的角度位置来补偿倾斜。CMM的这个特征也可以与文中描述的其他特征结合使用和/或可以在其他类型的CMM中独立使用。
在另外的实施方式中，在每次测量臂位置时，触发信号从臂发送到扫描仪。与臂触发同时，臂可以锁定臂位置和取向。扫描仪也可以记录信号的接收时间(例如作为时标)，相对于被捕获的扫描仪图像流(例如也被记录作为时标)。来自臂的该时间信号数据可以与图像数据包含在一起。取决于这两个系统(臂和扫描仪)的相对频率，每个扫描仪图像可以有多于一个的臂触发信号。可能不期望的是，臂以比扫描仪低的频率运行，这通常导致臂和扫描仪频率至少部分地不同步。因而，臂和扫描仪数据的后处理可以通过插值将臂位置与扫描仪坐标系(scannerframe)组合起来以估计在扫描仪图像时的臂位置。在一些实施方式中，插值可以是在两个相邻点之间的简单的线性插值。然而，在其他实施方式中，更高阶的多项式插值可以用来考虑加速、猛拉等。CMM的这个特征也可以与文中描述的其他特征结合使用和/或可以在其他类型的CMM中独立使用。
具有缺陷检测的CMM
图7是集成超声波缺陷检测系统的PCMM的一个实施方式的立体图。图8是超声波缺陷检测系统的一个实施方式的立体图。在另外的实施方式中，CMM(其可以包括例如上面描述的PCMM1的多个实施方式)可以集成缺陷检测系统。在一些实施方式中，该缺陷检测系统可以包括超声波缺陷检测系统。超声波缺陷检测系统200可以与上面描述的坐标测量机的实施方式以及本领域技术人员知道的坐标测量机结合使用。超声波缺陷检测系统200可以包括具有缺陷检测传感器55’的CMM(诸如上面描述的CMM)，缺陷检测传感器55’可以在一个布置中代替上面描述的接触灵敏构件55来使用。在一个实施方式中，缺陷检测传感器55’可以包括超声波缺陷检测传感器。系统200可以还包括用于处理来自CMM和传感器55’的信息的计算机或处理器。如将在下面说明的，将超声波缺陷检测系统与CMM进行组合不仅提供了同时进行多个测量的能力还提供了同时显示那些结果(例如在计算机显示器220上)的能力。在一些实施方式中，来自超声波缺陷检测系统200的数据可以与来自坐标测量机的数据叠加。来自坐标测量机的数据与同时或基本同时由超声波缺陷检测系统提供的数据的结合可以用来一起重构所选物体的可见表面和隐藏表面。在一些实施方式中，集成超声波缺陷检测系统的CMM提供了提供所选物体中的缺陷的三维彩图的能力。在一些实施方式中，缺陷可以被集成在所选物体的三维模型中。在其他实施方式中，缺陷可能集成在使用计算机辅助绘图软件产生的三维模型中。在一些实施方式中，缺陷的三维彩图可以集成在所选物体的三维模型中。
在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统具有将所选物体中的缺陷进行定位和分类的能力。超声波缺陷检测系统可以包括超声波传感器55’(该超声波传感器可以包括一个或多个超声波换能器、硬件以及用于信号捕获和分析的软件)、波形显示器以及在一些应用中包括数据记录模块。在一些实施方式中，至少一个超声波换能器用来将能量从一种形式转换为另一种形式。换能器可以将电能转换成高频声能，反之亦然。在一些实施方式中，超声波传感器包括超声波脉冲发生器以及接收器。在一个实施方式中，超声波缺陷检测系统可以通过机械振动产生声波以及穿过介质(例如待测的所选物体)传播。声波将以特定速度或速率沿可预测的方向穿过介质，并且当声波遇到具有不同介质的边界时，它们会根据简单规则被反射或透射。超声波缺陷检测系统可以检测和测量反射波。在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统可以包括由压电陶瓷、复合材料或聚合物构成的主动元件。当主动元件由高压电脉冲激励时，它在特定频谱上振动并且产生一阵声波。当主动元件被进入的声波振动时，它产生电脉冲。在一些实施方式中，在换能器和所选物体之间利用薄层联接液或胶，因为在超声频率下的声能不能高效穿过气体。
几类超声波换能器可以用在文中描述的多个实施方式的超声波缺陷检测系统中。这些换能器可以例如包括接触换能器、斜射束换能器、延迟线换能器、浸没式换能器以及双元件式换能器。文中描述的实施方式可以包含这些类型的超声波换能器中每类的至少一个。在一些实施方式，可以包括多个超声波换能器。
在一些实施方式中，超声波缺陷检测器可以利用直射束测试或斜射束测试。利用接触换能器、延迟线换能器、双元件换能器或浸没式换能器的直射束测试可以用来找到与所选物体的表面平行的裂缝或脱层，还有气穴和气孔。测试可以利用如下原理：穿过介质的声能继续传播，直到声能消散或者从具有另一材料(诸如围绕远壁或位于裂缝内的空气)的边界反射。在这类测试中，操作者将换能器联接至所选物体并且定位从所选物体的远壁返回的回波，然后寻找在后墙回波之前到达的任何回波，折算颗粒散播噪音，如果存在的话。在后壁回波之前的声音大的回波暗示存在层状裂缝或气穴。通过进一步分析，可以确定产生反射的结构的深度、尺寸和形状。斜射束测试(斜射束测试利用共同的斜射束(楔形)换能器组件或浸没式换能器，所述换能器组件或换能器对准以将声能以所选角度引导入所选物体)可以用来找到与所选物体垂直的裂缝或其他不连续。在一些实施方式中，斜射束组件利用模式转换以及斯涅耳定律来以所选角度在所选物体中产生横波。因为入射纵波相对于表面的角度增加，所以声能的增加部分转换成第二材料中的横波，并且如果角度足够高，第二材料中的所有能量会为横波的形式。
如图7所示，PCMM1的坐标获取构件50可以集成超声波缺陷检测系统的超声波传感器55’。超声波传感器55’可以集成至少一个超声波换能器，使得超声波传感器55’能够传输和接收超声波穿过所选物体并且能够检测在所选物体的表面下面的缺陷以及所选物体的测量部分的厚度。缺陷可以包括例如在所选物体的表面下面的裂缝、脱层、气孔或其他缺陷。在一个实施方式中，超声波传感器55’可以用作接触敏感构件，所述接触敏感构件被配置为接合所选物体的表面并产生坐标数据。在一些实施方式中，超声波传感器55’包含硬点以接合所选物体的表面。通过包含超声波传感器55’以及坐标测量探针，CMM可以同时或基本同时收集坐标数据以及在相同位置处的超声波缺陷测量数据。与坐标测量相关联的超声波缺陷测量提供了显著改进的信息，从而提供确定缺陷相对于所选物体的表面的位置以及缺陷在物体内的最终位置。另外，从多个位置收集的数据可以被汇编，从而产生所选物体内的缺陷的地图。
在另一个实施方式中，PCMM1的坐标获取构件50可以可选地包含超声波传感器55’以及非接触式扫描和检测部件70’，非接触式扫描和检测部件70’不一定需要与所选物体直接接触来获取几何数据。非接触式扫描装置70’可以包括非接触式坐标检测装置以在无直接物体接触的情况下获得几何数据。在一个实施方式中，非接触式扫描装置70’可以包括激光扫描仪。在一个实施方式中，非接触式扫描装置70’可以包括涡电流装置。在一个实施方式中，非接触式扫描装置70’可以包括X射线装置。在一个实施方式中，CMM可以利用双模式：依次利用非接触式扫描装置70’和超声波缺陷检测系统。在一个实施方式中，CMM可以首先采用扫描模式：其中非接触式扫描装置70’获得所需物体的表面的几何数据。接着，CMM可以采用缺陷检测模式：其中超声波缺陷检测系统测量在所选物体的表面下面的缺陷。在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统可以用来在缺陷检测模式期间测试所选物体的所选部分或全部。在一些实施方式中，这两个模式的顺序可以反过来。在一些实施方式中，双模式程序可以包含用于另外的数据获取工具和方法的另外的模式。在一些实施方式中，每个模式都可以包括多于一个的用于测量所选物体的方法或工具。在一个实施方式中，超声波缺陷检测系统可以用来扫描所选物体的有关的所选部分，从而最小化花在扫描所选物体上的时间。这会提供将所选物体的有关的所选部分的超声波缺陷检测数据叠加在物体的全三维模型上的能力，从而提供有关缺陷的位置的附加的清楚性。
图9是包括缺陷400的所选物体300的剖视图。在一个实施方式中，具有超声波缺陷检测系统的CMM具有通过获取给定位置(由图9中的虚线示出的给定位置)处的给定读数来绘制两个或更多点的能力。这两个点可以包括根据由CMM提供的坐标测量的一个表面点310和根据CMM的超声波缺陷检测系统的一个缺陷点。在一个实施方式中，缺陷点可以为缺陷最靠近所选物体300的表面的部分，或者缺陷起始点410。在一些实施方式中，具有缺陷检测系统的CMM具有通过给定位置处的给定读数来绘制四个或更多个点的能力。这些点包括表面点310和上面讨论的缺陷起始点410，还有缺陷终止点420以及所选物体的相对表面320。在一个实施方式中，为了获得另外的点，超声波缺陷检测系统可以包含另外的特征，这些特征可以例如包括使用不同频率来测量介质中不同深度中的变化的能力。在另一个实施方式中，可以利用替代的超声波缺陷检测装置，所述超声波缺陷检测装置可以包括例如斜射超声波缺陷检测。在一个实施方式中，斜射超声波缺陷检测可以包含斜射束换能器。通过利用斜射束换能器，超声波缺陷检测系统可以检测和绘制上面讨论的四个或更多个点。在一些实施方式中，斜射束换能器可以与接触换能器结合使用以检测和绘制上面描述的四个或更多个点。在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统将能够提供上面描述的每个点的深度。因此，在一些实施方式中，系统将提供有关表面点310和缺陷起始点410之间的深度或距离的数据。在一些实施方式中，系统将提供有关缺陷400的厚度或者在缺陷起始点410和缺陷终止点420之间的距离的数据。在一些实施方式中，系统将提供有关从缺陷终止点420到所选物体300的相反表面320的距离的数据。在一些实施方式中，系统将能够测量给定位置处不同深度的多个缺陷。在一些实施方式中，系统可以提供有关每个缺陷400的缺陷起始点410和缺陷终止点420的数据。在一些实施方式中，系统可以提供所选物体300的给定位置处的厚度或者表面310和相反表面320之间的距离。
在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统可以包括电子器件模块。在一个实施方式中，电子器件模块与超声波传感器55’通信。在一些实施方式中，电子器件模块产生和接收由超声波传感器55’所利用的模拟信号以检测在所选物体的表面下面的缺陷。在一些实施方式中，电子器件模块也处理模拟信号并产生数字信号。在一些实施方式中，电子器件模块与超声波缺陷检测系统的其他部分通信。在一些实施方式中，电子器件模块可以与集线器通信。在一些实施方式中，电子器件模块可以与特征包90(见图4)通信。在一些实施方式中，电子器件模块可以与辅助装置通信，所述辅助装置可以包括例如计算机210(见图8)。
在一个实施方式中，电子器件模块靠近超声波传感器55’。在一个实施方式中，电子器件模块安装在PCMM1的坐标获取构件50上或其内。将电子器件模块放置在坐标获取构件50内的优点在于能够靠近换能器将超声波信号数字化。通过靠近换能器将超声波信号数字化，能够传输数字化信号穿过PCMM的内部线路，PCMM在其接头处具有滑环以提供无限旋转。如果没有靠近坐标获取构件将信号数字化，那么会需要沿PCMM外侧的单独缆线传输模拟超声波信号，该缆线会防止PCMM的无限旋转，并使使用者难于处理，因为该缆线可能接触正被测量的零件。传输原始模拟信号穿过内部缆线和穿过滑环是不利的，因为这可能干扰原始模拟信号并使该原始模拟信号具有噪声。在一些实施方式中，电子器件模块通过至少一个缆线与超声波传感器55’通信。在一些实施方式中，取代缆线，超声波缺陷检测系统可以利用无线技术用于系统的部分与其他系统之间的通信。在一些实施方式中，电子器件模块可以位于PCMM1的基座10附近。在一个实施方式中，将超声波传感器55’连接至电子器件模块的缆线可以沿所述多个刚性传送构件20的外部延伸。在另一个实施方式中，缆线可以在所述多个刚性传送构件20内延伸。在一个实施方式中，CMM可以包含附接构件以保持缆线并且防止在使用CMM期间卷曲或挤压缆线。
在一个实施方式中，CMM可以包含用户界面，所述用户界面可以包括例如计算机监视器220(参见图8)，以显示由CMM提供的数据。在一个实施方式中，用户界面可以被构建为显示由超声波缺陷检测系统提供的数据。在一个实施方式中，用户界面可以被包含在超声波缺陷检测系统的电子器件模块中。在另一个实施方式中，单独的用户控制装置可以包含用户界面。在一些实施方式中，用户界面可以包含在辅助装置中或显示在辅助装置上，所述辅助装置可以包括例如台式或膝上型计算机210。在一些实施方式中，所述辅助装置可以有线连接至CMM。在其他实施方式中，所述辅助装置可以通过无线连接与CMM通信。
在一个实施方式中，用户界面包含至少一个显示器以为使用者呈现由CMM收集的数据。在一个实施方式中，该显示器可以包括例如计算机监视器220。在一个实施方式中，至少一个显示器可以呈现在所选物体的表面下面的缺陷的图形表达。在一个实施方式中，该图形表达可以包括缺陷相对于表面的深度。在一个实施方式中，图形表达可以包括缺陷起始点的深度和缺陷终止点的深度。在一个实施方式中，图形表达可以包括从所选物体的表面到相反表面的距离，从而提供所选物体的正被测量的部分的厚度。在一个实施方式中，上面描述的深度可以以数字形式提供。在一个实施方式中，缺陷可以通过对比色表示在显示器上。在一个实施方式中，显示器可以图像化显示叠加在所选物体300上的缺陷400，如图9所示。在一个实施方式中，至少一个显示器可以呈现描绘了在所选物体的表面下面的缺陷的彩图。在一个实施方式中，不同颜色可以表示不同级别的材料密度。在一个实施方式中，不同颜色可以表示不同种类的缺陷，诸如气孔、裂缝、脱层等。在一个实施方式中，不同颜色可以表示不同厚度的缺陷。在其他实施方式中，不同颜色可以表示由其他赠送系统和数据获取装置提供的额外信息。
在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统可以利用特征包90用于其功能性的至少一部分(见图4)。在一个实施方式中，特征包90可以提供上面描述的电子器件模块的功能性。在另一个实施方式中，特征包90可以提供辅助装置的功能性。在另一个实施方式中，特征包90可以通过缆线与超声波传感器55’通信。在一个实施方式中，特征包90可以与电子装置模块结合使用并且与电子装置模块通信。在一个实施方式中，特征包90可以与辅助装置结合使用并且与辅助装置通信。在一个实施方式中，特征包90可以通过至少一个缆线连接至超声波传感器55’。在一个实施方式中，特征包90可以通过至少一个缆线连接至辅助装置。在一个实施方式中，特征包90可以通过无线连接连接至辅助装置。在一些实施方式中，特征包90可以包括数据处理装置。在一个实施方式中，特征包90产生和接收对超声波传感器55’而言必需的模拟信号并且接收来自超声波传感器55’的模拟信号，以便处理该信号并且提供与在所选物体的表面下面的缺陷有关的数字信号或数据。在一些实施方式中，特征包90可以包含超声波缺陷检测功能性以及其他功能性，所述其他功能性可以例如包括上面讨论的特征包90、数据存储装置、通信装置等的功能性。在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统可以包括对已有CMM的增加、升级或选择。在一些实施方式中，超声波缺陷检测系统可以包括特征包90。特征包90可以与超声波传感器55’结合而提供超声波缺陷检测系统的功能性和工作的至少一部分，以提供与在所选物体的表面下面的缺陷有关的信息。
在一些实施方式中，CMM能够每次执行多个测量。CMM可以同时或陆续利用多个数据获取装置。所述装置可以包括例如硬点和接触敏感触碰式探针、非接触式扫描或成像装置、激光扫描装置、应变测量装置等。
在一些实施方式中，具有超声波缺陷检测系统的CMM能够检测多个材料中的多个缺陷类型。在一个实施方式中，所述系统能够检测和测量复合材料内的脱层，所述复合材料可以例如包括玻璃纤维或碳纤维。在一个实施方式中，所述系统能够检测和测量铸件内的气孔。在一个实施方式中，所述系统能够检测和测量材料中的裂缝，所述材料可以例如包括黑色金属和有色金属。
在一些实施方式中，上面讨论的超声波缺陷检测系统可以被涡电流缺陷检测系统替代。在另一个实施方式中，超声波缺陷检测系统可以与涡电流缺陷检测系统结合工作。在另一个实施方式中，超声波缺陷检测系统可以被X射线缺陷检测系统替代。在另一个实施方式中，超声波缺陷检测系统可以与X射线缺陷检测系统结合工作。在另一个实施方式中，CMM可以利用超声波缺陷检测系统、涡电流缺陷检测系统和X射线缺陷检测系统的任意组合。
上面描述的多个装置、方法、过程和技术提供了实施本发明的多种方式。当然，应理解，不一定描述的所有目标或优点都可以根据文中描述的具体实施方式来实现。另外，虽然在一定的实施方式和实施例的背景下公开了本发明，但是本领域技术人员应理解，本发明超出了具体公开的实施方式延伸到了其他替代的实施方式和/或用途以及对所述具体公开的实施方式的明显修改以及等同。因此，本发明不应受文中的优选实施方式的具体公开内容的限制。

Claims (22)

1.一种缺陷检测系统，该缺陷检测系统包括：
坐标测量机，该坐标测量机具有基座、一个或多个传送构件、将所述一个或多个传送构件连接至所述基座的一个或多个铰接构件、以及位于远端的缺陷检测传感器，所述坐标测量机被配置为测量所述缺陷检测传感器的位置；以及
处理器，该处理器被配置为将由所述坐标测量机测量到的所述缺陷检测传感器的位置与由所述缺陷检测传感器检测到的数据关联起来。
2.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其中，所述处理器与所述坐标测量机集成在一起。
3.根据权利要求1所述的缺陷检测系统，其中，所述处理器与在所述坐标测量机外部的计算机集成在一起。
4.根据前述权利要求中任一项所述的缺陷检测系统，其中，所述缺陷检测传感器为超声波缺陷检测传感器。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的缺陷检测系统，其中，所述缺陷检测传感器包括超声波脉冲发生器和接收器。
6.根据前述权利要求中任一项所述的缺陷检测系统，其中，所述缺陷检测系统被配置为同时显示所述坐标测量机的结果和所述缺陷检测传感器的结果。
7.根据前述权利要求中任一项所述的缺陷检测系统，其中，所述缺陷检测系统被配置为将来自所述缺陷检测传感器的数据与来自所述坐标测量机的位置数据叠加。
8.根据前述权利要求中任一项所述的缺陷检测系统，其中，所述缺陷检测系统被配置为将来自所述缺陷检测传感器的结果显示为三维彩图。
9.根据权利要求4所述的缺陷检测系统，其中，所述缺陷检测系统还包括电子器件模块，该电子器件模块被配置为将来自所述缺陷检测传感器的超声波信号数字化，其中，所述电子器件模块位于所述缺陷检测传感器附近。
10.根据权利要求9所述的缺陷检测系统，其中，所述坐标测量机包括内部缆线，并且其中，数字化的所述超声波信号通过所述坐标测量机的所述内部缆线传输。
11.一种感测物体中的缺陷的方法，该方法包括：
将位于坐标测量机上的缺陷传感器抵靠物体而定位；
用所述缺陷传感器感测所述物体的特征；
用所述坐标测量机测量所述缺陷传感器的位置；以及
将所述缺陷传感器的位置与感测到的所述物体的特征关联起来。
12.根据权利要求11所述的方法，所述方法还包括：移动所述缺陷传感器至第二点；在所述第二点处用所述缺陷传感器感测所述物体的特征；用所述坐标测量机测量所述缺陷传感器的位置；以及将所述缺陷传感器在所述第二点的位置与在所述第二点的感测到的所述物体的特征关联起来。
13.一种感测物体中的缺陷的方法，该方法包括：
在多个位置将位于坐标测量机上的缺陷传感器抵靠所述物体而定位；
在所述多个位置中每个位置用所述缺陷传感器感测所述物体的特征；
在所述缺陷传感器的特征正在被感测的所述多个位置处，用所述坐标测量机测量所述缺陷传感器在的位置；以及
将所述缺陷传感器的位置与在所述多个位置感测到的特征关联起来。
14.根据权利要求13所述的方法，所述方法还包括生成由所述缺陷传感器感测的所述特征的三维图。
15.根据权利要求13和14中任一项所述的方法，所述方法还包括将测量到的所述缺陷传感器的位置与由所述缺陷传感器检测到的特征关联起来。
16.一种用坐标测量机测量数据的方法，该方法包括：
将所述坐标测量机的探针移动到第一探针位置；
用探针测量物体上的表面位置；以及
用所述坐标测量机测量所述表面位置下方的缺陷点。
17.一种用坐标测量机测量数据的方法，该方法包括：
将所述坐标测量机的探针移动到物体上的多个表面位置；
测量所述多个表面位置；以及
用所述坐标测量机测量所述多个表面位置中的每个表面位置下方的缺陷点。
18.根据权利要求17的方法，所述方法还包括将所述缺陷点与所述多个表面位置关联起来。
19.一种用坐标测量机测量数据的方法，该方法包括：
将所述坐标测量机的探针移动到物体上的多个表面位置；
测量所述多个表面位置；以及
在第一探针位置用所述坐标测量机的探针测量所述多个表面位置中的每个表面位置下方的缺陷起始点、缺陷终止点和所述物体的后表面。
20.根据权利要求19的方法，所述方法还包括将所述缺陷起始点、所述缺陷终止点和所述后表面与由所述坐标测量机测量到的所述多个表面位置关联起来。
21.一种用坐标测量机测量数据的方法，该方法包括：
将所述坐标测量机的非接触式激光扫描仪移动到第一探针位置；
用所述非接触式激光扫描仪测量物体上的表面位置；以及
用所述坐标测量机测量所述表面位置下方的缺陷点。
22.根据权利要求21的方法，其中，能够在表面的激光扫描和表面下的缺陷检测之间进行切换。
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Granted publication date: 20181120

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