CN105177704B - 一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，包括：长晶炉壳体和称重真空密闭箱，所述称重真空密闭箱设置在长晶炉壳体的上方，所述称重真空密闭箱与长晶炉壳体之间设置有波纹管进行密封连接，所述称重真空密闭箱内设置有一个步进电机，所述步进电机的输出端连接设置有一根穿过波纹管而延伸至长晶炉壳体内的籽晶杆，所述长晶炉壳体内设置有与籽晶杆相连接的晶体，所述波纹管内设置有数个气压支撑杆。通过上述方式，本发明所述的稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，利用数个气压支撑杆对籽晶杆进行防护，减少了波纹管上下伸缩时的晃动，避免了波纹管与籽晶杆的接触，提高了晶体称重精度和生产质量。
Description
技术领域
本发明涉及长晶炉领域，特别是涉及一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置。
背景技术
由于波纹管容易晃动，长晶炉在正常抽真空、行走、填充高压时，波纹管会扭曲碰触到籽晶竿，导致称重信号有大幅偏差，影响晶体的生长，导致晶体表面平整度差，也就是晶体会有扭曲、波纹等现象发生，这现象会形成晶体内部品质不良，包裹物较多等问题。
波纹管的伸缩防护效果好，但是抗变形和晃动的能力差，需要进行提高稳定性的改进。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，提高波纹管的稳定性，避免其与籽晶杆的接触。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，包括：长晶炉壳体和称重真空密闭箱，所述称重真空密闭箱设置在长晶炉壳体的上方，所述称重真空密闭箱与长晶炉壳体之间设置有波纹管进行密封连接，所述称重真空密闭箱内设置有一个步进电机，所述步进电机的输出端连接设置有一根穿过波纹管而延伸至长晶炉壳体内的籽晶杆，所述长晶炉壳体内设置有与籽晶杆相连接的晶体，所述波纹管内设置有数个气压支撑杆，所述数个气压支撑杆的底部分别与长晶炉壳体相连接，所述数个气压支撑杆的伸缩杆端部分别与称重真空密闭箱相连接。
在本发明一个较佳实施例中，所述长晶炉壳体上方设置有一个竖直移动装置，所述称重真空密闭箱的背部与竖直移动装置相连接进行上下移动。
在本发明一个较佳实施例中，所述数个气压支撑杆环形陈列分布在籽晶杆的四周。
在本发明一个较佳实施例中，所述称重真空密闭箱内设置有荷重元，所述步进电机连接设置在荷重元下方。
在本发明一个较佳实施例中，所述数个气压支撑杆分别包含一个储气筒。
本发明的有益效果是：本发明指出的一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，利用数个气压支撑杆对籽晶杆进行防护，减少了波纹管上下伸缩时的晃动，避免了波纹管与籽晶杆的接触，提高了晶体称重精度和生产质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1是本发明一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置一较佳实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明实施例包括：
一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，包括：长晶炉壳体1和称重真空密闭箱3，所述称重真空密闭箱3设置在长晶炉壳体1的上方，所述称重真空密闭箱3与长晶炉壳体3之间设置有波纹管5进行密封连接，所述称重真空密闭箱3内设置有一个步进电机32，所述步进电机32的输出端连接设置有一根穿过波纹管5而延伸至长晶炉壳体1内的籽晶杆4，所述长晶炉壳体1内设置有与籽晶杆4相连接的晶体7，晶体7随籽晶杆4进行转动和上下移动。
所述波纹管5内设置有数个气压支撑杆6，所述数个气压支撑杆6的底部分别与长晶炉壳体1相连接，所述数个气压支撑杆6的伸缩杆62端部分别与称重真空密闭箱3相连接。伸缩杆62随称重真空密闭箱3的移动而上下伸缩，所述数个气压支撑杆6分别包含一个储气筒61，进行空气的存储和释放。
所述长晶炉壳体1上方设置有一个竖直移动装置2，所述称重真空密闭箱3的背部与竖直移动装置2相连接进行上下移动，带动了籽晶杆4的上下移动以及波纹管5的伸缩保护。
所述数个气压支撑杆6环形陈列分布在籽晶杆4的四周，对籽晶杆4进行保护，对波纹管5进行支撑，减少波纹管5的晃动，杜绝了波纹管5对籽晶杆4的接触和不良影响。
所述称重真空密闭箱3内设置有荷重元31，所述步进电机32连接设置在荷重元31下方。利用荷重元31对步进电机32、籽晶杆4和晶体7进行称重，杜绝了波纹管5对籽晶杆4的影响，提高了称重的精度，有利于提高晶体7生产品质。
综上所述，本发明指出的一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，避免了波纹管5对籽晶杆4的接触，提高了晶体的移动稳定性，称重精度高，晶体的生长效果好。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (5)
1.一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，包括：长晶炉壳体和称重真空密闭箱，其特征在于，所述称重真空密闭箱设置在长晶炉壳体的上方，所述称重真空密闭箱与长晶炉壳体之间设置有波纹管进行密封连接，所述称重真空密闭箱内设置有一个步进电机，所述步进电机的输出端连接设置有一根穿过波纹管而延伸至长晶炉壳体内的籽晶杆，所述长晶炉壳体内设置有与籽晶杆相连接的晶体，所述波纹管内设置有数个气压支撑杆，所述数个气压支撑杆的底部分别与长晶炉壳体相连接，所述数个气压支撑杆的伸缩杆端部分别与称重真空密闭箱相连接。
2.根据权利要求1所述的稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，其特征在于，所述长晶炉壳体上方设置有一个竖直移动装置，所述称重真空密闭箱的背部与竖直移动装置相连接进行上下移动。
3.根据权利要求1所述的稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，其特征在于，所述数个气压支撑杆环形陈列分布在籽晶杆的四周。
4.根据权利要求1所述的稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，其特征在于，所述称重真空密闭箱内设置有荷重元，所述步进电机连接设置在荷重元下方。
5.根据权利要求1所述的稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，其特征在于，所述数个气压支撑杆分别包含一个储气筒。
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