CN202881451U - 一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室 - Google Patents

一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，极大地提高了重量测量精度，设计方便，造价低。

Description

一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石晶体生长炉的加工制造，尤其是一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室。 
背景技术
目前蓝宝石晶体生长炉多采用俄罗斯技术，俄罗斯技术的缺陷在于使用压电传感器，靠籽晶杆对传感器产生剪切力来产生重量的电信号，其晶体生长炉波纹管置于称重传感器下端，在晶体升降和旋转的过程中，波纹管的移动会产生不稳定信号，给称重值造成很大的干扰。对于初学操作者来说，对于晶体生长的判断比较困难，同时对晶体的生长也不利。 
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，用于提高重量测量的精度。 
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，其特征在于，所述籽晶旋转伺服机构固定于波纹管的上端，所述波纹管上端连接于籽晶升降伺服机构上，下端连接于上炉盖上的籽晶通孔上，所述称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管内，所述称重系统包括2只压力传感器，承重托盘和支撑盘，所述冷却系统为一金属换热板，悬挂于支撑盘的下面。 
上述一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，其特征在于，所述支撑盘与波纹管上端固定连接，其上放置有压力传感器，所述压力传感器上放置有承重托盘，所述承重托盘下面固定有籽晶杆。 
本实用新型的优点在于：极大地提高了重量测量精度，设计方便，造价低。 
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。 
图1是蓝宝石晶体生长炉整体示意图。 
图2是籽晶腔室示意图。 
具体实施方式
图1和图2所示，蓝宝石晶体生长炉包括籽晶腔室1，炉体2和上炉盖16。籽晶腔室1包括籽晶升降伺服机构3，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆8，腔室冷却系统，称重系统和波纹管10。籽晶旋转伺服机构固定于波纹管上端14，波纹管上端14连接于籽晶升降伺服机构3上，下端连接于上炉盖16上的籽晶通孔9上，称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管10内，称重系统包括2只压力传感器12，承重托盘4和支撑盘5，支撑盘5与波纹管上端14固定连接，其上放置有压力传感器12，压力传感器12上放置有承重托盘4，承重托盘4上固定有籽晶杆8，籽晶杆8通过上炉盖16上的籽晶通孔9。冷却系统为一金属换热板11，悬挂于支撑盘5的下面，由金属换热板水管13连接到波纹管上端14上。整个波纹管10靠籽晶升降伺服机构3带动上下移动。 

Claims (2)

1.一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，其特征在于，所述籽晶旋转伺服机构固定于波纹管的上端，所述波纹管上端连接于籽晶升降伺服机构上，下端连接于上炉盖上的籽晶通孔上，所述称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管内，所述称重系统包括2只压力传感器，承重托盘和支撑盘，所述冷却系统为一金属换热板，悬挂于支撑盘的下面。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，其特征在于，所述支撑盘与波纹管上端固定连接，其上放置有压力传感器，所述压力传感器上放置有承重托盘，所述承重托盘下端固定有籽晶杆。
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