CN102953121A - 一种新型蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，极大地提高了重量测量精度，设计方便，造价低。
Description
技术领域
本发明涉及蓝宝石晶体生长炉的加工制造，尤其是一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室。
背景技术
目前蓝宝石晶体生长炉多采用俄罗斯技术，俄罗斯技术的缺陷在于使用压电传感器，靠籽晶杆对传感器产生剪切力来产生重量的电信号，其晶体生长炉波纹管置于称重传感器下端，在晶体升降和旋转的过程中，波纹管的移动会产生不稳定信号，给称重值造成很大的干扰。对于初学操作者来说，对于晶体生长的判断比较困难，同时对晶体的生长也不利。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，用于提高重量测量的精度。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案为：一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，其特征在于，所述籽晶旋转伺服机构固定于波纹管的上端，所述波纹管上端连接于籽晶升降伺服机构上，下端连接于上炉盖上的籽晶通孔上，所述称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管内，所述称重系统包括2只压力传感器，承重托盘和支撑盘，所述冷却系统为一金属换热板，悬挂于支撑盘的下面。
上述一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，其特征在于，所述支撑盘与波纹管上端固定连接，其上放置有压力传感器，所述压力传感器上放置有承重托盘，所述承重托盘下面固定有籽晶杆。
本发明的优点在于：极大地提高了重量测量精度，设计方便，造价低。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1是蓝宝石晶体生长炉整体示意图。
图2是籽晶腔室示意图。
具体实施方式
图1和图2所示，蓝宝石晶体生长炉包括籽晶腔室1，炉体2和上炉盖16。籽晶腔室1包括籽晶升降伺服机构3，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆8，腔室冷却系统，称重系统和波纹管10。籽晶旋转伺服机构固定于波纹管上端14，波纹管上端14连接于籽晶升降伺服机构3上，下端连接于上炉盖16上的籽晶通孔9上，称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管10内，称重系统包括2只压力传感器12，承重托盘4和支撑盘5，支撑盘5与波纹管上端14固定连接，其上放置有压力传感器12，压力传感器12上放置有承重托盘4，承重托盘4上固定有籽晶杆8，籽晶杆8通过上炉盖16上的籽晶通孔9。冷却系统为一金属换热板11，悬挂于支撑盘5的下面，由金属换热板水管13连接到波纹管上端14上。整个波纹管10靠籽晶升降伺服机构3带动上下移动。
Claims (2)
1.一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，包括籽晶升降伺服机构，籽晶旋转伺服机构，籽晶杆，腔室冷却系统，称重系统和波纹管，其特征在于，所述籽晶旋转伺服机构固定于波纹管的上端，所述波纹管上端连接于籽晶升降伺服机构上，下端连接于上炉盖上的籽晶通孔上，所述称重系统和腔室冷却系统密封于波纹管内，所述称重系统包括2只压力传感器，承重托盘和支撑盘，所述冷却系统为一金属换热板，悬挂于支撑盘的下面。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长炉籽晶腔室，其特征在于，所述支撑盘与波纹管上端固定连接，其上放置有压力传感器，所述压力传感器上放置有承重托盘，所述承重托盘下端固定有籽晶杆。
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2012
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| C10 | Entry into substantive examination | ||
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| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130306 |