CN105116488B - 一种光功率分束器 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种光功率分束器，包括衬底以及在衬底上自下而上依次排列的包层、下导波层和上导波层；上导波层为图形层，沿水平面上向右方向依次刻蚀有输入波导、准直透镜、光束整形透镜组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器、第二相位补偿结构和输出波导阵列；其中，准直透镜、光束整形透镜组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器和第二相位补偿结构的厚度相同；输入波导和输出波导阵列的厚度相同；本发明提供的光功率分束器通过对入射光从空域到频域，从频域到空域的两次傅里叶变换，且在频域进行乘法运算，对空间频谱进行调制，获取多路输出；具有器件尺寸小、分路数多的特点。

Description

一种光功率分束器
技术领域
本发明属于集成光子器件领域，更具体地，涉及一种超多路的光功率分束器。
背景技术
光通信系统的发展促进了光器件的快速发展，在无源光网络(PON)系统中,光功率分束器(Splitter)具有不可替代地位。而超多路光功率分束器由于具有大量光功率输出通道，不仅可以降低光纤到户(FTTH)系统的建设成本，也可以用在全光正交频分复用系统、多路激光直写技术以及多通道的联合变换相关器中。
早期的光功率分束器采用光纤熔融拉锥技术，其优点是在分路数较少的情况下，熔融拉锥技术成本较低并满足光功率分路的性能需求；但是，当更复杂的FTTH结构要求更多路光功率分束时，基于熔融拉锥技术的光功率分束器性能降低、成本增高，器件的封装体积增加。
基于光波导技术的l×N光功率分束器是平面波导结构的一种基本应用，与传统功率分束器相比，尺寸小、集成度高，而且带宽宽、通道均匀性好；包括基于Y分支波导级联的光功率分束器和基于多模干涉效应(MMI)的光功率分束器。
基于Y分支波导级联的光功率分束器，对于单个Y分支波导而言，若分支角过大，则由于模式不匹配会引起较大的辐射损耗，因此分支角一般很小(＜2°)，就造成了器件的长度过长、工艺集成难度大；随着分数通道加倍，不断级联，器件的长度、损耗及非均匀性不断变大。
基于多模干涉(MMI)效应的光功率分束器对偏振不敏感、结构紧凑且制 作简便,但MMI多模区宽度越宽，长度越长，工艺容差性越差,器件的长度，损耗及非均匀性不断变大，因此MMI光功率分束器不适合大通道数器件的设计。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明提供了一种光功率分束器，其目的在于，在更小尺寸的器件上实现大通道数光功率分束；
为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种光功率分束器，包括衬底以及在所述衬底上自下而上依次排列的包层、下导波层和上导波层；
其中，衬底采用单晶硅、磷化铟、砷化镓、蓝宝石或碳化硅等可形成平面光波导的介质材料；
包层沿Y方向的厚度为0.4微米～0.6微米，采用二氧化硅、磷化铟、铟镓砷磷、砷化镓、铝镓砷、氮化镓，铟镓氮或铝镓氮等可形成平面光波导的介质材料；
上导波层和下导波层均采用非晶硅、铟镓砷磷、砷化镓、氮化镓、铟镓氮或铝镓氮等可形成平面光波导的介质材料；下导波层沿Y方向的厚度为0.230微米～0.27微米；Y方向是指与水平面垂直的方向；
其中，上导波层为图形层，在上导波层上沿Z方向依次刻蚀有输入波导、准直透镜、光束整形透镜组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器、第二相位补偿结构)和输出波导阵列；其中，Z方向是指沿水平面向右方向；
其中，准直透镜、光束整形透镜组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器和第二相位补偿结构的的厚度相同；输入波导与输出波导阵列的厚度相同；
其中，输入波导的右侧输出端面与准直透镜的左侧输入端面紧密接触,以获得良好的准直效果，在准直透镜的输出端得到平面波；准直透镜与光 束整形透镜组之间、光束整形透镜组与相移光栅之间、相移光栅与傅里叶变换透镜之间、傅里叶变换透镜与第一相位补偿结构之间、第一相位补偿结构与直流分量相移器之间、直流分量相移器与第二相位补偿结构之间和第二相位补偿结构与输出波导阵列之间均保持间距；各组件间保持间距，使得光的衍射过程近似为标量波处理。
工作时，输入波导接收入射光束，经准直透镜实现光准直，在准直透镜焦平面得到平行光；光束整形透镜组将平行光的光功率空间均匀化，使得能量空间均匀分布，获取均匀平面波；相移光栅对均匀平面波进行周期性相位调制，获取周期性的场分布；傅里叶变换透镜对该场分布进行从空域到频域的傅里叶变换，将基频分量与交流分量空间分离，在其后焦平面得到输入光场的空间频谱；第一相位补偿结构对傅里叶变换透镜出射的各阶平行光束做空间傅里叶变换处理，在空间频谱面得到光栅的空间频谱；直流分量相移器在频域对基频分量进行固定相移，起空间滤波的作用；第二相位补偿结构辅助实现第二次傅里叶变换，第二次傅里叶变换对所有分量进行从频域到空域的反傅里叶变换，将所有交流分量和直流分量再次在空间叠加到一起，获取周期性的输出场分布；在每个周期中，部分区域场强得到加强，其余区域场强抵消为零；相移光栅的周期数为N，实现N路光功率分束。
优选的，光束整形透镜包括沿Z方向从左至右排列的一个凹透镜和一个凸透镜；凹透镜与凸透镜之间保持间距，凹透镜近准直透镜设置，凸透镜近相移光栅设置。
优选的，准直透镜的右侧输出端面与光束整形透镜组的凹透镜的左侧输入端面之间具有10微米～50微米的间距；光束整形透镜组的凸透镜的右侧输出端面与相移光栅的左侧输入端面之间具有5微米～20微米的间距；傅里叶变换透镜的左侧输入端面与相移光栅的右侧输出端面与之间具有10微米～50微米的间距；组件之间的间距在该范围内取值，在实现功能的同 时使得器件更加紧凑，减小器件体积，有利于光电集成；间距过小，则光的衍射过程不能近似为标量波进行处理；间距过大使得器件尺寸过大；
傅里叶变换透镜的右侧输出端面与第一相位补偿结构的左侧输入端面之间的间距为4280微米～4320微米；根据傅里叶变换透镜的焦距f确定。
第一相位补偿结构的右侧输出端面与直流分量相移器的左侧输入端面之间的间距为9微米～11微米；直流分量相移器的右侧输出端面与第二相位补偿结构的左侧输入端面之间的间距为9微米～11微米；间距过大则会增大器件尺寸；间距过小，则光的衍射过程不能近似为标量波进行处理。
第二相位补偿结构的右侧输出端面与输出波导阵列的左侧输入端面之间的间距为4280微米～4320微米；根据傅里叶变换透镜的焦距f获取。
优选的，傅里叶变换透镜是由两段相同的圆弧围成的扁平柱体；沿X方向宽度为1100微米～1200微米，圆弧半径R为1230微米～1250微米；沿Y方向厚度为0.37微米～0.4微米；
傅里叶变换透镜沿X方向的宽度根据相移光栅的尺寸来确定；由于相移光栅的周期数目N决定了光功率分束器的分路数N，每一个周期在X方向尺寸决定了光功率分束器出射的分束光束之间的间距；如果间距过大则器件尺寸过大，如果间距过小则引起各通道之间的耦合，使器件的性能劣化；
上述圆弧半径R根据傅里叶变换透镜焦距f决定，R＝2(nH/nL-1)f；傅里叶变换透镜焦距f为4400微米～4500微米,nH为透镜内的等效折射率值(即上导波层、下导波层、包层和衬底总的等效折射率)nL为背景材料系(包括下导波层、包层和衬底)的有效折射率值；
沿Y方向厚度根据有效折射率法(Effective Index Method)或者模式求解法(Mode solver)获取,并保留50纳米的制作容差；其中，X方向是指水平面上与Z方向垂直的方向。
优选的，上导波层的厚度为0.37微米～0.4微米。
优选的，直流分量相移器为长方体，沿X方向宽度350微米，覆盖住整个0阶光束，沿Z方向长度为3.8微米，根据引入的相位延迟值确定；沿Y方向的厚度为0.3微米～0.4微米，根据有效折射率法或者模式求解获取,并保留50纳米的制作容差。
本发明提供的光功率分束器，采用相干光在平面光波导的横向干涉原理，通过调整上导波层的厚度来调整各组件的有效折射率；根据各个组件的轮廓及有效折射率，调整各区域的相位延迟；本发明提供的光功率分束器，通过傅里叶变换透镜和第一相位补偿结构完成从空域到频域，通过傅里叶变换透镜和第二相位补偿结构完成从频域到空域的两次傅里叶变换，并由直流分量相移器在频域进行相应的乘法运算，对空间频谱进行调制，获取多路输出。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，能够取得下列有益效果：
(1)本发明提供的光功率分束器，随着通道数增加，仅侧向尺寸(沿X方向)成倍数增加，轴向尺寸(沿Z方向)基本不变，器件长度不随通道数的增加而增加；而现有技术里的光功率分束器，通道数目成倍数增加，器件的侧向尺寸和轴向尺寸均成倍数的增加；因此本发明提供的光功率分束器，可以在更小的器件尺寸上实现更大的分路数目；且随着分路数的增加，插入损耗及均匀性等性能相对变化不大；
(2)本发明提供的光功率分束器，基于平面光波导技术，可由平面波导技术的标准光刻及刻蚀工艺制作，由任何能够形成平面光波导的介质材料实现，与现有制作工艺兼容；另一方面，减小了器件尺寸，便于集成；
(3)本发明提供的光功率分束器，可以实现128路、256路甚至更多路的光功率分束；而现有的波导光功率分束器一般能实现64路的光功率分束；相比之下，本发明提供的光功率分束器，在分路数上具有明显优势。
附图说明
图1是本发明实施例1提供的光功率分束器的俯视图；
图2是本发明实施例1提供的光功率分束器的剖视图；
图3是本发明实施例1提供的光功率分束器里准直透镜俯视图；
图4是本发明实施例1提供的光功率分束器里光束整形透镜组俯视图；
图5是本发明实施例1提供的光功率分束器里傅里叶变换透镜俯视图；
图6是本发明实施例1提供的光功率分束器里相移光栅俯视图；
图7是本发明实施例1提供的光功率分束器里第一相位补偿结构俯视图；
图8是本发明实施例1提供的光功率分束器输出的光场分布图；
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：1-输入波导，2-准直透镜，3-光束整形透镜组，4-相移光栅，5-傅里叶变换透镜，6-第一相位补偿结构，7-直流分量相移器，8-第二相位补偿结构，9-输出波导阵列，10-上导波层，11-下导波层，12-包层，13-衬底。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
本发明提供的光功率分路器，包括衬底以及在所述衬底上自下而上依次排列的包层、下导波层和上导波层；
其中，上导波层为图形层，在图形层中通过刻蚀形成透镜、光栅结构；具体的，沿Z方向依次刻蚀有输入波导、准直透镜、光束整形透镜组、相移光栅、傅里叶变换透镜、第一相位补偿结构、直流分量相移器、第二相位补偿结构和输出波导阵列；其中，Z方向是指水平面上向右方向；
上导波层中准直透镜、光束整形透镜组、傅里叶变换透镜、相移光栅、 两个相位补偿结构和直流分量相移器的厚度相同，输入波导和输出波导阵列的厚度相同。
以下结合图1与实施例1具体阐述本发明提供的光功率分束器；实施例1提供的光功率分束器，包括衬底13、包层12、下导波层11、上导波层10；包层12、下导波层11和上导波层10在衬底13上自下而上依次生长；其中，衬底13采用晶体硅，包层12采用二氧化硅，下导波层11和上导波层10均采用非晶硅；
其中，上导波层包括沿Z方向依次排列的输入波导1、准直透镜2、光束整形透镜组3、相移光栅4、傅里叶变换透镜5、第一相位补偿结构6、直流分量相移器7、第二相位补偿结构8和输出波导阵列9；
其中，输入波导1与输出波导阵列9均为水平截面呈矩形的长方体，两者的顶端面在同一水平面上；256个输出波导等间隔的排列在一个弧面上形成输出波导阵列9；各输出波导尺寸为：X方向宽度2微米，Y方向高度0.03微米，Z方向长度为10微米；
其中，准直透镜2、光束整形透镜组3、相移光栅4、傅里叶变换透镜5、第一相位补偿结构6和直流分量相移器7的顶端面在同一水平面上；
如图1中所示意的，上导波层中，输入波导1的右侧输出端面和准直透镜2的左侧输入端面紧密接触；光束整形透镜组3包括沿Z方向从左至右排列的一个凹透镜和一个凸透镜，准直透镜2的右侧输出端面与光束整形透镜组3的凹透镜的左侧输入端面之间具有30微米的间距；光束整形透镜组3的凸透镜的右侧输出端面与相移光栅4的左侧输入端面之间具有12微米的间距；相移光栅4的右侧输出端面与傅里叶变换透镜5的左侧输入端面之间具有30微米的间距；傅里叶变换透镜5的右侧输出端面与第一相位补偿结构6的左侧输入端面之间的间距为微4300微米；第一相位补偿结构6的右侧输出端面与直流分量相移器7的左侧输入端面之间的间距为10微米；直流分量相移器7的右侧输出端面与第二相位补偿结构8的左侧输 入端面之间的间距为10微米；第二相位补偿结构8的右侧输出端面与输出波导阵列9的左侧输入端面之间的间距为4300微米；
图2所示，是实施例1提供的光功率分束器其沿Y-Z面的剖视图，其中，包层12沿Y方向的厚度为0.4微米；下导波层11沿Y方向的厚度为0.23微米；上导波层沿Y方向的厚度为0.4微米。
以下结合实施例1的工作原理进一步阐述本发明提供的光功率分束器：
实施例1提供的光功率分束器，输入波导1作为光功率分束器的发射端、输出波导阵列9作为接收端；将其余组件从功能上分为A、B两部分，其中，A部分包括准直透镜2和光束整形透镜组3；B部分包括相移光栅4、傅里叶变换透镜5、第一相位补偿结构6、直流分量相移器7和第二相位补偿结构8组成；
光在垂直方向上始终被由包层12和上导波层10、下导波层11所构成的平板波导结构导引；
A部分组件将入射光通过相位准直和光束整形得到功率均匀分布的平面波，即均匀平面波；输入光波导1的出射光准直透镜2，在X-Z平面得到近似平面波，平面波经过光束整形透镜组3后，功率分布均匀化，获取均匀平面波；
B部分组件构成是一个空间滤波系统，对入射光场完成从空域到频域，又从频域到空域的两次傅里叶变换，以及通过空间滤波器在频域进行空间滤波，即频域的乘法运算；
A部分输出的均匀平面波经过相移光栅4以及傅里叶变换透镜5后，出射光被分为各阶平行光束，第一相位补偿结构6对光束做空间傅里叶变换处理，在空间频谱面得到光栅的空间频谱(角谱)，并利用直流分量相移器7作为空间滤波器对直流分量产生一个1.5rad～1.7rad的固定相移，实现空间滤波；通过第二相位补偿结构8，在空间频谱面与输出波导阵列9间对空间频谱面的光场实现第二次空间傅里叶变换；由于通过空间滤波改变了 空间频谱，二次成像得到的已经不是原像，而是根据需求实现的能量周期性分布的像；
实施例1里，由输入波导1输入的光信号，经过光功率分束器后，经由输出波导阵列9输出256路能量均匀分布的光信号；输出波导阵列9里，每一个输出波导输出的光信号的光功率均为输入波导功率的1/256。
准直透镜2实现光准直，在其焦平面得到平行光；实施例1里的准直透镜2为扁平柱体；该扁平柱体由连为一体的两部分构成，其沿X-Z的剖面如图3所示；第一部分水平截面形状为矩形，其尺寸为：X方向宽度1100微米，Y方向高度0.35微米，Z方向长度1649微米；第二部分水平截面形状为半椭圆形，其长轴a和短轴b分别满足：
其中：nH为透镜内的等效折射率值(即上导波层、下导波层、包层和衬底总的等效折射率)，为3.3；nL为背景材料系(包括下导波层、包层和衬底)里的有效折射率值为2.9；nH和nL均可由有效折射率法或者模式求解得到；f为准直透镜的焦距值，实施例1里为2210微米。
光束整形透镜组3实现将光功率空间均匀化，使得能量空间均匀分布，获取均匀平面波；光束整形透镜由一个凹透镜和一个凸透镜构成，均为扁平柱体，其横截面如图4所示，沿X方向宽度均为1100微米。
相移光栅4对入射光进行空间相位调制，经过相移光栅后，相位分布呈周期性变化，每一个周期类似余弦分布；相移光栅5由256个完全相同的扁平柱体沿X方向依次紧密排列，如图6所示,每一个周期沿X方向宽度为4微米。
傅里叶变换透镜5的作用是进行空间傅里叶变换，在其后焦平面得到输入光场的空间频谱；傅里叶变换透镜5为扁平柱体，其横截面如图5所示，由两段相同的圆弧围成，圆弧半径为1241微米，沿X方向宽度为1100 微米，沿Y方向厚度为0.4微米。
第一相位补偿结构6、第二相位补偿结构7辅助进行空间傅里叶变换，得到接近理想的空间傅里叶变换；第一相位补偿结构6为横截面如图7所示的扁平柱体，将第一相位补偿结构水平翻转即可得到第二相位补偿结构8；上下两个三角形作为波导棱镜对高阶光进行一次相位调制，让其偏转为沿水平方向传播；结构凸起的三个圆弧和凹陷的三个圆弧用来将各阶光聚焦位置进行纠正，使之都聚焦在同一平面上。
直流分量相移器7为水平截面矩形的长方体，对基频分量进行固定相移，起到空间滤波的作用；其尺寸为：X方向宽度350微米，Z方向长度为3.8微米，沿Y方向的厚度为0.3微米～0.4微米；其中，Z方向为沿水平面向右方向；X方向为水平面上与Z方向垂直的方向；Y方向为与水平面垂直的方向。
以下是对实施例1提供的光功率分束器进行模拟仿真测试的结果：
输入光中心波长为1550nm，使用频域广角光束传输法(FD-WA-BPM)对器件进行仿真测量，输入光束经过实施例提供的光功率分束器后，输出的光场分布如图8，从图中可见，本实施例实现了光功率的256路均匀分束的功能，器件的工作带宽在1530nm～1570nm，在中心波长1550nm处，附加插入损耗为1dB，非均匀性为1.8dB。
实施例1提供的光功率分束器，在实现光功率的256路均匀分束功能的同时，光功率器件长度并未随通道数成倍数的增加而相应的成倍数增加，插入损耗及均匀性等性能也相对变化较小，在2.5微米*10微米的小尺寸器件上实现了更大的分路数目。
实施例2～实施例7提供的光功率分束器，其结构与实施例1的光功率分束器相同，区别在于参数设置，具体如以下列表1和表2所列；
表1实施例2～实施例7参数列表1
表2实施例2～实施例7参数列表2
上述列举的7个实施例所提供的光功率分束器，各实施例的结构相同，区别在于组件间的间距；而各组件间的间距，只与器件的最终尺寸相关；实施例提供的光功率分束器，均可实现对输入光束的256路均匀分束；各组件之间的间距在一定范围内选取，对分束后输出的光束的均匀性及插入损耗没有影响。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种光功率分束器，其特征在于，包括衬底(13)以及在所述衬底(13)上自下而上依次排列的包层(12)、下导波层(11)和上导波层(10)；
所述上导波层(10)为图形层，沿Z方向依次刻蚀有输入波导(1)、准直透镜(2)、光束整形透镜组(3)、相移光栅(4)、傅里叶变换透镜(5)、第一相位补偿结构(6)、直流分量相移器(7)、第二相位补偿结构(8)和输出波导阵列(9)；所述Z方向是指沿水平面向右方向；
所述准直透镜(2)、光束整形透镜组(3)、相移光栅(4)、傅里叶变换透镜(5)、第一相位补偿结构(6)、直流分量相移器(7)和第二相位补偿结构(8)的厚度相同；所述输入波导(1)与输出波导阵列(9)的厚度相同；
所述输入波导(1)的右侧输出端面与准直透镜(2)的左侧输入端面紧密接触；所述准直透镜(2)与光束整形透镜组(3)之间、光束整形透镜组(3)与相移光栅(4)之间、相移光栅(4)与傅里叶变换透镜(5)之间、傅里叶变换透镜(5)与第一相位补偿结构(6)之间、第一相位补偿结构(6)与直流分量相移器(7)之间、直流分量相移器(7)与第二相位补偿结构(8)之间和第二相位补偿结构(8)与输出波导阵列(9)之间均保持间距。
2.如权利要求1所述的光功率分束器，其特征在于，所述输入波导(1)接收入射光束，经准直透镜(2)实现光准直，在准直透镜焦平面得到平行光；光束整形透镜组(3)将所述平行光的光功率空间均匀化，获取均匀平面波；相移光栅(4)对所述均匀平面波进行周期性相位调制，获取周期性的场分布；傅里叶变换透镜(5)对所述场分布进行从空域到频域的傅里叶变换，将基频分量与交流分量空间分离，在其后焦平面得到所述场分布的空间频谱；第一相位补偿结构(6)对傅里叶变换透镜(5)出射的各阶平行光束做空间傅里叶变换处理，在空间频谱面得到光栅的空间频谱；直流分量相移器(7)作为空间滤波器对基频分量进行固定相移；第二相位补偿结构(8)对所有分量进行从频域到空域的反傅里叶变换，并在空间叠加，获取周期性的输出场分布；在各周期中，部分区域场强得到加强，其余区域场强抵消为零；相移光栅(4)的周期数为N，实现N路光功率分束，N路光束经输出波导阵列(9)输出。
3.如权利要求1或2所述的光功率分束器，其特征在于，所述光束整形透镜组(3)包括沿Z方向从左至右排列的一个凹透镜和一个凸透镜；所述凹透镜与凸透镜之间保持间距，凹透镜近准直透镜(2)设置，凸透镜近相移光栅(4)设置。
4.如权利要求3所述的光功率分束器，其特征在于，所述准直透镜(2)的右侧输出端面与光束整形透镜组(3)的凹透镜的左侧输入端面之间具有10微米～50微米的间距；
所述光束整形透镜组(3)的凸透镜的右侧输出端面与相移光栅(4)的左侧输入端面之间具有5微米～20微米的间距；
所述傅里叶变换透镜(5)的左侧输入端面与相移光栅(4)的右侧输出端面与之间具有10微米～50微米的间距；
所述傅里叶变换透镜(5)的右侧输出端面与第一相位补偿结构(6)的左侧输入端面之间的间距为4280微米～4320微米；
所述第一相位补偿结构(6)的右侧输出端面与直流分量相移器(7)的左侧输入端面之间的间距为9微米～11微米；
所述直流分量相移器(7)的右侧输出端面与第二相位补偿结构(8)的左侧输入端面之间的间距为9微米～11微米；
所述第二相位补偿结构(8)的右侧输出端面与输出波导阵列(9)的左侧输入端面之间的间距为4280微米～4320微米。
5.如权利要求1或2所述的光功率分束器，其特征在于，所述傅里叶变换透镜(5)是由两段相同的圆弧围成的扁平柱体；其沿X方向宽度为1100微米～1200微米，圆弧半径为1230微米～1250微米，沿Y方向厚度为0.37微米～0.4微米；所述X方向是指水平面上与Z轴垂直的方向，Y方向是指与水平面垂直的方向。
6.如权利要求1所述的光功率分束器，其特征在于，所述上导波层(10)的厚度为0.37微米～0.4微米。
7.如权利要求1或2所述的光功率分束器，其特征在于，所述直流分量相移器(7)为长方体，沿X方向宽度350微米，沿Z方向长度为3.8微米；沿Y方向的厚度为0.3微米～0.4微米。
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