CN105036141B - 一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法,属于多晶硅行业氯硅烷废气资源化领域。本发明所述方法以氯硅烷废气与水蒸汽发生反应,反应产物经气固分离获得纳米二氧化硅,气固分离出来的气体经过冷却,绝大部分水蒸汽冷凝下来,并吸收了部分氯化氢,经过气液分离后,剩余气体通过盐酸和工业水的淋洗,获得高浓度盐酸。本发明以水蒸汽与氯硅烷废气发生气汽水解反应,可以获得纳米二氧化硅,用工业水和盐酸淋洗气固分离尾气,获得浓盐酸。本发明主要以水蒸汽作为混合氯硅烷废气水解反应物,高浓度盐酸作为吸收剂,减少杂质元素带入,保证二氧化硅和浓盐酸的质量,本发明既实现了氯硅烷废气的无害化处置,又实现了废气中硅和氯元素的资源化。
Description
技术领域
本发明涉及一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法,属于多晶硅行业氯硅烷废气资源化领域。
背景技术
由于光伏产业的迅猛发展,带动了多晶硅产业的发展,国内多晶硅生产工艺主要采用三氯氢硅还原法,由于技术不成熟,不可避免的产生了氯硅烷废气。
氯硅烷废气的主要来源:三氯氢硅的合成工序、三氯氢硅的精馏提纯工序、三氯氢硅的还原工序、CDI工艺。
氯硅烷废气的主要成分:SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2、HCl、H2、N2。
现阶段氯硅烷废气处理的主要方式是碱液淋洗(NaOH溶液或者Ca(OH)2溶液),就是氯硅烷废气进入碱液淋洗塔被碱液吸收,尾气通过安全液封罐达标排放,吸收液过滤产生的滤渣进渣库堆存,盐水输送到污水处理站脱盐,实现氯硅烷废气的无害化。产生废渣主要成分是NaCl或CaCl2、Na2SiO3或CaSiO3、SiO2,产生废渣为混合物,各成分不易分离,易形成二次污染,也造成了资源的浪费。
CN101700466A改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺,该发明以石灰乳作为淋洗剂,pH>8时淋洗剂循环吸收,pH≤8时补充10~30%石灰乳,反应产物主要是CaCl2、CaSiO3、SiO2,反应产物较难分离,未能资源化利用。
CN102989300A改良西门子生产多晶硅的废气淋洗处理工艺及设备,该发明以10~15%氢氧化钠溶液作为吸收剂,反应产物主要是NaCl、Na2SiO3、SiO2,过滤后获得滤渣成分较复杂,不易分离,只能废渣堆存。
CN102500213B一种多晶硅生产中废气废液处理方法,该发明以Ca(OH)2溶液作为吸收剂,反应产物主要为CaCl2、CaSiO3、SiO2,过滤后蒸发结晶后获得CaCl2资源化利用,而过滤后的滤渣CaSiO3、SiO2,还含有大量的CaCl2留在滤渣中,不易去除干净,资源化利用价值不大。
CN103505996A一种多晶硅行业废气水洗处理方法及装置,该发明以10~30%的NaOH溶液作为吸收剂,反应产物主要为NaCl和Na2SiO3,蒸发结晶后获得固体是混合物,难以纯化,资源化利用价值不大。
发明内容
传统氯硅烷废气处理方法仅实现无害化处置,本发明提供一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法,采用氯硅烷废气和水蒸汽接触反应,获得二氧化硅颗粒较细,可达到纳米级,对气固分离尾气中的HCl用工业水和盐酸吸收,获得浓盐酸,且整个过程仅引入水,无产品不需要的元素,保证二氧化硅产品和浓盐酸产品质量,本发明既实现了氯硅烷废气无害化处置,又实现了废气中硅和氯元素的资源化利用。
本发明所述一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法,包括以下步骤:
(1)气汽接触水解反应:将氯硅烷废气和水蒸汽同时通入气汽水解反应塔1,氯硅烷废气在充满水蒸汽的气汽水解反应塔1中水解,生成的二氧化硅固体随气流一起进入气固分离设备。
(2)气固分离:氯硅烷废气和水蒸汽水解产物进入气固分离器2,分离出固体颗粒为纳米二氧化硅。
(3)尾气冷却:气固分离器2出来的气体经过换热器I3和气液分离器4,获得浓盐酸进入吸收液接收槽5。
(4)氯化氢气体的吸收:气液分离器4分离出来的气体进入喷淋塔7被吸收,吸收液变成浓盐酸进入吸收液接收槽5,吸收液接收槽5中部分浓盐酸经过换热器II8后进入喷淋塔7循环喷淋,其余部分浓盐酸作为产品排出,工业水槽9中工业水输送到喷淋塔7顶部喷头进行喷淋,吸收残余氯化氢,吸收后的尾气进入尾气碱洗工序吸收后达标排放。
本发明所述氯硅烷废气主要成分是0.5~15%(质量百分比浓度,无特别说明,本发明均为质量百分比浓度)的SiCl4、10~40%的SiHCl3、5~20%的SiH2Cl2、5~10%的HCl、0.5~5%的H2、10~79%的N2。
优选的,本发明所述气汽水解反应塔1内温度控制在110~200℃,水蒸气温度高于100℃,反应放热所以采用常规保温。
优选的,本发明所述气固分离器2温度保持在100~200℃。
优选的,本发明换热器I3将气体物料温度降至30~50℃。
优选的,本发明所述部分浓盐酸用换热器II8冷却至25~35℃后循环淋洗。
所述浓盐酸产品浓度为28~31%,该产品可以作为盐酸解析的原料,以获得HCl气体回到三氯氢硅的合成工序,也可以浓盐酸产品的形式出售。
本发明的有益效果:
(1)本发明采用氯硅烷废气和水蒸汽接触发生水解反应,获得二氧化硅颗粒较细,可以达到纳米级,且获得的二氧化硅含水率较低,减轻后续产品干燥压力。
(2)本发明用淋洗的方式对气固分离尾气进行了吸收,以副产浓盐酸的方式回收氯,减少后续污水处理中碱的用量,减轻污水处理压力,降低废气处理成本。
(3)本发明以水蒸汽、工业水、盐酸作为反应物,有效减少其他元素引入,保证了二氧化硅和浓盐酸产品质量。
(4)本发明用氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产高浓度盐酸后,尾气达标排放,既实现了氯硅烷废气的无害化处置,又实现了废气中硅和氯资源化利用。
附图说明
图1是本发明的工艺流程示意图。
图中:1-气汽水解反应塔、2-气固分离器、3-换热器I、4-气液分离器、5-吸收液接收槽、6-搅拌机、7-喷淋塔、8-换热器II,9-工业水槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明,但本发明的保护范围并不限于所述内容。
本发明实施例1~3所用的装置如图1所示,包括气汽水解反应塔1、气固分离器2、换热器I3、气液分离器4、吸收液接收槽5、搅拌机6、喷淋塔7、换热器II8,工业水槽9;气汽水解反应塔1与气固分离器2连通,气固分离器2与换热器I3连通,换热器I3与气液分离器4连通,气液分离器4与吸收液接收槽5和喷淋塔7连通,喷淋塔7与吸收液接收槽5连通,吸收液接收槽5通过泵与换热器II8连通,换热器II8与喷淋塔7连通,工业水槽9通过泵与喷淋塔7连通。
实施例1
本实施例所述一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法(如图1所示),包括以下步骤:
(1)气汽接触水解反应:将1000m3/h的氯硅烷废气(15%的SiCl4、20%的SiHCl3、10%的SiH2Cl2、5%的HCl、5%的H2、45%的N2)和145m3/h的水蒸汽(温度:120℃压力:2kgf/cm2)同时通入气汽水解反应塔1,氯硅烷废气在充满水蒸汽的气汽水解反应塔1中水解,生成的二氧化硅固体随气流一起进入气固分离设备,气汽水解反应塔1温度控制在130~140℃。
(2)气固分离:氯硅烷废气和水蒸汽水解产物进入气固分离器2,固液分离器2温度保持在130~140℃,分离出固体颗粒为(108Kg/h)纳米二氧化硅。
(3)尾气冷却:气固分离器2出来的气体在换热器I3中用冷却水冷却至30℃,再通过气液分离器4分离,获得浓盐酸进入吸收液接收槽5。
(4)氯化氢气体的吸收:气液分离器4分离出来的气体进入喷淋塔7被吸收,吸收液变成29%的浓盐酸进入吸收液接收槽5,吸收液接收槽5中部分浓盐酸经过换热器II8冷却至35℃后进入喷淋塔7循环喷淋,其余部分浓盐酸(775Kg/h)作为产品排出,工业水槽9中工业水以550kg/h的流量输送到喷淋塔7顶部喷头进行喷淋,吸收残余氯化氢,吸收后的尾气进入尾气碱洗工序吸收后达标排放。
本实施案例得到的二氧化硅粒径为48nm,盐酸获得盐酸浓度为29%,盐酸回收率为99%。
实施例2
本实施例所述一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法(如图1所示),包括以下步骤:
(1)气汽接触水解反应:将1000m3/h的氯硅烷废气(10%的SiCl4、30%的SiHCl3、15%的SiH2Cl2、5%的HCl、5%的H2、35%的N2)和186m3/h的水蒸汽(温度:140℃压力:4kgf/cm2)同时通入气汽水解反应塔1,氯硅烷废气在充满水蒸汽的气汽水解反应塔1中水解,生成的二氧化硅固体随气流一起进入气固分离设备,气汽水解反应塔1温度控制在150~160℃。
(2)气固分离:氯硅烷废气和水蒸汽水解产物进入气固分离器2,固液分离器2温度保持在150~160℃,分离出固体颗粒为(132Kg/h)纳米二氧化硅。
(3)尾气冷却:气固分离器2出来的气体在换热器I3冷却至35℃,在通过气液分离器4分离,获得浓盐酸进入吸收液接收槽5。
(4)氯化氢气体的吸收:气液分离器4分离出来的气体进入喷淋塔7被吸收,吸收液变成30%的浓盐酸进入吸收液接收槽5,吸收液接收槽5中部分浓盐酸经过换热器II8冷却至30℃后进入喷淋塔7循环喷淋,其余部分浓盐酸(843Kg/h)作为产品排出,工业水槽9中工业水以590kg/h的流量输送到喷淋塔7顶部喷头进行喷淋,吸收残余氯化氢,吸收后的尾气进入尾气碱洗工序吸收后达标排放。
本实施案例得到的二氧化硅粒径为85nm,盐酸获得盐酸浓度为30%,盐酸回收率为99%。
实施例3
本实施例所述一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法(如图1所示),包括以下步骤:
(1)气汽接触水解反应:将1000m3/h的氯硅烷废气(5%的SiCl4、40%的SiHCl3、20%的SiH2Cl2、10%的HCl、5%的H2、20%的N2)和229m3/h的水蒸汽(温度:160℃压力:6kgf/cm2)同时通入气汽水解反应塔1,氯硅烷废气在充满水蒸汽的气汽水解反应塔1中水解,生成的二氧化硅固体随气流一起进入气固分离设备,气汽水解反应塔1温度控制在180~190℃。
(2)气固分离:氯硅烷废气和水蒸汽水解产物进入气固分离器2,固液分离器2温度保持在180~190℃,分离出固体颗粒为(155Kg/h)纳米二氧化硅。
(3)尾气冷却:气固分离器2出来的气体用换热器I3冷却至40℃,在通过气液分离器4分离,获得浓盐酸进入吸收液接收槽5。
(4)氯化氢气体的吸收:气液分离器4分离出来的气体进入喷淋塔7被吸收,吸收液变成31%的浓盐酸进入吸收液接收槽5,吸收液接收槽5中部分浓盐酸经过换热器II8冷却至25℃后进入喷淋塔7循环喷淋,其余部分浓盐酸(973Kg/h)作为产品排出,工业水槽9中工业水以670kg/h的流量输送喷淋塔7顶部喷头进行喷淋,吸收残余氯化氢,吸收后的尾气进入尾气碱洗工序吸收后达标排放。
本实施案例得到的二氧化硅粒径为120nm,盐酸获得盐酸浓度为31%,盐酸回收率为99%。
Claims (1)
1.一种氯硅烷废气生产纳米二氧化硅并副产盐酸的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)气汽接触水解反应:将氯硅烷废气和水蒸汽同时通入气汽水解反应塔(1),氯硅烷废气在充满水蒸汽的气汽水解反应塔(1)中水解,生成的二氧化硅固体随气流一起进入气固分离设备;
(2)气固分离:氯硅烷废气和水蒸汽水解产物进入气固分离器(2),分离出固体颗粒为纳米二氧化硅;
(3)尾气冷却:气固分离器(2)出来的气体经过换热器I(3)和气液分离器(4),获得浓盐酸进入吸收液接收槽(5);
(4)氯化氢气体的吸收:气液分离器(4)分离出来的气体进入喷淋塔(7)被吸收,吸收液变成浓盐酸进入吸收液接收槽(5),吸收液接收槽(5)中部分浓盐酸经过换热器II(8)后进入喷淋塔(7)循环喷淋,其余部分浓盐酸作为产品排出,工业水槽(9)中工业水输送到喷淋塔(7)顶部喷头进行喷淋,吸收残余氯化氢,吸收后的尾气进入尾气碱洗工序吸收后达标排放;
所述气汽水解反应塔(1)内温度控制在110~200℃,气固分离器(2)温度保持在100~200℃;
换热器I(3)将物料温度降至30~50℃;
所述部分浓盐酸用换热器II(8)冷却至25~35℃后循环喷淋。
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