CN105021329B - 一种电阻式压力传感器及其制备方法 - Google Patents
一种电阻式压力传感器及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105021329B CN105021329B CN201510434057.7A CN201510434057A CN105021329B CN 105021329 B CN105021329 B CN 105021329B CN 201510434057 A CN201510434057 A CN 201510434057A CN 105021329 B CN105021329 B CN 105021329B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pressure sensor
- film
- pet film
- substrate
- resistive pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Push-Button Switches (AREA)
Abstract
本发明公开了一种电阻式压力传感器，由敏感层和两片包含电极的衬底组成，所述敏感层位于两层电极之间，其特征在于，所述敏感层为导电性多孔弹性薄膜。本发明所述电阻式压力传感器的敏感层采用导电性多孔弹性薄膜，薄膜在受压力作用时，薄膜形变量增加，减小了薄膜中导电材料之间的接触电阻，增强了压力传感器对压力的敏感性，增加了压力传感器高敏感性的压力范围；薄膜所采用的材料价格低，加工工艺简单，降低了压力传感器的成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种电子器件，具体涉及一种基于导电性多孔弹性薄膜为敏感性层的电阻式压力传感器及其制备方法，属于电子技术领域。
背景技术
电阻式压力传感器是将被测量的压力变化转换成电阻变化的传感器。电阻式压力传感器包括具有电极的衬底和弹性导电薄膜，弹性导弹薄膜位于两层电极之间。弹性导弹薄膜通常采用弹性材料和导电材料的混合体，使其既具有导电性又具有受压力时的形变能力。当弹性导弹薄膜被使用者按压时，该薄膜中导电材料之间的接触增加或是薄膜与电极之间的接触面增加，使薄膜与电极之间的电流增加，从而改变器件的电阻。
随着可穿戴设备的发展，对作为其重要组成部件的压力传感器提出了更高的要求，包括可弯曲性，高灵敏度，快速响应以及与人体的兼容性。然而，目前所采用的弹性材料和导电材料的混合体系中，弹性材料的弹性性能有限，需施加较大的压力才能使薄膜产生形变以改变其电阻，从而使压力传感器不能具有高的灵敏性。因此，如何增加导电薄膜的弹性性能已成为一个重要的研究方向。现在最常用的方式是使用模板将导电薄膜的表面做成金字塔状的微结构，使薄膜与电极之间只有很小的接触面。在薄膜受外力作用时薄膜表面的微结构产生形变，薄膜和电极之间的接触面迅速增大，从而增加压力传感器的灵敏性。但这种方法存在以下弊端：(1)模板的使用增加了工艺的成本；(2)弹性导弹薄膜表面形成的微结构极容易形变被压实，只能在微小的压力范围内有较高的灵敏度。同时，如何保证薄膜表面的微结构在应用初始时不被压缩将成为一个难题。因此，如何增加这些弹性材料的形变能力在增强电阻式压力传感器的灵敏性以及增加高灵敏性的压力范围具有重要的意义。
发明内容
本发明的目的是，提供一种电阻式压力传感器及其制备方法，解决电阻式压力传感器中弹性敏感层高灵敏性的压力范围小的问题，从而增强压力传感器高灵敏性的压力范围。
本发明是通过以下技术方案实现的：
一种电阻式压力传感器，由敏感层和两片包含电极的衬底组成，所述敏感层位于两层电极之间，其特征在于，所述敏感层为导电性多孔弹性薄膜。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器，其特征在于，所述导电性多孔弹性薄膜由热固化弹性材料、发泡材料和导电材料混合经加热固化后形成。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器，其特征在于，所述热固化弹性材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚氨酯(PU)或铂催化硅胶(Ecoflex)。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器，其特征在于，所述发泡材料为偶氮二异丁腈、偶氮二异庚腈、甲苯磺酰肼、氧化双(苯磺酷)肋、碳酸氢钠或碳酸氢铵。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器，其特征在于，所述导电材料为石墨烯、石墨、炭黑、单壁和多壁碳纳米管、金属纳米线或金属及金属氧化物纳米颗粒，所述金属为金、银、铜、铝或镍，所述金属氧化物为氧化铟锡(ITO)或氟掺杂锡氧化物(FTO)。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器，其特征在于，所述热固化弹性材料与发泡材料的混合比例在10:1-10:3之间，所述热固化弹性材料与导电材料的混合比例在20:1-5:2之间。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器，其特征在于，所述电极为石墨烯、石墨、炭黑、单壁和多壁碳纳米管、金属、金属氧化物、金属纳米线或金属及金属氧化物纳米颗粒，所述金属为金、银、铜、铝或镍，所述金属氧化物为氧化铟锡(ITO)或氟掺杂锡氧化物(FTO)。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器，其特征在于，所述透明衬底为玻璃、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)或聚氨基甲酸酯(PU)。
本发明的另一技术方案如下：
一种电阻式压力传感器的制备方法，其包括以下步骤：
1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水对衬底进行超声清洗，清洗后干燥，采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底表面；
2)采用真空蒸镀、磁控溅射、旋涂、喷涂、刮涂或凹版印刷的方式在衬底上制备电极；
3)分别称取热固化弹性材料、发泡材料和导电材料，将三者混合并搅拌均匀；
4)将PET薄膜放置于平整的底板上，PET薄膜两侧设置高度一致的垫片，将均匀混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料倒于PET薄膜上；
5)将另一张PET薄膜覆盖到混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料上，用玻璃棒或金属棒在PET薄膜表面滚动或推动，使材料均匀分布于两层PET薄膜中；
6)用表面平整的盖板覆盖在顶上的PET薄膜之上，固定底板和盖板之间的相对位置和高度，然后将其整体转移至加热台上加热，加热过程中发泡材料产生气体同时伴随热固化弹性材料固化，形成内部的多孔结构；
7)去除底板、盖板及PET薄膜，得到所需的导电性多孔弹性薄膜；
8)将两片包含电极的衬底贴合到导电性多孔弹性薄膜的上下两侧，得到所需的电阻式压力传感器，其中，电极与导电性多孔弹性薄膜接触，衬底在最外侧。
按照本发明所提供的电阻式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述的步骤3)中，所述热固化弹性材料与发泡材料的混合比例在10:1-10:3之间，所述热固化弹性材料与导电材料的混合比例在20:1-5:2之间。
本发明的有益效果在于：本发明所述电阻式压力传感器的敏感层采用导电性多孔弹性薄膜，该薄膜在受压力作用时，薄膜的形变量增加，减小了薄膜中导电材料之间的接触电阻，增强了压力传感器对压力的敏感性；导电性多孔弹性薄膜需施加大的压力才能被压实，增加了电阻式压力传感器高敏感性的压力范围；薄膜所采用的材料价格低，加工工艺简单，降低了压力传感器的成本。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明实施例2中电阻式压力传感器对压力的响应。
图中，1衬底， 2电极， 3敏感层。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施例作详细说明，该实施例以本发明技术方案为前提给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
如图1所示，本发明所述的电阻式压力传感器由敏感层3和两片包含电极2的衬底1组成；电极2位于透明的衬底1之上，且位于敏感层3的上下两侧，所述敏感层3位于两层电极2之间，为导电性多孔弹性薄膜。
所述导电性多孔弹性薄膜由热固化弹性材料、发泡材料和导电材料混合经加热固化后形成。所述热固化弹性材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚氨酯(PU)或铂催化硅胶(Ecoflex)。所述发泡材料为偶氮二异丁腈、偶氮二异庚腈、甲苯磺酰肼、氧化双(苯磺酷)肋、碳酸氢钠或碳酸氢铵。所述导电材料为石墨烯、石墨、炭黑、单壁和多壁碳纳米管、金属纳米线或金属及金属氧化物纳米颗粒，所述金属为金、银、铜、铝或镍，所述金属氧化物为氧化铟锡(ITO)或氟掺杂锡氧化物(FTO)。所述热固化弹性材料与发泡材料的混合比例在10:1-10:3之间，所述热固化弹性材料与导电材料的混合比例在20:1-5:2之间。
所述电极2为石墨烯、石墨、炭黑、单壁和多壁碳纳米管、金属、金属氧化物、金属纳米线或金属及金属氧化物纳米颗粒，所述金属为金、银、铜、铝或镍，所述金属氧化物为氧化铟锡(ITO)或氟掺杂锡氧化物(FTO)。
所述透明的衬底1为玻璃、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰亚胺(PI)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)或聚氨基甲酸酯(PU)。
本发明所述的电阻式压力传感器的制备方法包括以下步骤：
1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水对衬底1进行超声清洗，清洗后干燥，采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底表面；
2)采用真空蒸镀、磁控溅射、旋涂、喷涂、刮涂或凹版印刷的方式在衬底1上制备电极2；
3)分别称取热固化弹性材料、发泡材料和导电材料，将三者混合并搅拌均匀，其中，所述热固化弹性材料与发泡材料的混合比例在10:1-10:3之间，所述热固化弹性材料与导电材料的混合比例在20:1-5:2之间；
4)将PET薄膜放置于平整的底板上，PET薄膜两侧设置高度一致的垫片，将均匀混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料倒于PET薄膜上；
5)将另一张PET薄膜覆盖到混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料上，用玻璃棒或金属棒在PET薄膜表面滚动或推动，使材料均匀分布于两层PET薄膜中；
6)用表面平整的盖板覆盖在顶上的PET薄膜之上，固定底板和盖板之间的相对位置和高度，然后将其整体转移至加热台上加热，加热过程中发泡材料产生气体同时伴随热固化弹性材料固化，形成内部的多孔结构；
7)去除底板、盖板及PET薄膜，得到所需的导电性多孔弹性薄膜；
8)将两片包含电极2的衬底1贴合到作为敏感层3的导电性多孔弹性薄膜的上下两侧，得到所需的电阻式压力传感器，其中，电极2与导电性多孔弹性薄膜接触，衬底1在最外侧。
以下通过具体实施例说明所述电阻式压力传感器的制备方法。
实施例1
通过下列具体步骤完成所述电阻式压力传感器的制备：
(1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底进行超声清洗，清洗后干燥，采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底表面；
(2)采用旋涂的方式在衬底1上制备银纳米线电极；
(3)取热固化弹性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)、粉末状的发泡材料碳酸氢铵和炭黑，将三者混合并搅拌均匀，所述聚二甲基硅氧烷、碳酸氢铵和炭黑的质量比为10：1：0.5；
(4)将PET薄膜放置于平整的底板上，PET薄膜两侧设置高度一致的垫片，将均匀混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料倒于PET薄膜上；
(5)将另一张PET薄膜覆盖到混合的材料上，用玻璃棒或金属棒在PET薄膜表面滚动或推动，使材料均匀分布于两层PET薄膜中；
(6)用表面平整的盖板覆盖，固定底板和盖板之间的相对位置和高度，并将其整体转移至加热台上加热，加热过程中发泡材料产生气体同时伴随热固化弹性材料固化，形成薄膜的多孔结构；
(7)去除底板、盖板及PET薄膜，得到所需的导电性多孔弹性薄膜；
(8)将两片包含银纳米线电极的PET衬底贴合到导电性多孔弹性薄膜的上下两侧，得到所需的电阻式压力传感器，其中，银纳米线电极和导电性多孔弹性薄膜接触，PET衬底在最外侧。
实施例2
通过下列具体步骤完成所述电阻式压力传感器的制备：
(1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水对聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)的柔性透明衬底1进行清洗，清洗后用干燥氮气吹干，并采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底表面
(2)采用旋涂的方式在衬底1上制备单壁碳纳米管电极；
(3)取热固化弹性材料铂催化硅胶(Ecoflex)、粉末状的发泡材料碳酸氢钠和石墨烯，将三者混合并搅拌均匀，所述聚二甲基硅氧烷、碳酸氢铵和石墨烯的质量比为5：1：0.5；
(4)将PET薄膜放置于平整的底板上，PET薄膜两侧设置高度一致的垫片，将均匀混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料倒于PET薄膜上；
(5)将另一张PET薄膜覆盖到混合的材料上，用玻璃棒或金属棒在PET薄膜表面滚动或推动，使材料均匀分布于两层PET薄膜中；
(6)用表面平整的盖板覆盖，固定底板和盖板之间的相对位置和高度，并将其整体转移至加热台上加热，加热过程中发泡材料产生气体同时伴随热固化弹性材料固化，形成薄膜的多孔结构；
(7)去除底板、盖板及PET薄膜，得到所需的导电性多孔弹性薄膜；
(8)将两片包含单壁碳纳米管电极的PEN衬底贴合到导电性多孔弹性薄膜的上下两侧，得到所需的电阻式压力传感器，其中，单壁碳纳米管电极和导电性多孔弹性薄膜接触，PEN衬底在最外侧。
图2为实施例2的电阻式压力传感器对压力的响应。
实施例3
通过下列具体步骤完成所述电阻式压力传感器的制备：
(1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水对聚酰亚胺(PI)的柔性透明衬底1进行清洗，清洗后用干燥氮气吹干，并采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底表面
(2)采用旋涂的方式在衬底1上制备石墨电极；
(3)取热固化弹性材料聚氨基甲酸酯(PU)、粉末状的发泡材料偶氮二异丁腈和银纳米颗粒，将三者混合并搅拌均匀，所述聚二甲基硅氧烷、碳酸氢铵和银纳米颗粒的质量比为10：3：4；
(4)将PET薄膜放置于平整的底板上，PET薄膜两侧设置高度一致的垫片，将均匀混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料倒于PET薄膜上；
(5)将另一张PET薄膜覆盖到混合的材料上，用玻璃棒或金属棒在PET薄膜表面滚动或推动，使材料均匀分布于两层PET薄膜中；
(6)用表面平整的盖板覆盖，固定底板和盖板之间的相对位置和高度，并将其整体转移至加热台上加热，加热过程中发泡材料产生气体同时伴随热固化弹性材料固化，形成薄膜的多孔结构；
(7)去除底板、盖板及PET薄膜，得到所需的导电性多孔弹性薄膜；
(8)将两片包含石墨电极的PI衬底贴合到导电性多孔弹性薄膜上下两端，得到所需的电容式压力传感器，其中，石墨电极和导电性多孔弹性薄膜接触，PI衬底在最外侧。
Claims (5)
1.一种电阻式压力传感器的制备方法，该电阻式压力传感器由敏感层和两片包含电极的衬底组成，所述敏感层为导电性多孔弹性薄膜，位于两层电极之间，该导电性多孔弹性薄膜由热固化弹性材料、发泡材料和导电材料混合后经加热固化后形成；其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
1)利用乙醇溶液、丙酮溶液和去离子水对衬底进行超声清洗，清洗后干燥，采用氧等离子体或紫外光/臭氧处理衬底表面；
2)采用真空蒸镀、磁控溅射、旋涂、喷涂、刮涂或凹版印刷的方式在衬底上制备电极；
3)分别称取热固化弹性材料、发泡材料和导电材料，将三者混合并搅拌均匀；
4)将PET薄膜放置于平整的底板上，PET薄膜两侧设置高度一致的垫片，将均匀混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料倒于PET薄膜上；
5)将另一张PET薄膜覆盖到混合的固化弹性材料、发泡材料和导电材料上，用玻璃棒或金属棒在PET薄膜表面滚动或推动，使材料均匀分布于两层PET薄膜中；
6)用表面平整的盖板覆盖在顶上的PET薄膜之上，固定底板和盖板之间的相对位置和高度，然后将其整体转移至加热台上加热，加热过程中发泡材料产生气体同时伴随热固化弹性材料固化，形成内部的多孔结构；
7)去除底板、盖板及PET薄膜，得到所需的导电性多孔弹性薄膜；
8)将两片包含电极的衬底贴合到作为敏感层的导电性多孔弹性薄膜的上下两侧，得到所需的电阻式压力传感器，其中，电极与导电性多孔弹性薄膜接触，衬底在最外侧。
2.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述的步骤3)中，所述热固化弹性材料与发泡材料的混合比例在10:1-10:3之间，所述热固化弹性材料与导电材料的混合比例在20:1-5:2之间。
3.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述热固化弹性材料为聚二甲基硅氧烷、聚氨酯或铂催化硅胶。
4.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述发泡材料为偶氮二异丁腈、偶氮二异庚腈、甲苯磺酰肼、氧化双肋、碳酸氢钠或碳酸氢铵。
5.根据权利要求1所述的电阻式压力传感器的制备方法，其特征在于，所述衬底为玻璃、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷或聚氨基甲酸酯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510434057.7A CN105021329B (zh) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 一种电阻式压力传感器及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510434057.7A CN105021329B (zh) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 一种电阻式压力传感器及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105021329A CN105021329A (zh) | 2015-11-04 |
| CN105021329B true CN105021329B (zh) | 2017-12-12 |
Family
ID=54411467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510434057.7A Active CN105021329B (zh) | 2015-07-22 | 2015-07-22 | 一种电阻式压力传感器及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105021329B (zh) |
Families Citing this family (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105651429B (zh) * | 2016-01-04 | 2018-03-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 压电元件及其制造方法、压电传感器 |
| CN105738015B (zh) * | 2016-02-01 | 2018-06-08 | 上海交通大学 | 一种电阻式薄膜拉力传感器及其制备方法 |
| CN105758562B (zh) * | 2016-03-29 | 2018-10-16 | 电子科技大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN105708425A (zh) * | 2016-04-06 | 2016-06-29 | 姜凯 | 一种可用于人体脉搏检测的柔性电阻式压力传感器的研制 |
| GB2550411B (en) * | 2016-05-20 | 2019-04-03 | Hp1 Tech Ltd | Device for detecting a force |
| CN106525296A (zh) * | 2016-10-09 | 2017-03-22 | 深圳瑞湖科技有限公司 | 一种用于触摸检测的电子皮肤 |
| JP6770743B2 (ja) * | 2016-12-20 | 2020-10-21 | 北川工業株式会社 | 感圧センサー |
| CN108344532A (zh) | 2017-01-23 | 2018-07-31 | 华邦电子股份有限公司 | 压力传感器及其制造方法 |
| CN107101754A (zh) * | 2017-03-16 | 2017-08-29 | 清华大学 | 具有多孔石墨烯泡沫结构的压力传感器及其制备方法 |
| CN106953001B (zh) * | 2017-03-24 | 2019-01-22 | 中山大学 | 一种基于碳纳米管薄膜及光刻胶的柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN108663142A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-16 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 压力传感器等电压接线法及压力传感器 |
| CN106932128A (zh) * | 2017-04-21 | 2017-07-07 | 清华大学深圳研究生院 | 用于压阻式压力传感器的压力敏感层及压阻式压力传感器 |
| CN106959176B (zh) * | 2017-05-10 | 2019-06-07 | 江西科技师范大学 | 一种柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN108303198A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-07-20 | 五邑大学 | 一种梯形阵列式压力传感器的制备方法 |
| CN108017040B (zh) * | 2018-01-31 | 2021-01-12 | 纵晓明 | 一种高浓度臭氧发生装置 |
| CN108613760A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-10-02 | 华东师范大学 | 一种基于石墨烯碳纳米管复合膜传感器的制备方法及应用 |
| CN109025971B (zh) * | 2018-04-28 | 2022-02-01 | 中国石油天然气股份有限公司 | 钻井压力检测装置及其膜片受力机构 |
| CN108981980A (zh) * | 2018-05-03 | 2018-12-11 | 五邑大学 | 一种纳米级圆台微结构压力传感器及其制备方法 |
| CN108801512A (zh) * | 2018-05-03 | 2018-11-13 | 五邑大学 | 一种纳米半球压力传感器及其制备方法 |
| CN108955511B (zh) * | 2018-05-21 | 2020-05-26 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于气液界面自组装的结构裂缝监测用透明传感器制备方法 |
| CN208140284U (zh) | 2018-05-25 | 2018-11-23 | 北京京东方技术开发有限公司 | 一种压力感应器件 |
| CN108972625A (zh) * | 2018-08-18 | 2018-12-11 | 胡明建 | 一种剪贴式机器人皮肤的设计方法 |
| CN109203518A (zh) * | 2018-08-20 | 2019-01-15 | 胡明建 | 一种塑型式机器人皮肤的设计方法 |
| CN109839232B (zh) * | 2019-01-25 | 2021-11-05 | 上海交通大学 | 应变传感器及其形成方法、应变传感器阵列及其形成方法 |
| CN111765998A (zh) * | 2019-04-02 | 2020-10-13 | 天津大学 | 柔性电容传感器 |
| CN110196125B (zh) * | 2019-04-19 | 2020-11-06 | 浙江大学 | 一种基于多孔结构的岛桥式柔性传感阵列装置 |
| CN110118624A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-08-13 | 深圳先进技术研究院 | 一种压力传感器及其制备方法 |
| CN111256883B (zh) * | 2019-08-06 | 2020-10-30 | 清华大学 | 基于碳黑无尘纸的柔性压力传感装置及其制造方法 |
| CN110823423B (zh) * | 2019-11-22 | 2022-03-01 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种液态金属柔性压力传感器及其制备方法 |
| CN112631461A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-04-09 | 瑞态常州高分子科技有限公司 | 一种透明电阻式压力传感器及应用 |
| CN113074860A (zh) * | 2021-03-17 | 2021-07-06 | 重庆大学 | 用于血管芯片的微型压力传感装置 |
| CN113237419B (zh) * | 2021-05-14 | 2023-02-03 | 东南大学 | 一种高灵敏度柔性电容式应变传感器及其制备方法 |
| CN113237420B (zh) * | 2021-05-14 | 2022-11-29 | 东南大学 | 一种高灵敏度柔性电阻式应变传感器及其制备方法 |
| CN113340484A (zh) * | 2021-05-20 | 2021-09-03 | 电子科技大学 | 宽量程柔性电阻式压力传感器及制备方法 |
| EP4124867A1 (en) * | 2021-07-29 | 2023-02-01 | Rockwell Collins, Inc. | Differential pressure angle of attack sensor |
| US11579163B1 (en) | 2021-07-29 | 2023-02-14 | Rockwell Collins, Inc. | Differential pressure angle of attack sensor |
| CN113639653B (zh) * | 2021-09-23 | 2023-07-04 | 嘉兴学院 | 三维变形双通道检测装置及制备方法及检测方法 |
| CN113970394A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-01-25 | 安徽大学 | 一种基于多孔微结构的柔性压阻式传感器及其制备方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9212960B2 (en) * | 2012-10-22 | 2015-12-15 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Nanostructures with strain-induced resistance |
| CN103151113B (zh) * | 2013-01-31 | 2015-07-08 | 中国科学院化学研究所 | 一种压敏导电膜的制备方法 |
| CN103436023A (zh) * | 2013-08-31 | 2013-12-11 | 青岛承天伟业机械制造有限公司 | 一种新型导电橡胶 |
| CN104257367B (zh) * | 2014-09-16 | 2016-04-06 | 苏州能斯达电子科技有限公司 | 一种可贴附柔性压力传感器及其制备方法 |
-
2015
- 2015-07-22 CN CN201510434057.7A patent/CN105021329B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105021329A (zh) | 2015-11-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105021329B (zh) | 一种电阻式压力传感器及其制备方法 | |
| CN105067159B (zh) | 一种电容式压力传感器及其制备方法 | |
| Wang et al. | Standing enokitake-like nanowire films for highly stretchable elastronics | |
| Li et al. | Superhydrophobic electrically conductive paper for ultrasensitive strain sensor with excellent anticorrosion and self-cleaning property | |
| Peng et al. | A fluorinated polymer sponge with superhydrophobicity for high-performance biomechanical energy harvesting | |
| Gajendran et al. | Polyaniline-carbon nanotube composites | |
| Lin et al. | Biocompatible multifunctional e-skins with excellent self-healing ability enabled by clean and scalable fabrication | |
| CN107655598A (zh) | 基于碳纳米管和银纳米线复合导电薄膜的柔性应力传感器 | |
| Li et al. | Ultrasensitive pressure sensor sponge using liquid metal modulated nitrogen-doped graphene nanosheets | |
| CN103050192B (zh) | 一种基于银纳米线的弹性导体及其制备方法和应用 | |
| CN106768520A (zh) | 压力传感器及其制备方法 | |
| Min et al. | Highly air/water-permeable hierarchical mesh architectures for stretchable underwater electronic skin patches | |
| Kim et al. | A rationally designed flexible self-healing system with a high performance supercapacitor for powering an integrated multifunctional sensor | |
| CN206269946U (zh) | 压力传感器 | |
| Liu et al. | Investigation of stretchable strain sensor based on CNT/AgNW applied in smart wearable devices | |
| CN107504893A (zh) | 高灵敏度网状石墨烯/弹性体应变传感器及其制备方法 | |
| CN109668580A (zh) | 压力敏感薄膜、传感器、传感器阵列及各自的制备方法 | |
| CN106954284A (zh) | 一种基于石墨烯的可高效导热的电热膜及其制备方法 | |
| TW201102701A (en) | Conductive plate and touch plate applied by the same | |
| Huang et al. | A three-dimensional printable liquid metal-like Ag nanoparticle ink for making a super-stretchable and highly cyclic durable strain sensor | |
| CN108288513A (zh) | 一种基于分形结构银微粒的柔性和可拉伸导体及其制备方法 | |
| CN107057409A (zh) | 一种石墨烯基导电油墨填料的制备方法 | |
| CN109618433A (zh) | 一种石墨烯安全电压发热膜 | |
| CN104860307B (zh) | 一种石墨烯薄膜无损转移方法 | |
| CN108076591B (zh) | 一种弹性电路或电极的制备方法与制备装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |