CN104979246B - 喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备 - Google Patents

喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种喷淋组件，包括喷淋管，其特征在于，该喷淋组件还包括若干个喷嘴以及若干个封口组块，所述喷淋管的底部开设有多个通孔，所述若干个喷嘴可拆卸地连接于所述多个通孔的其中一部分，所述若干个封口组块可拆卸地连接于所述多个通孔的其余部分，所述喷嘴与所述喷淋管流体连通，所述封口组块密封对应的通孔。本发明还公开了一种湿刻设备，包括喷淋单元，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。该喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴与喷淋管的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低成本。

Description

喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备
技术领域
本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其是一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备。
背景技术
在制造薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFT-LCD)的工艺过程中，湿刻工艺的应用十分广泛。随着液晶面板各种制程的不断更新换代，TFT阵列基板的金属线种类也更多，从铝制程到铜制程、银制程，湿刻工艺对产品的性能和良率有着重要的影响。湿刻设备的刻蚀方式主要有两种：浸泡模式和喷淋模式；浸泡模式刻蚀图形的过程容易控制，喷淋模式的刻蚀速率较快。喷淋模式中，刻蚀药液通过喷淋组件喷射到待处理物的表面上，喷射的压力越大，则刻蚀速率也越大。
图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。如图1所示，该喷淋组件1包括一喷淋管1a以及连接于喷淋管1a底部的多个喷嘴1b，多个喷嘴1b呈等间距排列，喷嘴1b与喷淋管1a是通过焊接的方式固定连接。刻蚀药液从喷淋管1a中流入，然后从喷嘴1b喷射到待处理物的表面上。图2是具有如上所述喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。如图2所示，该湿刻设备包括喷淋单元2，喷淋单元2中包含多个喷淋组件1，其中的多个喷淋管1a呈相互平行且等间距排列，连接于喷淋管1a的喷嘴1b呈阵列分布。待处理物3(例如沉积有金属薄膜层的玻璃基板)从垂直于或近似垂直于喷淋管1a长度的方向(X方向)被传送到该喷淋单元2下方，由喷嘴1b向待处理物3的表面喷射刻蚀药液进行刻蚀。
在如上结构的湿刻设备中，其中喷嘴1b与喷淋管1a是通过焊接的方式固定连接，其所组成的喷淋单元2也是单一和固定，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，只能更换该设备中的所有喷淋组件1(包括喷淋管1a和喷嘴1b)，导致生产成本增加。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴与喷淋管的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
为了达到上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种喷淋组件，包括喷淋管，其中，该喷淋组件还包括若干个喷嘴以及若干个封口组块，所述喷淋管的底部开设有多个通孔，所述若干个喷嘴可拆卸地连接于所述多个通孔的其中一部分，所述若干个封口组块可拆卸地连接于所述多个通孔的其余部分，所述喷嘴与所述喷淋管流体连通，所述封口组块密封对应的通孔。
具体地，所述多个通孔等间距地排布于所述喷淋管的底部。
具体地，所述通孔为螺纹孔，所述喷嘴具有与所述螺纹通孔适配的第一螺纹部，通过将所述第一螺纹部装配于所述螺纹通孔，以使所述喷嘴可拆卸地连接于所述通孔中；所述封口组块具有与所述螺纹通孔适配的第二螺纹部，通过将所述第二螺纹部装配于所述螺纹通孔，以使所述封口组块可拆卸地连接于所述通孔中。
具体地，所述通孔的侧壁上设置有凸起的卡点，所述卡点的表面至少在所述通孔的轴线方向上呈圆弧面或类似于圆弧面；所述喷嘴的一端设置有一具有弹性的第一卡环,将所述喷嘴装配于所述通孔，所述第一卡环与所述卡点卡合，以使所述喷嘴可拆卸地连接于所述通孔中；所述封口组块的一端设置有一具有弹性的第二卡环，将所述封口组块装配于所述通孔，所述第二卡环与所述卡点卡合，以使所述封口组块可拆卸地连接于所述通孔中。
具体地，所述卡点的数量为多个，所述多个卡点呈圆周对称地分布于所述通孔的侧壁上，或者所述多个卡点连成一体形成环状。
具体地，所述卡点呈半球体结构。
具体地，所述若干个喷嘴中，每两个喷嘴之间间隔的通孔的数量相等。
本发明的另一方面是提供一种湿刻设备，其包括喷淋单元，其中，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。
进一步地，所述喷淋单元中，多个喷嘴呈阵列分布，以喷淋管的长度方向为行，以垂直于喷淋管的长度方向为列，每一列喷嘴均包含所有行中的喷嘴。
进一步地，所述喷淋单元中，多个喷嘴呈阵列分布，以喷淋管的长度方向为行，以垂直于喷淋管的长度方向为列，相邻行的喷嘴相互交错，以使相邻行的喷嘴位于不同的列上，间隔一行的喷嘴位于相同的列上。
有益效果：
本发明实施例提供的喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴与喷淋管的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
附图说明
图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。
图2是具有如图1所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
图3是本发明实施例提供的喷淋组件在组装后的结构示意图。
图4是本发明实施例提供的喷淋组件在组装前的结构示意图。
图5是本发明另一实施例中喷嘴和封口组块与喷淋管之间的连接机构的结构示意图。
图6是具有如图3所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
图7是本发明实施例提供的喷淋组件的一种变换方式的示例性图示。
图8是具有如图7所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护范围。
本实施例首先提供了一种喷淋组件，参阅附图3和图4，该喷淋组件1包括喷淋管10、若干个喷嘴20以及若干个封口组块30。
其中，所述喷淋管10的底部开设有多个通孔101，所述若干个喷嘴20可拆卸地连接于所述多个通孔101的其中一部分，所述若干个封口组块30可拆卸地连接于所述多个通孔101的其余部分(未连接有喷嘴20的通孔101均连接有封口组块30)，所述喷嘴20与所述喷淋管10流体连通，所述封口组块30密封对应的通孔101。
其中，所述多个通孔101等间距地排布于所述喷淋管10的底部。
具体地，本实施例中，如图4所示的，所述通孔101为螺纹孔，所述喷嘴20具有与所述螺纹通孔101适配的第一螺纹部201，通过将所述第一螺纹部201装配于所述螺纹通孔101，以使所述喷嘴20可拆卸地连接于所述通孔101中；所述封口组块30具有与所述螺纹通孔101适配的第二螺纹部301，通过将所述第二螺纹部301装配于所述螺纹通孔101，以使所述封口组块30可拆卸地连接于所述通孔101中。
在另外一个优选的实施例中，所述喷嘴20和所述封口组块30也可以是通过如下的连接方式与所述通孔101可拆卸连接。具体地，如图5所示，所述通孔101的侧壁上设置有凸起的卡点1011，所述卡点1011的表面至少在所述通孔101的轴线方向上呈圆弧面或类似于圆弧面，比较优选的是所述卡点1011呈半球体结构。所述喷嘴20的一端设置有一具有弹性的第一卡环202,通过插拔，将所述喷嘴20装配于所述通孔101，所述第一卡环202与所述卡点1011卡合，以使所述喷嘴20可拆卸地连接于所述通孔101中。所述封口组块30的一端设置有一具有弹性的第二卡环302，通过插拔，将所述封口组块30装配于所述通孔101，所述第二卡环302与所述卡点1011卡合，以使所述封口组块30可拆卸地连接于所述通孔101中。更具体地，所述第一卡环202和第二卡环302可以是采用橡胶材料制备形成，其不仅起到与卡点1011卡合的作用，还可以起到密封的作用。进一步地，所述卡点1011的数量为多个，所述多个卡点1011呈圆周对称地分布于所述通孔101的侧壁上，或者所述多个卡点1011连成一体，形成一环状的凸起部。
一般来说，所述若干个喷嘴20中，每两个喷嘴20之间间隔的通孔101的数量相等。本实施例中，如图3所示的，每两个喷嘴20之间间隔有两个通孔101(如图中由封口组块30密封)，在另外的一些实施例中，每两个喷嘴20之间间隔的通孔101的数量也可以选择为其他的数量。
将如上所提供的喷淋组件1应用于湿刻设备中，参阅附图5，该湿刻设备至少包括一喷淋单元400，所述喷淋单元400包括多个如前述提供喷淋组件1，多个喷淋组件1中的多个喷淋管10相互平行地或近于相互平行地排列。如图5所示的，所述喷淋单元400中，每一个喷淋组件1中的喷嘴20均采用相同的排列方式，多个喷嘴20呈阵列分布，以喷淋管10的长度方向为行，以垂直于喷淋管10的长度方向为列，每一列喷嘴均包含所有行中的喷嘴。
如上提供的湿刻设备中，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时或者喷淋单元中的某部分喷嘴损坏时，只需要更换局部的喷嘴即可。并且在不需要喷射刻蚀药液的位置，以封口组块密封，这可以根据实际生产需要组装获得任意面积的喷淋单元，提高了设备的通用性能。
进一步地，在如图5所示的喷淋单元400，每一个喷淋组件1中的喷嘴20均采用相同的排列方式，每一列喷嘴均包含所有行中的喷嘴，这样可能会在两列喷嘴之间的喷淋不够均匀。
为了提高喷淋的均一性，参阅附图6和图7，在另外一个优选的实施例中，将前述提供的喷淋组件1(如图3所示的示意图)定义为第一类喷淋组件1c。如图6所示的，将第一类喷淋组件1c中的所有喷嘴20沿喷淋管10的横向平移一个通孔的位置，相应地调整封口组块30的位置，获得第二类喷淋组件1d。第一类喷淋组件1c和第二类喷淋组件1d差别仅在于其中喷嘴20排布的位置有所不同。将第一类喷淋组件1c和第二类喷淋组件1d应用于湿刻设备中，如图7所示的，该湿刻设备中的喷淋单元400中，交错地排列第一类喷淋组件1c和第二类喷淋组件1d，例如，本实施例中，奇数行上为第一类喷淋组件1c，偶数行上为第二类喷淋组件1d。最终得到的喷淋单元400中，多个喷嘴20呈阵列分布，以喷淋管10的长度方向为行，以垂直于喷淋管10的长度方向为列，相邻行的喷嘴20相互交错，以使相邻行(第一类喷淋组件1c和第二类喷淋组件1d之间)的喷嘴20位于不同的列上，间隔一行(两个第一类喷淋组件1c以及两个第二类喷淋组件1d之间)的喷嘴20位于相同的列上。
如上提供的喷淋单元中，相邻行的喷嘴相互交错，提高了喷淋的均一性，有利于提高刻蚀工艺的品质。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
显然，本发明的保护范围并不局限于上诉的具体实施方式，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种喷淋组件，包括喷淋管(10)，其特征在于，该喷淋组件(1)还包括若干个喷嘴(20)以及若干个封口组块(30)，所述喷淋管(10)的底部开设有多个通孔(101)，所述若干个喷嘴(20)可拆卸地连接于所述多个通孔(101)的其中一部分，所述若干个封口组块(30)可拆卸地连接于所述多个通孔(101)的其余部分，所述喷嘴(20)与所述喷淋管(10)流体连通，所述封口组块(30)密封对应的通孔(101)。
2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述多个通孔(101)等间距地排布于所述喷淋管(10)的底部。
3.根据权利要求2所述的喷淋组件，其特征在于，所述通孔(101)为螺纹孔，所述喷嘴(20)具有与所述螺纹通孔(101)适配的第一螺纹部(201)，通过将所述第一螺纹部(201)装配于所述螺纹通孔(101)，以使所述喷嘴(20)可拆卸地连接于所述通孔(101)中；所述封口组块(30)具有与所述螺纹通孔(101)适配的第二螺纹部(301)，通过将所述第二螺纹部(301)装配于所述螺纹通孔(101)，以使所述封口组块(30)可拆卸地连接于所述通孔(101)中。
4.根据权利要求2所述的喷淋组件，其特征在于，所述通孔(101)的侧壁上设置有凸起的卡点(1011)，所述卡点(1011)的表面至少在所述通孔(101)的轴线方向上呈圆弧面；所述喷嘴(20)的一端设置有一具有弹性的第一卡环(202),将所述喷嘴(20)装配于所述通孔(101)，所述第一卡环(202)与所述卡点(1011)卡合，以使所述喷嘴(20)可拆卸地连接于所述通孔(101)中；所述封口组块(30)的一端设置有一具有弹性的第二卡环(302)，将所述封口组块(30)装配于所述通孔(101)，所述第二卡环(302)与所述卡点(1011)卡合，以使所述封口组块(30)可拆卸地连接于所述通孔(101)中。
5.根据权利要求4所述的喷淋组件，其特征在于，所述卡点(1011)的数量为多个，所述多个卡点(1011)呈圆周对称地分布于所述通孔(101)的侧壁上，或者所述多个卡点(1011)连成一体形成环状。
6.根据权利要求4所述的喷淋组件，其特征在于，所述卡点(1011)呈半球体结构。
7.根据权利要求2-6任一所述的喷淋组件，其特征在于，所述若干个喷嘴(20)中，每两个喷嘴(20)之间间隔的通孔(101)的数量相等。
8.一种湿刻设备，包括喷淋单元(400)，其特征在于，所述喷淋单元(400)包括多个如权利要求1-7任一所述的喷淋组件(1)，多个喷淋组件(1)中的多个喷淋管(10)相互平行地排列。
9.根据权利要求8所述的湿刻设备，其特征在于，所述喷淋单元(400)中，多个喷嘴(20)呈阵列分布，以喷淋管(10)的长度方向为行，以垂直于喷淋管(10)的长度方向为列，每一列喷嘴(20)均包含所有行中的喷嘴(20)。
10.根据权利要求8所述的湿刻设备，其特征在于，所述喷淋单元(400)中，多个喷嘴(20)呈阵列分布，以喷淋管(10)的长度方向为行，以垂直于喷淋管(10)的长度方向为列，相邻行的喷嘴(20)相互交错，以使相邻行的喷嘴(20)位于不同的列上，间隔一行的喷嘴(20)位于相同的列上。
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