CN104972568A - 一种多线切割导轮 - Google Patents

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韩少华
张立
张久东
高峰
于晋京
范立军
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SHANGHAI QIFA ELECTRONICS TECHNOLOGY CO LTD
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    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
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Abstract

本发明提供一种在多线切割中用于补偿钢线直径变化的导轮，所述导轮呈锥形，能提高产品质量、生产良率的一种方法。

Description

一种多线切割导轮
技术领域
本发明提供一种在多线切割中用于补偿钢线直径变化的导轮。
背景技术
随着光伏和半导体产业的不断发展，各下游厂商对硅片材料的质量提出了更高的要求。为满足各下游厂商的高要求，对硅片切割技术提出了更高的挑战。目前多采用多线切割方法将待加工棒材切割成具有一定厚度的片状产品。在多线切割中通过在导轮上刻有等距、等深的V型槽（以下简称线槽），切割时由一根完整的钢线从机床第一个导轮的第一个槽开始按照顺时针或逆时针的顺序分别缠绕至其他导轮，而当钢线再次回到第一个导轮时由于导轮的第一个槽中有线，则钢线必须沿该导轮的第2个槽开始缠绕，当钢线将导轮中所有槽都绕满时，在导轮之间既形成了密布钢线的线网，使用该线网进行切割作业（如图1所示）。由于用于切割的线网为一根钢线在多个导轮上缠绕而成，所以在切割时由于线网末端的钢线经过线网前端的切割之后，其直径已经变小，整个线网呈现出线网始端高，末端低的状态。这样，在切割时，线网与晶体之间的距离不一致，容易造成切割出的硅片的质量不稳定，降低生产良率。
发明内容
为达到上述发明目的，本发明采用以下技术方案：
一种多线切割导轮,用于补偿钢线直径变化,包括多个导轮以及缠绕在导轮上的钢线，其特征在于：所述导轮呈锥形。
可选地，所述导轮的直径沿入线端和线网始端分别向出线端和线网末端逐渐增大，其直径变化量A的设定：0＜A≤0.6mm。
可选地，还包括放线轮，收线轮，砂浆喷嘴，其中，钢线从放线轮中放出，在所述导轮上缠绕，所述钢线携带由砂浆喷嘴喷出的砂浆能切割被加工棒材，最后能由收线轮收走钢线。
应用本发明，可以补偿钢线直径变化，使线切割机中线网高度一致，避免出现线网与晶体之间距离不一致现象。这样，可以提高产品质量的稳定性，提高生产良率。
附图说明
图1导轮缠绕线网的示意图；
图2为普通导轮线网始端与线网末端线网高度差示意图；
图3为本发明的锥形导轮线网始端与线网末端示意图。
具体实施方式
图1导轮缠绕线网的示意图：图中1为放线轮，2为线网，3为导轮组，4为被加工棒材，5为砂浆喷嘴，6为收线轮。钢线从1中放出，在3上缠绕成2，用2携带由5中喷出的砂浆切割4，最后由6收走。
如图1所示在多线切割中通过在导轮组3上刻有等距、等深的V型槽（图中未显示，以下简称线槽），切割时由一根完整的钢线从机床第一个导轮的第一个槽开始按照顺时针或逆时针的顺序分别缠绕至其他导轮，而当钢线再次回到第一个导轮时由于导轮的第一个槽中有线，则钢线必须沿该导轮的第2个槽开始缠绕，当钢线将导轮中所有槽都绕满时，在导轮之间就形成了密布钢线的线网2，使用该线网进行切割作业。
图2为普通导轮线网始端与线网末端线网高度差示意图。由于导轮直径一致，其头部和尾部线网存在高度差H。
图3为本发明的锥形导轮线网始端21与线网末端22示意图。导轮头部直径D1与尾部直径D2之间存在一直径差A，由于A的存在，弥补了钢线直径变化造成的头尾线网高度差，使线网始端21和线网末端22高度一致。
显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (3)

1.一种多线切割导轮,用于补偿钢线直径变化,包括多个导轮以及缠绕在导轮上的钢线，其特征在于：所述导轮呈锥形。
2.根据权利要求1所述的多线切割导轮，其特征在于：所述导轮的直径沿入线端和线网始端分别向出线端和线网末端逐渐增大，其直径变化量A的设定：0＜A≤0.6mm。
3.根据权利要求2所述的多线切割导轮，其特征在于：还包括放线轮，收线轮，砂浆喷嘴，其中，钢线从放线轮中放出，在所述导轮上缠绕，所述钢线携带由砂浆喷嘴喷出的砂浆能切割被加工棒材，最后能由收线轮收走钢线。
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PB01 Publication
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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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