CN106493866A - 圆锥形导轮在ntc‑pv800线切割机上的使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅片切割技术领域,尤其涉及一种圆锥形导轮在NTC‑PV800线切割机上的使用方法。现有的圆锥形导轮在NTC‑PV800线切割机上的使用方法存在切割能力不均,两极分化严重的缺陷,针对上述缺陷,本发明提供一种圆锥形导轮在NTC‑PV800线切割机上的使用方法,其特征在于:将NTC‑PV800线切割机的进线端和出线端位置对调,将圆锥形导轮安装于NTC‑PV800线切割机上并使其直径沿进线端向出线端逐渐增大,从而使得圆锥形导轮直径较小的一端对应于NTC‑PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较小的一端,圆锥形导轮直径较大的一端对应于NTC‑PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较大的一端。按照本方法将圆锥形导轮应用于NTC‑PV800线切割机上时,切割能力平均,产品线痕率较低,切割良率较高。
Description
技术领域
本发明涉及硅片切割技术领域,尤其涉及一种圆锥形导轮在NTC-PV800线切割机上的使用方法。
背景技术
现有的硅片线切割机进行多线切割时,通常将A、B、C、D四个硅棒(A、B、C、D硅棒的硅棒品质依次降低)按照顺序安装在切割机上,然后通过将砂浆喷洒在高速运转的结构钢线上,由结构钢线携带的砂浆中的碳化硅颗粒对硅棒产生磨削作用,从而实现硅片的多线切割。其中,承载结构钢线的导轮通常为圆柱形,由于结构钢线波形随着切割行程的增加,逐步磨损,携砂能力降低,导致切割后期的硅片(由C、D棒切割出来的硅片)表面造成影响,最终导致线痕率的增加。为了解决这一问题,中国专利公开号CN104972568A的发明专利公开了一种多线切割导轮,其技术方案为:一种多线切割导轮,用于补偿钢线直径变化(即钢线波形损失),包括多个导轮以及缠绕在导轮上的钢线,其特征在于:所述导轮呈圆锥形。进一步地,所述导轮的直径沿入线端和线网始端分别向出线端和线网末端逐渐增大。利用导轮直径变化来补偿钢线波形损失。
将此种导轮应用于NTC-PV800线切割机使用时(如图1所示),导轮2直径沿进线端3向出线端4逐渐变大,虽然能够实现补偿钢线波形损失的目的,但由于NTC-PV800的砂浆喷嘴为等间距设有喷射孔的喷射管(如图2所示),喷嘴进行砂浆喷射时,靠近喷射压力源一端的喷射孔砂浆流量大,远离喷射压力源一端的喷射孔砂浆流量小,而现有的NTC-PV800线切割机进线端(设有A、B硅棒)设置在砂浆流量大的一端,即从进线端3到出线端4砂浆流量逐渐增大,而进线端为新线,携带砂浆能力强,出线端为旧线,携带砂浆能力弱,这就使得导轮上的四个硅棒切割品质出现两极分化,位于进线端的A、B棒品质极佳、位于出线端的C、D棒线痕率极高。
发明内容
针对现有技术中的问题,本发明提供一种圆锥形导轮在NTC-PV800线切割机上的使用方法。
为实现以上技术目的,本发明的技术方案是:一种圆锥形导轮在NTC-PV800线切割机上的使用方法,将NTC-PV800线切割机的进线端和出线端位置对调,将圆锥形导轮安装于NTC-PV800线切割机上并使其直径沿进线端向出线端逐渐增大,从而使得圆锥形导轮直径较小的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较小的一端,直径较大的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较大的一端。
从以上描述可以看出,本发明具备以下优点:钢线切割因素和砂浆流量切割因素互补,平衡了切割因素,使得整刀硅棒切割能力平均,减少了两极分化,从而降低了C、D棒线痕率,提高了切割良率。
作为优选,所述导轮直径变化量A的设定:0<A≤0.5mm。
附图说明
图1是背景技术NTC-PV800线切割机结构示意图;
图2是背景技术NTC-PV800线切割机砂浆喷射装置喷射杆结构示意图;
图3是本发明的结构示意图。
附图说明:图1中:1.硅棒、2.导轮、3.进线端、4.出线端。
具体实施方式
结合图3,详细说明本发明的一个具体实施例,但不对本发明的权利要求做任何限定。
如图3所示,一种圆锥形导轮在NTC-PV800线切割机上的使用方法,将NTC-PV800线切割机的进线端和出线端位置对调,将圆锥形导轮安装于NTC-PV800线切割机上并使其直径沿进线端向出线端逐渐增大,从而使得圆锥形导轮直径较小的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较小的一端,直径较大的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较大的一端。
图3为切割机上的硅棒、导轮、进线端和出线端的结构简图,切割机其他结构略,其他结构可参见附图1,图3视角与图1视角基本一致
此种使用方法,使得进线端和导轮直径较小的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较小的一端,出线端和导轮直径较大的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较大的一端。
进线端为新线,携带砂浆能力强,但砂浆流量小,出线端为旧线,携带砂浆能力弱,但砂浆流量大,从而实现了切割因素的平衡,使得整刀硅棒切割能力平均,减少了两极分化,从而降低了C、D棒线痕率,提高了切割良率。
导轮直径变化量A的设定最好为:0<A≤0.5mm。
分别采用现有使用方法和本发明所述的使用方法在NTC-PV800切割机上满载940mm硅棒进行切割,其切割效果对比数据如下表所示:
良率 | 线痕率 | |
现有使用方法 | 89.24% | 2.35% |
本发明方法 | 91.02% | 1.14% |
综上所述,本发明具有以下优点:钢线切割因素和砂浆流量切割因素互补,平衡了切割因素,使得整刀硅棒切割能力平均,减少了两极分化,从而降低了C、D棒线痕率,提高了切割良率。
可以理解的是,以上关于本发明的具体描述,仅用于说明本发明而并非受限于本发明实施例所描述的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解,仍然可以对本发明进行修改或等同替换,以达到相同的技术效果;只要满足使用需要,都在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种圆锥形导轮在NTC-PV800线切割机上的使用方法,其特征在于:将NTC-PV800线切割机的进线端和出线端位置对调,将圆锥形导轮安装于NTC-PV800线切割机上并使其直径沿进线端向出线端逐渐增大,从而使得圆锥形导轮直径较小的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较小的一端,直径较大的一端对应于NTC-PV800线切割机砂浆喷杆砂浆流量较大的一端。
2.根据权利要求1所述的圆锥形导轮在NTC-PV800线切割机上的使用方法,其特征在于:所述导轮直径变化量A的设定:0<A≤0.5mm。
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