CN104955258B - 等离子体电极装置及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本实施例涉及等离子体电极装置及其制造方法。本实施例的等离子体电极装置包括：第一基板，包括具有第一流动孔的第一基板本体及配置于上述第一基板本体的一面的第一放电电极，空气在上述第一流动孔流动，以及第二基板，配置于上述第一基板的一侧，具有第二流动孔及与上述第一基板发生作用的第二放电电极，空气在上述第二流动孔流动；上述第一基板本体包括：接地电极，与上述第一放电电极或第二放电电极发生作用，来执行等离子体放电；以及第一绝缘体，与上述接地电极相结合。

Description

等离子体电极装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及等离子体电极装置。
背景技术
最近，为了节约能量，建筑物将外部气体的导入量最小化以实现气密化，由此导致了室内空气污染日益严重。因此，对于室内污染物质的各种法律规定越来越加强。
另一方面，在设于家庭或公司等的家用电器运行的过程中，室内污染物质可在家用电器的内部产生并沉着，或者从家用电器排出。这种室内污染物质会引发令人不愉快的味道，并对用户的卫生产生坏影响。例如，空调机、除湿机、空气净化器、冰箱或洗衣机等使用包含水分的空气或水的家用电器的情况下，在家用电器的内部或外部会发生灰尘或微生物等造成的污染。
详细地，上述室内污染物质可以分为：(1)如细粉尘、石棉等的粒子状污染物质；(2)如二氧化碳、甲醛、挥发性有机化合物(VOC，volatile organic compounds)等的气体状污染物质；以及(3)病毒、霉、细菌等生物学性污染物质。
为了去除这种室内污染物质，可利用沿面放电(creeping discharge)的等离子体化学处理方式。通常，上述沿面放电的等离子体化学处理方式，是指，作为利用陶瓷的高频放电型，在器件表面形成强力的等离子体区域来生成大量OH自由基和臭氧，并利用该OH自由基和臭氧来去除污染物质的方式。
关于这种技术，本申请人以往实施了如下的申请(以下，以往技术)(登录编号：KR10-0657476，发明名称：沿面放电型空气净化装置，登录日期：2006年12月7日)。
根据上述以往技术的空气净化装置包括等离子体电极装置，上述等离子体电极装置包括：放电电极，设于由两张附着而成的绝缘性电介质的上表面；接地电极，设于两张绝缘性电介质之间；以及涂敷层，密封上述放电电极，以防止上述放电电极直接露出于大气中。其中，上述绝缘性电介质能够以涂敷绝缘性物质的方式构成。作为一例，上述绝缘性物质包括陶瓷。
另一方面，当涂敷上述绝缘性物质或构成上述涂敷层时，为了实现均匀的放电，需均匀地涂敷在电极的表面。然而，以往技术的等离子体电极装置存在很难以均匀的厚度进行上述涂敷且在涂敷过程中在电极的表面产生允许范围以上的凹凸的问题。
并且，利用以往的等离子体电极装置的情况下，所产生的离子的量不充分，而存在无法有效去除污染物质的问题。并且，等离子体放电过程中，存在对人体有害的臭氧的产生量多的问题。
发明内容
为了解决如上所述的问题，本实施例的目的在于提供能够去除污染物质的等离子体电极装置。
根据本实施例的等离子体电极装置包括：第一基板，包括具有第一流动孔的第一基板本体及配置于上述第一基板本体的一面的第一放电电极，空气在上述第一流动孔流动，以及第二基板，配置于上述第一基板的一侧，具有第二流动孔及与上述第一基板发生作用的第二放电电极，空气在上述第二流动孔流动；上述第一基板本体包括：接地电极，与上述第一放电电极或第二放电电极发生作用，来执行等离子体放电；以及第一绝缘体，与上述接地电极相结合。
并且，本发明的特征在于，上述第一绝缘体以包围上述接地电极的方式配置。
并且，上述第一绝缘体包括：第一基座，用于放置上述接地电极；第一侧面部，从上述第一基座的两侧部延伸并包围上述接地电极的侧面；以及第一上面部，从上述第一侧面部延伸并覆盖上述接地电极的上表面。
并且，上述第二基板包括包围上述第二放电电极的第二绝缘体。
并且，上述第二绝缘体包括：第二基座，用于放置上述第二放电电极；第二侧面部，从上述第二基座的两侧部延伸并包围上述第二放电电极的侧面；以及第二上面部，从上述第二侧面部延伸并覆盖上述第二放电电极的上表面。
并且，上述第一基板和第二基板的之间包括间隔形成部，上述间隔形成部用于使上述第二基板从上述第一基板隔开设定间隔(d)。
并且，上述设定间隔(d)具有几微米(μm)单位的值。
并且，上述第一绝缘体或第二绝缘体由环氧树脂构成。
并且，上述第一绝缘体和第一放电电极之间包括光催化剂部，上述光催化剂部被可见光激活而分解污染物质或减少臭氧量。
并且，上述光催化剂部包含磷酸银(Ag3PO4)、二氧化钛(TiO2)及无机粘结剂。
并且，本发明的特征在于，上述第一流动孔设有多个；上述第二流动孔的数量与多个第一流动孔的数量相同，多个上述第二流动孔分别与多个上述第一流动孔相连通。
并且，上述第一放电电极包括：放电电极部，电源施加于上述放电电极部；图案框架，以包围上述第一流动孔的方式配置，且呈预先设定的图形形状；以及一个以上的放电针，设于上述图案框架。
并且，本发明的特征在于，上述第一流动孔形成有多个，上述图案框架以包围上述多个第一流动孔中的一部分第一流动孔的方式配置。
根据再一方面的等离子体电极装置的制造方法包括制造第一基板的步骤；上述制造第一基板的步骤包括：在第一绝缘体的下面部配置接地电极的步骤，在上述接地电极覆盖上述第一绝缘体的侧面部及上面部的步骤，在上述第一绝缘体的上侧配置光催化剂部的步骤，以及在上述光催化剂部的上侧配置第一放电电极的步骤。
并且，上述等离子体电极装置的制造方法还包括：制造第二基板的步骤，以及以从上述第一基板隔开间隔形成部的方式配置上述第二基板的步骤；上述制造第二基板的步骤包括：在第二绝缘体的下面部配置第二放电电极的步骤，以及在向外部露出的上述第二放电电极的侧面及上表面覆盖上述第二绝缘体的侧面部及上面部的步骤。
根据另一方面的等离子体电极装置包括：第一基板，具有包括接地电极及光催化剂部的第一基板本体和配置于上述第一基板本体的一面的第一放电电极；第一绝缘体，以包围上述接地电极的方式配置于上述第一基板本体；第二基板，配置于上述第一基板的一侧，并具有第二基板本体，上述第二基板本体具有与上述接地电极发生作用的第二放电电极；第二绝缘体，以包围上述第二放电电极的方式配置于上述第二基板本体；以及间隔形成部，用于使上述第一基板和第二基板隔开。
并且，本发明的特征在于，上述第一基板还包括具有多个第一流动孔的第一基板本体，空气在上述多个第一流动孔流动；上述第一放电电极配置于上述第一基板本体的一面。
并且，上述第一放电电极包括：放电电极部，电源施加于上述放电电极部；图案框架，配置于上述多个第一流动孔的外侧且呈封闭的图形形状；以及一个以上的放电针，从上述图案框架的图形的外周面突出。
并且，本发明的特征在于，上述图案框架的图形包括圆形、椭圆形及多角形中的一种图形。
并且，上述第二基板本体包括多个第二流动孔，上述多个第二流动孔配置于与上述多个第一流动孔相对应的位置。
根据所提出的实施例，等离子体电极装置包括具有第一放电电极及接地电极的第一基板和具有第二放电电极的第二基板，能够借助第一放电电极和接地电极之间的作用而产生大量的离子，能够借助第二放电电极和接地电极之间的作用而产生大量的自由基。
并且，本发明具有如下效果，能够借助上述大量的离子产生而去除污染物质或容易去除附着于规定位置的味道，能够借助上述大量的自由基容易去除空气中浮游的味道。
并且，本发明还具有如下效果，在由金属板构成的电极的外侧以包围的方式配置由环氧树脂构成的绝缘体，因此能够容易发生等离子体放电。
并且，本发明存在如下优点，等离子体电极装置具有与可见光反应的光催化剂部，因而能够容易分解多种有害物质，执行抗菌及杀菌功能，并降低臭氧量。
附图说明
图1为示出本发明的实施例的等离子体电极装置的结构的立体图。
图2为放大图1的“A”部分的附图。
图3为本发明的实施例的等离子体电极装置的分解立体图。
图4为示出本发明的实施例的第一基板的结构的俯视图。
图5为示出本发明的实施例的第二基板的结构的俯视图。
图6为沿着图1的I-I'线剖切的剖视图。
图7为示出本发明的实施例的等离子体电极装置的制造方法的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的具体的实施例进行说明。但是，本发明的思想并不局限于所提出的实施例，能够理解本发明的思想的本技术领域的普通技术人员能够在与本发明相同的思想范围内容易提出其他实施例。
图1为示出本发明的实施例的等离子体电极装置的结构的立体图，图2为放大图1的“A”部分的附图，图3为本发明的实施例的等离子体电极装置的分解立体图。
参照图1至图3，本发明的实施例的等离子体电极装置100包括以相互对置的方式配置的第一基板200及第二基板300。作为一例，上述第二基板300配置于上述第一基板200的下侧，上述第一基板20、第二基板300的大小及形状可以相同。可将上述第一基板200称为“上板”，将上述第二基板300称为“下板”。
详细地，上述第一基板200和第二基板300之间包括间隔形成部400，上述间隔形成部400用于使上述第一基板200和第二基板300隔开设定间隔d。作为一例，上述设定间隔d可以具有几微米(μm)单位的值。
上述第一基板200包括：第一基板本体201，大致呈四角板形状；以及一个以上的第一流动孔250，贯通上述第一基板本体201，来引导空气的流动。上述第一流动孔250可以设有多个。作为一例，如图4所示，上述第一流动孔250可以设有15个。
上述第一基板200包括具有图案框架243(参照图4)的第一放电电极240，上述图案框架243以包围上述多个第一流动孔250中的至少一部分第一流动孔250的方式配置。上述图案框架243能够以包围上述多个第一流动孔250中的一部分第一流动孔250的方式构成。作为一例，上述图案框架243可以包围15个第一流动孔250中的6个第一流动孔250。
上述第二基板300包括：第二基板本体301，大致呈四角板形状；以及一个以上的第二流动孔350，贯通上述第二基板本体301，来引导空气流动。上述第二流动孔350可以形成有多个。作为一例，如图5所示，上述第二流动孔350可以设有与上述第一流动孔250的数量相同的15个。并且，上述多个第二流动孔350可以以能够分别与上述多个第一流动孔250相连通的方式位于上述多个第一流动孔250的下侧。
在上述等离子体电极装置100运行而进行等离子体放电的过程中，通过上述多个第一流动孔250及多个第二流动孔350的空气可以被氧化或分解。
图4为示出本发明的实施例的第一基板的结构的俯视图，图5为示出本发明的实施例的第二基板的结构的俯视图，图6为沿着图1的I-I'线剖切的剖视图。
参照图4及图6，本发明的实施例的第一基板200包括：第一基板本体201，用于形成多个第一流动孔250；以及第一放电电极240，设于上述第一基板本体201的一面。
上述第一基板本体201包括：接地电极210；第一绝缘体220，包围上述接地电极210；以及光催化剂部230，设于上述第一绝缘体220的至少一面。
上述第一放电电极240包括：放电电极部241，电源施加于放电电极部241；图案框架243，以包围上述多个第一流动孔250中的至少一部分第一流动孔250的方式配置；以及一个以上的放电针245，设于上述图案框架243。
上述图案框架243可以设有多个，并包括包围上述第一流动孔250的封闭的图形。上述图形可以包括圆形、椭圆形或多角形。并且，上述放电针245从上述图形的外周面突出。
上述第一放电电极240包括从上述放电电极部241向上述多个图案框架243延伸的连接线242。上述连接线242可以以从上述放电电极部241向上述多个图案框架243分支的方式构成。
上述第一放电电极240可以通过印刷金属氧化物糨糊来生生成。上述金属氧化物糨糊中，金属物质可以选自钨、铁、铜、白金及银。作为一例，上述金属物质可以为银(Ag)。
作为一例，可以用氧化银糨糊印刷上述第一放电电极240，上述氧化银糨糊的电阻为10～20Ω，因电阻值低而容易放电，因此，在整个电极发生均匀的放电。并且，上述氧化银糨糊具有能够借助放电减少臭氧的量的优点。
参照图5，本发明的实施例的第二基板300包括第二基板本体301，多个第二流动孔350形成于上述第二基板本体301。上述第二基板本体301包括第二放电电极310及包围上述第二放电电极310的第二绝缘体320。以下，对上述第一基板本体201及上述第二基板本体301的结构进行详细说明。
图7为示出本发明的实施例的等离子体电极装置的制造方法的流程图。
参照图6及图7，本发明的实施例的第一基板200的第一基板本体201包括：接地电极210，与上述第一放电电极240或第二放电电极310发生作用来执行等离子体放电；以及第一绝缘体220，包围上述接地电极210，以防止上述接地电极210向外部露出。
上述接地电极210可以由金属板构成，作为一例，可以由铜(Cu)构成，上述第一绝缘体220可以由环氧(epoxy)树脂构成。上述第一绝缘体220能够以包围上述接地电极210的两侧面及上下面的方式配置。
详细地，上述第一绝缘体220包括：下面部221，用于放置上述接地电极210；侧面部222，从上述下面部221的两侧部向上方延伸；以及上面部223，用于覆盖上述侧面部222的上侧。上述接地电极210的外侧面被上述第一绝缘体220的下面部221、侧面部222及上面部223完全包围。
对上述接地电极210和第一绝缘体220的制造方法进行简单说明。
在上述第一绝缘体220的下面部221的上侧印刷上述接地电极210(掩盖，masking)。其中，上述下面部221由环氧树脂构成，可以理解为用于设置上述接地电极210的“基座”(步骤S11)。
若印刷上述接地电极210，则上述接地电极210的下表面被上述第一绝缘体220遮蔽，上述接地电极210的侧面及上表面向外部露出。
在向外部露出的上述接地电极210的侧面及上表面涂敷上述第一绝缘体220的侧面部222及上面部223。此时，所涂敷的侧面部222及上面部223可以由与上述下面部221相同的环氧树脂构成(步骤S12)。
在上述第一绝缘体220的上侧配置与可见光反应或被可见光激活的光催化剂部230(步骤S13)。换句话说，上述光催化剂部230配置于上述第一绝缘体220和第一放电电极240的之间。上述光催化剂部230能够易于分解多种有害物质，执行抗菌及杀菌功能，并执行降低臭氧量的功能。
上述可见光理解为在上述等离子体电极装置100的外部存在的外部光源。作为一例，上述可见光可以包括在规定的空间存在的自然光或照明源。
上述光催化剂部230包括多种组合物。详细地，上述多种组合物可以包含磷酸银(Ag3PO4)、二氧化钛(TiO2)及无机粘结剂。作为一例，可以由20至50重量份的上述磷酸银(Ag3PO4)、5至40重量份的上述二氧化钛(TiO2)、10至40重量份的上述无机粘结剂组成。
上述二氧化钛(TiO2)在紫外线的照射下表现高的活性，可具有不被酸、碱、有机溶剂侵蚀的化学上的稳定性。
上述磷酸银(Ag3PO4)可借助385nmm以上、平均500nm的可见光线波长带的光能量表现催化活性反应。由于在上述二氧化钛中混合有上述磷酸银，因而上述光催化剂部也能被可见光有效激活。并且，上述磷酸银因其本身的抗菌(细菌、霉等)性能和借助磷酸银在低能量(可见光波长区域)与二氧化钛的一同被激活，而能够具有有机物(微生物、恶臭成分)分解效率的倍加效果。
上述无机粘结剂包含聚硅酸盐(polysilicate)化合物。上述聚硅酸盐化合物可以由胶体氧化硅(SiO2)及金属醇盐组成。另一方面，无机粘结剂还可包含其他成分。本发明所述领域的普通技术人员可以考虑最终生成的涂敷用组合物的特性来选择上述其他成分。例如，上述其他成分可以包含稳定剂、酸催化剂、固化剂、金属添加剂等。
稳定剂可以使用选自主要由乙酰丙酮、乙酰乙酸乙酯、乙酰丙酮铁、链烷醇胺及它们的组合组成的组中的稳定剂。优选地，在无机粘结剂内稳定剂可以使用0.1至0.5重量份。
酸催化剂可以使用选自由磷酸金属催化剂、盐酸金属催化剂、硝酸金属催化剂、磷酸-盐酸复合金属催化剂及它们的组合组成的组中的催化剂。优选地，在无机粘结剂内酸催化剂可以使用0.01至0.5重量份。
固化剂可以使用选自主要由脂肪族聚胺类、丙烯腈改性胺、聚酰胺、聚酰胺基胺、二氰二胺、酰胺树脂、异氰酸盐、三聚氰胺及它们的组合组成的组中的固化剂。优选地，在无机粘结剂内固化剂可以使用0.05至1重量份。
金属添加剂可以使用铝化合物。上述铝化合物可以混合异丙醇铝和氯化铝。优选地，在无机粘结剂内上述金属添加剂可以使用0.05至0.5重量份。
上述光催化剂部230是上述多种组合物与规定的溶液混合而成的溶液形态，能够与上述第一绝缘体220的上面部223相结合。
作为一例，上述光催化剂部230可以通过涂敷与上述上面部223相结合。作为一例，上述涂敷可以使用浸涂、喷涂、丝网印刷等方法。采用上述浸涂的情况下，干燥温度根据涂敷基材的特性而不同，例如，可在148至152℃的范围进行9至11分钟。像这样，上述光催化剂部190以溶液的形态制造，并涂敷于上述壳体110。由此能够容易与上述壳体110的表面相结合(确保结合力)。
若具有如上所述的结构的光催化剂部230设于上述上面部230，则借助上述光催化剂部230的催化作用，水(H2O)或氧(O2)等可以转换为活性氧簇(ROS，Reactive OxygenSpecies)。上述活性氧簇包括羟自由基(OH-)、过氧化氢(H2O2)等。
上述活性氧簇能够执行强力的杀菌(氧化)及除臭作用。详细地，上述活性氧簇不仅能够将由有机物构成的细菌或霉等生物学性污染物质分解为对人体无害的水和二氧化碳，而且还能够将甲苯、氨等气体分解为对人体无害的水和二氧化碳。因此，能够借助上述光催化剂部230，来防止会因空气或水分而发生的污染物质的生成，即，灰尘的堆积或微生物的繁殖等。
可在上述光催化剂部230的上侧配置第一放电电极240。如上所述，上述第一放电电极240能够以在上述光催化剂部230的上表面印刷金属氧化物糨糊的方式生成(步骤S14)。通过执行上述步骤S11～步骤S14来完成上述第一基板200的制造。
对具有如上所述的结构的第一基板200的作用简单说明。
若对具有上述图案框架243的第一放电电极240施加开启电压以上的高电压，则在上述接地电极210和第一放电电极240的周边发生高电场引起的放电现象。
并且，经过上述接地电极210和第一放电电极240的周边的自由电子因上述电场而被加速，与空气中的中性分子(氧、氮等)冲突而使分子离子化，由此产生大量的离子。此时，上述空气可以是在上述第一流动孔250流动的空气。上述第一放电电极240理解为用于产生离子的“离子产生用电极”。
执行制造上述第一基板200的步骤之后，可以执行制造上述第二基板300的步骤。并且，将上述第二基板300以隔开的方式配置于上述第一基板200的下侧。
详细地，上述第二基板300的第二基板本体301包括：第二放电电极310，与上述接地电极210发生作用来执行等离子体放电；以及第二绝缘体320，包围上述第二放电电极310，以防止上述第二放电电极310向外部露出。
上述第二放电电极310可以由金属板构成，作为一例，可以由铜(Cu)构成，上述第二绝缘体320可以由环氧(epoxy)树脂构成。
上述第二绝缘体320包括：下面部321，用于放置上述第二放电电极310；侧面部322，从上述下面部321的两侧部向上方延伸；以及上面部323，覆盖上述侧面部的上侧。上述第二放电电极310的外侧被上述第二绝缘体320的下面部、侧面部及上面部完全包围。
对上述第二放电电极310和第二绝缘体320的制造方法进行简单说明。
在上述第二绝缘体320的下面部321的上侧印刷(覆盖，masking)上述第二放电电极310。其中，上述下面部321由环氧树脂构成，可以理解为用于设置上述第二放电电极310的“基座”。
在向外部露出的上述第二放电电极310的侧面及上表面涂敷上述第二绝缘体320的侧面部322及上面部323。此时，所涂敷的侧面部322及上面部323可以由与上述下面部321相同的环氧树脂。
在上述第二绝缘体320的上侧配置与可见光反应或被可见光激活的光催化剂部230。
具有利用如上所述的方法制造的第二放电电极310及第二绝缘体320的第二基板300能够以从上述第一基板200的下侧隔开上述间隔形成部400的方式配置(步骤S15、步骤S16).
可将上述第一绝缘体220的下面部221、侧面部222及上面部223分别称为第一基座、第一侧面部及第一上面部，可将上述第二绝缘体320的下面部321、侧面部322及上面部323分别称为第二基座、第二侧面部及第二上面部。
对具有如上所述的结构的第二基板300和上述接地电极210的作用简单说明。
若对上述第二放电电极310施加开启电压以上的高电压，则上述接地电极210和第二放电电极310的之间的绝缘被破坏，并发生高电场引起的放电现象，从而形成强力的等离子体区域。
并且，经过上述等离子体区域的自由电子借助上述电场而与空气发生反应，其结果，会产生大量OH自由基。此时，上述空气可以为在上述第二流动孔350流动的空气。上述第二放电电极310借助上述间隔形成部400，从上述接地电极210隔开，理解为用于产生自由基离子的“沿面放电用电极”。
综上，本发明的实施例的等离子体电极装置借助接地电极和第一放电电极的等离子体放电产生大量离子，其结果，能够去除污染物质或易于去除在规定的场所附着的味道。
并且，借助上述接地电极和第二放电电极的等离子体放电(沿面放电)产生大量自由基，其结果，能够容易去除空气中的味道。
并且，由于上述电极装置具有光催化剂部，因而能够易于分解有害物质，执行抗菌及杀菌功能，并能够降低臭氧量。

Claims (19)

1.一种等离子体电极装置，其特征在于，
包括：
第一基板，包括具有第一流动孔的第一基板本体及配置于上述第一基板本体的一面的第一放电电极，空气在上述第一流动孔流动，以及
第二基板，配置于上述第一基板的一侧，具有第二流动孔及与上述第一基板发生作用的第二放电电极，空气在上述第二流动孔流动；
上述第一基板本体包括：
接地电极，与上述第一放电电极或第二放电电极发生作用，来执行等离子体放电；以及
第一绝缘体，与上述接地电极相结合，
上述第一绝缘体和第一放电电极之间包括光催化剂部，上述光催化剂部被可见光激活而分解污染物质或减少臭氧量。
2.根据权利要求1所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第一绝缘体以包围上述接地电极的方式配置。
3.根据权利要求2所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第一绝缘体包括：
第一基座，用于放置上述接地电极；
第一侧面部，从上述第一基座的两侧部延伸并包围上述接地电极的侧面；以及
第一上面部，从上述第一侧面部延伸并覆盖上述接地电极的上表面。
4.根据权利要求1所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第二基板包括包围上述第二放电电极的第二绝缘体。
5.根据权利要求4所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第二绝缘体包括：
第二基座，用于放置上述第二放电电极；
第二侧面部，从上述第二基座的两侧部延伸并包围上述第二放电电极的侧面；以及
第二上面部，从上述第二侧面部延伸并覆盖上述第二放电电极的上表面。
6.根据权利要求1所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第一基板和第二基板的之间包括间隔形成部，上述间隔形成部用于使上述第二基板从上述第一基板隔开设定间隔。
7.根据权利要求6所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述设定间隔具有几微米单位的值。
8.根据权利要求4所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第一绝缘体或第二绝缘体由环氧树脂构成。
9.根据权利要求1所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述光催化剂部包含磷酸银、二氧化钛及无机粘结剂。
10.根据权利要求1所述的等离子体电极装置，其特征在于，
上述第一流动孔设有多个；
上述第二流动孔的数量与多个第一流动孔的数量相同，多个上述第二流动孔分别与多个上述第一流动孔相连通。
11.一种等离子体电极装置，其特征在于，
包括：
第一基板，包括具有第一流动孔的第一基板本体及配置于上述第一基板本体的一面的第一放电电极，空气在上述第一流动孔流动，以及
第二基板，配置于上述第一基板的一侧，具有第二流动孔及与上述第一基板发生作用的第二放电电极，空气在上述第二流动孔流动；
上述第一基板本体包括：
接地电极，与上述第一放电电极或第二放电电极发生作用，来执行等离子体放电；以及
第一绝缘体，与上述接地电极相结合，
上述第一放电电极包括：
放电电极部，电源施加于上述放电电极部；
图案框架，以包围上述第一流动孔的方式配置，且呈预先设定的图形形状；以及
一个以上的放电针，设于上述图案框架。
12.根据权利要求11所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第一流动孔形成有多个，上述图案框架以包围上述多个第一流动孔中的一部分第一流动孔的方式配置。
13.一种等离子体电极装置的制造方法，其特征在于，
包括制造第一基板的步骤；
上述制造第一基板的步骤包括：
在第一绝缘体的下面部配置接地电极的步骤，
上述第一绝缘体的侧面部及上面部覆盖上述接地电极的步骤，
在上述第一绝缘体的上侧配置光催化剂部的步骤，以及
在上述光催化剂部的上侧配置第一放电电极的步骤。
14.根据权利要求13所述的等离子体电极装置的制造方法，其特征在于，
还包括：
制造第二基板的步骤，以及
以从上述第一基板隔开间隔形成部的方式配置上述第二基板的步骤；
上述制造第二基板的步骤包括：
在第二绝缘体的下面部配置第二放电电极的步骤，以及
在向外部露出的上述第二放电电极的侧面及上表面覆盖上述第二绝缘体的侧面部及上面部的步骤。
15.一种等离子体电极装置，其特征在于，包括：
第一基板，具有包括接地电极及光催化剂部的第一基板本体和配置于上述第一基板本体的一面的第一放电电极；
第一绝缘体，以包围上述接地电极的方式配置于上述第一基板本体；
第二基板，配置于上述第一基板的一侧，并具有第二基板本体，上述第二基板本体具有与上述接地电极发生作用的第二放电电极；
第二绝缘体，以包围上述第二放电电极的方式配置于上述第二基板本体；以及
间隔形成部，用于使上述第一基板和第二基板隔开。
16.根据权利要求15所述的等离子体电极装置，其特征在于，
上述第一基板还包括具有多个第一流动孔的第一基板本体，空气在上述多个第一流动孔流动；
上述第一放电电极配置于上述第一基板本体的一面。
17.根据权利要求16所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第一放电电极包括：
放电电极部，电源施加于上述放电电极部；
图案框架，配置于上述多个第一流动孔的外侧且呈封闭的图形形状；以及
一个以上的放电针，从上述图案框架的图形的外周面突出。
18.根据权利要求17所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述图案框架的图形包括圆形、椭圆形及多角形中的一种图形。
19.根据权利要求16所述的等离子体电极装置，其特征在于，上述第二基板本体包括多个第二流动孔，上述多个第二流动孔配置于与上述多个第一流动孔相对应的位置。
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