CN104878352A - 一种沉积土豪金膜层的设备及其使用方法 - Google Patents

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convex
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杜旭颖
阮志明
王大洪
曾德强
庞文峰
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Shenzhen Just With Faithful And Honest Limited-Liability Co
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Abstract

本发明涉及一种沉积土豪金膜层的设备，包括一个密封的真空腔体，在该真空腔体内设有一个圆环形的转架，在该转架上等距排列有若干个工件，在转架中间处设置有上下两排呈弧形排列的加热管，在真空腔体的左右两侧设置有对称相同的两个凸腔，凸腔内设置有用于放置Ti靶和Zr靶的料口及气管，在其中一个凸腔的上端则设有一个用于放置离子源的小凸腔，在该真空腔体的上端连通有一个抽真空系统。全球土豪金（可替代黄金）颜色标准色办片由我司制作，具有亮度高、红度合适、黄度高、耐腐蚀、耐磨、膜层均匀的特点；工艺稳定性及一致性较好；膜层厚度、硬度、耐腐蚀性与同行业相比有质的飞跃。

Description

一种沉积土豪金膜层的设备及其使用方法
技术领域
本发明属于真空镀膜技术领域，涉及一种沉积土豪金膜层的设备及其使用方法。
背景技术
色彩具有强大的视觉表现效果，色系本身就意味着轻与重、冷与暖、华丽朴实，正面与负面等较多情感意义，展现无尽的联想和象征特性，以不同形式刺激不同的产品消费，并可结合图像、文字等辅助设施，对人的心灵和精神产生巨大的影响。
消费类电子产品要想获得广大的消费市场，满足众多消费人群的使用需求，就必须通过创新的色彩设计，来满足来自不同年龄、性别、地区、职业、文化程度的消费者。消费者的购买行为是由独特、个性、新潮的设计来促进的，通过颜色设计来改善产品现有状况，增强消费者的审美需求可以在促进消费行为方面得到一定良好的效果。
真空镀膜行业的仿金颜色类似黄金，但又非黄金成份，现阶段做出来的仿金颜色除黄度可保证外，其亮度、红度、耐腐蚀性都不尽人意。
土豪金是仿金膜层中一种高端的膜层，主要成分是TiN，此外还有部分掺杂元素的氮化物，掺杂的作用是多方面的，薄膜的颜色、力学、化学和光学性能以及结构都会随掺杂材料的种类和掺杂含量而改变。对TiN薄膜掺适量的ZrN，可以提高膜层的耐腐蚀性能、表面更光滑、颜色的调节范围也更大。
发明内容
为了克服现有技术的上述缺点，本发明提供一种沉积土豪金膜层的设备及其使用方法，使不锈钢表面装饰土豪金色，土豪金色薄膜附着性能良好，亮度高，耐磨擦，高硬度，热稳定，耐腐蚀，耐化学品，完全能满足客户产品的装饰要求。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种沉积土豪金膜层的设备，包括一个密封的真空腔体，在该真空腔体内设有一个圆环形的转架，在该转架上等距排列有若干个工件，在转架中间处设置有上下两排呈弧形排列的加热管，在真空腔体的左右两侧设置有对称相同的两个凸腔，凸腔内设置有设置有用于放置Ti靶和Zr靶的料口及气管，在其中一个凸腔的上端则设有一个用于放置离子源的小凸腔，在该真空腔体的上端连通有一个抽真空系统。
一种沉积土豪金膜层的设备的使用方法，其步骤是：
第一步：镀膜之前先对工件进行化学清洗，清洗掉产品表面的油污、腊和颗粒物等；
第二步：对真空腔体进行抽真空处理，将真空腔体内抽至2-9×10-4Pa，并通过加热管对真空腔体内进行加热，加热温度为80-300℃；
第三步：在真空腔体内对转架上的工件进行离子清洗，清洗时间为5-20min；
第四步：利用一对Ti靶沉积Ti底层，，沉积时间5-30min；
第五步：利用Ti靶和Zr靶沉积(Ti,Zr)NC层，沉积时间0.5-4H，降温至100℃后出炉。
在所述上下两排加热管之间设置有与凸腔内的料口及气管相连通的料口及气管。
本发明的有益效果是：全球土豪金（可替代黄金 ）颜色标准色办片由我司制作，具有亮度高、红度合适、黄度高、耐腐蚀、耐磨、膜层均匀的特点；工艺稳定性及一致性较好；膜层厚度、硬度、耐腐蚀性与同行业相比有质的飞跃。
附图说明
图1是本发明设备结构示意图。
图中：1-抽真空系统，2-真空腔体，3-工件，4-小凸腔，5-凸腔，6-转架，7-加热管，8-气管。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
参见图1，一种沉积土豪金膜层的设备，包括一个密封的真空腔体，在该真空腔体内设有一个圆环形的转架，在该转架上等距排列有若干个工件，在转架中间处设置有上下两排呈弧形排列的加热管，在真空腔体的左右两侧设置有对称相同的两个凸腔，凸腔内设置有设置有用于放置Ti靶和Zr靶的料口及气管，在其中一个凸腔的上端则设有一个用于放置离子源的小凸腔，在该真空腔体的上端连通有一个抽真空系统。
一种沉积土豪金膜层的设备的使用方法，其步骤是：
第一步：镀膜之前先对工件进行化学清洗，清洗掉产品表面的油污、腊和颗粒物等；
第二步：对真空腔体进行抽真空处理，将真空腔体内抽至2-9×10-4Pa，并通过加热管对真空腔体内进行加热，加热温度为80-300℃；
第三步：在真空腔体内对转架上的工件进行离子清洗，清洗时间为5-20min；
第四步：利用一对Ti靶沉积Ti底层，，沉积时间5-30min；
第五步：利用Ti靶和Zr靶沉积(Ti,Zr)NC层，沉积时间0.5-4H，降温至100℃后出炉。
在所述上下两排加热管之间设置有与凸腔内的料口及气管相连通的料口及气管。
实施例1
工件清洗后，进炉，抽真空至8×10-4Pa，加热到250℃，然后离子清洗10min，底层沉淀20min，颜色层沉淀120min，降温至100℃后出炉，测试结果：膜厚0.96um，百格硬度5B，牛仔布耐磨擦、盐雾测试通过，表面光滑，外观良好，i7色差仪测试的颜色L=74.26，a=2.65，b=18.62。
实施例2
工件清洗后，进炉，抽真空至8×10-4Pa，加热到250℃，然后离子清洗10min，底层沉淀20min，颜色层沉淀180min，降温至100℃后出炉，测试结果：膜厚1.43um，百格硬度5B，牛仔布耐磨擦、盐雾测试通过，表面光滑，外观良好，i7色差仪测试的颜色L=73.01，a=3.15，b=17.02。
实施例3
工件清洗后，进炉，抽真空至8×10-4Pa，加热到250℃，然后离子清洗10min，底层沉淀20min，颜色层沉淀210min，降温至100℃后出炉，测试结果：膜厚1.76um，百格硬度5B，牛仔布耐磨擦、盐雾测试通过，表面光滑，外观良好，i7色差仪测试的颜色L=72.61，a=3.72，b=16.29。

Claims (3)

1.一种沉积土豪金膜层的设备，其特征是：包括一个密封的真空腔体，在该真空腔体内设有一个圆环形的转架，在该转架上等距排列有若干个工件，在转架中间处设置有上下两排呈弧形排列的加热管，在真空腔体的左右两侧设置有对称相同的两个凸腔，凸腔内设置有设置有用于放置Ti靶和Zr靶的料口及气管，在其中一个凸腔的上端则设有一个用于放置离子源的小凸腔，在该真空腔体的上端连通有一个抽真空系统。
2.一种沉积土豪金膜层的设备的使用方法，其特征在于步骤是：
第一步：镀膜之前先对工件进行化学清洗，清洗掉产品表面的油污、腊和颗粒物等；
第二步：对真空腔体进行抽真空处理，将真空腔体内抽至2-9×10-4Pa，并通过加热管对真空腔体内进行加热，加热温度为80-300℃；
第三步：在真空腔体内对转架上的工件进行离子清洗，清洗时间为5-20min；
第四步：利用一对Ti靶沉积Ti底层，，沉积时间5-30min；
第五步：利用Ti靶和Zr靶沉积(Ti,Zr)NC层，沉积时间0.5-4H，降温至100℃后出炉。
3.如权利要求1所述沉积土豪金膜层的设备，其特征是：在所述上下两排加热管之间设置有与凸腔内的料口及气管相连通的料口及气管。
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