CN206052142U - 一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，包括真空腔体，在真空腔体45°、135°、225°和315°方向上分别设置有平面石墨靶，在真空腔体中间位置处设置有呈圆环形的工件转架，在工件转架内侧设置有上下两排弧形的加热管组，在加热管组之间的左右两侧间隙则设置有左右对称的每组为上下两个的两组圆柱靶，真空腔体上下两端则分别设置有抽真空口及进出货炉门。可以通过DLC膜层的掺杂改性，既可以提高性能，又可以提供更多的颜色，同时保证表面的细腻光滑，可用于高端装饰行业。
Description
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术领域，涉及一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备。
背景技术
“DLC”是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”的缩写，DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。目前制备DLC薄膜的方法很多， 不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同， 沉积的DLC 膜的结构和性能存在很大差别， 摩擦学性能也不相同。
2014年以来，我们成功开发了离子束沉积DLC的工艺及设备，在此基础上开发了掺杂其它元素（如Si、N、W、Cr、Ti等）的DLC工艺,成功应用于中高端手表、手机的功能件上。我们开发的DLC工艺相比其它硬质薄膜（TiC、TiN、TiAlN)具有硬度高、摩擦系数低的特点。
虽然在DLC膜层开发上取得了一些成绩，但由于颜色和性能不能兼顾，在保证性能的基础上颜色的可调范围很窄，不能满足装饰行业对颜色的要求，DLC涂层具有生物相容性，在手表装饰行业有很大的应用空间，中高端钟表制造商很喜欢这种涂层，但他们对颜色追求很高，不断提出新的颜色要求，为了满足客户的需求，我们有必要立项开发可调颜色的装饰性DLC涂层。根据市场调研、文献查阅、颜色理论、之前以往积累的经验，此项目成功的概率较高。
装饰性DLC的颜色主要由膜层成分、结构、膜厚和底层颜色决定的，目前主流的装饰性DLC颜色是枪色，颜色变化小，有研究掺氮DLC可以做出金黄色的颜色。
发明内容
为克服上述缺点，本实用新型提供一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，它能够提高膜层表面的光亮度、细腻度，颜色可调，附着力好，同时又要具有DLC良好的性能，硬度高，耐磨性能好。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，包括真空腔体，在真空腔体45°、135°、225°和315°方向上分别设置有平面石墨靶，在真空腔体中间位置处设置有呈圆环形的工件转架，在工件转架内侧设置有上下两排弧形的加热管组，在加热管组之间的左右两侧间隙则设置有左右对称的每组为上下两个的两组圆柱靶，真空腔体上下两端则分别设置有抽真空口及进出货炉门。
在所述真空腔体一侧设置有离子源。
在所述工件转架上等距设置有圆形的工件。
所述加热管组由若干个等距排列的加热管构成。
在所述上下两个圆柱靶之间设置有气管。
所述抽真空口与抽真空系统相连通。
在所述进出炉货门上设置有观察窗。
本实用新型的有益效果是：可以通过DLC膜层的掺杂改性，既可以提高性能，又可以提供更多的颜色，同时保证表面的细腻光滑，可用于高端装饰行业。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
图中：1-抽真空系统，2-真空腔体，3-工件，4-平面石墨靶，5-圆柱靶，6-气管，7-加热管，8-进出炉货门，9-观察窗，10-离子源，11-工件转架。
具体实施方式
参见图1，一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，包括真空腔体2，在真空腔体245°、135°、225°和315°方向上分别设置有平面石墨靶4，在真空腔体2中间位置处设置有呈圆环形的工件转架11，在工件转,11内侧设置有上下两排弧形的加热管组，在加热管组之间的左右两侧间隙则设置有左右对称的每组为上下两个的两组圆柱靶5，真空腔体2上下两端则分别设置有抽真空口及进出货炉门8。
在所述真空腔体2一侧设置有离子源10。
在所述工件转架11上等距设置有圆形的工件3。
所述加热管组由若干个等距排列的加热管7构成。
在所述上下两个圆柱靶5之间设置有气管6。
所述抽真空口与抽真空系统1相连通。
在所述进出炉货门8上设置有观察窗9。
本实用新型可以通过DLC膜层的掺杂改性，既可以提高性能，又可以提供更多的颜色，同时保证表面的细腻光滑，可用于高端装饰行业。
Claims (7)
1.一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，包括真空腔体，其特征是：在真空腔体45°、135°、225°和315°方向上分别设置有平面石墨靶，在真空腔体中间位置处设置有呈圆环形的工件转架，在工件转架内侧设置有上下两排弧形的加热管组，在加热管组之间的左右两侧间隙则设置有左右对称的每组为上下两个的两组圆柱靶，真空腔体上下两端则分别设置有抽真空口及进出货炉门。
2.如权利要求1所述可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，其特征是：在所述真空腔体一侧设置有离子源。
3.如权利要求1所述可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，其特征是：在所述工件转架上等距设置有圆形的工件。
4.如权利要求1所述可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，其特征是：所述加热管组由若干个等距排列的加热管构成。
5.如权利要求1所述可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，其特征是：在所述上下两个圆柱靶之间设置有气管。
6.如权利要求1所述可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，其特征是：所述抽真空口与抽真空系统相连通。
7.如权利要求1所述可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备，其特征是：在所述进出炉货门上设置有观察窗。
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| CN201621066455.4U CN206052142U (zh) | 2016-09-21 | 2016-09-21 | 一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备 |
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| CN206052142U true CN206052142U (zh) | 2017-03-29 |
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| CN201621066455.4U Active CN206052142U (zh) | 2016-09-21 | 2016-09-21 | 一种可调颜色的装饰性类金刚石碳膜的沉积设备 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110344008A (zh) * | 2017-12-27 | 2019-10-18 | 上海超导科技股份有限公司 | 脉冲激光镀膜装置 |
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2016
- 2016-09-21 CN CN201621066455.4U patent/CN206052142U/zh active Active
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| CN110344008B (zh) * | 2017-12-27 | 2021-04-27 | 上海超导科技股份有限公司 | 脉冲激光镀膜装置 |
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