CN104772705A - 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构 - Google Patents

一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构 Download PDF

Info

Publication number
CN104772705A
CN104772705A CN201510137451.4A CN201510137451A CN104772705A CN 104772705 A CN104772705 A CN 104772705A CN 201510137451 A CN201510137451 A CN 201510137451A CN 104772705 A CN104772705 A CN 104772705A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polishing machine
sided polishing
twp
feed flow
reducing motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510137451.4A
Other languages
English (en)
Inventor
金万斌
李方俊
王正东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201510137451.4A priority Critical patent/CN104772705A/zh
Publication of CN104772705A publication Critical patent/CN104772705A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
    • B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本发明是一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，该机构包括主支撑，所述主支撑下端设有两个用于支撑的支架，所述主支撑上端面分别安装有前支板、减速电机和支撑架，所述前支板上安装有前端轴，所述前端轴通过轴承与前端盖转动地连接，所述减速电机的转轴通过键与后端盖配合固接，所述前端盖与后端盖之间通过多组滚针装置相连接，所述支撑架上分别安装有压盖和连接块，所述压盖通过拉手杆与支撑架相压紧。本发明成本低、运行平稳、运行精度高、使用寿命长、便于安装携带、故障率和维修难度都较低。

Description

一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构
技术领域
本发明属于双面研磨/抛光机领域，具体涉及一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构。
背景技术
在传统的双面研磨/抛光机设备中，通常有两种供液方式：1、供液系统由砂泵直接抽研磨/抛光液至设备上，液体可以重复循环利用一定次数，2、供液系统经过砂泵后连接到传统的电动蠕动泵上，再经过泵头将研磨/抛光液送至设备上，液体利用一次后直接排出。以上传统的两种方式分别从节约成本以及对研磨/抛光的片子质量要求程度来区分，但是两种方式不能同时兼顾成本和质量，尤其传统的电动蠕动泵在使用过程中会有出液不稳定、使用寿命短等缺陷，从而导致设备加工精度降低、设备故障率高，整体使用寿命下降。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构。提升设备的稳定性、加工精度，同时降低了加工成本、设备的故障率、维修难度。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：
一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，该机构包括主支撑，所述主支撑下端设有两个用于支撑的支架，所述主支撑上端面分别安装有前支板、减速电机和支撑架，所述前支板上安装有前端轴，所述前端轴通过轴承与前端盖转动地连接，所述减速电机的转轴通过键与后端盖配合固接，所述前端盖与后端盖之间通过多组滚针装置相连接，所述支撑架上分别安装有压盖和连接块，所述压盖通过拉手杆与支撑架相压紧。
进一步的，所述前端轴一端通过轴用弹性挡圈进行轴向限位，另一端为轴端限位。
进一步的，所述前端盖通过孔用弹性挡圈对轴承轴向限位。
进一步的，所述轴承为深沟球轴承。
进一步的，所述后端盖与减速电机转轴上的键配合的内孔为非通孔，用于限制减速电机轴上键的轴向串动。
进一步的，所述后端盖圆周面上开有螺纹孔，并且通过所述螺纹孔和相应的螺钉压紧减速电机转轴上的键。
进一步的，所述滚针装置通过螺钉及内设轴承转动地与前端盖和后端盖之间相连接。
进一步的，所述主支撑与支撑架连接处开有U型槽用于调节支撑架的位置高度。
本发明的有益效果是:
本发明的滚针装置可通过内部的轴承实现自转，也可由减速电机带动公转，且通过螺钉紧固，成本较低，拆卸简单，便于维修，压盖内表面粗糙度要求可低至Ra0.4，降低与蠕动泵管之间的摩擦，延长管子使用寿命，提高了运行稳定性和设备运行精度，主支撑与支撑架连接处开U型槽调节支撑架的位置高度，使用灵活方便。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中标号说明：1、支架，2、主支撑，3、前支板，4、前端轴，5、连接块，6、前端盖，7、滚针装置，8、压盖， 9、拉手杆，10、后端盖，11、支撑架，12、把手座，13、减速电机，14、轴承。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。
参照图1所示，一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，该机构包括主支撑2，所述主支撑2下端设有两个用于支撑的支架1，所述主支撑2上端面分别安装有前支板3、减速电机13和支撑架11，所述前支板3上安装有前端轴4，所述前端轴4通过轴承14与前端盖6转动地连接，所述减速电机13的转轴通过键与后端盖10配合固接，所述前端盖6与后端盖10之间通过多组滚针装置7相连接，所述支撑架11上分别安装有压盖8和连接块5，所述压盖8通过拉手杆9与支撑架11相压紧。
所述前端轴4一端通过轴用弹性挡圈进行轴向限位，另一端为轴端限位。
所述前端盖6通过孔用弹性挡圈对轴承14轴向限位。
所述轴承14为深沟球轴承。
所述后端盖10与减速电机13转轴上的键配合的内孔为非通孔，用于限制减速电机轴上键的轴向串动。
所述后端盖10圆周面上开有螺纹孔，并且通过所述螺纹孔和相应的螺钉压紧减速电机13转轴上的键。
所述滚针装置7通过螺钉及内设轴承转动地与前端盖6和后端盖10之间相连接，在本实施例中滚针装置7有三组，由减速电机13通过后端盖10带动公转，并且三组滚针装置7在公转的同时自身还通过内设轴承进行自转。
所述主支撑2与支撑架11连接处开有U型槽用于调节支撑架11的位置高度。
本发明的机构用于双面研磨/抛光机供液的机械蠕动泵机构，主要应用于电子专用加工设备双面研磨/抛光机的供液，还可用于其他对加工片子质量要求较高的设备。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1. 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，该机构包括主支撑（2），所述主支撑（2）下端设有两个用于支撑的支架（1），所述主支撑（2）上端面分别安装有前支板（3）、减速电机（13）和支撑架（11），所述前支板（3）上安装有前端轴（4），其特征在于，所述前端轴（4）通过轴承（14）与前端盖（6）转动地连接，所述减速电机（13）的转轴通过键与后端盖（10）配合固接，所述前端盖（6）与后端盖（10）之间通过多组滚针装置（7）相连接，所述支撑架（11）上分别安装有压盖（8）和连接块（5），所述压盖（8）通过拉手杆（9）与支撑架（11）相压紧。
2.根据权利要求1所述的用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，其特征在于，所述前端轴（4）一端通过轴用弹性挡圈进行轴向限位，另一端为轴端限位。
3.根据权利要求1所述的用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，其特征在于，所述前端盖（6）通过孔用弹性挡圈对轴承（14）轴向限位。
4.根据权利要求1或3所述的用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，其特征在于，所述轴承（14）为深沟球轴承。
5.根据权利要求1所述的用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，其特征在于，所述后端盖（10）与减速电机（13）转轴上的键配合的内孔为非通孔，用于限制减速电机轴上键的轴向串动。
6.根据权利要求1或5所述的用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，其特征在于，所述后端盖（10）圆周面上开有螺纹孔，并且通过所述螺纹孔和相应的螺钉压紧减速电机（13）转轴上的键。
7.根据权利要求1所述的用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，其特征在于，所述滚针装置（7）通过螺钉及内设轴承转动地与前端盖（6）和后端盖（10）之间相连接。
8.根据权利要求1所述的用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构，其特征在于，所述主支撑（2）与支撑架（11）连接处开有U型槽用于调节支撑架（11）的位置高度。
CN201510137451.4A 2015-03-27 2015-03-27 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构 Pending CN104772705A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510137451.4A CN104772705A (zh) 2015-03-27 2015-03-27 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510137451.4A CN104772705A (zh) 2015-03-27 2015-03-27 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104772705A true CN104772705A (zh) 2015-07-15

Family

ID=53614630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510137451.4A Pending CN104772705A (zh) 2015-03-27 2015-03-27 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104772705A (zh)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5870079A (ja) * 1981-10-23 1983-04-26 Pilot Pen Co Ltd:The ぜん動ポンプ
CN2074381U (zh) * 1990-09-12 1991-04-03 徐文友 高效耐蚀泵
JP2008302469A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Toppan Printing Co Ltd 研磨剤サックバック機構を有するカラーフィルタ研磨装置及びカラーフィルタ研磨方法及びカラーフィルタの製造方法
CN201381969Y (zh) * 2009-02-18 2010-01-13 吴彩芳 一种软管泵
CN204163963U (zh) * 2014-09-03 2015-02-18 天津中环半导体股份有限公司 一种硅片磨片机用新型蠕动泵
CN204565917U (zh) * 2015-03-27 2015-08-19 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5870079A (ja) * 1981-10-23 1983-04-26 Pilot Pen Co Ltd:The ぜん動ポンプ
CN2074381U (zh) * 1990-09-12 1991-04-03 徐文友 高效耐蚀泵
JP2008302469A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Toppan Printing Co Ltd 研磨剤サックバック機構を有するカラーフィルタ研磨装置及びカラーフィルタ研磨方法及びカラーフィルタの製造方法
CN201381969Y (zh) * 2009-02-18 2010-01-13 吴彩芳 一种软管泵
CN204163963U (zh) * 2014-09-03 2015-02-18 天津中环半导体股份有限公司 一种硅片磨片机用新型蠕动泵
CN204565917U (zh) * 2015-03-27 2015-08-19 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
冯镇: "《乳品机械与设备》", 30 September 2013 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204565917U (zh) 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构
CN104772705A (zh) 一种用于双面抛光机供液的机械蠕动泵机构
CN203371349U (zh) 活塞环端面磨削装置
CN202657675U (zh) 气动旋转台
CN102826368A (zh) 一种气动旋转台
CN209737245U (zh) 一种轴承沟道磨削装置
CN204178116U (zh) 吊顶式投影仪十字吊架
CN201214567Y (zh) 方便安装的辊
CN202116029U (zh) 一种圆管旋转输送机
CN209715516U (zh) 一种便维修喷涂机
CN112405314A (zh) 一种球体抛光装置
CN203805518U (zh) 打印机的介质输送装置
CN104842228A (zh) 一种无心磨床的辅砂轮装置
CN207876836U (zh) 半自动玻璃上片机
CN208132850U (zh) 剥皮辊拆装机
CN202462154U (zh) 磨抛轮安装机构
CN205260280U (zh) 一种卫生级蠕动泵
CN204625773U (zh) 一种振动式渗碳炉供料装置
CN204223340U (zh) 吸头旋转机构及具有该机构的贴标机
CN203993500U (zh) 新型钢帘线拉丝模定径研磨机
CN103692204B (zh) 顶盖找正装置
CN217736820U (zh) 一种转子泵安装装置
CN214685935U (zh) 一种4寸led蓝宝石衬底的双面减薄加工装置
CN215748613U (zh) 一种铸管承口端面挡轮装置
CN209868394U (zh) 一种阀门生产专用定位装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
EXSB Decision made by sipo to initiate substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20150715